JP2017215274A - 温度測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
はじめに、本発明の実施の形態1について図1を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1における温度測定装置の構成を示す構成図である。この温度測定装置は、熱画像センサ101、接触式温度センサ102、補正値算出部103、補正部104を備える。
次に、本発明の実施の形態2について図3を用いて説明する。図3は、本発明の実施の形態2における温度測定装置の構成を示す構成図である。この温度測定装置は、熱画像センサ101、接触式温度センサ102、補正値算出部103、補正部104を備える。これらの構成は、前述した実施の形態1と同様であり、説明は省略する。
次に、本発明の実施の形態3について図5を用いて説明する。図5は、本発明の実施の形態3における温度測定装置の構成を示す構成図である。この温度測定装置は、熱画像センサ101、接触式温度センサ102、補正値算出部103、補正部104を備える。これらの構成は、前述した実施の形態1,2と同様であり、説明は省略する。
Claims (4)
- 測定領域の表面温度分布を2次元的に測定する熱画像センサと、
前記熱画像センサの温度測定可能範囲内で前記測定領域の外側に配置された接触式温度センサと、
熱画像センサによる前記接触式温度センサが配置された箇所の温度測定結果を前記接触式温度センサの測定結果に一致させる補正値を求める補正値算出部と、
前記補正値算出部が求めた補正値で熱画像センサによる前記測定領域の測定結果を補正する補正部と
を備えることを特徴とする温度測定装置。 - 請求項1記載の温度測定装置において、
前記接触式温度センサが配置された箇所の温度を変化させる温度可変制御部を備え、
前記補正値算出部は前記温度可変制御部が変化させた温度毎に前記補正値を求め、
前記補正部は、前記補正値算出部が求めた複数の前記補正値で補正を実施する
ことを特徴とする温度測定装置。 - 請求項1記載の温度測定装置において、
前記測定領域に設定されている管理温度に前記接触式温度センサが配置された箇所の温度を制御する温度制御部を備えることを特徴とする温度測定装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の温度測定装置において、
前記補正値が設定されている上限値以上となったことを検出して警報を出力する警報出力部
を備えることを特徴とする温度測定装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020153737A (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | コニカミノルタ株式会社 | 熱画像補正装置、熱画像補正方法、および、熱画像補正プログラム |
KR102304462B1 (ko) * | 2021-02-08 | 2021-09-24 | 주식회사 알씨테크 | 웨이퍼 증착용 확산 노의 온도 조절장치 |
CN113494972A (zh) * | 2021-06-24 | 2021-10-12 | 山东捷瑞数字科技股份有限公司 | 用于高炉炉温监测的装置和方法 |
JP2021183974A (ja) * | 2018-03-28 | 2021-12-02 | 京セラ株式会社 | 被写体種別判定装置および移動体 |
JP2022520342A (ja) * | 2019-02-12 | 2022-03-30 | アキュア アクネ, インコーポレイテッド | 光熱標的治療システムおよび関連する方法で使用するための温度感知装置 |
CN117232660A (zh) * | 2023-11-13 | 2023-12-15 | 珠海市申科谱工业科技有限公司 | 一种非接触式红外热成像测温在线检测设备 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7479266B2 (ja) * | 2020-09-25 | 2024-05-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置の制御方法、及び、検査装置 |
KR20220107822A (ko) | 2021-01-26 | 2022-08-02 | (주)룬다솔라코리아 | 저중심 태양광모듈 설치구조물 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0484065A (ja) * | 1990-07-26 | 1992-03-17 | Sekisui Chem Co Ltd | 貯湯式電気温水器 |
JPH077667A (ja) * | 1992-10-09 | 1995-01-10 | Nikon Corp | 赤外線撮像装置 |
JPH11351963A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Fujitsu Ltd | 赤外線撮像装置 |
JP2001349786A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Denso Corp | 非接触温度センサの校正方法 |
JP2005010050A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Toshiba Plant Systems & Services Corp | 赤外線カメラ画像による温度測定方法 |
US20060232675A1 (en) * | 2003-04-25 | 2006-10-19 | Land Instruments International Limited | Thermal imaging system and method |
JP2010265534A (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Nippon Steel Corp | フェライト系ステンレス鋼の加熱方法 |
JP2011022039A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Olympus Corp | 温度測定装置および温度測定方法 |
JP2013145153A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Toyota Motor Corp | 赤外線温度測定装置 |
CN203177971U (zh) * | 2013-03-27 | 2013-09-04 | 国家电网公司 | 一种红外热像仪的校准设备 |
JP2016047410A (ja) * | 2015-12-09 | 2016-04-07 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05149790A (ja) * | 1991-11-26 | 1993-06-15 | Minolta Camera Co Ltd | 温度測定装置 |
JP2000058423A (ja) * | 1998-08-12 | 2000-02-25 | Toshiba Corp | 熱処理方法及び熱処理装置 |
JP2006047410A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Kyocera Mita Corp | 画像形成装置 |
JP4217255B2 (ja) * | 2006-07-27 | 2009-01-28 | 株式会社神戸製鋼所 | 鋼板の温度測定方法および温度測定装置、ならびに鋼板の温度制御方法 |
CN201653554U (zh) * | 2010-02-23 | 2010-11-24 | 宝山钢铁股份有限公司 | 红外热像仪校正装置 |
JP5520238B2 (ja) * | 2011-01-27 | 2014-06-11 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 温度測定装置における補正データの取得方法およびこれを行う、温度測定方法、及び、温度測定装置。 |
CN202024821U (zh) * | 2011-03-11 | 2011-11-02 | 赵进豪 | 一种可提高成像质量和测温精度的热像仪 |
CN202275290U (zh) * | 2011-10-14 | 2012-06-13 | 吴士明 | 红外摄像标准化成像环境控制装置 |
US8899828B2 (en) * | 2012-03-22 | 2014-12-02 | Texas Instruments Incorporated | Heat sensor correction |
TWI595219B (zh) * | 2012-05-08 | 2017-08-11 | Sony Corp | Infrared conversion element, imaging device and imaging method |
CN104434031B (zh) * | 2013-09-17 | 2017-01-25 | 汉唐集成股份有限公司 | 红外热影像系统及分析自由皮瓣表面温度影响因素的方法 |
-
2016
- 2016-06-02 JP JP2016110632A patent/JP6777428B2/ja active Active
-
2017
- 2017-04-10 TW TW106111879A patent/TWI634318B/zh active
- 2017-05-27 CN CN201710389511.0A patent/CN107462345B/zh active Active
- 2017-05-29 KR KR1020170066174A patent/KR20170136988A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0484065A (ja) * | 1990-07-26 | 1992-03-17 | Sekisui Chem Co Ltd | 貯湯式電気温水器 |
JPH077667A (ja) * | 1992-10-09 | 1995-01-10 | Nikon Corp | 赤外線撮像装置 |
JPH11351963A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Fujitsu Ltd | 赤外線撮像装置 |
JP2001349786A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Denso Corp | 非接触温度センサの校正方法 |
US20060232675A1 (en) * | 2003-04-25 | 2006-10-19 | Land Instruments International Limited | Thermal imaging system and method |
JP2005010050A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Toshiba Plant Systems & Services Corp | 赤外線カメラ画像による温度測定方法 |
JP2010265534A (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Nippon Steel Corp | フェライト系ステンレス鋼の加熱方法 |
JP2011022039A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Olympus Corp | 温度測定装置および温度測定方法 |
JP2013145153A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Toyota Motor Corp | 赤外線温度測定装置 |
CN203177971U (zh) * | 2013-03-27 | 2013-09-04 | 国家电网公司 | 一种红外热像仪的校准设备 |
JP2016047410A (ja) * | 2015-12-09 | 2016-04-07 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021183974A (ja) * | 2018-03-28 | 2021-12-02 | 京セラ株式会社 | 被写体種別判定装置および移動体 |
JP7308273B2 (ja) | 2019-02-12 | 2023-07-13 | アキュア アクネ, インコーポレイテッド | 光熱標的治療システムおよび関連する方法で使用するための温度感知装置 |
JP2022520342A (ja) * | 2019-02-12 | 2022-03-30 | アキュア アクネ, インコーポレイテッド | 光熱標的治療システムおよび関連する方法で使用するための温度感知装置 |
IL285240B1 (en) * | 2019-02-12 | 2023-06-01 | Accure Acne Inc | A temperature sensing apparatus for use with a photothermal focused treatment system and related methods |
US11754450B2 (en) | 2019-02-12 | 2023-09-12 | Accure Acne, Inc. | Temperature sensing apparatus for use with a photo-thermal targeted treatment system and associated methods |
JP7259438B2 (ja) | 2019-03-19 | 2023-04-18 | コニカミノルタ株式会社 | 熱画像補正装置、熱画像補正方法、および、熱画像補正プログラム |
JP2020153737A (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | コニカミノルタ株式会社 | 熱画像補正装置、熱画像補正方法、および、熱画像補正プログラム |
KR102304462B1 (ko) * | 2021-02-08 | 2021-09-24 | 주식회사 알씨테크 | 웨이퍼 증착용 확산 노의 온도 조절장치 |
WO2022169143A1 (ko) * | 2021-02-08 | 2022-08-11 | 주식회사 알씨테크 | 웨이퍼 증착용 확산 노의 온도 조절장치 |
CN113494972A (zh) * | 2021-06-24 | 2021-10-12 | 山东捷瑞数字科技股份有限公司 | 用于高炉炉温监测的装置和方法 |
CN113494972B (zh) * | 2021-06-24 | 2021-12-07 | 山东捷瑞数字科技股份有限公司 | 用于高炉炉温监测的装置和方法 |
CN117232660A (zh) * | 2023-11-13 | 2023-12-15 | 珠海市申科谱工业科技有限公司 | 一种非接触式红外热成像测温在线检测设备 |
CN117232660B (zh) * | 2023-11-13 | 2024-02-06 | 珠海市申科谱工业科技有限公司 | 一种非接触式红外热成像测温在线检测设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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