JP2007293215A - 光デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】誘電体基板1に光導波路3が形成された光デバイス10は、前記光導波路3と光ファイバが接続される入出力部を備え、前記入出力部の少なくとも一方には、前記光導波路3に応力を付与して前記光導波路3の屈性率を低減する応力層2が設けられていることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
図3は、本発明の第1の実施の形態にかかる光デバイスの概略構造を示す平面図であり、図4は、図3に示す光デバイスを矢印Aで示す方向から見たときの概略図である。
σ=σint+σth
で表される。ここでσintは真性応力と呼ばれ、熱によらない成膜時の応力であり、σthは上述の如き、熱膨張係数差により生じる応力である。
図6は、本発明の第2の実施の形態にかかる光デバイスの概略構造を示す平面図であり、図7は、図6に示す光デバイスを矢印Aで示す方向から見たときの概略図である。なお、以下の説明において、本発明の第1の実施の形態において説明した箇所と同じ箇所には同じ符号を付して、その説明を省略する。
上述の実施の形態においては、本発明を、光強度分布が基板表面上に偏っている導波路(主に拡散導波路がこれに当たる)に対して適用した場合について説明した。
(付記1) 誘電体基板に光導波路が形成された光デバイスであって、
前記光導波路と光ファイバが接続される入出力部を備え、
前記入出力部の少なくとも一方には、前記光導波路に応力を付与して前記光導波路の屈性率を低減する応力層が設けられていることを特徴とする光デバイス。
(付記2) 付記1記載の光デバイスであって、
前記応力層は、前記入出力部の少なくとも一方の表面近傍の屈折率を低減することを特徴とする光デバイス。
(付記3) 付記1又は2記載の光デバイスであって、
前記光導波路への前記応力は、前記応力層の熱応力により形成されることを特徴とする光デバイス。
(付記4) 付記1乃至3いずれか一項記載の光デバイスであって、
前記応力層は、テーパ状に形成され、
前記光導波路への前記応力は、前記入出力部の少なくとも一方から電極が設けられた制御部に向かって弱くなることを特徴とする光デバイス。
(付記5) 付記4記載の光デバイスであって、
前記応力層の幅が前記テーパ状になっていることを特徴とする光デバイス。
(付記6) 付記4記載の光デバイスであって、
前記応力層の厚さが前記テーパ状になっていることを特徴とする光デバイス。
(付記7) 付記1乃至6いずれか一項記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板が、正の光弾性定数を有する材質から成り、前記応力層の熱膨張係数は、前記誘電体基板の熱膨張係数よりも大きい場合は、
前記応力層は、前記入出力部の少なくとも一方において、前記光導波路を挟むように設けられていることを特徴とする光デバイス。
(付記8) 付記7記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板は、ニオブ酸リチウム又はタンタル酸リチウムから成り、
前記応力層は、アルミニウム又はポリイミドから成ることを特徴とする光デバイス。
(付記9) 付記1乃至6いずれか一項記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板が、負の光弾性定数を有する材質から成り、前記応力層の熱膨張係数は、前記誘電体基板の熱膨張係数よりも小さい場合は、
前記応力層は、前記入出力部の少なくとも一方において、前記光導波路を挟むように設けられていることを特徴とする光デバイス。
(付記10) 付記9記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板は、ガリウム砒素から成り、
前記応力層は、酸化シリコン又は窒化シリコンから成ることを特徴とする光デバイス。
(付記11) 付記1乃至6いずれか一項記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板が、正の光弾性定数を有する材質から成り、前記応力層の熱膨張係数は、前記誘電体基板の熱膨張係数よりも小さい場合は、
前記応力層は、前記入出力部の少なくとも一方において、前記光導波路の上に設けられていることを特徴とする光デバイス。
(付記12) 付記11記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板は、ニオブ酸リチウム又はタンタル酸リチウムから成り、
前記応力層は、酸化シリコン又は窒化シリコンから成ることを特徴とする光デバイス。
(付記13) 付記1乃至6いずれか一項記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板が、負の光弾性定数を有する材質から成り、前記応力層の熱膨張係数は、前記誘電体基板の熱膨張係数よりも大きい場合は、
前記応力層は、前記入出力部において、前記光導波路の上に設けられていることを特徴とする光デバイス。
(付記14) 付記13記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板は、ガリウム砒素から成り、
前記応力層は、アルミニウム又はポリイミドから成ることを特徴とする光デバイス。
2、2'、22、27、32 応力層
3 拡散導波路
4 変調電極
10、15、20、25 光デバイス
Claims (10)
- 誘電体基板に光導波路が形成された光デバイスであって、
前記光導波路と光ファイバが接続される入出力部を備え、
前記入出力部の少なくとも一方には、前記光導波路に応力を付与して前記光導波路の屈性率を低減する応力層が設けられていることを特徴とする光デバイス。 - 請求項1記載の光デバイスであって、
前記応力層は、前記入出力部の少なくとも一方の表面近傍の屈折率を低減することを特徴とする光デバイス。 - 請求項1又は2記載の光デバイスであって、
前記光導波路への前記応力は、前記応力層の熱応力により形成されることを特徴とする光デバイス。 - 請求項1乃至3いずれか一項記載の光デバイスであって、
前記応力層は、テーパ状に形成され、
前記光導波路への前記応力は、前記入出力部の少なくとも一方から電極が設けられた制御部に向かって弱くなることを特徴とする光デバイス。 - 請求項4記載の光デバイスであって、
前記応力層の幅が前記テーパ状になっていることを特徴とする光デバイス。 - 請求項4記載の光デバイスであって、
前記応力層の厚さが前記テーパ状になっていることを特徴とする光デバイス。 - 請求項1乃至6いずれか一項記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板が、正の光弾性定数を有する材質から成り、前記応力層の熱膨張係数は、前記誘電体基板の熱膨張係数よりも大きい場合は、
前記応力層は、前記入出力部の少なくとも一方において、前記光導波路を挟むように設けられていることを特徴とする光デバイス。 - 請求項1乃至6いずれか一項記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板が、負の光弾性定数を有する材質から成り、前記応力層の熱膨張係数は、前記誘電体基板の熱膨張係数よりも小さい場合は、
前記応力層は、前記入出力部の少なくとも一方において、前記光導波路を挟むように設けられていることを特徴とする光デバイス。 - 請求項1乃至6いずれか一項記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板が、正の光弾性定数を有する材質から成り、前記応力層の熱膨張係数は、前記誘電体基板の熱膨張係数よりも小さい場合は、
前記応力層は、前記入出力部の少なくとも一方において、前記光導波路の上に設けられていることを特徴とする光デバイス。 - 請求項1乃至6いずれか一項記載の光デバイスであって、
前記誘電体基板が、負の光弾性定数を有する材質から成り、前記応力層の熱膨張係数は、前記誘電体基板の熱膨張係数よりも大きい場合は、
前記応力層は、前記入出力部において、前記光導波路の上に設けられていることを特徴とする光デバイス。
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