JP2017228772A - 端面発光型半導体レーザおよび端面発光型半導体レーザの動作方法 - Google Patents
端面発光型半導体レーザおよび端面発光型半導体レーザの動作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017228772A JP2017228772A JP2017112590A JP2017112590A JP2017228772A JP 2017228772 A JP2017228772 A JP 2017228772A JP 2017112590 A JP2017112590 A JP 2017112590A JP 2017112590 A JP2017112590 A JP 2017112590A JP 2017228772 A JP2017228772 A JP 2017228772A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stress layer
- semiconductor laser
- longitudinal strip
- edge
- emitting semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 166
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 42
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 34
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 19
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 13
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 6
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 claims description 5
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 2
- 240000001973 Ficus microcarpa Species 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- -1 nitride compound Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000012887 quadratic function Methods 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2004—Confining in the direction perpendicular to the layer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2036—Broad area lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2054—Methods of obtaining the confinement
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/3201—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures incorporating bulkstrain effects, e.g. strain compensation, strain related to polarisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/3403—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers having a strained layer structure in which the strain performs a special function, e.g. general strain effects, strain versus polarisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2301/00—Functional characteristics
- H01S2301/17—Semiconductor lasers comprising special layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2301/00—Functional characteristics
- H01S2301/17—Semiconductor lasers comprising special layers
- H01S2301/176—Specific passivation layers on surfaces other than the emission facet
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/1053—Comprising an active region having a varying composition or cross-section in a specific direction
- H01S5/1064—Comprising an active region having a varying composition or cross-section in a specific direction varying width along the optical axis
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】端面発光型半導体レーザ1は、半導体積層体3内の活性ゾーン30と応力層6とを備える。活性ゾーンは、半導体積層体の成長方向Gに直交する長手ストリップ33内のみで通電されるように構成されている。半導体積層体の厚さは、長手ストリップの領域全体に亘って一定であるように構成され、半導体レーザは利得導波型である。応力層により半導体積層体は、長手ストリップに直交する方向及び成長方向に直交する方向に局所的に応力を受ける。したがって、動作中に発生したレーザ放射Lの、半導体積層体の平面視において長手ストリップに隣接する領域内の屈折率は、少なくとも2×10−4、最大でも5×10−3低下する。
【選択図】図2
Description
2 基板
3 半導体積層体
4 パッシベーション層
5 電気コンタクト構造部
6 応力層
7 トレンチ
8 電気コンタクト層
30 活性ゾーン
33 長手ストリップ
51,52 コンタクト構造部の部分層
66 粗面化表面
70 基面
71 側面
G 成長方向
I 強度
L レーザ放射
n 屈折率
x 方向
y 方向
Claims (17)
- − 半導体積層体内の活性ゾーンと、
− 応力層と、を有する端面発光型半導体レーザであって、
− 前記活性ゾーンは、前記半導体積層体の成長方向に直交する長手ストリップにおいてのみ通電されるように構成され、
− 前記半導体積層体の厚さは、前記長手ストリップの領域全体に亘って一定であり、したがって前記半導体レーザは、利得導波型であり、
− 前記応力層によって、前記半導体積層体が、前記長手ストリップに直交する方向および前記成長方向に直交する方向に機械的に応力を受ける結果、動作時に発生するレーザ放射の、平面視において前記長手ストリップに隣接する領域の屈折率は、少なくとも2×10−4、また最大でも5×10−3低下し、したがって前記レーザ放射の屈折率導波が実現される、
端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層によって引き起こされる引張応力は、少なくとも50MPaであり、かつ最大でも0.5GPaであり、
前記成長方向の長手方向における前記応力層と前記活性ゾーンとの間隔は、少なくとも0.1μmであり、かつ最大でも3μmである、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記長手ストリップには、前記応力層が存在しておらず、
前記応力層の厚さは、40nm以上であり、かつ、0.3μm以下であり、
前記応力層の厚さは、変化しない、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層が前記半導体積層体に接触しないように、少なくとも1層のパッシベーション層が前記応力層と前記半導体積層体との間に配置されている、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層は、前記半導体積層体上に直接的に配置されている、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層は、複数の部分層から構成されている、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 電気コンタクト構造部をさらに備え、
前記応力層は、前記電気コンタクト構造部の一部であり、
前記応力層は、導電性である、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層は、金属酸化物からなる、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層は、TiO2で作られている、
請求項8に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層は、半導体材料からなり、
前記応力層は、少なくとも部分的にエピタキシャル成長によって形成されている、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層は、誘電性の窒化物または酸化物からなる、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層のうち前記半導体積層体に対向する側が粗面化表面となっていることにより、前記粗面化表面によって、前記応力層は、前記半導体積層体の方向において前記応力層に当接している材料と噛み合って係合され、かつ、前記応力層と前記材料との接着が幾何学的形状によって強化されており、
前記粗面化表面の平均粗さは、少なくとも0.02μmであり、かつ最大でも0.2μmである、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層によってもたらされた前記屈折率の前記低下は、前記長手ストリップの両側のそれぞれにおいて、前記長手ストリップの幅の最大でも30%の幅の領域に亘って生じており、
前記屈折率は、他の箇所では一定である、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 傾斜した側面を有するトレンチが前記半導体積層体において、前記長手ストリップに平行に、かつ、前記長手ストリップの両側に形成されており、
前記長手ストリップと前記トレンチとの間隔はそれぞれ、少なくとも20μmであり、
前記トレンチは、前記長手ストリップに平行な方向における前記レーザ放射の導波には寄与しない、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層は、厚さ勾配を伴って形成されており、
前記応力層の厚さは、前記長手ストリップに直交する断面視において、外側から前記長手ストリップの方向に増大している、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 前記応力層は、前記レーザ放射の放射取出し面の方向に絶えず増大する幅、または、絶えず減少する幅を有する、
請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ。 - 請求項1に記載の端面発光型半導体レーザの動作方法であって、
前記応力層による前記半導体積層体における前記引張応力は、前記半導体レーザの動作中にのみ、意図した動作温度に近づくと生じる、
端面発光型半導体レーザの動作方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102016111255 | 2016-06-20 | ||
DE102016111255.0 | 2016-06-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017228772A true JP2017228772A (ja) | 2017-12-28 |
JP6635980B2 JP6635980B2 (ja) | 2020-01-29 |
Family
ID=60481556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017112590A Active JP6635980B2 (ja) | 2016-06-20 | 2017-06-07 | 端面発光型半導体レーザおよび端面発光型半導体レーザの動作方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10177533B2 (ja) |
JP (1) | JP6635980B2 (ja) |
DE (1) | DE102017112242B4 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022501815A (ja) * | 2018-09-19 | 2022-01-06 | オスラム オーエルイーディー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOSRAM OLED GmbH | 利得導波型半導体レーザおよびその製造方法 |
JP2022504105A (ja) * | 2018-10-15 | 2022-01-13 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 半導体レーザおよび半導体レーザの製造方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018118824A1 (de) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterbauelement mit einer stresskompensationsschicht und verfahren zur herstellung eines halbleiterbauelements |
DE102019103909A1 (de) * | 2019-02-15 | 2020-08-20 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Kantenemittierende Laserdiode und Verfahren für deren Herrstellung |
DE102021100391A1 (de) | 2021-01-12 | 2022-07-14 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Kantenemittierende halbleiterlaserdiode und verfahren zur herstellung einer kantenemittierenden halbleiterlaserdiode |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0376287A (ja) * | 1989-08-18 | 1991-04-02 | Sanyo Electric Co Ltd | ブロードエリアレーザ |
JPH07263814A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-13 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
US5561680A (en) * | 1994-12-20 | 1996-10-01 | Philips Electronics North America Corporation | II-VI semiconductor diode laser having a strained layer |
JPH0936493A (ja) * | 1995-07-13 | 1997-02-07 | Nec Corp | 半導体レーザおよび複合半導体レーザ |
JPH11220223A (ja) * | 1995-11-06 | 1999-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP2002329926A (ja) * | 2000-03-27 | 2002-11-15 | Tadashi Takano | 半導体レーザ装置およびそれを用いた通信システム |
WO2006106886A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Optoenergy, Inc. | 半導体レーザ素子 |
JP2007293215A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Fujitsu Ltd | 光デバイス |
JP2008277492A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2010123785A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Mitsubishi Electric Corp | 窒化物半導体装置及びその製造方法 |
JP2010267731A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | 窒化物半導体レーザ装置 |
JP2012119646A (ja) * | 2010-11-11 | 2012-06-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化物発光素子、及び窒化物発光素子を作製する方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2020083A (en) * | 1978-04-28 | 1979-11-07 | Plessey Co Ltd | A record player having a trip mechanism |
GB2029083B (en) * | 1978-08-18 | 1982-08-11 | Standard Telephones Cables Ltd | Semiconductor waveguide devices |
US4663761A (en) * | 1983-10-12 | 1987-05-05 | The General Electric Company, P.L.C. | Semiconductor diode lasers |
WO1997050133A1 (en) | 1996-06-24 | 1997-12-31 | Philips Electronics N.V. | Radiation-emitting semiconductor diode, and method of manufacturing such a diode |
JP4090768B2 (ja) | 2002-03-20 | 2008-05-28 | 株式会社日立製作所 | 半導体レーザ素子 |
US8178364B2 (en) * | 2005-10-31 | 2012-05-15 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Testing method of surface-emitting laser device and testing device thereof |
CN102447220A (zh) * | 2010-09-30 | 2012-05-09 | 新科实业有限公司 | 面发光型半导体激光器及其制造方法 |
DE102011055891B9 (de) | 2011-11-30 | 2017-09-14 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterlaserdiode |
JP6419611B2 (ja) * | 2015-03-12 | 2018-11-07 | 株式会社東芝 | プリント基板 |
-
2017
- 2017-06-02 DE DE102017112242.7A patent/DE102017112242B4/de active Active
- 2017-06-07 JP JP2017112590A patent/JP6635980B2/ja active Active
- 2017-06-20 US US15/628,406 patent/US10177533B2/en active Active
-
2018
- 2018-12-12 US US16/217,439 patent/US10931084B2/en active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0376287A (ja) * | 1989-08-18 | 1991-04-02 | Sanyo Electric Co Ltd | ブロードエリアレーザ |
JPH07263814A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-13 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
US5561680A (en) * | 1994-12-20 | 1996-10-01 | Philips Electronics North America Corporation | II-VI semiconductor diode laser having a strained layer |
JPH0936493A (ja) * | 1995-07-13 | 1997-02-07 | Nec Corp | 半導体レーザおよび複合半導体レーザ |
JPH11220223A (ja) * | 1995-11-06 | 1999-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP2002329926A (ja) * | 2000-03-27 | 2002-11-15 | Tadashi Takano | 半導体レーザ装置およびそれを用いた通信システム |
WO2006106886A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Optoenergy, Inc. | 半導体レーザ素子 |
JP2007293215A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Fujitsu Ltd | 光デバイス |
JP2008277492A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2010123785A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Mitsubishi Electric Corp | 窒化物半導体装置及びその製造方法 |
JP2010267731A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | 窒化物半導体レーザ装置 |
JP2012119646A (ja) * | 2010-11-11 | 2012-06-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化物発光素子、及び窒化物発光素子を作製する方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
HONG-DU LIU AND ZHE-CHUAN FENG: ""The Stresses and Photoelastic Effects in Stripe Geometry GaAs-GaAlAs DH Lasers with Masked and Sel", IEEE JOURNAL QUANTUM ELECTRONICS, vol. 19, no. 6, JPN6018023257, 1983, pages 1016 - 1020, XP011421060, ISSN: 0004123489, DOI: 10.1109/JQE.1983.1071970 * |
P.A.KIRKBY AND P.R. SELWAY: ""Photoelastic waveguides and their effect on stripe-geometry GaAs/Ga1-xAlx lasers"", JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, vol. 50, no. 7, JPN6018023258, 1979, pages 4567 - 4579, XP001626119, ISSN: 0004123490 * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022501815A (ja) * | 2018-09-19 | 2022-01-06 | オスラム オーエルイーディー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOSRAM OLED GmbH | 利得導波型半導体レーザおよびその製造方法 |
JP7297875B2 (ja) | 2018-09-19 | 2023-06-26 | オスラム オーエルイーディー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 利得導波型半導体レーザおよびその製造方法 |
US11984704B2 (en) | 2018-09-19 | 2024-05-14 | Osram Oled Gmbh | Gain-guided semiconductor laser and method of manufacturing the same |
JP2022504105A (ja) * | 2018-10-15 | 2022-01-13 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 半導体レーザおよび半導体レーザの製造方法 |
JP7154405B2 (ja) | 2018-10-15 | 2022-10-17 | エイエムエス-オスラム インターナショナル ゲーエムベーハー | 半導体レーザおよび半導体レーザの製造方法 |
US12009632B2 (en) | 2018-10-15 | 2024-06-11 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Semiconductor laser and production method for a semiconductor laser |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102017112242A1 (de) | 2017-12-21 |
DE102017112242B4 (de) | 2019-10-24 |
US20190131773A1 (en) | 2019-05-02 |
JP6635980B2 (ja) | 2020-01-29 |
US10931084B2 (en) | 2021-02-23 |
US10177533B2 (en) | 2019-01-08 |
US20170365982A1 (en) | 2017-12-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6635980B2 (ja) | 端面発光型半導体レーザおよび端面発光型半導体レーザの動作方法 | |
JP6337036B2 (ja) | 半導体レーザダイオード | |
US11495939B2 (en) | Semiconductor laser | |
US9048631B2 (en) | Laser light source | |
US11626707B2 (en) | Semiconductor laser diode | |
US11011888B2 (en) | Light-emitting device and light-emitting apparatus | |
CN108352678B (zh) | 具有在棱面上受抑制的电流注入的半导体激光器 | |
US11527866B2 (en) | Semiconductor optical device | |
US9151893B2 (en) | Radiation-emitting semiconductor component with a waveguide meeting a mirror surface perpendicularly and meeting a coupling-out surface obliquely | |
JP7332623B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
US9787059B2 (en) | Semiconductor light emitting element | |
US7460579B2 (en) | Multi-wavelength semiconductor laser device | |
JP2009238843A (ja) | 発光装置 | |
JP2022501815A (ja) | 利得導波型半導体レーザおよびその製造方法 | |
JP5168476B2 (ja) | 発光装置 | |
US11948966B2 (en) | Radiation emitting semiconductor chip and radiation emitting semiconductor device | |
RU2807419C1 (ru) | Лазерный диод | |
US20230246422A1 (en) | Quantum cascade laser element, quantum cascade laser device, and method for manufacturing quantum cascade laser element | |
US10348055B2 (en) | Folded waveguide structure semiconductor laser | |
RU162125U1 (ru) | Полупроводниковый излучатель (варианты) | |
JP5494991B2 (ja) | 発光装置 | |
JP2021077670A (ja) | 量子カスケードレーザ | |
CN116667141A (zh) | 半导体激光元件及其制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170607 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180626 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190402 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20190712 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20190718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191001 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191126 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6635980 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |