JP2023089883A - 樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法 - Google Patents
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- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 110
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 110
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title claims abstract description 74
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 13
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 56
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 20
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 16
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 14
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 120
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
本発明は、樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法に関する。
特許文献1に示す半導体素子用の樹脂成形装置では、基板ローダに取り付けたカメラで撮像しながら、基板ローダの位置決め用穴に金型のパイロットピンを挿入して位置合わせをし、基板を金型に載置するように構成されている。そして、この位置合わせの後、樹脂で基板の封止を行っている。
上記のように半導体素子が固定された基板では、固定の前後のハンドリングや搬送の際に、基板の隅部が折れ曲がったり、割れ、脱落等の損傷が生じることがある。そして、このような損傷が生じた基板を金型に収容すると、樹脂材料の成形不良や、金型の破損が生じるおそれがある。
本発明は、この問題を解決するためになされたものであり、樹脂材料の成形不良や金型の破損を防止することができる、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る樹脂成形装置は、樹脂成形対象物が搬送される搬送路と、樹脂材料による成形に先立って、前記搬送路に少なくとも一部が配置された樹脂成形対象物を検査する検査部と、を備え、前記検査部は、前記搬送路の上方に配置され、前記樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラを備え、前記各カメラにより、前記搬送路上にある前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像するように構成されている。
本発明に係る樹脂成形品の製造方法は、樹脂材料による成形に先立って、少なくとも一部が搬送路にある樹脂成形対象物を、当該樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラによって撮像を行うステップと、前記撮像によって得られた画像に基づいて、良否判断を行うステップと、前記良否判断において、良品と判断された前記樹脂成形対象物を樹脂成形部に搬送するステップと、前記樹脂成形部において、前記樹脂成形対象物に対し樹脂成形を行うステップと、を備え、前記各カメラにより、前記搬送路上にある前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像するように構成されている。
本発明によれば、樹脂材料の成形不良や金型の破損を防止することができる。
以下、本発明に係る樹脂成形装置の一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。また、各図面は、理解の容易のために、適宜対象を省略又は誇張して模式的に描かれていることがある。
<1.樹脂成形装置の構成>
図1は、本実施形態に係る樹脂成形装置100の概略平面図である。樹脂成形装置100は、半導体チップ、抵抗素子、キャパシタ素子等の電子素子、樹脂封止済みの電子部品(以下、これらを合わせて電子部品と称することとする)が接続された基板(樹脂成形対象物)Wに圧縮成形により樹脂成形(樹脂封止)を施し、樹脂成形品を製造するように構成されている。より詳細に説明すると、基板Wの一方の面に電子部品を固定した後、この面を樹脂で封止する。その後、基板Wの他方の面に電子部品を固定した後、この面を樹脂で封止する。このように、基板Wの各面を樹脂で封止する際に、本実施形態に係る樹脂成形装置100が用いられ、電子部品の基板への固定は他の装置にて行われる。なお、以下の説明では、図1に示すX方向及びY方向にしたがって説明を行うこととする。また、検査部9については、後に詳述する。
図1は、本実施形態に係る樹脂成形装置100の概略平面図である。樹脂成形装置100は、半導体チップ、抵抗素子、キャパシタ素子等の電子素子、樹脂封止済みの電子部品(以下、これらを合わせて電子部品と称することとする)が接続された基板(樹脂成形対象物)Wに圧縮成形により樹脂成形(樹脂封止)を施し、樹脂成形品を製造するように構成されている。より詳細に説明すると、基板Wの一方の面に電子部品を固定した後、この面を樹脂で封止する。その後、基板Wの他方の面に電子部品を固定した後、この面を樹脂で封止する。このように、基板Wの各面を樹脂で封止する際に、本実施形態に係る樹脂成形装置100が用いられ、電子部品の基板への固定は他の装置にて行われる。なお、以下の説明では、図1に示すX方向及びY方向にしたがって説明を行うこととする。また、検査部9については、後に詳述する。
ここで用いられる基板Wの一例としては、シリコンウェーハ等の半導体基板、リードフレーム、プリント配線基板、金属製基板、樹脂製基板、ガラス製基板、セラミック製基板等を挙げることができる。基板Wは、FOWLP(Fan Out Wafer Level Packaging)、FOPLP(Fan Out Panel Level Packaging)に用いられるキャリアであってもよい。基板Wにおいては、配線が既に施されていてもよいし、配線が施されていなくてもよい。図2に示すように、基板Wは平面視矩形状に形成され、その四隅には、位置決め用の円形状の第1~第4貫通孔Wa~Wdがそれぞれ形成されている。
図1に示すように、樹脂成形装置100は、基板供給・収納モジュールA(以下、単に「モジュールA」とも称する。)と、2つの樹脂成形モジュールB(以下、単に「モジュールB」とも称する。)と、樹脂材料供給モジュールC(以下、単に「モジュールC」とも称する。)と、第1制御部14と、を有している。第1制御部としては、例えば、PLC(Programmable Logic Controller)、PC(Personal Computer)等を用いることができる。第1制御部14は、CPU(Central Processing Unit)、RAM(Random Access Memory)及びROM(Read Only Memory)等を含み、情報処理に応じてモジュールA~Cの各々の制御を行なうように構成されている。以下、各モジュールA~Cについて詳細に説明する。なお、モジュールの各々は、他のモジュールに着脱可能かつ交換可能である。また、樹脂成形装置100において、モジュールA~Cの各々は増減可能である。
<1-1.モジュールA>
モジュールAは、成形前基板Wの供給、及び成形済基板Wの収納を行うモジュールであり、基板供給部1と、基板収納部2と、基板載置部3と、基板搬送機構4と、検査部7と、を有している。基板供給部1は、成形前基板Wを基板載置部3上に供給するように構成されている。基板収納部2は、成形済基板W(樹脂成形品)を収納するように構成されている。基板載置部3は、一例として2枚の基板を載置できるようになっており、基板供給部1から検査部7を経た2枚の基板Wが載置されると、Y方向に移動する。また、基板載置部3は、基板供給部1に対応する位置と基板収納部2に対応する位置との間でY方向に移動するように構成されている。基板搬送機構4は、モジュールAとモジュールBとに亘って、X方向及びY方向に移動するように構成されており、例えば、モジュールAにおいて基板載置部3上の成形前基板Wを保持し、モジュールBに搬送する。あるいは、モジュールBで製造された成形済基板Wを、モジュールAの基板載置部3上に載置する。
モジュールAは、成形前基板Wの供給、及び成形済基板Wの収納を行うモジュールであり、基板供給部1と、基板収納部2と、基板載置部3と、基板搬送機構4と、検査部7と、を有している。基板供給部1は、成形前基板Wを基板載置部3上に供給するように構成されている。基板収納部2は、成形済基板W(樹脂成形品)を収納するように構成されている。基板載置部3は、一例として2枚の基板を載置できるようになっており、基板供給部1から検査部7を経た2枚の基板Wが載置されると、Y方向に移動する。また、基板載置部3は、基板供給部1に対応する位置と基板収納部2に対応する位置との間でY方向に移動するように構成されている。基板搬送機構4は、モジュールAとモジュールBとに亘って、X方向及びY方向に移動するように構成されており、例えば、モジュールAにおいて基板載置部3上の成形前基板Wを保持し、モジュールBに搬送する。あるいは、モジュールBで製造された成形済基板Wを、モジュールAの基板載置部3上に載置する。
<1-2.モジュールB>
各モジュールBは、樹脂材料の成形を行うモジュールであり、圧縮成形によって成形済基板W(樹脂成形品)を製造する圧縮成形部5を有している。この圧縮成形においては、例えば、黒色の粉粒体状(顆粒状を含む)の公知の樹脂材料Pが用いられる。圧縮成形部5は、上型52と、上型52に対向する下型51と、型締め機構53と、を有している。上型52は、下面に基板Wを保持するように構成されている。一方、下型51は、凹状のキャビティ51Cを形成するための底面部材と側面部材とを有している。すなわち、底面部材がキャビティ51Cの底面を構成し、側面部材がキャビティ51Cの側面を構成する。キャビティ51Cには、後述するように、モジュールCで準備された樹脂材料Pが配置される。そして、型締め機構53は、上型52と、樹脂材料Pが配置された下型51とを型締めするように構成されている。
各モジュールBは、樹脂材料の成形を行うモジュールであり、圧縮成形によって成形済基板W(樹脂成形品)を製造する圧縮成形部5を有している。この圧縮成形においては、例えば、黒色の粉粒体状(顆粒状を含む)の公知の樹脂材料Pが用いられる。圧縮成形部5は、上型52と、上型52に対向する下型51と、型締め機構53と、を有している。上型52は、下面に基板Wを保持するように構成されている。一方、下型51は、凹状のキャビティ51Cを形成するための底面部材と側面部材とを有している。すなわち、底面部材がキャビティ51Cの底面を構成し、側面部材がキャビティ51Cの側面を構成する。キャビティ51Cには、後述するように、モジュールCで準備された樹脂材料Pが配置される。そして、型締め機構53は、上型52と、樹脂材料Pが配置された下型51とを型締めするように構成されている。
<1-3.モジュールC>
モジュールCは、樹脂材料を供給するためのモジュールである。図1に示すように、モジュールCは、移動テーブル61と、樹脂材料収容部62と、樹脂材料供給部63と、を有している。移動テーブル61上には、離型フィルム(図示省略)が配置され、その上に枠状の樹脂材料収容部62が配置される。そして、この樹脂材料収容部62で囲まれる空間621に、樹脂材料供給部63から樹脂材料Pが供給される。空間621に樹脂材料Pが満遍なく敷き詰められたことを確認するためには、例えば、カメラ(図示省略)で樹脂材料Pを上方から撮影し、画像処理によりばらつきを確認することができる。ばらつきが確認された場合には、樹脂材料供給部63からの樹脂材料Pの供給方法を変更することができる。例えば、樹脂材料Pの不足が発生していなかった領域に供給する樹脂材料Pの量を減少させ、樹脂材料Pの不足が発生していた領域に供給する樹脂材料Pの量を増加させることができる。こうして、準備された樹脂材料PがモジュールBへ搬送され、基板Wに成形される。
モジュールCは、樹脂材料を供給するためのモジュールである。図1に示すように、モジュールCは、移動テーブル61と、樹脂材料収容部62と、樹脂材料供給部63と、を有している。移動テーブル61上には、離型フィルム(図示省略)が配置され、その上に枠状の樹脂材料収容部62が配置される。そして、この樹脂材料収容部62で囲まれる空間621に、樹脂材料供給部63から樹脂材料Pが供給される。空間621に樹脂材料Pが満遍なく敷き詰められたことを確認するためには、例えば、カメラ(図示省略)で樹脂材料Pを上方から撮影し、画像処理によりばらつきを確認することができる。ばらつきが確認された場合には、樹脂材料供給部63からの樹脂材料Pの供給方法を変更することができる。例えば、樹脂材料Pの不足が発生していなかった領域に供給する樹脂材料Pの量を減少させ、樹脂材料Pの不足が発生していた領域に供給する樹脂材料Pの量を増加させることができる。こうして、準備された樹脂材料PがモジュールBへ搬送され、基板Wに成形される。
<2.基板の検査部>
次に、モジュールAに設けられた基板Wの検査部7について、図3及び図4を参照しつつ説明する。図3は検査部をY方向から見た側面図、図4は検査部をX方向から見た側面図である。
次に、モジュールAに設けられた基板Wの検査部7について、図3及び図4を参照しつつ説明する。図3は検査部をY方向から見た側面図、図4は検査部をX方向から見た側面図である。
上記のように、基板Wには電子部品が固定されるが、その前後のハンドリングや搬送の際に、基板Wの隅部の折れ曲がり、貫通孔Wa~Wd周縁の基板Wの割れ、隅部の脱落等の不良が生じることがある。このような不良が生じると、モジュールBにおける型締めの際に、樹脂材料Pの成形不良や、金型の破損が生じるおそれがある。そこで、検査部7では、型締めに先立って、このような不良の発生を検査するようにしている。具体的には、不良が生じやすい第1~第4貫通孔Wa~Wdとその周囲を検査するようにしている。以下では、図2に示す基板Wの四隅の検査箇所を第1~第4検査箇所S1~S4と称することとする。これら第1~第4検査箇所S1~S4は、第1~第4貫通孔Wa~Wdとその周囲を含むように設定されている。
図1に示すように、検査部7は、基板供給部1と基板載置部3との間の搬送路に設けられており、基板供給部1から基板載置部3へ向かってX方向(搬送方向)に搬送される途中に基板Wの検査を行う。図3及び図4に示すように、搬送される基板Wの上方には、Y方向に間隔をおいて配置された第1カメラ71及び第2カメラ72が設けられている。これら第1カメラ71と第2カメラ72のY方向の間隔は、概ね基板WのY方向の幅と同じであり、第1カメラ71が基板Wの第1辺W1よりやや内側の直上に配置され、第2カメラ72が基板Wの第2辺W2よりやや内側の直上に配置されている。但し、両カメラ71,72のY方向の位置は調整可能であり、例えば、基板WのY方向の幅に合わせて、2つのカメラ71,72の間隔を調整可能となっている。
各カメラ71,72は、例えば、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサ又はCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサ等のイメージセンサを含んでいる。
各カメラ71,72の直下には、それぞれ第1及び第2照明部73,74が配置されている。各照明部73,74は、公知のリング照明により構成されており、リング状の筐体と、筐体の内部に配置されたLED等の光源とを有している。各カメラ71,72は、リング状の筐体の内部空間を介して基板Wの隅部を撮影するようになっている。
また、搬送される基板Wの下方にはバックライトユニット8が配置されている。このバックライトユニット8について、図5及び図6を参照しつつ説明する。図5はバックライトユニットの平面図、図6は図5のA-A線断面図である。
図5及び図6に示すように、バックライトユニット8は、ベースプレート81と、このベースプレート81上にY方向に間隔をおいて配置される一対の支持板82と、各支持板82によってそれぞれ支持される一対のバックライト83,84と、を有している。各バックライト83,84は、第1カメラ71及び第2カメラ72の概ね直下に配置されている。
ベースプレート81にはX方向及びY方向に並ぶ少なくとも4つの貫通孔811が形成されている。各貫通孔811には、ベースプレート81上の下面からネジ85が挿通されており、各ネジ85の先端は、ベースプレート81の上面から突出している。ベースプレート81上に配置される各支持板82には、Y方向に延びる2つのスリット85が平行に形成されている。各スリット85は、支持板82の下面側に形成された幅の狭い第1部位861と、第1部位861の上方に連続し、第1部位861よりも幅の広い第2部位862とを有している。そして、各ネジ85の先端は、下側から各スリット85の第1部位861に挿通され、第2部位862まで延びている。第2部位862において、各ネジ85の先端には、ナット87が取り付けられている。各ナット87の外径は第1部位861の幅よりも大きくなっており、これによってナット87が抜け止めになり、ベースプレート81から支持板82が離脱するのが防止されている。
以上の構成により、各支持板82は、ネジ85、スリット86、及びナット87がガイドになって、バックライト83,84とともにベースプレート81に対してY方向に往復動可能となっている。したがって、各バックライト83,84のY方向の位置は、各カメラ71,72の位置に合わせて調整可能となっている。
また、図3及び図4に示すように、検査部7には、第2制御部75、記憶部76、及びディスプレイ(表示部)77が設けられている。第2制御部75は、CPU、RAM及びROM等を含み、情報処理に応じてカメラ71,72、照明部73,74、バックライト83,84、ディスプレイ77等の制御を行なうように構成されている。記憶部76は、HDD,SSD等の公知の記憶媒体によって構成され、カメラ71,72で撮影された画像等が記憶される。また、ディスプレイ77には検査結果が表示される。
<3.基板の検査方法>
次に、上記のように構成された検査部7による基板の検査について、図7~図9を参照しつつ説明する。図7は検査のフローチャート、図8及び図9は検査工程を示す断面図である。
次に、上記のように構成された検査部7による基板の検査について、図7~図9を参照しつつ説明する。図7は検査のフローチャート、図8及び図9は検査工程を示す断面図である。
まず、基板供給部1から基板Wを基板載置部3に向けて搬送する。ここで搬送される基板Wの上面には、図示を省略するが電子部品が固定されている。そして、図8に示すように、基板Wを基板載置部3に搬送する過程で、第1及び第2検査箇所S1,S2が第1及び第2カメラ71,72の下方に配置されたときに基板Wを停止する(ステップS01)。このときの基板Wの位置を第1位置と称することとする。基板Wが第1位置で停止すると、第1カメラ71により第1検査箇所S1の撮影を行う(ステップS02)。このとき、第1カメラ71の撮影に同期して、第1照明部73及びバックライト83から光を照射する。バックライト83は主として基板Wの輪郭を目立たせるために用いられ、第1照明部73は、基板Wの損傷の有無を目立たせるために用いられる。撮影された画像は、記憶部76に記憶されるとともに、第2制御部75により良否の判断が行われる。
良否の判断については、種々の方法があるが、ここでは主として3種類の損傷について判断する。損傷のない正常状態では、撮像された画像は図10のようになる。すなわち、基板Wの隅部の輪郭が規定のラインL上にあり、且つ貫通孔Waに割れなどがなく、規定の位置に配置されている。
図11は基板の割れを示している。すなわち、基板Wの隅部に亀裂が生じており、撮像された画像から亀裂を検出した場合には、割れが生じたとみなし、不良品と判断する。
図12は基板の脱落を示している。すなわち、基板Wの隅部が欠けており、撮像された画像から欠けを検出した場合には、脱落が生じたとみなし、不良品と判断する。
図13は基板の折れ曲がりを示している。すなわち、基板Wの隅部が折れ曲がっている場合には、撮像された画像において、基板Wの隅部の輪郭が規定のラインLから外れるため、このような状態を検出した場合には、折れ曲がりが生じたとみなし、不良品と判断する。
図10~図13に示す画像はディスプレイに表示し、その都度良否を示すことができる。例えば、良品であれば、その旨を示す○、GOODなどの記号や文字を表示したり、不良品であれば、その旨を示す×、BADなどの記号や文字を表示することができる。なお、不良の検出のための画像処理の方法は特には限定されず、公知の方法を適宜適用することができる。例えば、撮影した画像を二値化し,欠け、亀裂、輪郭を検出することで、不良を判断することができる。また、亀裂及び脱落が生じた場合、基板W内の銅配線が露出するため、この銅配線を検出する波長の光(例えば、赤色の光)を第1照明部73及びバックライト83から照射した場合には、銅配線が露出している部分が白くなるような画像を取得できる。そのため、亀裂及び脱落の発生を容易に検出することができる。以上の良否判断は、第2~第4検査箇所S2~S4で撮像された画像の良否判断でも同じであるため、以下ではその説明を省略する。
次に、第2カメラ72により第2検査箇所S2の撮影を行う(ステップS03)。第1検査箇所S1の撮影と同様に、第2カメラ72の撮影に同期して、第2照明部74及びバックライト84から光を照射する。撮影された画像は、記憶部76に記憶されるとともに、上記と同様に第2制御部75により良否の判断が行われる。
続いて、図9に示すように、基板Wを基板載置部3側へ移動し、第3及び第4検査箇所S3,S4が第1及び第2カメラ71,72の下方に配置されたときに基板Wを停止する(ステップS04)。このときの基板Wの位置を第2位置と称することとする。基板Wが第2位置で停止すると、第1検査箇所S1の撮像と同様に、第1カメラ71により第3検査箇所S3の撮影を行う(ステップS05)。これに続いて、第2検査箇所の撮像と同様に、第2カメラ72により第4検査箇所S4の撮影を行う(ステップS06)。
こうして、4つの検査箇所S1~S4の撮影が終了すると、基板Wを基板載置部3に移動する。そして、第2制御部75において、4つの検査箇所S1~S4で撮影された画像に不良がないか否かを判断する(ステップS07)。一カ所でも不良があれば(ステップS07のNO)、ディスプレイ77に不良品である旨が表示されるため、作業者または装置の回収機構によって基板Wを回収する(ステップS08)。一方、4つの検査箇所S1~S4のいずれにも不良がない場合(ステップS07のYES)、基板載置部3に2個の良品の基板Wが載置されていれば(ステップS09のYES)、これらをモジュールBに搬送する(ステップS10)。基板載置部に1個しか基板Wが載置されていない場合には(ステップS09のNO)、もう1個の基板Wが搬送されるまで、上記と同様の工程を行う。そして、モジュールBにおいて、電子部品が形成されている面を、樹脂により封止する(ステップS11)。こうして、樹脂による成形が完了する。
以上の説明では、基板Wの一方の面に電子部品が固定され、この面を樹脂で封止する例を説明したが、このように樹脂による封止が行われた基板Wの他方の面には、他の装置において、電子部品が固定される。そして、その基板Wは再び基板供給部1に収容され、上記と同様の工程により、4つの検査箇所S1~S4の検査が行われた後、他の面を樹脂材料で封止する。
<4.特徴>
本実施形態に係る樹脂成形装置100によれば、次の効果を得ることができる。
本実施形態に係る樹脂成形装置100によれば、次の効果を得ることができる。
(1)樹脂材料Pによる成形に先立って、基板Wの四隅に損傷のある不良品を検出できるため、このような不良品を取り除くことができる。そのため、モジュールBにおける型締めの際に、このような不良品の発生に基づく、樹脂材料Pの成形不良や、型の破損が生じるのを防止することができる。
(2)カメラを2台設け、隣接する隅部を1カ所ずつ撮影しているため、各カメラ71,72の基板Wからの位置を低くすることができる。例えば、1台のカメラで2つの隅部を撮影しようとすると、図14に示すように、カメラ101の撮影範囲に2つの隅部が入るようにしなければならないため、カメラ101を基板Wから離れた高い位置に配置しなければならない。そうすると、樹脂成形装置100の構造によっては、カメラ101を配置できないおそれがある。これに対して、本実施形態のように、2台のカメラ71,72を用い、各カメラ71,72で各隅部を撮影するように構成すると、カメラ71,72の位置を低くすることができる。
(3)第1カメラ71で撮像を行うタイミングと第2カメラ72で撮影を行うタイミングとをずらしているため、照明部73,74やバックライト83,84による撮像画像に対する悪影響をなくすことができる。例えば、第1カメラ71と第2カメラ72で同時に撮像を行う場合、第1カメラ71の撮像に,第2照明部74の光が影響を及ぼし、適切な画像を取得できないおそれがある。これに対して、第1カメラ71及び第2カメラ72で撮影を行うタイミングをずらすと、隣の照明部73,74やバックライト83,84による影響を受けないため、適切な画像を撮像することができる。
(4)第1及び第2照明部73,74にはリング照明を採用しているため、検査箇所S1~S4に対して360度に亘って斜めから光を照射することができる。これにより、影が生じるのを抑制でき、検査を行いやすい画像を取得することができる。
(5)基板Wの良否をディスプレイ77で示すことができるため、作業者がその都度良否を視認することができる。
<5.変形例>
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、種々の変更が可能である。例えば、以下の変更が可能である。また、以下の変形例の要旨は適宜組み合わせることができる。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、種々の変更が可能である。例えば、以下の変更が可能である。また、以下の変形例の要旨は適宜組み合わせることができる。
(1)上記実施形態で示した基板は一例であり、種々の形態の基板に対して検査を行うことができる。例えば、貫通孔Wa~Wdの位置や数は特には限定されず、基板Wの周縁のいずれかに形成されていればよい。また、貫通孔が形成されていない基板Wであってもよく、このような基板Wであっても、周縁部は損傷しやすいため、検査を行うことには意義がある。
(2)検査箇所S1~S4は、上記実施形態に限定されるものではなく、四隅以外の他の位置を検査してもよい。例えば、四隅以外に貫通孔が形成されている場合には、その貫通孔が形成されている位置を検査してもよい。また、貫通孔が形成されていない箇所であってもよく、基板Wの周縁、例えば、第1辺W1及び第2辺W2のいずれかの位置の検査を行うこともできる。したがって、検査箇所は、上記実施形態のような4つに限定されず、3以下、または5以上であってもよい。そして、検査箇所の数に合わせて、基板をその都度停止し、撮像を行えばよい。
(3)上記実施形態では、2台のカメラ71,72をY方向に並べて配置しているが、これに限定されるものではなく、例えば、図15に示すように、2台のカメラ71,72をX方向にずらして配置することもできる。例えば、Y方向の幅が狭い基板では、第1照明部73と第2照明部74とが干渉したり、あるいは2台のカメラ71,72が干渉するおそれがあるが、図15に示すようにカメラ71,72を配置すると、このような干渉を防止することができる。すなわち、2台のカメラ71,72は搬送方向と直交する方向だけでなく、交差する方向に間隔をおいて配置されていればよい。但し、このように2台のカメラ71,72のX方向の位置をずらすと、四隅を撮像するには、基板Wを4回停止する必要がある。また、必要に応じて3台以上のカメラを用いることもできる。
(4)第1及び第2照明部73,74としては、リング照明以外でも適用可能であり、例えば、同軸照明、ドーム照明、バー照明などを適用することができる。なお、バックライト83,84を設けないようにすることもできる。
(5)上記実施形態では、第1及び第2カメラの撮像のタイミングをずらしているが、同時に撮影を行うこともできる。但し、上述したような照明部による悪影響を低減するため、2つのカメラ71,72、照明部73,74等の間に仕切りなどを設けることが好ましい。
(6)上記実施形態では、圧縮成形による樹脂成形を行う樹脂成形装置について説明したが、トランスファ成形にて樹脂成形を行う樹脂成形装置にも適用することができる。
71 第1カメラ
72 第2カメラ
73 第1照明部(上部照明部)
74 第2照明部(上部照明部)
77 ディスプレイ(表示部)
83,84 バックライト(下部照明部)
100 樹脂成形装置
W 基板
72 第2カメラ
73 第1照明部(上部照明部)
74 第2照明部(上部照明部)
77 ディスプレイ(表示部)
83,84 バックライト(下部照明部)
100 樹脂成形装置
W 基板
Claims (8)
- 樹脂成形対象物が搬送される搬送路と、
樹脂材料による成形に先立って、前記搬送路に少なくとも一部が配置された樹脂成形対象物を検査する検査部と、
を備え、
前記検査部は、前記搬送路の上方に配置され、前記樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラを備え、
前記各カメラにより、前記搬送路上にある前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像するように構成されている、樹脂成形装置。 - 前記搬送方向と交差する方向において、前記2つのカメラの間隔を変更可能に構成されている、請求項1に記載の樹脂成形装置。
- 前記2つのカメラは、前記樹脂成形対象物の各側部を、異なるタイミングで撮像するように構成されている、請求項1または2に記載の樹脂成形装置。
- 前記検査部は、前記樹脂成形対象物に上方から撮像用の光を照射する2つの上部照明部をさらに備え、
前記各上部照明部は、前記2つのカメラのそれぞれに対応するように配置され、
前記搬送方向と直交する方向において、前記2つの上部照明部の間隔を変更可能に構成されている、請求項1から3のいずれかに記載の樹脂成形装置。 - 前記検査部は、前記樹脂成形対象物に下方から撮像用の光を照射する下部照明部をさらに備え、
前記各下部照明部は、前記2つのカメラのそれぞれに対応するように配置され、
前記搬送方向と直交する方向において、前記2つの下部照明部の間隔を変更可能に構成されている、請求項1から3のいずれかに記載の樹脂成形装置。 - 前記カメラにより撮像した画像と、前記画像に基づく前記樹脂成形対象物の良否判断結果と、を表示する表示部をさらに備えている、請求項1から5のいずれかに記載の樹脂成形装置。
- 樹脂材料による封止に先立って、少なくとも一部が搬送路にある樹脂成形対象物を、当該樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラによって撮像を行うステップと、
前記撮像によって得られた画像に基づいて、良否判断を行うステップと、
前記良否判断において、良品と判断された前記樹脂成形対象物を樹脂成形部に搬送するステップと、
前記樹脂成形部において、前記樹脂成形対象物に対し樹脂成形を行うステップと、
を備え、
前記各カメラにより、前記搬送路上にある前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像するように構成されている、樹脂成形品の製造方法。 - 前記撮像を行うステップでは、一方の面に樹脂成形がなされた前記樹脂成形対象物の撮像を行い、
前記樹脂成形を行うステップでは、前記樹脂成形対象物の他方の面に樹脂成形を行う、請求項7に記載の樹脂成形品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021204675A JP2023089883A (ja) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | 樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法 |
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JP2021204675A JP2023089883A (ja) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | 樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法 |
Publications (1)
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ID=86936493
Family Applications (1)
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JP2021204675A Pending JP2023089883A (ja) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | 樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2023089883A (ja) |
-
2021
- 2021-12-16 JP JP2021204675A patent/JP2023089883A/ja active Pending
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