JP2017509785A - 粉末製造装置及び粉末形成方法 - Google Patents

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Abstract

本発明は、流体による微細粉末の形成時に粒子が大きくなることを防ぐことができる粉末製造装置を提供し、より具体的には、溶鋼を提供する溶鋼提供部と、上記溶鋼提供部の下部に配置され、上記溶鋼提供部によって提供される溶鋼を粉末化するために上記溶鋼に冷却流体を噴射する冷却流体噴射部と、を含み、上記冷却流体噴射部は、上記溶鋼を冷却させて粉末化する第1の流れ、及び上記溶鋼に下降気流を形成させる第2の流れを形成する粉末製造装置を提供する。

Description

本発明は、溶鋼を活用した粉末製造装置及び粉末形成方法に関し、より具体的には、溶鋼に冷却流体を噴射して粒子化することにより、粉末を形成するにあたり、均一な分布の粉末の形成が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法に関する。
自動車及び金属部品の形状が次第に複雑になり、その需要も増えるにつれて、既存の鍛造と鋳造で製造されていた方式からホットプレス成形(Hot Press Forming)のような大量生産に特化した方式への割合が次第に増加している。HPFの技術発展により金属粉末で構成された製品の剛性及び特性が増大するにつれて、複雑な形状の自動車部品に対する需要が次第に増えている。これに伴い、金属粉末を大量に製造する粉末化(Atomization)技術に関する研究が進められている。
図1に示されているように、粉末製造装置は、高圧のガスや冷却水のような流体を利用して金属溶鋼Sを微粒化された粉末Pにする技術であり、マイクロメートル単位の微粒粉末として所望の粒度分布及び特性を有するようにする。このために、溶鋼供給部10から金属溶鋼Sを流し、流れ落ちる溶鋼Sを、本体20に装着され上記溶鋼Sに向かって流体を噴射する噴射ノズル30を用いて微粒化された粉末Pにする。噴射ノズル30は固定ボディ11に連結されており、衝突地点を変更するために噴射ノズル30は固定ボディ11において噴射位置が調節されることができる。
流体として不活性ガスを利用した方式は、極微粒粉末を形成したり均一な粒度分布、酸化されない粉末を形成したりするという長所があるが、大量生産には適さないという問題がある。これに対し、冷却水を利用した水噴射方式は、粉末の表面の形状が不均一であり、粒度分布を均一化することが困難であり、金属粉末が酸化しやすいという短所があるが、大量生産に有利であるという長所がある。したがって、自動車部品の素材に対する需要が急激に増加している現状では、冷却水の水噴射方式による金属粉末の生産が競争力を有すると言える。
水噴射を利用した金属粉末の生産において品質を決定するものとしては、金属粉末の平均粒度分布、見掛け密度、表面形状、酸素含有量などがある。このうち粒度分布と見掛け密度、表面形状の場合は水噴射工程でほぼ決まり、これに影響を及ぼす工程の変数としては冷却水量、冷却水の圧力、溶鋼の初期温度、ノズル構成などがある。一般的な水噴射工程は、高圧の冷却水を溶鋼に衝突させて微粒化すると同時に冷却がなされるメカニズムを有しており、微粒化の程度と表面形状は、冷却水の圧力、即ち、水粒子の大きさと速度、衝撃量に左右される。このような水粒子を形成し、溶鋼との衝突及び粉末化を効果的に行うようにするために、水噴射ノズルとノズルの構成が開発され商用化されている。
従来知られた構成は大きく二つに分けられる。
第一に、図2に示されたようなVジェット方式のノズルからなるノズル構成があり、ノズルチップから扇状に広がって噴射される冷却水を溶鋼の流れの一地点に集中するように調整して粉末を形成する構造を有している。複数個のノズルチップ31で構成されて広く広がる冷却水噴射構造によって溶鋼との衝突角度及び操業基準の設定が容易である。しかし、有効衝突に参与する冷却水の水粒子数が少ないため、粉末の形成に必要な冷却水量が増加するという短所がある。
第二に、図3に示されたような環状タイプのノズルからなるノズル構成があり、環状の一体型ノズル35から溶鋼の一地点に冷却水が噴射されるように噴射穴36が形成される構造を有している。Vジェット方式のノズルに比べて流体粒子の衝撃量が高く、消耗される流体量が少ないという長所があるが、初期操業条件が完璧でない場合には溶鋼の一地点への衝突角度の調整が困難であり、高圧の流体を噴射する構造を一体型にしなければならないという製作上の困難がある。
また、二つのノズル構成方式とも、流体と溶鋼の衝突角度に変更が生じる場合には、微粒化された粉末が下降することができず、冷却水と空気の流動によって大きな塊を形成することがある。
韓国公開特許第10−2004−0067608号公報
本発明は、以上のような従来技術の問題点を解決するためのものであり、流体による微細粉末の形成時に粒子が大きくなることを防ぐことができる粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、操業条件が変更されても安定した操業が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、一定以上の粒度分布と平均粒度を有する粉末を生成し、且つ冷却水量の増大と衝撃量の減少、衝突角度の確保が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することを目的とする。
本発明は、以上のような目的を達成するために次のような粉末製造装置及び粉末形成方法を提供する。
本発明は、溶鋼を提供する溶鋼提供部と、上記溶鋼提供部の下部に配置され、上記溶鋼提供部によって提供される溶鋼を粉末化するために上記溶鋼に冷却流体を噴射する冷却流体噴射部と、を含み、上記冷却流体噴射部は、上記溶鋼を冷却させて粉末化する第1の流れ、及び上記溶鋼に下降気流を形成させる第2の流れを形成する粉末製造装置を提供する。
本発明において、上記冷却流体噴射部は、流れ落ちる溶鋼が中央部を通過するように下方に向かって配置される截頭円錐状部を含むガイドと、上記ガイドの外側に配置され、上記ガイドに冷却流体を噴射する噴射ノズルと、を含むことができる。
このとき、上記第2の流れは、溶鋼が流れ落ちる方向を中心に回転下降する流れであり得る。
また、本発明において、上記ガイドには上記第2の流れを誘導する螺旋部が形成されることができる。このとき、螺旋部は上記ガイドの表面に形成された溝であり得る。
また、本発明において、上記螺旋部は上記ガイドに複数個が対称的に形成されることができる。
このとき、上記冷却流体噴射部は、上記第1の流れの流量が上記第2の流れの流量より多いように構成されることができる。
本発明において、上記噴射ノズルは、ストレートジェットで構成され、上記冷却流体を上記ガイドの截頭円錐状部に向かって配置されることができる。
また、本発明において、上記噴射ノズルは上記ガイドの截頭円錐状部より上側に位置し、上記噴射ノズルが垂直線となす角は上記截頭円錐状部の傾斜面が垂直線となす角より大きければよい。
また、上記螺旋部は、截頭円錐状部の傾斜面の延長線の交差点で下降気流が発生するように形成されることができる。
本発明において、上記冷却流体は冷却水であり得る。
また、本発明は、溶鋼を提供する溶鋼提供段階と、上記溶鋼提供段階で提供された溶鋼を冷却流体によって微粒化させる粉末形成段階と、を含み、上記粉末形成段階と同時に粉末の粗大化を抑制するように冷却流体と溶鋼の衝突地点に上記冷却流体による下降気流を形成する下降気流形成段階が行われる粉末形成方法を提供する。
また、本発明において、上記粉末形成段階は、上記溶鋼と上記冷却流体の衝突地点を中心に外気の流入を防ぐ冷却流体壁を形成することができる。
また、本発明において、上記下降気流形成段階は、回転流による下降気流を形成するように上記冷却流体を下方に向かって回転させて提供することができる。
本発明は、以上のような構成により、流体による微細粉末の形成時に粒子が大きくなることを防ぐことができる粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することができる。
また、本発明は、操業条件が変更されても安定した操業が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することができる。
さらに、本発明は、一定以上の粒度分布と平均粒度を有する粉末を生成し、且つ冷却水量の増大と衝撃量の減少、衝突角度の確保が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することができる。
従来の粉末製造装置の概念図である。 従来のVジェットタイプの噴射ノズルを有する粉末製造装置の概念図である。 従来の環状タイプの噴射ノズルを有する粉末製造装置の概念図である。 ガイドを含む粉末製造装置の概念図である。 図4のガイド部分を拡大した拡大図である。 図4及び図5のガイドを含む粉末製造装置で溶鋼の詰まりが発生したときの写真である。 粉末粒度分布と平均粒度の関係を示したグラフである。 本発明の粉末製造装置の概念図である。 図8のガイド部分を拡大した拡大図である。 図9に示された螺旋部の詳細図である。 図8で形成された第1の流れの概念斜視図である。 図8で形成された第2の流れの概念斜視図である。 図11及び図12の第1及び第2の流れの概念平面図である。 本発明による発明例と比較例の衝撃量の比較結果を示したグラフである。 本発明による発明例と比較例の溶鋼衝突地点における垂直方向への速度を示したグラフである。
以下では、添付の図面を参照して本発明の具体的な実施例について詳細に説明する。
背景技術に開示されたような従来の二つの方式を改善するためにガイドを用いた技術が図4及び5のように提案されている。即ち、ストレートジェットタイプのノズルを用い、且つ溶鋼衝突地点に冷却水が集中することができるように冷却水をガイドする逆截頭円錐状のガイド40を配置し、上記ガイド40に噴射ノズル31から冷却水を噴射して冷却水を集中させる構造が提案されている。
このような構造では、ガイド40に噴射される冷却水によって円錐状の冷却水壁WBが形成され、この冷却水壁は外部の空気が流入することを遮断するため、冷却水壁の内部Iと外部が遮断され、それにより、溶鋼衝突地点で溶鋼の衝突が円滑でない場合には冷却水壁WBの内部Iで溶鋼が固まってしまうという問題があり、このような状態が図6に示されている。
また、図5のような構造では、正常な水噴射操業の場合には平均粒度を中心に全体的な粉末の分布が形成される。しかし、ノズル角度の変更、衝撃量の減少、冷却水量の適正比率の変化、マスフローの低下が発生する場合には粉末の粒度分布が広くなり、最終のオーバーサイズの粉末の比率が大きくなる。そして、このようなオーバーサイズの鉄粉末は全てスクラップ処理されるため、全体的な歩留まりを低下させる結果をもたらす。したがって、水噴射工程において効果的な鉄粉末の生成のために、一定以上の衝撃量を確保し、鉄粉末の流れを円滑にすることが必要である。
即ち、図7に示されたように、正常な状況と異常な状況で同一の平均粒度を得るとしても、異常な状況で粒度分布が大きくなり、オーバーサイズの粉末の比重が大きくなり、それにより、スクラップ処理される量が増加し、全体的な歩留まりを低減させるという問題がある。
特に、ガイド4によって発生する冷却水壁WBは冷却水を集中するのに有利であるが、外部空気の流入を遮断し、溶鋼衝突地点に上方への負圧を形成し、これは、溶鋼の衝突が円滑でない場合に溶鋼の凝固又は鉄粉末の粒子の偏差を大きくするという問題がある。
よって、本発明の発明者は、ガイド4の長所(溶鋼衝突地点への冷却水の集中を容易にし、操業条件が変更されても粉末を安定して生成する)を生かし、且つガイド4の短所(冷却水壁による負圧)を除去するために、ガイドによって形成され、溶鋼を冷却させて粉末化する第1の流れと共に、上記溶鋼に下降気流を形成させ、冷却水との衝突によって形成された粉末の排出を助ける第2の流れを提供する。
図8には、本発明による粉末製造装置の概念図が示されており、図9には、図8のガイド部分の拡大図が示されており、図10には、図9に示された螺旋部の詳細図が示されている。
図8に示されているように、本発明による粉末製造装置には、冷却流体噴射部を除いて図1の従来の粉末製造装置と同一の構成が適用されることができるため、以下では、冷却流体噴射部の構成を中心に説明する。
冷却流体噴射部は、溶鋼提供部10(図1参照)から流れ落ちる溶鋼が中央部を通過するように下方に向かって配置される截頭円錐状部を含むガイド140と、上記ガイド140の外側に配置され、上記ガイド140に冷却流体を噴射する噴射ノズル130と、を含む。噴射ノズル130は、固定ボディ110に連結され、ガイド140に向かって冷却流体を噴射するように配置される。
噴射ノズル130は、ガイド140の截頭円錐部142と円筒部141の連結部の直下部に向かうことが好ましいが、これに制限されるものではなく、截頭円錐部142のいずれかの地点に向かうと、ガイド140によって冷却流体の集中が達成されることができる。図8の実施例では、噴射ノズル130から冷却流体として冷却水が噴射されるが、噴射ノズル130から噴射される冷却流体は冷却水に制限されず、溶鋼の種類によって不活性ガスであってもよく、一般の空気であってもよい。
噴射ノズル130は、一地点に向かって冷却流体を噴射するストレートジェットタイプであることが有利であるが、ガイド140に冷却流体がぶつかるときに冷却流体が第1の流れ及び第2の流れ150、160を形成するという点を考慮すると、ストレートジェットタイプではない他の方式、例えば、Vジェット又は環状タイプであってもよい。
一方、ガイド140は、固定ボディ11に連結された円筒部141と、上記円筒部141から延び、逆截頭円錐状の形状を有する截頭円錐部142と、を含んで構成され、図9及び図10に示されているように、溶鋼を粉末化する第1の流れと共に下降気流を形成する第2の流れを形成するために上記截頭円錐部142の表面に螺旋部143が形成される。
図9に示されているように、本発明のガイド140の截頭円錐部142に冷却水131がぶつかると、截頭円錐部142の表面に沿って下方に下降して溶鋼に衝突する第1の流れ150が形成される。第1の流れ150は噴射地点を中心にガイド140に沿って形成され、冷却水壁WBを形成する。
本発明の実施例では、截頭円錐部142に螺旋状の螺旋部143が形成されているため、ガイド140に噴射された冷却水131の一部は螺旋部143によって回転しながら溶鋼衝突地点に向かって螺旋状に進行する第2の流れ160を形成する。第2の流れ160の場合、下方に狭くなる螺旋の流れが形成されるため、溶鋼衝突地点を通過しながら下降気流を形成するようになる。それにより、溶鋼衝突地点を中心に、冷却水によって粉末に変わった溶鋼が下部に排出される下方流れを形成するようになる。
本発明において、螺旋部143は、截頭円錐部142の円周方向に沿って同一の形状が対称的に形成されることができる。
また、本発明において、第2の流れ160の場合は溶鋼との衝突量を増大させて粒子化するには有利でないため、噴射ノズル130から提供される冷却水がガイド140によって分配されるとき、第1の流れ150が第2の流れ160より流量が多いように構成されることができる。流量の分配は、螺旋部143の高さ又は深さ及び螺旋部143の個数で調節されることができる。
また、図9に示されているように、噴射ノズル130による冷却水が噴射される噴射地点は上記螺旋部143と一致するようにすることもできるが、螺旋部143と一致しなくても第1の流れ150が螺旋部143と接し、自然に第2の流れ160が形成されることができるため、噴射地点は第1の流れ150と第2の流れ160の形成に影響を与えない。
本発明による粉末製造装置の動作では、溶鋼提供部から溶鋼を提供し、提供された溶鋼を冷却流体によって衝撃量を与えて微粒化させた粉末を形成する。このとき、粉末形成段階と同時に、粉末の粗大化、即ち、粉末の粒度の変化を抑制するように冷却流体と溶鋼の衝突地点に上記冷却流体による下降気流を形成させる。このような本発明の粉末形成方法では、冷却流体を第1の流れと第2の流れで形成させ、第1の流れは溶鋼と衝突するようにし、第2の流れは溶鋼を中心に回転しながら下方に集まる螺旋の流れを形成し、螺旋の流れによって形成された下降気流で溶鋼衝突地点の粉末化された溶鋼を下に引っ張る力を提供する。
製造方法の観点で、第2の流れは溶鋼衝突地点に下降気流を提供することができれば、ガイドではない他の方式で提供されても同一の効果が得られるが、ガイドを用いる場合には第1の流れと第2の流れが同時に得られるという点で有利である。
図11には、図8で形成された第1の流れ150の概念斜視図が示されており、図12には、図8で形成された第2の流れ160の概念斜視図が示されており、図13には、図11及び図12の第1及び第2の流れ150、160の概念平面図が示されている。
図11及び図13(a)から確認できるように、第1の流れ150の場合は、一点に向かって集中する構造を有するため、溶鋼衝突地点で大きな衝撃量を提供することができる。また、第1の流れはガイド140の傾斜面に沿って形成されるため、噴射ノズル130の位置が図3のような構造よりも自由になることができる。特に、操業条件又は溶鋼の変更によって溶鋼衝突地点の位置が変更されなければならない場合には、図3の従来技術では、冷却流体噴射部全体を交換しなければならないが、本実施例では、ガイド140の高低を調節するだけでも溶鋼衝突地点の位置を変化させることができるだけでなく、溶鋼衝突地点に大きな衝撃量を提供することもできる。
図12及び図13(b)から確認できるように、第2の流れ160の場合は、溶鋼衝突地点に向かって集まる螺旋の流れによって下降気流を形成する。螺旋の流れの場合、一点に集まって衝突せず、一地点までは集まり、その後再び広がる流れを形成するようになり、それにより、螺旋の進行方向に螺旋内部に下降気流が形成される。本実施例では、第1の流れ150により形成される冷却水壁WBによって溶鋼衝突地点に形成される上方向の動きを第2の流れ160による下降気流で除去することができるだけでなく、衝突によって粉末化された溶鋼を下部に抜き出す役割もする。
特に、金属粉末が下降気流によって抜け出すことにより、粉末の凝集のような粉末の粒度変動の可能性がなくなり、これは、各粉末の偏差を小さくする要素になり、同一の平均粒度を有するようにする場合には損失量を大きく減らすことができるため、歩留まりが増加する効果が得られる。
図14には、本発明の実施例と比較例の衝撃量を対比したグラフが示されている。同一の冷却水量を用いたが、発明例の場合には図10に示されたガイド140を用い、比較例の場合には図2に示された方式の粉末製造装置を用いた。
発明例1は4個の噴射ノズル130を用いたものであり、発明例2は8個の噴射ノズル130を用いたものであり、比較例1は2個の噴射ノズル30を用いたものであり、比較例2は4個の噴射ノズル30を用いたものである。
図14から確認できるように、本発明のようにガイド140を用いた場合は、同一のノズル数を有しても、大きな衝撃量を確保することができる。特に、本発明の場合は、ガイド140に冷却流体が噴射されることができればノズルの位置、種類に大きな影響を受けないという点で衝撃量の確保が容易であることが確認できる。
一方、図15には、本発明による発明例と比較例の溶鋼衝突地点における垂直方向への速度を表したグラフが示されている。
図15の発明例3と比較例3は図8のようにガイド140を用いた点は同一であるが、発明例3の場合には図10に示されたガイド140が用いられ、比較例3の場合には螺旋部143が形成されていないガイド140が用いられた。即ち、比較例3の場合には第2の流れ160を誘導できる構成を有しないガイドを用いた点を除いて同一の条件で実験した。図15において、X軸は溶鋼衝突地点との高さを示し、Y軸は速度を示すものであり、Y軸が+値のものは上方への速度を意味し、Y軸が−値のものは下方への速度を意味する。
図15のグラフから確認できるように、第2の流れ160が形成されていない比較例3の場合には、溶鋼衝突地点から上方への力、即ち、上方に溶鋼が移動するが、第2の流れ160が形成された発明例3の場合には、下降気流によって溶鋼衝突地点から下方への力、即ち、下方に溶鋼が移動する。
したがって、衝撃量によって決まった粉末の粒度を維持した状態で下方に排出/冷却させることができ、それにより、粉末の粒度分布を平均に集中するようにすることができる。このことから、オーバーサイズの粉末の量を減少させ、粉末の製造歩留まりを向上させることができる。
以上、添付の図面を参照して本発明の具体的な実施例を中心に説明したが、本発明は実施例に制限されず、通常の技術者によって変形実施されることができる。
130 噴射ノズル
131 冷却水
140 ガイド
141 円筒部
142 截頭円錐部
143 螺旋部
150 第1の流れ
160 第2の流れ
また、本発明は、一定以上の粒度分布と平均粒度を有する粉末を生成し、且つ冷却水量の減少と衝撃量の増大、衝突角度の確保が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、一定以上の粒度分布と平均粒度を有する粉末を生成し、且つ冷却水量の減少と衝撃量の増大、衝突角度の確保が可能な粉末製造装置及び粉末形成方法を提供することができる。
特に、ガイド4によって発生する冷却水壁WBは冷却水を集中するのに有利であるが、外部空気の流入を遮断し、溶鋼衝突地点に上方への負圧を形成し、これは、溶鋼の衝突が円滑でない場合に溶鋼の凝固又は鉄粉末の粒子の偏差を大きくするという問題がある。
よって、本発明の発明者は、ガイド4の長所(溶鋼衝突地点への冷却水の集中を容易にし、操業条件が変更されても粉末を安定して生成する)を生かし、且つガイド4の短所(冷却水壁による負圧)を除去するために、ガイドによって形成され、溶鋼を冷却させて粉末化する第1の流れと共に、上記溶鋼に下降気流を形成させ、冷却水との衝突によって形成された粉末の排出を助ける第2の流れを提供する。
一方、ガイド140は、固定ボディ11に連結された円筒部141と、上記円筒部141から延び、逆截頭円錐状の形状を有する截頭円錐部142と、を含んで構成され、図9及び図10に示されているように、溶鋼を粉末化する第1の流れと共に下降気流を形成する第2の流れを形成するために上記截頭円錐部142の表面に螺旋部143が形成される。

Claims (14)

  1. 溶鋼を提供する溶鋼提供部と、
    前記溶鋼提供部の下部に配置され、前記溶鋼提供部によって提供される溶鋼を粉末化するために前記溶鋼に冷却流体を噴射する冷却流体噴射部と、
    を含み、
    前記冷却流体噴射部は、前記溶鋼を冷却させて粉末化する第1の流れ、及び前記溶鋼に下降気流を形成させる第2の流れを形成することを特徴とする、粉末製造装置。
  2. 前記冷却流体噴射部は、流れ落ちる溶鋼が中央部を通過するように下方に向かって配置される截頭円錐状部を含むガイドと、前記ガイドの外側に配置され、前記ガイドに冷却流体を噴射する噴射ノズルと、を含むことを特徴とする、請求項1に記載の粉末製造装置。
  3. 前記第2の流れは、溶鋼が流れ落ちる方向を中心に回転下降する流れであることを特徴とする、請求項2に記載の粉末製造装置。
  4. 前記ガイドには前記第2の流れを誘導する螺旋部が形成されることを特徴とする、請求項2に記載の粉末製造装置。
  5. 前記螺旋部は前記ガイドの表面に形成された溝であることを特徴とする、請求項4に記載の粉末製造装置。
  6. 前記螺旋部は前記ガイドに複数個が対称的に形成されることを特徴とする、請求項4に記載の粉末製造装置。
  7. 前記冷却流体噴射部は、前記第1の流れの流量が前記第2の流れの流量より多いように構成されることを特徴とする、請求項1に記載の粉末製造装置。
  8. 前記噴射ノズルは、ストレートジェットで構成され、前記冷却流体を前記ガイドの截頭円錐状部に向かって配置されることを特徴とする、請求項2に記載の粉末製造装置。
  9. 前記噴射ノズルは前記ガイドの截頭円錐状部より上側に位置し、前記噴射ノズルが垂直線となす角は前記截頭円錐状部の傾斜面が垂直線となす角より大きいことを特徴とする、請求項8に記載の粉末製造装置。
  10. 前記螺旋部は、截頭円錐状部の傾斜面の延長線の交差点で下降気流が発生するように形成されることを特徴とする、請求項4に記載の粉末製造装置。
  11. 前記冷却流体は水であることを特徴とする、請求項1から10のいずれか一項に記載の粉末製造装置。
  12. 溶鋼を提供する溶鋼提供段階と、
    前記溶鋼提供段階で提供された溶鋼を冷却流体によって微粒化させる粉末形成段階と、
    を含み、
    前記粉末形成段階と同時に粉末の粗大化を抑制するように冷却流体と溶鋼の衝突地点に前記冷却流体による下降気流を形成する下降気流形成段階が行われることを特徴とする、粉末形成方法。
  13. 前記粉末形成段階は、前記溶鋼と前記冷却流体の衝突地点を中心に外気の流入を防ぐ冷却流体壁を形成することを特徴とする、請求項12に記載の粉末形成方法。
  14. 前記下降気流形成段階は、回転流による下降気流を形成するように前記冷却流体を下方に向かって回転させて提供することを特徴とする、請求項13に記載の粉末形成方法。
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