JP2018001535A - マルチポイントダイヤモンドツール及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】スクライブすることでポイントが摩耗してもツールの交換回数を少なくし、外切りでスクライブを終了する場合に隣接する他のポイントにダメージを与えないようにすること。【解決手段】ダイヤモンドツール１０のベース１１の２つの外周面に挟まれた角において第１，第２の天面１５ａ〜１５ｈを形成する。又両側面より一部が天面と重なるように傾斜面１６ａ〜１６ｈ，１７ａ〜１７ｈを形成し、天面と稜線の交点をポイントとする。こうすれば天面を先行させ稜線を後方側とするスクライブにおいても、外切りスクライブで終了する際に隣接する他のポイントにダメージを与えることはない。【選択図】図３

Description

本発明はガラス基板やシリコンウエハ等の脆性材料基板をダイヤモンドポイントによってスクライブするためのマルチポイントダイヤモンドツール及びその製造方法に関するものである。

従来ガラス基板やシリコンウエハをスクライブするために、スクライビングホイールや単結晶ダイヤモンドによるダイヤモンドポイントを用いたツールが用いられている。ガラス基板に対しては、主に基板に対して転動させるスクライビングホイールが用いられてきたが、スクライブ後の基板の強度が向上するなどの利点より、固定刃であるダイヤモンドポイントの使用も検討されてきている。特許文献１，２にはサファイアウエハやアルミナウエハ等の硬度の高い基板をスクライブするためのポイントカッターが提案されている。これらの特許文献には、角錐の稜線上にカットポイントを設けたツールや、先端が円錐になったツールが用いられている。又特許文献３にはガラス板をスクライブするために円錐形の先端を有するガラススクライバを用いたスクライブ装置が提案されている。

特開２００３−１８３０４０号公報 特開２００５−０７９５２９号公報 特開２０１３−０４３７８７号公報

従来の固定刃であるツールでスクライブを進めていくとポイントが摩耗するため、ポイントを変更する必要がある。角錐形や円錐形のツールでは使用可能な頂点となるポイントは２箇所又は最大で４箇所である。従って２箇所又は４箇所のポイントを変更するとツールを交換する必要があり、交換頻度が高くなるという問題点があった。また、ツールによるスクライブにおいては、ポイントが基板に対して適切な角度で接触する必要がある。しかし、従来のツールでは、ポイントを変更する場合ツールを軸方向に回転させる必要があり、この接触角度を精度良く調整することが容易ではなかった。

そこで図１に示すように角柱状のツールの各頂点を両側面より重なり合うように研磨して傾斜面を形成し、傾斜面の交線の両側をポイントＰ１，Ｐ２・・・としたスクライビングツール１００が考えられる。このようなスクライビングツールを用い、図１（ａ）に示すように稜線を先行させポイントＰ１を基板１０１に押し当ててスクライブする場合には、基板の端部を通過するようにスクライブする、いわゆる外切りで基板１０１にスクライブを終了した場合であっても隣接する他方のポイントＰ２には損傷を与えることはない。

しかし図１（ｂ）に示すように、ポイントＰ２を用いて稜線を後方とするように前方に傾けて外切りスクライブをする場合には、外切りを終了したときに使用していないポイントＰ１も基板１０１の面に接触し損傷する可能性があるという問題点がある。

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブに使用しているポイントが摩耗しても容易にポイント位置を変更して交換頻度を少なくすることができ、スクライブを外切りで終了した場合もツールの隣接する他のポイントに損傷を与えることのないダイヤモンドツール及びその製造方法を提供することを目的とする。

この課題を解決するために、本発明のマルチポイントダイヤモンドツールは、所定の厚さを有する角柱状であって、２つの側面と複数の外周面を有するベースと、前記ベースの少なくとも第１の外周面と隣接する第２の外周面との間に設けられた第１，第２の天面と、前記第１，第２の天面と、前記ベースの一側面と、前記第１，第２の外周面に挟まれるように設けられた第１，第２の傾斜面と、前記第１，第２の天面と、前記ベースの他の側面と、前記第１，第２の外周面に挟まれるように設けられた第３，第４の傾斜面と、前記第１，第３の傾斜面の交線である第１の稜線と、前記第２，第４の傾斜面の交線である第２の稜線と、を有し、前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、前記第１の天面と第１の稜線、及び第２の天面と第２の稜線で形成される点をポイントとするものである。

上記のマルチポイントダイヤモンドツールは、少なくとも第１の外周面について隣り合う第２の外周面との間に第１の天面を形成し、前記第２の外周面について前記第１の天面との間に第２の天面を形成し、前記第１の外周面及び前記第１の天面との間を一方の側面に向けて研磨して第１の傾斜面を形成し、前記第２の外周面及び前記第２の天面との間を一方の側面に向けて研磨して第２の傾斜面を形成し、前記第１の外周面及び前記第１の天面との間を他方の側面に向けて研磨して第３の傾斜面を形成し、前記第２の外周面及び前記第２の天面との間を他方の側面に向けて研磨して第４の傾斜面を形成することにより製造するものである。

この課題を解決するために、本発明のマルチポイントダイヤモンドツールは、所定の厚さを有する角柱状であって、２つの側面と複数の外周面を有するベースと、前記ベースの少なくとも第１の外周面と隣接する第２の外周面との間に設けられた第１，第２の天面と、前記第１，第２の天面と、前記ベースの一側面と、前記第１，第２の外周面に挟まれるように設けられた第１，第２の傾斜面と、前記第１，第２の天面と、前記ベースの他の側面と、前記第１，第２の外周面に挟まれるように設けられた第３，第４の傾斜面と、前記第１，第３の傾斜面の交線である第１の稜線と、前記第２，第４の傾斜面の交線である第２の稜線と、前記第１，第２の傾斜面と第１，第２の天面の間に設けられた第５の傾斜面と、前記第３，第４の傾斜面と第１，第２の天面の間に設けられた第６の傾斜面と、を有し、前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、前記第１の天面と第１の稜線、及び第２の天面と第２の稜線で形成される点をポイントとするものである。

上記のマルチポイントダイヤモンドツールは、前記ベースの厚みの一方の１／２以内の範囲で隣接する第１，第２の外周面と一方の側面との間に、前記第１，第２の外周面の交差する稜線に向けて研磨して第５の傾斜面を形成し、前記ベースの厚みの他方の１／２以内の範囲で前記第１，第２の外周面と他方の側面との間に、前記第１，第２の外周面の交差する稜線に向けて研磨して第６の傾斜面を形成し、少なくとも前記第１の外周面について前記第２の外周面、前記第５の傾斜面および前記第６の傾斜面との間に第１の天面を形成し、前記第２の外周面について前記第１の天面、前記第５の傾斜面および前記第６の傾斜面との間に第２の天面を形成し、前記第１の外周面、前記第１の天面及び前記第５の傾斜面との間を一方の側面に向けて研磨して第１の傾斜面を形成し、前記第２の外周面、前記第２の天面及び前記第５の傾斜面との間を一方の側面に向けて研磨して第２の傾斜面を形成し、前記第１の外周面、前記第１の天面及び前記第６の傾斜面との間を他方の側面に向けて研磨して第３の傾斜面を形成し、前記第２の外周面、前記第２の天面及び前記第６の傾斜面との間を他方の側面に向けて研磨して第４の傾斜面を形成することにより製造するものである。

このような特徴を有する本発明によれば、ダイヤモンドツールの側面の両側にポイントを設けることができる。従って１つのポイントが摩耗しても別の新たなポイントを使用することができ、ダイヤモンドツールの交換頻度を少なくすることができるという効果が得られる。又天面を先とし、稜線を後となるようにダイヤモンドツールを走行させてスクライブし、スクライブを外切りで終了した場合であっても、ダイヤモンドツールの他のポイントに損傷を与えることがないという効果が得られる。

図１は角柱状で幅方向に２つのポイントを持つダイヤモンドツールを用いたスクライブを示す側面図である。 図２は本発明の第１の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの製造過程を示す側面図及び正面図である。 図３は本発明の第１の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの側面図及び正面図である。 図４は第１の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールを用いたスクライブを示す側面図である。 図５は本発明の第２の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの製造過程を示す正面図である。 図６は本発明の第２の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの側面図及び正面図である。 図７は本発明の第３の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの平面図、側面図及び正面図である。

次に本発明の第１の実施の形態について説明する。図２は本実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツール（以下、単にダイヤモンドツールという）１０の製造過程を示す側面図及び正面図、図３は加工を終えたダイヤモンドツール１０の側面図及び正面図である。このダイヤモンドツール１０は一定の厚さで任意の数の辺から成る多角形の角柱をベース１１とする。この実施の形態では、一定厚さの正四角形のベース１１を単結晶ダイヤモンドにより構成している。ベース１１は厚さ方向に垂直な軸（図２（ａ）については紙面に垂直な軸）に平行な四方の外周面１３ａ〜１３ｄと、軸に垂直な側面１４ａ，１４ｂを有している。

さて本実施の形態では、ベース１１に対して図２（ｂ）に示すように１つの外周面１３ａについて外周面１３ａより隣接する外周面１３ｂに向けて研磨してベースの角部に第１の天面１５ａを形成する。続いて、外周面１３ｂより隣接する外周面１３ａに形成された第１の天面１５ａに向けて研磨して第２の天面１５ｂを形成する。第１の天面１５ａ、第２の天面１５ｂは外周面１３ａ，１３ｂに挟まれた角部に隣接して形成される。同様にして外周面１３ｂより隣接する外周面１３ｃに向けて研磨して第１の天面１５ｃを形成し、外周面１３ｃより外周面１３ｂに形成された隣接する第１の天面１５ｃに向けて研磨して、第２の天面１５ｄを形成する。図２（ｂ）に示されていないが、同様にして外周面１３ｃから隣接する外周面１３ｄに向けて研磨して第１の天面１５ｅを形成し、外周面１３ｄより外周面１３ｂに形成された隣接する第１の天面１５ｅに向けて研磨して、第２の天面１５ｆを形成する。同様に外周面１３ｄと外周面１３ａとの間についても天面１５ｇ，１５ｈを形成する。これにより、四角柱の各外周面に挟まれた各角部に、互いに隣接する第１，第２の天面が形成される。

次に図３（ａ）に示すように外周面１３ａと天面１５ａとの間を側面１４ａに向けて研磨して第１の傾斜面１６ａを形成する。同様に外周面１３ｂと天面１５ｂとの間を側面１４ａに向けて研磨して第２の傾斜面１６ｂを形成する。他方の側面１４ｂについても、外周面１３ａと天面１５ａの間、外周面１３ｂと天面１５ｂとの間を、側面１４ｂに向けて研磨して第３，第４の傾斜面１７ａ，１７ｂを形成する。このとき第１，第３の傾斜面１６ａと１７ａは互いに交わるように研磨し、第２，第４の傾斜面１６ｂと１７ｂは互いに交わるように研磨する。こうすれば外周面１３ａについて傾斜面１６ａと１７ａが交わってベース１１の厚さ方向の中間、好ましくは図３（ｂ）に示すように中央位置に、側面に対して平行な第１の稜線１８ａが形成される。同様にして傾斜面１６ｂと１７ｂが交わってベース１１の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、側面に対して平行な第２の稜線１８ｂが形成されることとなる。これにより、外周面１３ａ、外周面１３ｂに挟まれる角部には、第１，第３の傾斜面１６ａと１７ａにより形成される第１の稜線１８ａと、天面１５ａからなるポイントＰ１が形成される。同様に、第２，第４の傾斜面１６ｂと１７ｂにより形成される第２の稜線１８ｂと、天面１５ｂからなるポイントＰ２が形成される。

次に外周面１３ｂ、外周面１３ｃと天面１５ｃ，１５ｄとの間を側面１４ａから研磨して第１，第２の傾斜面１６ｃ，１６ｄを形成する。又他方の側面１４ｂからも外周面１３ｂ、外周面１３ｃと天面１５ｃ，１５ｄとの間を研磨して第３，第４の傾斜面１７ｃ，１７ｄを形成する。このとき傾斜面１６ｃと１７ｃは互いに交わるように研磨し、傾斜面１６ｄと１７ｄは互いに交わるように研磨する。こうすれば外周面１３ｂについて、第１，第３の傾斜面１６ｃと１７ｃが交わってベース１１の厚さ方向の中間、好ましくは図３（ｂ）に示すように中央位置に、側面に対して平行な第１の稜線１８ｃが形成される。同様にして第２，第４の傾斜面１６ｄと１７ｄが交わってベース１１の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、側面に対して平行な第２の稜線１８ｄが形成されることとなる。

同様に外周面１３ｃ、外周面１３ｄと天面１５ｅ，１５ｆとの間を側面１４ａより研磨して第１，第２の傾斜面１６ｅ，１６ｆを形成する。外周面１３ｃ、外周面１３ｄと天面１５ｅ，１５ｆとの間を側面１４ｂから研磨して第３，第４の傾斜面１７ｅ，１７ｆを形成する。この場合も傾斜面１６ｅと１７ｅは互いに交わるように研磨し、傾斜面１６ｆと１７ｆは互いに交わるように研磨する。こうすれば外周面１３ｃについて、第１，第３の傾斜面１６ｅと１７ｅが交わってベース１１の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、第１の稜線１８ｅが形成される。同様にして第２，第４の傾斜面１６ｆと１７ｆが交わってベース１１の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、第２の稜線１８ｆが形成されることとなる。

同様に外周面１３ｄ、外周面１３ａと天面１５ｇ，１５ｈとの間を側面１４ａより研磨して第１，第２の傾斜面１６ｇ，１６ｈを形成し、側面１４ｂより研磨して第３，第４の傾斜面１７ｇ，１７ｈを形成する。この場合も傾斜面１６ｇと１７ｇ、１６ｈと１７ｈが互いに交わるように研磨する。同様にして外周面１３ｄについても第１，第３の傾斜面１６ｇと１７ｇが交わってベース１１の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、第１の稜線１８ｇが形成される。同様にして第２，第４の傾斜面１６ｈと１７ｈが交わってベース１１の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、第２の稜線１８ｈが形成されることとなる。

このように外周面と天面との間を両側面１４ａ，１４ｂからそれぞれ研磨して一対の傾斜面と稜線１８ａ〜１８ｈを形成する。こうすれば外周面１３ａと外周面１３ｂに挟まれる角部において、天面１５ａと稜線１８ａで形成される交点がポイントＰ１となり、天面１５ｂと稜線１８ｂの交点がポイントＰ２となる。外周面１３ｂと外周面１３ｃの間の角部においても、天面１５ｃと稜線１８ｃで形成される交点がポイントＰ３となり、天面１５ｄと稜線１８ｄの交点がポイントＰ４となる。他の外周面についても同様である。ここではベース１１は四方に外周面を有するため、各角部毎にポイントを夫々２つ、８箇所のポイントＰ１〜Ｐ８を形成することができる。

このような傾斜面はレーザ加工によって容易に形成することができる。また、レーザ加工の後にさらに機械研磨を行い、稜線を形成する部分をより精密な研磨面としてもよい。

次にこの実施の形態のダイヤモンドツール１０を用いてスクライブする場合について、図４を用いて説明する。基板３０をスクライブする際には、図４（ａ）に示すように稜線と基板３０に対するダイヤモンドツール１０の角度が垂直から反時計方向となり、且つ紙面に垂直な方向からダイヤモンドツール１０を少し傾け、１つのポイントＰ１を基板３０に対して接するように固定してダイヤモンドツール１０を図示の矢印Ａ方向に移動させ、スクライブを行う。このときポイントＰ１の天面１５ａが進行方向前方となり、稜線１８ａが後方となるようにスクライブを行う。このスクライブの間にダイヤモンドツール１０は転動させないので、同じポイントＰ１でスクライブすることとなる。そして基板３０の端部までダイヤモンドツールを走行させて外切りでスクライブを終了しても、同じ角部に形成された他のポイントＰ２は先行しているため、ダイヤモンドツール１０が基板３０の位置から図示のように離れても他のポイントＰ２を損傷することはない。

天面を先行させて稜線は後となるようにスクライブを行う場合には、スクライブ荷重など種々の条件を広い範囲でとることができ有効である。又基板に垂直クラックを伴わないスクライブラインを形成する場合に、外切りでスクライブを終了させることで基板の端部を基点にスクライブライン直下にクラックを発生させるなどの効果を得ることもできる。本実施の形態によればこの場合にも他のポイントに損傷を与えることなく外切りが実行できる。

ここでは図４（ａ）に示すように天面を先行させ稜線を後となるようにスクライブしているが、図４（ｂ）に示すようにダイヤモンドツール１０を逆方向に傾け、ポイントＰ２を用いてスクライブしてよいことはいうまでもない。この場合にはポイントＰ１が損傷する可能性があるので、外切りでスクライブを終了させないようにする。

基板３０に接しているポイントＰ１が摩耗により劣化した場合には、ダイヤモンドツール１０を９０°回転させ、ポイントＰ３を基板３０に接触させて同様にしてスクライブを行う。この場合も天面１５ｃが進行方向となり、稜線１８ｃが後方となるようにスクライブを行う場合に、外切りでスクライブを終了してもポイントＰ６を損傷することがない。又ダイヤモンドツール１０を９０°回転させても、刃先の稜線が基板に接触する角度は変わらないため、ポイント交換時の基板に対する接触角度を設定することが容易である。

又ポイントＰ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７の４箇所のポイントが全て摩耗すると、ダイヤモンドツール１０を反転させ、稜線と脆性材料基板との所定の角度となるよう再度固定して他方の側面のポイントＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８を順次接触させてスクライブを行う。こうすれば更に４回ポイント位置を変化させてスクライブを行うことができ、合計８回ポイントを交換してスクライブを行うことができる。

次に本発明の第２の実施の形態によるダイヤモンドツール４０について説明する。図５はこの実施の形態の製造過程を示す正面図、図６はダイヤモンドツール４０の側面図及び正面図であり、第１の実施の形態と同一部分は同一符号を付している。この第２の実施の形態では、まず図５（ａ）に示すように側面１４ａから外周面１３ａ，１３ｂの交差する稜線に向けて研磨してベースの厚さ１／２以内の範囲で第５の傾斜面４１ａを形成する。次にこれと対称に側面１４ｂから外周面１３ａ，１３ｂの交差する稜線に向けてベースの厚さの１／２以内の範囲で第６の傾斜面４２ａを形成する。次に側面１４ａから外周面１３ｂ，１３ｃの交差する稜線に向けて研磨してベースの厚さ１／２以内の範囲で第５の傾斜面４１ｂを形成する。次にこれと対称に側面１４ｂから外周面１３ｂ，１３ｃの交差する稜線に向けてベースの厚さの１／２以内の範囲で第６の傾斜面４２ｂを形成する。又側面１４ａから外周面１３ｃ，１３ｄの交差する稜線に向けて研磨してベースの厚さ１／２以内の範囲で第５の傾斜面４１ｃを形成する。次にこれと対称に側面１４ｂから外周面１３ｃ，１３ｄに向けてベースの厚さの１／２以内の範囲で第６の傾斜面４２ｃを形成する。更に側面１４ａから外周面１３ｄ，１３ａに向けて研磨してベースの厚さ１／２以内の範囲で第５の傾斜面４１ｄを形成する。次にこれと対称に側面１４ｂから外周面１３ｄ，１３ａに向けてベースの厚さの１／２以内の範囲で第６の傾斜面４２ｄを形成する。

次いで前述した第１の実施の形態と同じく図５（ｂ）に示すように、１つの外周面１３ａから隣接する外周面１３ｂに向けて第１の天面１５ａを形成する。続いて、前述した第１の実施の形態と同様に天面１５ｂ〜１５ｈを形成する。次に図６（ｂ）に示すように外周面１３ａと天面１５ａ、第５の傾斜面４１ａとの間を側面１４ａに向けて研磨して第１の傾斜面１６ａを形成する。続いて外周面１３ａと天面１５ａ、第６の傾斜面４２ａとの間を側面１４ｂに向けて研磨して第２の傾斜面１７ａを形成し、第１の傾斜面１６ａと第２の傾斜面１７ａとの交線を稜線１８ａとする。他の天面１５ｂ〜１５ｈについても同様に、第１の傾斜面１６ｂ〜１６ｈ、第２の傾斜面１７ｂ〜１６ｈ、稜線１８ｂ〜１８ｈを形成する。

こうすれば各天面１５ａ〜１５ｈは第１の実施の形態と比較して小さな面積の五角形となる。天面は精密に加工することが必要であるため、面積が小さいほど天面の研磨時間、研磨量を少なくすることができ、ダイヤモンドツール４０の製造工程を合理化することができる。

ダイヤモンドツール４０のポイントＰ１を用いてスクライブする場合も、ポイントＰ１が摩耗により劣化すると、ダイヤモンドツール１０を９０°ずつ回転させてポイントＰ３，Ｐ５，Ｐ７を順次用いる。４箇所のポイントが全て摩耗すると、ダイヤモンドツール１０を反転させる。そして稜線と脆性材料基板がなす角度が一定となるようにポイントＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８を順次接触させ、反転後も計４回ポイント位置を変化させてスクライブを行う。このようにすると合計８回ポイントを変化させてスクライブを行うことができる。

次に本発明の第３の実施の形態について説明する。前述した第１，２の実施の形態では正四角形のベースを用いているが、任意の辺数の多角形をベースとしてもよい。また夫々のベースの周囲に８箇所のポイントを設けているが、少なくとも多角形の１つの角において、対向する外周面にそれぞれ１個のポイントを有するものであればよい。第３の実施の形態では、図７に示すように三角形のベース６１を用いている。ベース６１は軸に垂直な三方の外周面６３ａ，６３ｂ，６３ｃと側面６４ａ，６４ｂを有している。そして外周面６３ａに前述した第１，第２の実施の形態と同様に、第１の天面６５ａ，第１の傾斜面６６ａ，第３の傾斜面６７ａと、第１の稜線６８ａを形成する。又外周面６３ｂに第２の天面６５ｂ，第２の傾斜面６６ｂ，第４の傾斜面６７ｂ，第２の稜線６８ｂを形成する。こうすれば２つのポイントＰ１，Ｐ２のみを有するダイヤモンドツール６０を形成することができる。

前述した第１，第２の実施の形態では周囲に８箇所のポイントを設けているが、必ずしも全ての角に傾斜面とポイントを設ける必要はない。しかし隣接するポイントが互いに干渉しない範囲で外周部にはなるべく多くのポイントを設けておくことが好ましい。これにより各ポイントが摩耗したときダイヤモンドツールを回転させるだけでポイントを交換することができ、ダイヤモンドツールの交換頻度を少なくすることができる。また、ベースの形状は三角形や四角形に限られず、六角形や八角形など任意の多角形とすることができる。

又前述した実施の形態ではベース全体を単結晶ダイヤモンドで構成しているが、脆性材料基板と接触する表面部分がダイヤモンドであれば足りるため、超硬合金や焼結ダイヤモンド製を用いて形成されたベースの外周面及び稜線の表面に多結晶ダイヤモンド層を形成し、これをさらに精密に研磨してポイントを形成してもよい。また、ボロン等の不純物をドープし、導電性を持たせた単結晶または多結晶ダイヤモンドを使用してもよい。導電性を有するダイヤモンドを用いることで、放電加工により傾斜面や貫通孔を容易に形成することができる。

又、前述した実施の形態ではダイヤモンドツールを各ポイントにおいて天面を先行させて稜線は後となるようにスクライブすることとしているが、各ポイントの稜線を先行させ天面が後となるようにスクライブしてもよい。

本発明のマルチポイントダイヤモンドツールは脆性材料基板をスクライブするスクライブ装置に用いることができ、特にダイヤモンドツールの摩耗が多くなる硬度の高いスクライブ対象にも有効に使用することができる。

１０，４０，６０ マルチポイントダイヤモンドツール
１１ ベース
１３ａ〜１３ｄ，６３ａ〜６３ｃ 外周面
１４ａ，１４ｂ，６４ａ，６４ｂ 側面
１５ａ，１５ｃ，１５ｅ，１５ｇ，６５ａ 第１の天面
１５ｂ，１５ｄ，１５ｆ，１５ｈ，６５ｂ 第２の天面
１６ａ，１６ｃ，１６ｅ，１６ｇ，６６ａ 第１の傾斜面
１６ｂ，１６ｄ，１６ｆ，１６ｈ，６６ｂ 第２の傾斜面
１７ａ，１７ｃ，１７ｅ，１７ｇ，６７ａ 第３の傾斜面
１７ｂ，１７ｄ，１７ｆ，１７ｈ，６７ｂ 第４の傾斜面
１８ａ，１８ｃ，１８ｅ，１８ｇ，６８ａ 第１の稜線
１８ｂ，１８ｄ，１８ｆ，１８ｈ，６８ｂ 第２の稜線
４１ａ〜４１ｄ 第５の傾斜面
４２ａ〜４２ｄ 第６の傾斜面
Ｐ１〜Ｐ８ ポイント

Claims (4)

1. 所定の厚さを有する角柱状であって、２つの側面と複数の外周面を有するベースと、
   前記ベースの少なくとも第１の外周面と隣接する第２の外周面との間に設けられた第１，第２の天面と、
   前記第１，第２の天面と、前記ベースの一側面と、前記第１，第２の外周面に挟まれるように設けられた第１，第２の傾斜面と、
   前記第１，第２の天面と、前記ベースの他の側面と、前記第１，第２の外周面に挟まれるように設けられた第３，第４の傾斜面と、
   前記第１，第３の傾斜面の交線である第１の稜線と、
   前記第２，第４の傾斜面の交線である第２の稜線と、を有し、
   前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、
   前記第１の天面と第１の稜線、及び第２の天面と第２の稜線で形成される点をポイントとするマルチポイントダイヤモンドツール。
2. 所定の厚さを有する角柱状であって、２つの側面と複数の外周面を有するベースと、
   前記ベースの少なくとも第１の外周面と隣接する第２の外周面との間に設けられた第１，第２の天面と、
   前記第１，第２の天面と、前記ベースの一側面と、前記第１，第２の外周面に挟まれるように設けられた第１，第２の傾斜面と、
   前記第１，第２の天面と、前記ベースの他の側面と、前記第１，第２の外周面に挟まれるように設けられた第３，第４の傾斜面と、
   前記第１，第３の傾斜面の交線である第１の稜線と、
   前記第２，第４の傾斜面の交線である第２の稜線と、
   前記第１，第２の傾斜面と第１，第２の天面の間に設けられた第５の傾斜面と、
   前記第３，第４の傾斜面と第１，第２の天面の間に設けられた第６の傾斜面と、を有し、
   前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、
   前記第１の天面と第１の稜線、及び第２の天面と第２の稜線で形成される点をポイントとするマルチポイントダイヤモンドツール。
3. 請求項１記載のマルチポイントダイヤモンドツールの製造方法であって、
   少なくとも第１の外周面について隣り合う第２の外周面との間に第１の天面を形成し、
   前記第２の外周面について前記第１の天面との間に第２の天面を形成し、
   前記第１の外周面及び前記第１の天面との間を一方の側面に向けて研磨して第１の傾斜面を形成し、
   前記第２の外周面及び前記第２の天面との間を一方の側面に向けて研磨して第２の傾斜面を形成し、
   前記第１の外周面及び前記第１の天面との間を他方の側面に向けて研磨して第３の傾斜面を形成し、
   前記第２の外周面及び前記第２の天面との間を他方の側面に向けて研磨して第４の傾斜面を形成するマルチポイントダイヤモンドツールの製造方法。
4. 請求項２記載のマルチポイントダイヤモンドツールの製造方法であって、
   前記ベースの厚みの一方の１／２以内の範囲で隣接する第１，第２の外周面と一方の側面との間に、前記第１，第２の外周面の交差する稜線に向けて研磨して第５の傾斜面を形成し、
   前記ベースの厚みの他方の１／２以内の範囲で前記第１，第２の外周面と他方の側面との間に、前記第１，第２の外周面の交差する稜線に向けて研磨して第６の傾斜面を形成し、
   少なくとも前記第１の外周面について前記第２の外周面、前記第５の傾斜面および前記第６の傾斜面との間に第１の天面を形成し、
   前記第２の外周面について前記第１の天面、前記第５の傾斜面および前記第６の傾斜面との間に第２の天面を形成し、
   前記第１の外周面、前記第１の天面及び前記第５の傾斜面との間を一方の側面に向けて研磨して第１の傾斜面を形成し、
   前記第２の外周面、前記第２の天面及び前記第５の傾斜面との間を一方の側面に向けて研磨して第２の傾斜面を形成し、
   前記第１の外周面、前記第１の天面及び前記第６の傾斜面との間を他方の側面に向けて研磨して第３の傾斜面を形成し、
   前記第２の外周面、前記第２の天面と前記第６の傾斜面との間を他方の側面に向けて研磨して第４の傾斜面を形成するマルチポイントダイヤモンドツールの製造方法。

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