JP5836221B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
69 ボイド領域
Claims (6)
- 電子線を集束して試料に照射する電子光学系と、
前記電子線の照射によって前記試料から発生する二次電子又は反射電子を検出する検出器と、
複数の画像を比較して欠陥を検出する画像処理部と、を有し、
前記電子光学系は前記試料の同じ箇所に対して前記電子線を複数の加速電圧で照射し、
前記画像処理部は、前記複数の加速電圧のそれぞれに対応して取得された複数の画像における前記同じ箇所のコントラスト変化量に基づいて、グレインとボイドを区別することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記複数の加速電圧は、グレインの前記電子線の加速電圧変化に対するコントラスト依存性とボイドの前記電子線の加速電圧変化に対するコントラスト依存性との差に基づいて決められることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記複数の画像は、第一の加速電圧で撮像された第一の画像と前記第一の加速電圧とは異なる第二の加速電圧で撮像された第二の画像とを少なくとも含み、
前記第一の加速電圧におけるボイドとグレインとのコントラストの差は、前記第二の加速電圧におけるボイドとグレインとのコントラストの差よりも大きく、
前記画像処理部は、前記第一の画像と前記第二の画像を比較することで前記第一の画像と前記第二の画像の差を求め、前記差の領域をボイドと判定することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 電子線を集束して試料に照射する電子光学系と、
前記電子線の照射によって前記試料から発生する二次電子又は反射電子を検出する検出器と、
複数の画像を比較して欠陥を検出する画像処理部と、を有し、
前記電子光学系は前記試料の同じ箇所に対して前記電子線を複数の加速電圧で照射し、
前記画像処理部は、前記複数の加速電圧のそれぞれに対応して取得された複数の画像における前記同じ箇所のコントラスト変化量に基づいて、前記試料の表面から予め指定された深さにあるボイドを判別することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、
前記複数の加速電圧は、第一の深さにあるボイドの前記電子線の加速電圧変化に対するコントラスト依存性と前記第一の深さとは異なる第二の深さにあるボイドの前記電子線の加速電圧変化に対するコントラスト依存性との差に基づいて決められることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、
前記複数の画像は、第一の加速電圧で撮像された第一の画像と前記第一の加速電圧とは異なる第二の加速電圧で撮像された第二の画像とを少なくとも含み、
前記第一の画像および前記第二の画像は、少なくとも第一のボイドの像と、前記第一のボイドとは異なる深さにある第二のボイドの像を含み、
前記第一の加速電圧における第一のボイドと第二のボイドとのコントラストの差は、前記第二の加速電圧における前記第一のボイドと前記第二のボイドとのコントラストの差よりも大きく、
前記画像処理部は、前記第一の画像と前記第二の画像を比較することで前記第一の画像と前記第二の画像の差を求め、前記差の領域を第一のボイドまたは第二のボイドと判定することを特徴とする荷電粒子線装置。
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