JP2017226898A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017226898A JP2017226898A JP2016125285A JP2016125285A JP2017226898A JP 2017226898 A JP2017226898 A JP 2017226898A JP 2016125285 A JP2016125285 A JP 2016125285A JP 2016125285 A JP2016125285 A JP 2016125285A JP 2017226898 A JP2017226898 A JP 2017226898A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- gas
- tio
- oxidation
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
当該O2ガスの流量は1000sccmに制御されても良い。
また、シャワープレート30には、当該シャワープレート30を厚み方向に貫通する複数のガス供給孔30aが形成されている。また、シャワープレート30の外周縁部全周には、上方に突出する突出部30bが形成されている。即ち、シャワープレート30は、有底で上部が開口した略円筒形状を有している。シャワープレート30は、この突出部30bの外側面が処理容器10の内側面と所定の距離だけ離間するように、処理容器10の内径よりも小さく、且つ、シャワープレート30における載置台11と対向する面が、例えば平面視において載置台11上のウェハWの全面を覆うように、ウェハWよりも大きな径を有している。突出部30bの上端面には、略円盤状の蓋体31が接続され、当該蓋体31とシャワープレート30とで囲まれた空間によりガス拡散室32が形成されている。なお、蓋体31とシャワープレート30とは、一体に構成されていてもよい。
ウェハWが載置台11に保持されると、排気機構70により処理容器10内が排気され気密に保持される。それと共に処理ガス供給源51から、TiCl4ガス、O2ガス及びN2ガスがそれぞれ所定の流量で処理容器10内に供給される。酸化ガスとしてはO3ガスが用いられるが、当該O3ガスは、処理容器10内のオゾナイザーに対してO2ガスを流し、このオゾナイザーによる高周波放電によって得られる。即ち、本発明及び本明細書におけるO3フロー時間とは、実質的にはO2フロー時間と同義である。
この際、TiCl4ガスの流量は概ね5〜50sccm、O2ガスの流量は概ね1000sccm、N2ガスの流量は概ね1.5sccmとなるように各流量調整機構56が制御される。また、処理容器10内の圧力が、例えば65Pa〜1330Pa、本実施の形態では概ね666Paとなるように、調節弁72の開度が制御される。また、供給されるO3ガスの濃度は200g/Nm3以上とすることが好ましい。
なお、1枚のウェハWの処理が終了すると、処理容器10から当該ウェハWが搬出される。そして、処理容器10内に新たなウェハWが搬入され、この一連のウェハWの処理が繰り返し行われる。
一方、図3(c)に示すように、酸化時間が短時間(例えば1s)、且つ、高温での酸化を行った場合には、膜の結晶化が進行し、上記図3(a)に示す低温の場合に比べ、ラフネスが小さく抑えられた膜(例えば、RMSラフネス0.96nm)が成膜される。但し、このように高温で処理を行ったTiO2膜は、核形成密度が高く、各々の結晶核がランダムに成長し、且つ結晶粒界の多いアナターゼ結晶構造を有する膜となっている。
図4は、本実施の形態に係る熱ALD処理によるTiO2膜の成膜処理方法での、プロセス温度(上限値)に関する説明図であり、各温度260℃〜400℃で成膜されたTiO2膜の結晶の深さ方向のピーク強度をX線回折(XRD)によって測定したグラフである。なお、酸化時間は1sで成膜し、TiO2膜の膜厚は全て18nmである。
図4に示すように、成膜温度が300℃以上ではアナターゼTiO2の結晶ピークが顕著に現れているのに対し、成膜温度が280℃以下では当該ピークはほとんど現れていない。TiO2膜における結晶方位ピーク高さは、膜の結晶化の進行度合を示している。即ち、プロセス温度によって膜の結晶化を制御することが可能であるが、高温で結晶化したTiO2膜は核形成密度が高く、結晶粒界の多い膜となっている(図3(c)参照)。
図5に示すように、成膜温度が200℃では、酸化時間の長短に依らず結晶ピークは現れていないことが分かる。即ち、成膜温度200℃では結晶成長(結晶核の形成)が行われず、アモルファス膜のままである。従って、アモルファス膜において結晶成長を好適に制御し、横方向(2次元方向)への結晶成長のみを促進させるためには、成膜温度を200℃超にすることが望ましいことが分かる。
図6は、本実施の形態に係る熱ALD処理によるTiO2膜の成膜処理方法での酸化ガス濃度および酸化時間に関する説明図である。具体的には、酸化ガスとしてO3ガスを用い、O3ガスの濃度を200g/Nm3として1s〜10sの酸化時間により成膜を行った場合と、O3ガスの濃度を300g/Nm3として10sの酸化時間により成膜を行った場合の、成膜されたTiO2膜の深さ方向のピーク強度をX線回折(XRD)によって測定したグラフである。TiO2膜の膜厚は全て18nmである。
図6に示すように、O3ガスの濃度が200g/Nm3、300g/Nm3のいずれの場合でもアナターゼTiO2の結晶ピークが現れている。O3ガスの濃度が150g/Nm3以下の場合、成膜速度が極めて小さく実用性が低い。以上のことから、TiO2膜の結晶化制御を実現するには、O3ガスの濃度を200g/Nm3以上にすることが望ましいことが分かる。
一方、本発明の範囲外の条件で成膜されたTiO2膜では、アナターゼTiO2の結晶ピークは現れているものの、結晶性が低く、面方向に結晶方向が揃っていないランダムな結晶膜であることが分かる。
例えば、上記実施の形態においては、Tiソース(TiCl4)の酸化を行う反応ガス(酸化ガス)としてO3を挙げて説明したが、酸化ガスはこれに限られるものではない。具体的には、酸化ガスとしてH2Oガスを用いても良い。以下では、熱ALD処理によってTiO2膜を成膜する場合に、酸化ガスとしてH2Oガスを用いる場合の最適なプロセス条件を本発明の他の実施の形態として説明する。
また、酸化ガスとしてH2Oガスを用いた場合の供給条件としては、酸化工程における流量の総量12.5cc以上、且つ、フロー時間(酸化時間)10s以上とすることが望ましい。これは、アモルファス膜において結晶成長を十分に発現させ、2次元結晶構造を有するTiO2膜を成膜するために必要な条件である。
また、H2Oガスの総流量に関しても、多い場合には酸化反応が進行し、2次元結晶構造を有するTiO2膜の成膜が更に進行するのみであり、上限値については設ける必要はない。
一方、図8(c)に示すように、酸化時間が短時間(例えば1s)、且つ、高温での酸化を行った場合には、核形成密度が高く結晶粒界の多いアナターゼTiO2膜となっている。
10…処理容器
11…載置台
12…接地線
13…支持部材
20…電気ヒータ
30…シャワープレート
31…蓋体
32…ガス拡散室
33…支持部材
50…ガス供給管
51…処理ガス供給源
52…原料ガス供給部
53…酸化ガス供給部
54…希ガス供給部
70…排気機構
100…制御部
W…ウェハ(被処理体)
Claims (4)
- 熱ALD法によりTiO2膜を成膜する成膜方法であって、
基板上にTiCl4を吸着させる吸着工程と、
反応ガスを用いて前記吸着工程において吸着したTiCl4を酸化させTiO2膜を基板上に定着させる酸化工程と、を有し、
前記酸化工程は、アモルファスTiO2膜の結晶化が2次元結晶構造となる条件で実施されることを特徴とする、成膜方法。 - 前記反応ガスはO3ガスであり、
前記酸化工程は、プロセス温度が200℃超280℃以下、O3ガス濃度が200g/Nm3以上、酸化時間が10s以上、の条件下で実施されることを特徴とする、請求項1に記載の成膜方法。 - 前記O3ガスは、O2ガスに対しオゾナイザーを用いた高周波放電によって得られ、
当該O2ガスの流量は1000sccmに制御されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の成膜方法。 - 前記反応ガスはH2Oガスであり、
前記酸化工程は、プロセス温度が200℃超280℃以下、H2Oガス流量の総量12.5cc以上、酸化時間10s以上、の条件下で実施されることを特徴とする、請求項1に記載の成膜方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016125285A JP6731798B2 (ja) | 2016-06-24 | 2016-06-24 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016125285A JP6731798B2 (ja) | 2016-06-24 | 2016-06-24 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017226898A true JP2017226898A (ja) | 2017-12-28 |
JP6731798B2 JP6731798B2 (ja) | 2020-07-29 |
Family
ID=60891151
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016125285A Active JP6731798B2 (ja) | 2016-06-24 | 2016-06-24 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6731798B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108866510A (zh) * | 2018-08-21 | 2018-11-23 | 四川大学 | 一种在TiO2颗粒表面脉冲化学气相沉积无定形TiO2的方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004523885A (ja) * | 2000-11-24 | 2004-08-05 | エーエスエム アメリカ インコーポレイテッド | 堆積前の表面調整方法 |
JP2011049531A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-03-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体デバイスの製造方法、半導体デバイス及び基板処理装置 |
JP2012142367A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体デバイスの製造方法および基板処理装置 |
-
2016
- 2016-06-24 JP JP2016125285A patent/JP6731798B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004523885A (ja) * | 2000-11-24 | 2004-08-05 | エーエスエム アメリカ インコーポレイテッド | 堆積前の表面調整方法 |
JP2011049531A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-03-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体デバイスの製造方法、半導体デバイス及び基板処理装置 |
JP2012142367A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体デバイスの製造方法および基板処理装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108866510A (zh) * | 2018-08-21 | 2018-11-23 | 四川大学 | 一种在TiO2颗粒表面脉冲化学气相沉积无定形TiO2的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6731798B2 (ja) | 2020-07-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6705776B2 (ja) | 3d nandハードマスク用途向けナノ結晶ダイヤモンド炭素膜 | |
TWI554641B (zh) | A substrate processing apparatus, a manufacturing method of a semiconductor device, and a recording medium | |
JP5775705B2 (ja) | カーボンナノチューブの形成方法及び前処理方法 | |
US9382625B2 (en) | Remote plasma source based cyclic CVD process for nanocrystalline diamond deposition | |
TW201132784A (en) | Shadow ring for modifying wafer edge and bevel deposition | |
JP6039616B2 (ja) | グラフェンの下地膜の生成方法、グラフェンの生成方法及びグラフェンの下地膜生成装置 | |
JP5809771B2 (ja) | 基板処理方法、基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | |
JP6151789B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | |
JPWO2007102333A1 (ja) | ルテニウム膜の成膜方法およびコンピュータ読取可能な記憶媒体 | |
JP2010219494A (ja) | 縦型熱処理装置及び熱処理方法 | |
JP2018059173A (ja) | 成膜方法 | |
TW201426864A (zh) | 容納容器、容納容器之製造方法、半導體之製造方法、及半導體製造裝置 | |
JP5161748B2 (ja) | 気相成長用サセプタ及び気相成長装置並びにエピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP6731798B2 (ja) | 基板処理装置 | |
US20230069395A1 (en) | Stress treatments for cover wafers | |
US7942965B2 (en) | Method of fabricating plasma reactor parts | |
JP6196859B2 (ja) | ウエハ搭載用部材 | |
JP6039534B2 (ja) | カーボンナノチューブの生成方法及び配線形成方法 | |
JP2018095918A (ja) | 圧電体結晶膜の成膜方法および圧電体結晶膜成膜用トレイ | |
JP6317868B1 (ja) | 窒化アルミニウム単結晶製造装置 | |
JP2007073627A (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
JP5245499B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
TW202324515A (zh) | 動態處理腔室擋板 | |
JP2020066764A (ja) | 成膜装置および成膜方法 | |
JP2006120734A (ja) | 成膜方法及び成膜装置並びに記憶媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20190201 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200128 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200609 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200707 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6731798 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |