JP2018034493A - ダイヤモンドツール及びそのスクライブ方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】スクライブする際に基板の外側からスクライブを開始し、外切りで終了できるようにすること。【解決手段】ダイヤモンドツール10のベース11の角に対してベースの両側より傾斜面を形成し稜線16と天面17の交点をポイントPとする。このダイヤモンドツール10のポイントPを基板に接触させて転動させずにスクライブする。この場合にベースの角には1つのポイントだけであるため、他のポイントの損傷を考慮することなく外切りでスクライブを開始し、終了することができる。【選択図】図3
Description
本発明はガラス基板やシリコンウエハ等の脆性材料基板をダイヤモンドポイントによってスクライブするためのダイヤモンドツール及びそのスクライブ方法に関するものである。
従来ガラス基板やシリコンウエハをスクライブするために、スクライビングホイールや単結晶ダイヤモンドによるダイヤモンドポイントを用いたツールが用いられている。ガラス基板に対しては、主に基板に対して転動させるスクライビングホイールが用いられてきたが、スクライブ後の基板の強度が向上するなどの利点より、固定刃であるダイヤモンドポイントの使用も検討されてきている。特許文献1,2にはサファイアウエハやアルミナウエハ等の硬度の高い基板をスクライブするためのポイントカッターが提案されている。これらの特許文献には、角錐の稜線上にカットポイントを設けたツールや、先端が円錐になったツールが用いられている。又特許文献3にはガラス板をスクライブするために円錐形の先端を有するガラススクライバを用いたスクライブ装置が提案されている。
従来の固定刃であるツールでスクライブを進めていくとポイントが摩耗するため、ポイントを変更する必要がある。また、ツールによるスクライブにおいては、ポイントが基板に対して適切な角度で接触する必要がある。しかし、従来のツールでは、ポイントを変更する場合ツールを軸方向に回転させる必要があり、この接触角度を精度良く調整することが容易ではなかった。
そこで図1に示すように角柱状のツールの各頂点を両側面より重なり合うように研磨して傾斜面を形成し、傾斜面の交線の両側をポイントP1,P2・・・としたスクライビングツール100が考えられる。このようなスクライビングツールを用い、図1(a)に示すように稜線を先行させポイントP1を基板101に押し当てて右に向けてスクライブする場合には、基板の端部を通過するようにスクライブする、いわゆる外切りで基板101にスクライブを終了した場合であっても隣接する他方のポイントP2には損傷を与えることはない。一方、外切りでスクライブを開始しようとする場合、先行するポイントP2が基板101の端部に衝突して損傷を受ける可能性がある。
これに対して、図1(b)に示すように、ポイントP2を用いて稜線を後方とするように前方に傾けて右に向けてスクライブをする場合には外切りでスクライブを開始してももう一方のポイントP1に損傷を与えることはない。しかし、外切りでスクライブを終了したときには使用していないポイントP1も基板101の面に接触し損傷する可能性があるという問題点がある。
従ってこのようなスクライビングツールを用いてスクライブする場合、外切りでスクライブを開始した場合には外切りで終了できず、外切りでスクライブを終了する場合は内切りで開始する必要がある。このためガラス板等の基板の一方の端部にはスクライブされない部分が残ってしまう。このようにして内切りスクライブされた基板をスクライブラインに沿ってブレイクすると、スクライブラインが形成されない基板端部での分断精度が悪くなるという問題点があった。
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、外切りでスクライブを開始し終了することができるダイヤモンドツール及びそのスクライブ方法を提供することを目的とする。
この課題を解決するために、本発明のダイヤモンドツールは、側面と複数の外周面を有する角形のベースと、前記ベースの1つの角に対して、前記ベースの両側面より1つの前記外周面に向けて形成された第1,第2の傾斜面と、前記第1,第2の傾斜面の交線である稜線と、前記1つの外周面より前記稜線に向けられた天面と、を具備し、少なくとも前記稜線及び天面はダイヤモンドで形成されており、前記稜線と天面との交点をポイントとし、前記稜線の一部を、前記基板の端部を押圧する押圧部とするものである。
ここで前記ベースは多角形状のベースであり、前記多角形の1つの角に1つのポイントを有するようにしてもよい。
この課題を解決するために、本発明のダイヤモンドツールを用いたスクライブ方法は、前記ダイヤモンドツールのポイントが最下位となるようにスクライブヘッドに保持し、基板の外側で前記ポイントが前記基板の上面より下方となるようにスクライブヘッドを押し下げ、前記スクライブヘッドを基板の面に平行に移動させることによって基板の端部から外切りスクライブを開始し、前記基板の端部までスクライブし、前記稜線の一部が前記基板の端部を押圧しながら離れることでスクライブを終了するものである。
このような特徴を有する本発明によれば、脆性材料基板の一方の端面から他方の端面までスクライブすること、即ち外切りによりスクライブを開始し外切りでスクライブを終了することができる。そのためスクライブを終えた後、スクライブラインに沿って基板を分断したときに、基板の端部においても良好な断面を得ることができるという効果が得られる。
次に本発明の第1の実施の形態について説明する。図2は本発明の第1の実施の形態によるダイヤモンドツール10の製造過程、図3は製造を完了したダイヤモンドツールを示す平面図、側面図及び正面図である。このダイヤモンドツール10は一定の厚さで二等辺三角形の単結晶ダイヤモンドの板材をベース11としている。このベース11に対して図2に示すように1つの頂点の角部分の両側より正面視でV字形に研磨する。即ち一方の側面11aよりベース11の2つの外周面12a,12bに向けてベース11の厚さの1/2以上となるまで切欠いて、傾斜面13aを形成する。このとき傾斜面13aとベース11の2つの隣り合う外周面12a,12bとがそれぞれ成す角が互いに等しくなるように切欠くことが好ましい。次にベース11の他方の側面11bより同様にしてベース11の2つの隣り合う外周面12a,12bに向けてベース11の厚さの1/2程度となるまで切欠いて、台形となる傾斜面13bを形成する。傾斜面13a,13bの交線は稜線14となる。
次いで図3に示すように傾斜面13aに対して側面11aより外周面12b側に傾けて傾斜面15aを形成し、傾斜面13bに対して側面11bより外周面12b側に傾けて傾斜面15bを形成する。こうすれば元の外周面12bの位置にある第1の傾斜面15aと、第2の傾斜面15bとが交わり、ベース11の厚さ方向の中間、好ましくは図3(a)に示すように中央位置に、ベースの側面11a,11bに平行な稜線16が形成される。なお、ここで第1の傾斜面15aと第2の傾斜面15bを傾斜面13a、傾斜面13bとは異なる面として形成することで、稜線16を形成するための精密な研磨を行う加工面積を小さくすることができ、加工効率を向上させることができる。
次に外周面12bより傾斜面15a,15bに向けて天面17を形成する。ここで天面とは、稜線16の一端を共有する面をいう。稜線16が天面17と接する端部をポイントPとする。天面はスクライブする基板に作用する面であり、基板に作用する範囲が図3(b)の側面図で見て0.05mm以上であれば天面として有効に機能し、例えば0.05〜0.1mm程度とする。又稜線16はスクライブ時に基板に作用する範囲より図3(b)の側面図で見て5μm以上であれば機能する。
このようにポイントPを形成することで、図3に示すように側面視において三角形のダイヤモンドツール10の頂点に1つのポイントPを形成することができる。このような傾斜面や天面はレーザ加工によって容易に形成することができる。また、レーザ加工の後にさらに機械研磨を行い、稜線を形成する部分をより精密な研磨面としてもよい。
図4はダイヤモンドツール10をスクライブヘッドユニット30に取付けた状態を示す正面図及び側面図である。ダイヤモンドツール10は図4に示すようにツールホルダ20に保持される。ツールホルダ20は直方体状の部材であって、その下端にダイヤモンドツール10のポイントPが下端となるように斜めに保持している。ツールホルダ20には2箇所のねじ孔が設けられ、これによってスクライブヘッド30に固定される。
スクライブヘッドユニット30は板状のヘッドプレート31自体が図示しないスライド機構によって全体に上下動するように構成されている。そしてこのヘッドプレート31にはスクライブ荷重用のエアシリンダ32が固定される。エアシリンダ32の下端はロッド32aが伸縮自在に突出している。さて図4(b)に示すようにヘッドプレート31のロッド32aの下方には、ガイド機構33とスライド部34が設けられ、所定の荷重でスライド部34を下方に押圧している。ガイド機構33はスライド部34を上下動自在に保持するものである。スライド部34にはL字形のプレート35が設けられる。プレート35はスライド部34と共に上下動するが、ストッパ36によって下限が規制されている。そしてこのプレート35にはツールホルダ20がねじ止めにより斜め方向に固定されている。そしてスクライブヘッドユニット30を矢印A方向に移動させることでスクライブすることができる。
この実施の形態のダイヤモンドツール10を用いてスクライブする場合について、図5〜図8を用いて説明する。スクライブを開始する際には、まず図5に示すようにダイヤモンドツール10のポイントPを基板40に接近させてスクライブヘッドユニット30を下降させる。このとき図9にポイントP周辺の拡大図を示すように、外周面12aと脆性材料基板とのなす角度θが好ましくは15〜20°となり、基板40の上面よりダイヤモンドツール10のポイントPが低く、高さの差Dが、基板40の厚さに応じて0.05〜0.2mm程度となるようにスクライブヘッドユニット30を押し下げる。そして基板40の左側面からスクライブヘッドユニット30を右に向けて移動させる。そうすれば図6に示すようにダイヤモンドツール10の外周面12bと基板40の左上端部とが接触する。すなわち、外周面12bの少なくとも一部または全部が、ポイントPを基板40に導くガイド面として機能する。このとき図10に拡大図を示すようにポイントPと基板40との間隔Fは角度θと高さの差Dにより決まるが、例えばθ=15°、D=0.2mmでは、Fは0.78mmとなる。従って、ガイド面12bはダイヤモンドツール10の周方向において1.0mm以上の長さを有することが好ましい。そしてダイヤモンドツールを矢印A方向に移動させると、図7に示すように基板40がエアシリンダ32の圧力に抗してスライド部34をわずかに押し上げ、プレート35自体が上昇する。更にスクライブヘッドユニット30を右側に移動させると、基板40に対してガイド面12bが滑りながら天面17を含むポイントPの周辺部分が基板40に入り込むようになり、基板40の端部からのスクライブ、即ち外切りスクライブを開始することができ、基板40の端部からスクライブラインが形成される。更に矢印A方向にスクライヘッドユニット30を移動させスクライブすると、ダイヤモンドツール10の天面17を先行させ、稜線16を後方となるようにしてスクライブすることができる。上記のとおり、外切りスクライブ開始時にはまずダイヤモンドツール10の外周面(ガイド面)12bと基板40の左上端部とが接触し、その後天面17を含むポイントがガイド面により基板40にガイドされて接触することにより、外切りによりスクライブを開始しても、ポイントの損傷を防止することができる。さらに、幅の広い天面が先行し、稜線が後から基板に接触することで、基板40の端部に対する応力の集中がなくなり、スクライブ開始時の基板端部の損傷も抑制することができる。
更に図8に示すように基板40の端部を外れるまでスクライブ(外切りスクライブ)する。このとき、ダイヤモンドツール10は稜線16の一部が基板の端部をわずかに押圧しながら基板から離れる。スクライブを終了する場合もダイヤモンドツール10のポイントPの近傍、すなわち稜線の天面とは逆側には他のポイントがないため、他のポイントの損傷を考慮することなく外切りでスクライブを終了させることができる。さらにまた、スクライブライン終端において、稜線16の一部が基板を押圧することにより、スクライブライン下方に確実に垂直クラックを形成することができるようになる。なお、稜線16の長さが20μm以上であると、稜線16がより確実に基板を押圧することができる。
尚第1の実施の形態では、図2(a)のように両側の側面11a,11bから傾斜面13a,13bを形成した後、第1、第2の傾斜面を別に形成するようにしているが、ベースの厚みが薄く、加工面積が十分小さい場合などには図11に示すように傾斜面13a,13bを夫々第1,第2の傾斜面としてもよい。この場合、外周面12bより傾斜面13a,13bに向けて天面17を形成し、傾斜面13a,13bの交線である稜線14が天面17と接する端部がポイントPとされる。
次に本発明の第2の実施の形態について図12及び図13を用いて説明する。前述した第1の実施の形態では二等辺三角形状のベースを用いているが、本実施の形態のダイヤモンドツール50は正方形のベースの各角に夫々図3に示すような1つのポイントを形成するようにしたものである。この実施の形態のダイヤモンドツール50は図12に示すように単結晶ダイヤモンドによる正方形で一定の厚さの板状のベース51を用いる。そしてベース51の一方の側面51aより4つの外周面52a〜52dの交点に向けて傾斜面53a〜53dを形成する。同様に、他方の側面51bより4つの角に向けて傾斜面54a〜54dを形成する。
次いで図13(a),(b)に示すように傾斜面53aに対して側面51aより外周面52a側に傾けて傾斜面55aを形成し、傾斜面54aに対して側面51bより外周面52a側に傾けて傾斜面56aを形成する。こうすれば元の外周面52aの位置にある第1,第2の傾斜面55aと56aが交わり、ベース51の厚さ方向の中間、好ましくは図13(a)に示すように中央位置に、ベースの側面51a,51bに平行な稜線57aが形成される。
次に傾斜面53bに対して側面51aより外周面52b側に傾けて傾斜面55bを形成し、傾斜面54bに対して側面51bより外周面52b側に傾けて傾斜面56bを形成する。こうすれば元の外周面52bの位置にある第1,第2の傾斜面55bと56bが交わり、ベース51の厚さ方向の中間、好ましくは図13(a)に示すように中央位置に、ベースの側面51a,51bに平行な稜線57bが形成される。
次に傾斜面53cに対して側面51aより外周面52c側に傾けて傾斜面55cを形成し、傾斜面54cに対して側面51bより外周面52c側に傾けて傾斜面56cを形成する。こうすれば元の外周面52cの位置にある第1,第2の傾斜面55cと56cが交わり、ベース51の厚さ方向の中間、好ましくは図13(a)に示すように中央位置に、ベースの側面51a,51bに平行な稜線57cが形成される。
更に傾斜面53dに対して側面51aより外周面52d側に傾けて傾斜面55dを形成し、傾斜面54dに対して側面51bより外周面52d側に傾けて傾斜面56dを形成する。こうすれば元の外周面52dの位置にある第1,第2の傾斜面55dと56dが交わり、ベース51の厚さ方向の中間、好ましくは図13(a)に示すように中央位置に、ベースの側面51a,51bに平行な稜線57dが形成される。
次に外周面52aより傾斜面55a,56aに向けて天面58aを形成する。同様に外周面52bより傾斜面55b,56bに向けて天面58bを形成し、外周面52cより傾斜面55c,56cに向けて天面58cを形成し、更に外周面52dより傾斜面55d,56dに向けて天面58dを形成する。稜線57a〜57dが夫々天面58a〜58dと接する端部をポイントP1〜P4とする。
この実施の形態においても、ベース51の4つの頂点に夫々1つのポイントP1〜P4を構成しているため、外切りでスクライブを開始し、外切りでスクライブを終了しても他のポイントに影響を与えることはない。また、各角において回転対称の位置にポイントを形成しているため、1つのポイントが摩耗した場合、ダイヤモンドツール50を所定角度回転させることで他のポイントを使用することができる。この実施の形態ではベース51が正方形であるので、90°回転させることで他のポイントを使用することができる。
次に本発明の第3の実施の形態について、図14を用いて説明する。前述した第2の実施の形態では正方形のベースの各角に夫々1つのポイントを形成するようにしているが、本実施の形態においては長方形のベースの短辺を共有する隣り合う2つの角に夫々1つのポイントを形成している。この実施の形態のダイヤモンドツール60は、図14に示すように単結晶ダイヤモンドによる長方形で一定の厚さの板状のベース61を用いる。そしてベース61の一方の側面61aより外周面62a、62bの交点及び外周面62b、62cの交点に向けて第1,第2の傾斜面63a、63bを形成する。又ベース61の他方の側面61bより外周面62a、62bの交点及び外周面62b、62cの交点に向けて第1,第2の傾斜面64a、64bを形成する。これにより傾斜面63aと64a、63bと64bがそれぞれ交わり、ベース61の厚さ方向の中間、好ましくは図14(a)に示すように中央位置に、ベースの側面61a,61bに平行な稜線67a、67bが形成される。
次に外周面62bより傾斜面63a、64aに向けて天面68aを形成する。同様に外周面62bより傾斜面63b,64bに向けて天面68bを形成し、稜線67a、67bが夫々天面68a、68bと接する端部をポイントP1、P2とする。この実施の形態においても、ベース61の2つの頂点に夫々1つのポイントP1、P2を構成しているため、外切りでスクライブを開始し、外切りでスクライブを終了しても他のポイントに影響を与えることはない。また、長方形の隣り合う角において、線対称の位置にポイントを形成しているため、1つのポイントが摩耗した場合、ダイヤモンドツール60を反転させることで他のポイントを使用することができる。
なお本実施の形態においては、傾斜面63a,64aと傾斜面63b、64bを形成し、これらの交わる稜線と天面との交点をポイントとしているが、第1の実施の形態と同様に、これらの傾斜面に対してさらに外周面62b側に第1、第2の傾斜面を形成するようにしてもよい。
又前述した各実施の形態ではベース全体を単結晶ダイヤモンドで構成しているが、脆性材料基板と接触する表面部分がダイヤモンドであれば足りるため、超硬合金や焼結ダイヤモンド製を用いて形成されたベースの外周面及び稜線の表面に多結晶ダイヤモンド層を形成し、これをさらに精密に研磨してポイントを形成してもよい。また、ボロン等の不純物をドープし、導電性を持たせた単結晶または多結晶ダイヤモンドを使用してもよい。導電性を有するダイヤモンドを用いることで、放電加工により傾斜面を容易に形成することができる。
又、前述した実施の形態ではダイヤモンドツールを各ポイントにおける稜線方向へ移動させてスクライブすることとしているが、各ポイントの天面方向へ移動させてスクライブしてもよい。
本発明のダイヤモンドツールは脆性材料基板を外切りでスクライブを開始し外切りでスクライブを終了するスクライブ装置に好適に用いることができる。
10,50,60 ダイヤモンドツール
11,51,61 ベース
11a,11b,51a,51b,61a,61b 側面
12a,12b,52a〜52d,62a,62b,62c 外周面
13a,13b,15a〜15d,16a〜16d,53a〜53d,54a〜54d,55a〜55d,56a〜56d,63a,63b,64a,64b 傾斜面
14,16,57a〜57d,67a,67b 稜線
17,58a〜58d,68a,68b 天面
P,P1〜P4 ポイント
11,51,61 ベース
11a,11b,51a,51b,61a,61b 側面
12a,12b,52a〜52d,62a,62b,62c 外周面
13a,13b,15a〜15d,16a〜16d,53a〜53d,54a〜54d,55a〜55d,56a〜56d,63a,63b,64a,64b 傾斜面
14,16,57a〜57d,67a,67b 稜線
17,58a〜58d,68a,68b 天面
P,P1〜P4 ポイント
Claims (3)
- 側面と複数の外周面を有する角形のベースと、
前記ベースの1つの角に対して、前記ベースの両側面より1つの前記外周面に向けて形成された第1,第2の傾斜面と、前記第1,第2の傾斜面の交線である稜線と、前記1つの外周面より前記稜線に向けられた天面と、を具備し、
少なくとも前記稜線及び天面はダイヤモンドで形成されており、
前記稜線と天面との交点をポイントとし、
前記稜線の一部を、前記基板の端部を押圧する押圧部とするダイヤモンドツール。 - 前記ベースは多角形状のベースであり、前記多角形の1つの角に1つのポイントを有する請求項1記載のダイヤモンドツール。
- 請求項1記載のダイヤモンドツールを用いたスクライブ方法であって、
前記ダイヤモンドツールのポイントが最下位となるようにスクライブヘッドに保持し、
基板の外側で前記ポイントが前記基板の上面より下方となるようにスクライブヘッドを押し下げ、
前記スクライブヘッドを基板の面に平行に移動させることによって基板の端部から外切りスクライブを開始し、
前記基板の端部までスクライブし、前記稜線の一部が前記基板の端部を押圧しながら離れることでスクライブを終了するダイヤモンドツールのスクライブ方法。
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