JP2017224553A - 荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
113…偏向走査システム 120…コンピュータ 121…計測・観察検査画像
122…ユーザインタフェース画面。
Claims (10)
- 電子銃と、
前記電子銃から発射された電子ビームを偏向させることにより試料に走査して照射する偏向電極部と、
前記電子ビームが走査して照射された試料から発生した二次電子を検出する検出部と、
前記二次電子を検出した前記検出部の出力を受けて前記二次電子によるパルス数をカウントするパルスカウント部と、
前記二次電子によるパルス数をカウントした前記パルスカウント部からの出力信号を処理して前記試料の画像を形成する信号処理・画像生成部と、
前記信号処理・画像生成部で処理した結果を受けて前記偏向電極部を制御する偏向電極制御部と、
前記信号処理・画像生成部で形成した前記試料の画像を表示する表示部と、
を備えた荷電粒子ビーム装置であって、
前記信号処理・画像生成部は、前記パルスカウント部からの出力信号を処理して前記試料からの二次電子を検出しなかった領域を抽出して前記抽出した領域に前記偏向電極部で前記電子ビームを走査して照射するように前記偏向電極制御部を制御することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1記載の荷電粒子ビーム装置であって、前記信号処理・画像生成部は、前記パルスカウント部からの出力信号を処理して形成した前記試料の画像と、前記偏向電極制御部を制御して前記抽出した前記試料からの二次電子を検出しなかった領域に前記偏向電極部で前記電子ビームを走査して照射することにより得られた画像に重みつけ処理を行った画像と重ね合わせて合成画像を生成することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
- 請求項1記載の荷電粒子ビーム装置であって、前記信号処理・画像生成部は、前記パルスカウント部からの出力信号を処理して生成した画像から前記試料からの二次電子を検出しなかった領域を抽出し、前記抽出した領域に前記偏向電極部で前記電子ビームを走査して照射するように前記偏向電極制御部を制御することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
- 請求項1記載の荷電粒子ビーム装置であって、前記信号処理・画像生成部は、前記パルスカウント部からの出力信号を処理して前記パルスカウント部からの出力信号がない領域を抽出し、前記抽出した領域に前記偏向電極部で前記電子ビームを走査して照射するように前記偏向電極制御部を制御することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
- 電子銃から発射された電子ビームを偏向電極部で偏向させることにより試料に走査して照射し、
前記電子ビームが走査して照射された試料から発生した二次電子を検出部で検出し、
前記二次電子を検出した前記検出部の出力を受けてパルスカウント部で前記二次電子によるパルス数をカウントし、
前記二次電子によるパルス数をカウントした前記パルスカウント部からの出力信号を信号処理・画像生成部で処理して前記試料の画像を形成し、
前記信号処理・画像生成部で、前記パルスカウント部からの出力信号を処理して前記試料からの二次電子を検出しなかった領域を抽出し、
前記信号処理・画像生成部で前記抽出した領域に前記電子ビームを走査して照射するように偏向電極制御部で前記偏向電極部を制御した状態で前記電子ビームを走査して照射して前記抽出した領域の画像を取得し、
前記形成した前記試料の画像と前記取得した前記抽出した領域の画像とを重ね合わせて合成画像を生成する
することを特徴とする荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法。 - 請求項5記載の荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法であって、前記信号処理・画像生成部で、前記パルスカウント部からの出力信号を処理して前記試料からの二次電子を検出しなかった領域を抽出し、前記抽出した領域に前記電子ビームを走査して照射するように偏向電極制御部で前記偏向電極部を制御した状態で前記電子ビームを走査して照射して前記抽出した領域の画像を取得することを、前記試料からの二次電子を検出しなかった領域が抽出されなくなるまで繰り返し行うことを特徴とする荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法。
- 請求項5記載の荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法であって、前記信号処理・画像生成部において、前記パルスカウント部からの出力信号を処理して形成した前記試料の画像に対して前記抽出した領域の画像に重みつけ処理を行って重ね合わせて合成画像を生成することを特徴とする荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法。
- 請求項5記載の荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法であって、前記信号処理・画像生成部において、前記パルスカウント部からの出力信号を処理して生成した画像から前記試料からの二次電子を検出しなかった領域を抽出し、前記抽出した領域に前記偏向電極部で前記電子ビームを走査して照射するように前記偏向電極制御部を制御することを特徴とする荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法。
- 請求項5記載の荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法であって、前記信号処理・画像生成部において、前記パルスカウント部からの出力信号を処理して前記パルスカウント部からの出力信号がない領域を抽出し、前記抽出した領域に前記偏向電極部で前記電子ビームを走査して照射するように前記偏向電極制御部を制御することを特徴とする荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法。
- 請求項5記載の荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法であって、前記信号処理・画像生成部において、前記パルスカウント部からの出力信号をメモリにデータとして保存し、前記メモリに保存したデータから前記試料からの二次電子を検出しなかった領域を抽出し、前記抽出した領域を前記電子ビームで走査して得られた前記パルスカウント部からの出力信号を前記メモリに保存したデータに加算して前記加算した信号を前記メモリに保存することを、前記試料からの二次電子を検出しなかった領域がなくなるまで繰り返し、前記メモリに保存した前記データから画像を生成することを特徴とする荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法。
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