JP2017507893A - 酸化セリウム粒子の液体懸濁液 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、欧州特許出願第13306732.2号に対する優先権を主張するものであり、本出願の全内容は、あらゆる目的のために参照により本明細書に組み込まれる。
−前記二次粒子は、105〜1000nmに含まれる平均サイズを有し、標準偏差は前記二次粒子の前記平均サイズの値の10〜50%に含まれ;かつ
−前記一次粒子は、100〜300nmに含まれる平均サイズD50を有し、標準偏差は、前記一次粒子の前記平均サイズの値の10〜30%に含まれる、懸濁液に関する。
(a)少なくともセリウムIII塩、セリウムIV塩および塩基を含む溶液を不活性雰囲気下で処理し、それにより、沈殿物を得る工程であって、沈殿前のセリウムIV/総セリウムモル比は、1/10000〜1/500000に含まれる工程と;
(b)前の工程で得られた媒体を不活性雰囲気下で熱処理に供し、工程(a)または工程(b)の少なくとも一方は硝酸イオンの存在下で行われる工程と
(c)このようにして得られた媒体を酸性化および洗浄し、それにより、懸濁液を得る工程と
を含む方法に関する。
特許請求の範囲を含めて、本説明の全体にわたって、用語「1つを含む(comprising one)」は、特に明記しない限り、用語「少なくとも1つを含む(comprising at least one)」と同じ意味であると理解されるべきであり、「〜の間に(between)」は、その両端を含むと理解されるべきである。
σ/m=(d90−d10)2d50
(式中、
d90は、粒子の90%がd90未満の直径を有する、粒子サイズまたは直径であり;
d10は、粒子の10%がd10未満の直径を有する、粒子サイズまたは直径であり;
d50は、粒子の平均サイズまたは直径である)
を意味することが意図される。
−少なくとも本発明の懸濁液を得る工程と、
−少なくとも懸濁液および研磨される基板を接触させる工程と、
−基板上で研磨を行う工程と
を含む方法に関する。
13.8kgの3M硝酸三価セリウム溶液、2.2kgの68%のHNO3溶液、0.4kgの脱イオン水、およびセリウムIV/総セリウムモル比1/1250相当の硝酸セリウム(IV)を添加することによって、希薄硝酸セリウム溶液を調製した。この溶液を半密閉20l容器に充填し、次いで、攪拌および窒素通気をしながら脱気した。
13.8kgの3M硝酸三価セリウム、2.2kgの68%HNO3および0.4kgの脱イオン水を混合物することによって、硝酸セリウム溶液を調製した。この溶液を20Lの半密閉容器に入れた。
13.8kgの3M硝酸三価セリウム、1.3kgの68%HNO3および1.0kgの脱イオン水を混合することによって、硝酸セリウム溶液を調製した。この溶液を20Lの半密閉容器に入れた。
13.5kgの3M硝酸三価セリウム、2.2kgの68%HNO3および0.7kgの脱イオン水を混合することによって、硝酸セリウム溶液を調製した。この溶液を20Lの半密閉容器に入れた。15.5kgの25%アンモニア水および79kgの脱イオン水を添加することによって、アンモニア水溶液を調製した。その後、セリウムIV/総セリウムモル比1/80000相当の硝酸セリウム(IV)を添加した。この溶液を100Lの半密閉ジャケット付き反応器に入れ、攪拌しながらN2ガスにより1時間通気した。
13.8kgの3M硝酸三価セリウム、2.2kgの68%HNO3および0.4kgの脱イオン水を混合することによって、硝酸セリウム溶液を調製した。この溶液を20Lの半密閉容器に入れた。
13.5kgの3M硝酸三価セリウム、2.2kgの68%HNO3および0.7kgの脱イオン水を混合することによって、硝酸セリウム溶液を調製した。この溶液を20Lの半密閉溶液に入れた。
二次粒子サイズは、レーザ粒子サイザ(Horiba LA−910)により水中CeO2の相対屈折率1.7で測定した。メジアンサイズD50は137nmであり、標準偏差は36nmであり、平均粒子サイズの26%に相当した。D10、D50およびD90は、それぞれ、106、137および192nmであった。計算された分散σ/mおよびD90/D50は、それぞれ、0.31および1.40であった。
実施例1〜実施例5および比較例1の懸濁液を、以下の研磨条件によって研磨用途で試験した:
研磨具:LM15
パッド:SFMA−軟質ポリウレタンパッド
ウェハ:RRについての係数計算=45.564を有する石英ガラス
スラリー濃度:1重量%
荷重:10kg
パッド速度:80rpm/ドライバ速度:40rpm/攪拌速度:400rpm
ポンプ流量:500mL/分
研磨継続時間:30分(1ショット)
texp=30分,ρ石英=2.2g/cm3,A表面積=100cm2
RR:除去率(μm/分)
m:SiO2石英基板の重量(g)
A:SiO2石英基板の表面積(cm2)
ρ:SiO2石英の密度(g/cm3)
t:継続時間(分)
Claims (15)
- 液相中の酸化セリウム粒子の懸濁液であって、前記粒子は、一次粒子を含む二次粒子を含み、
−前記二次粒子は、105〜1000nmに含まれる平均サイズD50を有し、標準偏差は、前記二次粒子の前記平均サイズの値の10〜50%に含まれ、かつ
−前記一次粒子は、100〜300nmに含まれる平均サイズD50を有し、標準偏差は前記一次粒子の前記平均サイズの値の10〜30%に含まれる、懸濁液。 - 二次粒子が、110〜800nmに含まれる平均サイズD50を有する、請求項1に記載の懸濁液。
- 一次粒子が、100〜250nmに含まれる平均サイズD50を有する、請求項1または2に記載の懸濁液。
- 二次粒子が、最大で0.6の分散指数を有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の懸濁液。
- 二次粒子が、0.22〜0.6に含まれる分散指数を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の懸濁液。
- 二次粒子が、0.26〜0.6に含まれる分散指数を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の懸濁液。
- 前記一次粒子が、3〜15m2/gに含まれる比表面積BETを有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の懸濁液。
- 前記一次粒子が、3〜10m2/gに含まれる比表面積BETを有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の懸濁液。
- 前記懸濁液の液相が、水、水/水混和性溶媒混合物、または有機溶媒からなる群から選択される、請求項1〜8のいずれか一項に記載の懸濁液。
- 酸化セリウム懸濁液を調製する方法であって、少なくとも以下の工程:
(a)少なくともセリウムIII塩、セリウムIV塩および塩基を含む溶液を不活性雰囲気下で処理し、それにより、沈殿物を得る工程であって;沈殿前の前記セリウムIV/総セリウムモル比は、1/10000〜1/500000に含まれる、工程と;
(b)前の工程で得られた媒体を不活性雰囲気下で熱処理に供する工程であって、前記工程(a)または工程(b)の少なくとも一方は硝酸イオンの存在下で行われる工程と;
(c)このようにして得られた前記媒体を酸性化および洗浄し、それにより、前記懸濁液を得る工程と
を含む方法。 - 前記沈殿前のセリウムIV/総セリウムモル比が、1/50000〜1/300000に含まれる、請求項10に記載の方法。
- 前記セリウムIVが、硝酸セリウムIV、硝酸アンモニウムセリウム、硫酸アンモニウムセリウム、および硫酸セリウムIVからなる群から選択される、請求項10または11に記載の方法。
- NO3 −/Ce3 +モル比により表される、前記硝酸イオンの量が、1/6〜5/1に含まれる、請求項10〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記工程a)において、セリウムIII塩の溶液が、塩基およびセリウムIV塩を含む溶液によって不活性雰囲気下で処理され、それにより、沈殿物を得る、請求項10〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 基板の一部を除去する方法であって、少なくとも以下の工程:
−少なくとも、請求項1〜9のいずれか一項に記載の懸濁液を提供する工程と;
−少なくとも前記懸濁液と研磨される基板とを接触させる工程と;
−前記基板上で前記研磨を行う工程と
を含む方法。
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