JP4402810B2 - 電子部品搭載機 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を高精度に位置決めして搭載する電子部品搭載機に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、電子部品搭載機では、電子部品が部品供給装置から供給され、この電子部品が吸着ヘッドにより吸着され、XY移送装置を介して基板上の所定の搭載位置に搭載される。
また、搭載に際しては、吸着ヘッドに吸着された電子部品がCCDカメラなどにより撮像され、この画像を認識することにより電子部品の位置が検出される。一方で、基板側についても、CCDカメラなどにより搭載位置が検出される。そして、電子部品と搭載位置との位置関係が計算されて搬送経路が補正され、必要に応じて、吸着ヘッドに吸着された電子部品の姿勢が補正される。すなわち、電子部品の位置決めが行われる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、BGA(Ball gri d array)、CSP(Chip size package)、QFP(Quad flat package)などの電子部品を基板に搭載するには、高精度な位置決めが要求される。
例えば、BGAチップ102では、図5に示すように、吸着ヘッド103により吸着され、上述のように位置決めされながら基板101に搭載される。このとき、BGAチップ102の下面に形成されたはんだボール102a…が、基板101のランド101a…に載置されるように搭載される。この際には、基板101やBGAチップ102のリードピッチやボールピッチの間隔から、例えば、±20μmという高精度な位置決めが要求される。
【0004】
そして、このような高精度な位置決めが要求される用途では、電子部品搭載機が非常に高価なものとなっていた。
すなわち、BGAチップ102などの電子部品を基板101に搭載するときの精度は、(1)CCDカメラの精度、(2)位置検出に際してCCDカメラの情報を認識する認識装置の精度、(3)電子部品の位置を補正するときの吸着ヘッド103の軸103aの移動精度、などに依存し、最終的な精度は(1)から(3)の全てが総合された精度となる。そこで、高精度な位置決めをするためには、これら全てに高精度の装置を適用する必要があるが、このようにすると極端なコスト増となっていた。
【0005】
本発明の課題は、安価であり、電子部品を高精度に位置決めして搭載することができる電子部品搭載機を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、例えば図1に示すように、電子部品(例えば、BGAチップ30)を供給位置へと供給する部品供給装置(例えば、フィーダ11)と、
前記電子部品を前記供給位置で保持し基板40の搭載位置(例えば、ランド40a…)で開放する吸着ヘッド13aと、
該吸着ヘッドを前記供給位置と前記基板の搭載位置との間で移送する移送手段(例えば、XY移送装置14)と、を備え、
前記電子部品の接合端子(例えば、はんだボール30a…)を前記基板の搭載位置の接合端子(例えば、ランド40a…)に対して位置決めするとともに、前記電子部品を前記基板の搭載位置に搭載する電子部品搭載機1であって、
前記電子部品の接合端子から型取りされた前記電子部品の接合端子の雌型(例えば、BGA雌型21)と、
前記基板の搭載位置の接合端子から型取りされた前記基板の搭載位置の接合端子の雌型と(例えば、ランド雌型22)、を備え、
前記電子部品の接合端子の雌型と前記基板の搭載位置の接合端子の雌型とを位置合わせして、互いに逆向きに接合してあり、
前記接合された雌型を基板上から除去する雌型除去アームを備え、
前記吸着ヘッドが、前記基板の搭載位置の接合端子に前記基板の搭載位置の接合端子の雌型を相対的に前後左右に擦り合わせることにより嵌め合わせ、その上から前記前記電子部品の接合端子の雌型に前記電子部品の接合端子を相対的に前後左右に擦り合わせることにより嵌め合わせることで、前記基板の搭載位置に対する前記電子部品の位置決めを行い、
さらに、前記吸着ヘッドが前記位置決めされた電子部品を上昇させて前記雌型除去アームで前記接合された雌型を除去し、前記吸着ヘッドの下降により前記電子部品を前記基板の搭載位置に搭載することを特徴とする。
【0015】
請求項1記載の発明によれば、電子部品の接合端子の雌型と基板の搭載位置の接合端子の雌型とが互いに逆向きに接合されているので、基板の搭載位置の接合端子の雌型を、基板の搭載位置の接合端子に嵌め合わせて位置決めした状態で、上側を向く電子部品の接合端子の雌型に、電子部品の接合端子を嵌め合わせることができる。これら雌型は互いに位置合わせして接合されているので、この状態では、電子部品の接合端子と、基板の搭載位置の接合端子とが、雌型を介して、高精度に位置合わせされた状態となる。
従って、この状態で、一旦、電子部品を一方向に移動させてこの雌型を除去した後に、再度、電子部品を一方向に移動させて搭載位置に設置することで、電子部品を高精度に位置決めして搭載できる。
さらに、電子部品又は基板と雌型とを相対的に微小に前後左右に移動させて擦り合わせることにより、相対的に移動させている途中で両者の位置が合った状態のときに、互いを嵌め合わすことができる。
従って、厳密な位置計測や位置制御が不要であり、高精度の機能をもつ高価な装置を用いる必要がなく、安価な装置を用いて電子部品を高精度に搭載することに、さらに寄与することができる。
【0016】
請求項2記載の発明は、請求項1に記載の電子部品搭載機において、
前記基板の接合端子と前記電子部品の接合端子の位置とを認識する認識手段(例えば、CCDカメラ17、18および図示しない画像処理装置)をそれぞれ備え、備え、
前記電子部品を前記搭載位置に搭載するに際して、前記雌型を用いて位置決めする前に、前記各認識手段により、前記基板の接合端子と前記電子部品の接合端子の位置をそれぞれ認識して粗い位置決めがされていることを特徴とする。
【0017】
請求項2記載の発明によれば、請求項1と同様の効果を奏することができるとともに、電子部品を搭載位置に搭載するに際して、各認識手段が、基板と電子部品の接合端子の位置を認識することで、両者が所定の位置にあるかどうかを認識することができる。そして、所定の位置からずれがある時には、認識手段で両者の位置を監視しながら吸着ヘッドが動作することで電子部品の姿勢を調整し、両者のずれを補正することができる。こうして、上述の雌型を用いて厳密な位置決めを行う前に、予め、粗い位置決めを行うことができる。
従って、この後に、電子部品の接合端子と基板の搭載位置の接合端子とを対応する雌型に嵌め合わせ、上述の雌型を用いて厳密な位置決めを行うに際して、予め、両者は粗い位置決めがされているので、大きな移動を伴うことなく短い距離を移動させるだけで足り、嵌め合わせを容易にできる。
なお、この粗い位置決めは、例えば、両者の接合端子のピッチ程度まで行うことが好ましい。
【0018】
請求項3記載の発明は、例えば、図1に示すように、請求項2に記載の電子部品搭載機において、
前記認識手段は、前記接合端子の位置を認識する画像認識装置(例えば、CCDカメラ17、18および図示しない画像処理装置)を備えていることを特徴とする。
【0019】
請求項3記載の発明によれば、請求項2と同様の効果を奏することができるとともに、画像認識装置は、例えば、接合端子を撮像する撮像装置と、撮像装置が得る情報をもとに接合端子の位置を認識する画像処理装置とから構成され、撮像装置で撮像される対象物の位置を認識することができる。
従って、画像認識装置により基板・電子部品の接合端子の位置を認識することで、上述の通りに粗い位置決めを行うことができる。
【0020】
請求項4記載の発明は、請求項2に記載の電子部品搭載機において、
前記認識手段は、前記接合端子の位置を認識するレーザ認識装置を備えていることを特徴とする。
【0021】
請求項4記載の発明によれば、請求項2と同様の効果を奏することができるとともに、レーザ認識装置は、例えば、対象物に向けてレーザを発振するとともに、この対象物からの反射を受振することで、対象物の位置や形状を認識することができる。
従って、レーザ認識装置により基板・電子部品の接合端子の位置を認識することで、上述の通りに粗い位置決めを行うことができる。
【0024】
請求項5記載の発明は、例えば図2に示すように、請求項1から4のいずれか一つに記載の電子部品搭載機において、
前記雌型は透光性の部材からなることを特徴とする。
【0025】
請求項5記載の発明によれば、請求項1から4のいずれか一つと同様の効果を奏することができるとともに、雌型が透光性の部材により形成されているので、電子部品の接合端子の雌型と、基板の搭載位置の接合端子の雌型と、を重ね合わせた状態で、例えば、上面から両者の雌型の型取られた部分を視認することができる。従って、例えば、顕微鏡などを用いて、型取られた部分のずれがなくなるように位置合わせでき、両者の厳密な位置合わせを容易にすることができる。
また、雌型は透光性の部材から形成されているので、雌型と基板、雌型と電子部品の接合端子との位置の確認も、撮像装置などにより容易にできる。
【0026】
請求項6記載の発明は、請求項1から5のいずれか一つに記載の電子部品搭載機において、
前記基板に代えて、前記電子部品と異なる電子部品に、前記電子部品を搭載することを特徴とする。
【0027】
請求項6記載の発明によれば、位置決めして搭載する対象を基板に代えて他の電子部品として、請求項1から5のいずれか一つと同様の効果を奏することができ、電子部品同士を位置決めして接合する際にも、高価な装置を用いることなく、安価な装置を用いて高精度に搭載することができる。
【0028】
請求項7記載の発明は、請求項1から6のいずれか一つに記載の電子部品搭載機において、
前記雌型の前記電子部品の接合端子もしくは前記基板の搭載位置の接合端子を嵌め合わせる部分が、前記電子部品の接合端子もしくは前記基板の搭載位置の接合端子よりも大きくされていることを特徴とする。
【0029】
請求項7記載の発明によれば、請求項1から6のいずれか一つと同様の効果を奏することができるとともに、電子部品の接合端子や基板の搭載位置の接合端子を、対応する雌型の型取られた部分に、容易に嵌め合わせることができる。
なお、雌型の接合端子を嵌め合わせる部分を大きくしすぎると、嵌め合わせた状態で位置ずれが生じる畏れがあるので、誤差の許容範囲内で大きくすることが好ましい。
【0030】
【発明の実施の形態】
〔第1の実施の形態〕
以下、図1〜4を参照して、本発明の第1の実施の形態の電子部品搭載機1を詳細に説明する。
本実施の形態の電子部品搭載装置1は、基板上の所定の位置に、電子部品を高精度に位置決めしながら搭載する。
なお、以下の説明においては、一例として、BGAチップ30(電子部品)を基板40のランド40a(搭載位置)上に搭載する場合を主体に説明するが、本実施の形態の電子部品搭載機1は、BGAチップ30に限定されるものではなく、その他の各種電子部品に適用可能である。
【0031】
まず、構成を説明する。
電子部品搭載機1は、図1に示すように、BGAチップ30(図3、4に図示)などの電子部品を収納したリール16から、1つづつ電子部品を供給していくフィーダ11(部品供給装置)と、下方に吸着ヘッド13aが上下動自在かつ回転自在に設けられ、フィーダ11よりBGAチップ30などの電子部品を吸引し基板40へ搭載する吸着ヘッド部13と、この吸着ヘッド部13をXY方向に移動させるXY移送装置14(移送手段)と、等を主体に構成されている。
また、フィーダ設置部11aに、予め形成された雌型20(後述する、図2に図示)を載置できるようになっており、BGAチップ30を搭載するに際して、この雌型20を吸着ヘッド13aにより吸着して、基板40の所定の位置に設置できるように構成されている。
【0032】
また、電子部品搭載機1には基板搬送路12が設けられており、基板40が基板搬入口(図示しない)から順次搬送される。また、基板搬送路12と干渉しない外側の位置に、雌型除去アーム15が設けられている。この雌型除去アーム15の先端部には雌型除去ヘッド15cが設けられ、この雌型除去ヘッド15cが基板上の任意の位置に延出して雌型20を除去することができる。
【0033】
リール16にはテープ16aが巻回されており、このテープ16aにBGAチップ30などの電子部品が一定間隔で保持されている。これにより、フィーダ11に電子部品が順次供給される。また、フィーダ11は、図1に示すように、複数種類の電子部品を供給することができるように複数備えられている。
【0034】
雌型20は、図2に示すように、BGA雌型21(電子部品の接合端子の雌型)とランド雌型22(基板の搭載位置の接合端子の雌型)とから構成されている。
BGA雌型21は、予めBGAチップ30の下面にあわせて型取られており、はんだボール30a…(電子部品の接合端子)の配置に合わせてほぼ半球状の凹部21a…が形成されている。また、ランド雌型22には、予めランド40a…(基板の搭載位置の接合端子)の配置に合わせて型取られた凹部22a…が形成されている。また、BGA雌型21およびランド雌型22の材質は、型取り可能であり、かつ、型取り後の状態で透光性をもち外側から凹部21a…、22a…が視認できる材料が適宜選択されている。
【0035】
そして、雌型20は、図2に示すように、予め、凹部21a…と凹部22a…の中心軸どうしが合うように位置合わせされて、型取られた部分が外側を向くように互いに逆向きに接合されている(図2では接合前の位置合わせした状態を図示)。
位置合わせに際しては、BGA雌型21とランド雌型22とは、透光性をもつ材質で形成されているため、例えば、両者を重ねあわせた状態で、上面から凹部21a…と凹部22a…とを直接視認しながら位置合わせすることができる。従って、顕微鏡などを用いることで容易に位置合わせでき、雌型20は、凹部21a…と凹部22a…との中心軸どうしが、予め精度良く厳密に接合されている。
【0036】
雌型20は、以上の通りに構成されることで、予め凹部22a…をランド40a…に嵌め合わせて設置した状態で、上側を向く凹部21a…にBGAチップ30のはんだボール30a…を嵌めあわせることができる。そして、BGAチップ30の搭載に際して、はんだボール30a…とランド40a…とを、雌型20に嵌め合わせることで、雌型20を介して、BGAチップ30とランド40a…とが厳密に位置決めされる。
これにより、雌型20を用いることで、高精度に位置決めする機能をもつ高価な装置を用いることなく、安価な装置を用いて、BGAチップ30などの電子部品を高精度に位置決めして搭載できる。
【0037】
また、凹部21a…や凹部22a…を、はんだボール30a…やランド40a…よりも大きく形成しておくことで、嵌め合わせを容易にすることができる。例えば、型取り時の温度を、型使用時(すなわち電子部品搭載時)の温度とずらし、この温度変化に伴う形状変化を利用して、凹部21a…や凹部22a…の形状が大きくなるように、使用する材料を適宜選択しても良い。
【0038】
吸着ヘッド13aは、図3に示すように、BGAチップ30を吸着し所定の位置で下降させ、ある程度の押圧を加えた状態で、上面から見て微小に前後左右に移動して擦り合わせられるように構成されている(図3では矢印で示し、以下、この動作を「スクラブ動作」と称する)。これにより、スクラブ動作の途中で所定の位置となったときに、BGAチップ30のはんだボール30a…がBGA雌型21の凹部21a…に嵌め合わされる。
また、このように吸着ヘッド13aをスクラブ動作させることで、BGAチップ30がBGA雌型21に嵌め合わされると、吸着ヘッド13aとBGAチップ30との吸着面Aに滑りが生じ、この滑りを検知することで、BGAチップ30がBGA雌型21に嵌め合わされたことを認識できるように構成されている。
また、同様にして、ランド雌型22の凹部22a…をランド40a…に嵌め合わせることで、雌型20を基板40に設置することができる。
なお、上述のスクラブ動作は、XY移送装置14を所定に動作させることで行っても良い。
【0039】
また、図1に示すように、基板搬送路12の外側にはCCDカメラ17(認識手段、画像認識装置の一部)が設けられ、ランド40a…を基板40の上方から撮影する。また、吸着ヘッド部13の側面にはCCDカメラ18(認識手段、画像認識装置の一部)が設けられ、吸着ヘッド13a先端に吸着されたBGAチップ30の吸着状態を吸着ヘッド部13側から撮影する。これらCCDカメラ17、18には、各々、CCDカメラ17、18が得る画像情報から対象物の位置を検出する画像処理装置(図示しない)が接続されている。
以上の通りに構成されることで、CCDカメラ17は、ランド40a…の位置を検出したり、BGAチップ30搭載後にBGAチップ30が所定の位置に搭載されているかどうかを検知できる。また、CCDカメラ18は、吸着ヘッド13aに吸着された状態のBGAチップ30の位置(吸着された状態)や、基板40に搭載されたBGAチップ30の位置を検知できる。
また、BGAチップ30の搭載に際しては、まず、CCDカメラ17、18によりランド40a…とBGAチップ30との位置が監視され、この位置情報に基づいて吸着ヘッド部13に吸着されたBGAチップ30の姿勢が補正される。これにより、BGAチップ30がランド40a…に対して、例えば、ボールピッチの寸法程度まで、粗く位置決めされる。
【0040】
また、上述の位置検知は、CCDカメラ17、18を用いる構成の他、レーザ認識装置(認識手段)を好適に適用することができる。この場合には、レーザ認識装置は、BGAチップ30やランド40a…に対してレーザを発振し、これらからの反射を受振することで、その外形位置、重心位置、もしくは傾きを検知でき、上述の粗い位置決めを行うことができる。
なお、本実施の形態の電子部品搭載機1は、CCDカメラ17、18やレーザ認識装置を用いる構成に限定されず、測定対象物の位置検知ができ、BGAチップ30とランド40a…とを雌型20を用いて厳密に位置決めする前に、粗い位置決めができれば、上記した構成以外の各種構成を適用できる。
【0041】
雌型除去アーム15は、図1に示すように、水平回動自在に配設される2つの回動腕15a、15bを備えている。回動腕15bの基板に臨む先端部には、雌型除去ヘッド15cが上下動自在に備えられている。この雌型除去ヘッド15cは、雌型20を保持または解放することができる。そして、2つの回動腕15a、15bが水平回動することにより、雌型除去ヘッド15cが基板40の上面で所定通りに位置し、この位置で雌型除去ヘッド15cが下降することにより、基板40に配置された雌型を除去できる。
また、回動腕15a、15bが水平回動する高さは、XY移送装置14の下面よりも低く設定されている。これにより、雌型除去アーム15が水平回動するときに、XY移送装置14や吸着ヘッド部13などと干渉する畏れがない。
【0042】
次に、図4を参照して、本発明の実施の形態の電子部品搭載機1が、BGAチップ30を搭載するときの動作を説明する。
まず、予めBGA雌型21およびランド雌型22を形成する。
図4(a)に示すように、支持部材21bの上面に型取り材料21cを準備した状態で、BGAチップ30を上方から型取り材料21cに押し付ける。これにより、図4(b)に示すように、はんだボール30a…の配置に対応した凹部21a…が形成され、BGA雌型21が得られる。
同様にして、図4(c)に示すように、支持部材22bを介して、型取り材料22cを基板40のランド40a…に押し付けることで、凹部22a…が形成されたランド雌型22を得る(図4(d))。
【0043】
次いで、図4(e)に示すように、上述の通りにして得られたBGA雌型21とランド雌型22とを、位置合わせして接合し雌型20を形成する。両者の接合は、凹部21a…、22a…が外側を向いた状態で、かつ、凹部21a…の中心軸と凹部22a…の中心軸とが合うように厳密に行う。この場合に、BGA雌型21とランド雌型22とは、上述の通りに透光性をもつ材料が選択されているので、両者を重ね合わせた状態で顕微鏡などを用いて高精度に位置合わせできる。
なお、BGA雌型21とランド雌型22との位置合わせは、例えば、高精度の位置決めが可能な電子部品搭載機等の装置を用いて行っても良い。このような装置は高価であるが、雌型21、22どうしを接合させるときに限り、短時間だけ使用するようにすれば大きなコスト増とはならない。また、このように高精度の位置決めが可能な装置を用いる場合には、雌型21、22は、必ずしも、透光性をもつ部材から形成される必要はなく、適用可能な材料の選択範囲を拡げることができる。
以上の通りにして得られた雌型20を、予め、電子部品搭載機1のフィーダ設置部11aの所定の位置に配置しておく。なお、雌型20は、BGA雌型21が上面を向くようにして配置する。
【0044】
次いで、図4(f)に示すように、BGAチップ30の搭載に際して、まず、雌型20を搭載位置となるランド40a…に設置する。
始めに、XY移送装置14を所定に動作させることで吸着ヘッド部13を動作させ、さらに、吸着ヘッド13aを下降させることで、吸着ヘッド13aに雌型20を吸着保持させる。雌型20はランド雌型22が下を向いた状態で吸着される。そして、XY移送装置14が所定に動作して、搭載位置となるランド40a…の上方に雌型20を位置させる。この状態で、吸着ヘッド13aを下降させるとともに、雌型20とランド40aの位置をCCDカメラ17、18で監視しながら、吸着ヘッド13aの軸13bを移動させて位置補正することで粗い位置決めを行う。
次いで、吸着された状態の雌型20をある程度の押圧をかけて基板40に当接させた状態で、吸着ヘッド30を前後左右に擦り合わせるスクラブ動作を行う。これにより、ランド雌型22の凹部22a…がランド40a…に嵌め合わせられると、吸着ヘッド13aが滑りを検知して、嵌め合わせられたことを認識する。
このようにして、搭載位置となるランド40a…に雌型20を設置する。
【0045】
次いで、この状態で、図4(f)に示すように、雌型20のBGA雌型21の凹部21a…に、BGAチップ30を嵌め合わせる。
上述と同様にして、XY移送装置14および吸着ヘッド13aを所定に動作させて、BGAチップ30を吸着させ、雌型20が嵌め合わされた搭載位置の上方にBGAチップ30を位置させる。そして、CCDカメラ17、18で位置監視しながら、BGAチップ30を凹部21a…に対して粗く位置決めする。この状態で、吸着ヘッド13aを下降させスクラブ動作させながら、はんだボール30a…を凹部21a…に嵌め合わせる。
このようにして、搭載位置となるランド40a…とBGAチップ30のはんだボール30a…とが、雌型20を介して高精度に位置合わせされる(図4(g))。
【0046】
次いで、この状態で吸着ヘッド13aを上昇させるとともに、雌型除去アーム15を所定に動作させて雌型20を除去する。次いで、図4(h)に示すように、吸着ヘッド13を下降させてBGAチップ30をランド40a…に搭載する(図4(i))。このとき、上述の通りに、BGAチップ30はランド40a…に対して位置決めされているので、はんだボール30a…はランド40a…の上に高精度に載置される。
以上の通りにして、BGAチップ30を高精度に搭載できる。
【0047】
また、BGAチップ30を搭載位置となるランド40a…に搭載した後に、基板40を切断して搭載位置とのずれを実測し、このずれをフィードバックして同様にBGAチップ30を搭載し、このような作業を必要回数行ってずれが許容範囲内に収まる条件を把握し、以降の電子部品の搭載に反映しても良い。
【0048】
また、搭載する位置を基板40に代えて他の電子部品とする場合には、予め、搭載する電子部品の接合端子から型取りした雌型を形成し、基本的に上述と同様にして、電子部品の接合端子どうしを高精度に位置決めしながら接続することができる。
【0049】
以上の本発明の実施の形態の電子部品搭載機1によれば、予め型取られた雌型20を用いることで、BGAチップ30の搭載に際して、高価な装置を用いることなく汎用の安価な装置を用いて、高精度に搭載することができる。また、BGA雌型21およびランド雌型22は、透光性をもつ材料が選択されているので、両者の位置合わせが容易である。
また、CCDカメラ17、18により位置を監視しながら粗い位置決めを行い、スクラブ動作を併用するので、はんだボール30a…やランド40a…を雌型20に容易に嵌め合わすことができる。
【0050】
〔第2の実施の形態〕
第2の実施の形態の電子部品搭載装置は、BGA雌型21のみを用いるところを除いては、基本的に第1の実施の形態と同様の構成である。従って、以下の説明においては、BGAチップ30を位置決めして搭載するにあたり、第1の実施の形態と異なるところを主体に説明する。
第2の実施の形態において、BGAチップ30などの電子部品を搭載するには、始めに、BGA雌型21を吸着ヘッド13aで吸着保持して、CCDカメラ17、18により搭載位置となるランド40a…に対してある程度の位置合わせを行った状態で基板40に仮決めして設置する。BGA雌型21は凹部21a…が上側を向くように設置する。ここでは、第1の実施の形態とは異なり、BGA雌型21は必ずしも搭載位置に対して厳密な位置決めは行われていない。
この状態で、凹部21a…にはんだボール30a…を嵌め合わせることで、BGAチップ30をBGA雌型21に設置する。この後に、吸着ヘッド13aによりBGAチップ30を上方に移動させ、雌型除去アーム15でBGA雌型21を除去する。そして、再度、吸着ヘッド13aを下降させ、BGAチップ30を基板40に仮に位置決めして搭載する。このようにして、BGAチップ30を仮決めして搭載した後に、基板40を切断して搭載位置とのずれを実測する。
そして、実測されたずれに基づいて、BGA雌型21の基板40上での位置を補正し、上述と同様にして、再度、BGAチップ30を基板40に搭載し、搭載位置からのずれを実測する。
以上の作業を必要回数行ってずれを補正して行き、搭載位置からのずれが許容範囲内に収められた条件を探索した後に、以降の電子部品の搭載に反映する。
【0051】
以上の第2の実施の形態の電子部品搭載機によれば、第1の実施の形態の電子部品搭載機1よりもさらに簡易な構成で、高精度に位置決めして電子部品を搭載することができる。
【0052】
〔第3の実施の形態〕
第3の実施の形態の電子部品搭載装置は、ランド雌型22のみを用いるところを除いては、基本的に第1の実施の形態と同様の構成である。従って、以下の説明においては、BGAチップ30を位置決めして搭載するにあたり、第1の実施の形態と異なるところを主体に説明する。
第3の実施の形態において、BGAチップ30などの電子部品を搭載するには、始めに、ランド雌型22を吸着ヘッド13aで吸着保持させ、CCDカメラ17、18により搭載位置となるランド40a…に対してある程度の位置合わせを行った状態で設置する。
次いで、CCDカメラ17、18で位置を監視しながら、上述のスクラブ動作を行うことで、ランド雌型22を搭載位置となるランド40a…に嵌め合わせる。この際に、CCDカメラ17、18により、嵌め合わせ前後のランド雌型22の位置変化の情報を得る。この位置変化の情報は、狙いの位置に対しての補正値となるので、この情報をフィードバックしてBGAチップ30を基板40に仮に位置決めして搭載する。
このようにして、BGAチップ30を搭載した後に、第2の実施の形態と同様に、基板40を切断して搭載位置とのずれを実測する作業を行い、この作業を必要回数行ってずれを補正して行き、搭載位置からのずれが許容範囲内に収められた条件を探索した後に、以降の電子部品の搭載に反映する。
【0053】
以上の第3の実施の形態の電子部品搭載機によれば、第1の実施の形態の電子部品搭載機1よりもさらに簡易な構成で、高精度に位置決めして電子部品を搭載することができる。
【0054】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。
例えば、雌型除去アーム15は、雌型を除去することができれば、その構成や配置は特に限定されるものではなく、各種構成のものをさまざな配置で適用することができる。
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、適宜に変更可能であることは勿論である。
【0055】
【発明の効果】
請求項1記載の電子部品搭載機によれば、電子部品の搭載に際して、高精度に搭載する機能を備えた高価な装置を用いることなく、汎用の安価な装置を用いて、高精度に電子部品を搭載することができる。
【0058】
さらに、請求項1記載の電子部品搭載機によれば、電子部品の接合端子と、基板の搭載位置の接合端子とを、雌型に嵌め合わせることで両者を高精度に位置決めすることができる。
さらに、摺り合わせを行うことにより、高精度の機能をもつ高価な装置を用いる必要がなく、安価な装置を用いて電子部品を高精度に搭載することに、さらに寄与できる。
【0059】
請求項2記載の電子部品搭載機によれば、請求項1と同様の効果を奏することができるとともに、電子部品の接合部と基板の搭載位置の接合部とを、対応する雌型に嵌め合わせるに際して、大きな移動を伴うことなく容易に嵌め合わせることができる。
【0060】
請求項3記載の電子部品搭載機によれば、請求項2と同様の効果を奏することができるとともに、電子部品と基板の搭載位置との位置検出ができ、粗い位置決めができる。
【0061】
請求項4記載の電子部品搭載機によれば、請求項2と同様の効果を奏することができるとともに、請求項3と同様に、電子部品と基板の搭載位置との位置検出ができ、粗い位置決めができる。
【0063】
請求項5記載の電子部品搭載機によれば、請求項1から4のいずれか一つと同様の効果を奏することができるとともに、電子部品の接合端子の雌型と、基板の搭載位置の接合端子の雌型との厳密な位置合わせを容易にできる。
【0064】
請求項6記載の電子部品搭載機によれば、請求項1から5のいずれか一つと同様の効果を奏することができるとともに、電子部品同士を位置決めして接合する際にも、高価な装置を用いることなく、安価な装置を用いて高精度に搭載できる。
【0065】
請求項7記載の電子部品搭載機によれば、請求項1から6のいずれか一つと同様の効果を奏することができるとともに、電子部品の接合端子や基板の搭載位置の接合端子を、対応する雌型の型取られた部分に、容易に嵌め合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した一実施の形態の電子部品搭載機1の構成を示す図である。
【図2】図1の電子部品搭載機1に備えられる雌型20の構成を示す図である。
【図3】BGAチップ30を雌型20のBGA雌型21に嵌め合わせるときのスクラブ動作の様子を示す図である。
【図4】BGAチップ30を、搭載位置となるランド40a…に搭載する一連の過程を示す図である。
【図5】BGAチップ30を、搭載位置となるランド40a…に搭載するときの従来例を説明する図である。
【符号の説明】
1 電子部品搭載機
11 フィーダ(部品供給装置)
13a 吸着ヘッド
14 XY移送装置(移送手段)
17 CCDカメラ(認識手段、画像認識装置の一部)
18 CCDカメラ(認識手段、画像認識装置の一部)
21 BGA雌型(電子部品の接合端子の雌型)
22 ランド雌型(基板の搭載位置の接合端子の雌型)
30 BGAチップ(電子部品)
30a はんだボール(電子部品の接合端子)
40 基板
40a ランド(搭載位置、基板の搭載位置の接合端子)
Claims (7)
- 電子部品を供給位置へと供給する部品供給装置と、
前記電子部品を前記供給位置で保持し基板の搭載位置で開放する吸着ヘッドと、
該吸着ヘッドを前記供給位置と前記基板の搭載位置との間で移送する移送手段と、を備え、
前記電子部品の接合端子を前記基板の搭載位置の接合端子に対して位置決めするとともに、前記電子部品を前記基板の搭載位置に搭載する電子部品搭載機であって、
前記電子部品の接合端子から型取りされた前記電子部品の接合端子の雌型と、
前記基板の搭載位置の接合端子から型取りされた前記基板の搭載位置の接合端子の雌型と、を備え、
前記電子部品の接合端子の雌型と前記基板の搭載位置の接合端子の雌型とを位置合わせして、互いに逆向きに接合してあり、
前記接合された雌型を基板上から除去する雌型除去アームを備え、
前記吸着ヘッドが、前記基板の搭載位置の接合端子に前記基板の搭載位置の接合端子の雌型を相対的に前後左右に擦り合わせることにより嵌め合わせ、その上から前記前記電子部品の接合端子の雌型に前記電子部品の接合端子を相対的に前後左右に擦り合わせることにより嵌め合わせることで、前記基板の搭載位置に対する前記電子部品の位置決めを行い、
さらに、前記吸着ヘッドが前記位置決めされた電子部品を上昇させて前記雌型除去アームで前記接合された雌型を除去し、前記吸着ヘッドの下降により前記電子部品を前記基板の搭載位置に搭載することを特徴とする電子部品搭載機。 - 請求項1記載の電子部品搭載機において、
前記基板の接合端子と前記電子部品の接合端子の位置とを認識する認識手段をそれぞれ備え、
前記電子部品を前記搭載位置に搭載するに際して、前記雌型を用いて位置決めする前に、前記各認識手段により、前記基板の接合端子と前記電子部品の接合端子の位置をそれぞれ認識して粗い位置決めがされていることを特徴とする電子部品搭載機。 - 請求項2に記載の電子部品搭載機において、
前記認識手段は、前記接合端子の位置を認識する画像認識装置を備えていることを特徴とする電子部品搭載機。 - 請求項2に記載の電子部品搭載機において、
前記認識手段は、前記接合端子の位置を認識するレーザ認識装置を備えていることを特徴とする電子部品搭載機。 - 請求項1から4のいずれか一つに記載の電子部品搭載機において、
前記雌型は透光性の部材からなることを特徴とする電子部品搭載機。 - 請求項1から5のいずれか一つに記載の電子部品搭載機において、
前記基板に代えて、前記電子部品と異なる電子部品に、前記電子部品を搭載することを特徴とする電子部品搭載機。 - 請求項1から6のいずれか一つに記載の電子部品搭載機において、
前記雌型の前記電子部品の接合端子もしくは前記基板の搭載位置の接合端子を嵌め合わせる部分が、前記電子部品の接合端子もしくは前記基板の搭載位置の接合端子よりも大きくされていることを特徴とする電子部品搭載機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000154813A JP4402810B2 (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 電子部品搭載機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000154813A JP4402810B2 (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 電子部品搭載機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001332899A JP2001332899A (ja) | 2001-11-30 |
JP4402810B2 true JP4402810B2 (ja) | 2010-01-20 |
Family
ID=18659846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000154813A Expired - Fee Related JP4402810B2 (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 電子部品搭載機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4402810B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4282724B2 (ja) | 2007-02-20 | 2009-06-24 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | マイクロボールマウンタ用の振込みマスク |
CN112927289B (zh) * | 2021-01-22 | 2023-03-24 | 深圳市晶科鑫实业有限公司 | 一种高精度振荡器烧录装置 |
-
2000
- 2000-05-25 JP JP2000154813A patent/JP4402810B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001332899A (ja) | 2001-11-30 |
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