JP2017213720A - 記録素子基板および液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】高度な微細加工技術を用いることなく、白スジ・黒スジ等による記録品位の低下を抑制することができる記録素子基板および液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体が流れる流路において、一組のエネルギー発生素子を第一壁により隔てることにより、プレート部材に対し、非対称に拘束する構成とし、記録媒体と相対移動する方向において、膨潤によって非対称に変形することで、液滴の吐出方向の傾斜の向きが異なる記録素子を混在させて配列する。
【選択図】図３

Description

本発明は、複数の吐出口から液体を吐出して記録を行う記録素子基板および液体吐出ヘッドに関する。

液体吐出ヘッドで、高密度に配置された記録素子で高速駆動を行った場合、１つの記録素子が吐出した影響が隣接または近傍の記録素子に及ぶクロストークが発生し、吐出液滴の速度や方向が変化したり、意図せぬミストが発生して記録品位が低下することがある。そこで特許文献１では、各記録素子が隣接する記録素子同士が分離するように流路形成部材で囲んだ構成が開示されている。このように記録素子間が完全に分離されている構成ではクロストークの影響を小さくすることができる。しかし、このような構成は高度な微細加工が必要となる。

また、特許文献１には３つの記録素子をまとめて流路形成部材で囲んだ構成も開示されている。流路形成部材で囲まれた隣接する記録素子間にはクロストーク防止のために短い流路壁が設けられているが、インク流入口、排出口には流路壁は設けられていない。このような構成は、高度な微細加工を必要とすることなく実現することができる。

米国特許第８３０８２７５号明細書

液体吐出ヘッドにおける吐出口や流路を形成する部材は、長時間液体に接していることで膨潤し、部材が変形することがある。部材が変形した場合、吐出する液体の量が変化したり、吐出方向の変化が生じたりして、記録品位が低下することがある。

特許文献１に記載の、３つの記録素子をまとめて流路形成部材で囲んだ構成は、吐出口を中心に一方の流路壁が長く、他方の流路壁が短い、という非対称な構成の吐出口が有る。この構成で流路形成部材が膨潤した場合、生じる変形も非対称となり、吐出口が非対称に変形し液滴の吐出する方向が変化する。そして、膨潤によって非対称に変形した吐出口と対称に変形した吐出口とが交互に並ぶため、液滴の吐出方向が変化したものと変化していないものが交互に並び、記録した際に白スジや黒スジが発生し、記録品位が低下する虞がある。

よって本発明は、高度な微細加工技術を用いることなく、白スジ・黒スジ等による記録品位の低下を抑制することができる記録素子基板および液体吐出ヘッドを実現することを目的とする。

そのため本発明の液体吐出ヘッドは、プレート部材に設けられた複数の吐出口と、前記吐出口と対向して設けられ、前記吐出口から液体を吐出するのに用いられるエネルギを発生するエネルギ発生素子と、前記プレート部材と接続され液体が流れる流路の一部を形成する、前記エネルギ発生素子の一方の側に設けられた第１壁と、前記エネルギ発生素子の他方の側に設けられた、前記第１壁より体積の大きい第２壁と、を備えた基板、が配列された液体吐出ヘッドであって、第１の方向に前記第１壁が設けられ、前記第１の方向とは反対の方向である第２の方向に前記第２壁が設けられた前記エネルギ発生素子と、前記第１の方向に前記第２壁が設けられ、前記第２の方向に前記第１壁が設けられた前記エネルギ発生素子と、が所定の周期で配列された並列する複数のエネルギ発生素子列を備え、
複数の前記エネルギ発生素子列は、前記エネルギ発生素子列における隣り合う前記エネルギ発生素子の間隔以下のずれ量で、前記エネルギ発生素子列において前記エネルギ発生素子が配列された方向にずれて設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、高度な微細加工技術を用いることなく、白スジ・黒スジ等による記録品位の低下を抑制することができる記録素子基板および液体吐出ヘッドを実現することができる。

記録素子基板の配置と記録媒体との位置関係を示した図である。 記録素子基板における記録素子列と記録素子の断面を示した図である。 記録素子基板における記録素子列と記録素子の断面を示した図である。 記録素子基板における記録素子列の配置を示した図である。 記録素子の配置と着弾した液滴の模式図とを対応して示した図である。 記録素子基板における記録素子列を示した図である。 記録素子基板における記録素子列を示した図である。 記録素子基板における記録素子列を示した図である。 記録素子基板における記録素子列を示した図である。 記録素子基板における記録素子列を部分的に示した図であり、 記録素子基板における記録素子列を示した図である。 記録素子基板における記録素子列を部分的に示した図であり、 記録素子基板における記録素子列を示した図である。

（第１の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第１の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態の液体吐出ヘッド２２における記録素子基板の配置と記録媒体２３との位置関係を示した図である。液体吐出ヘッド２２は、記録素子列１８が複数配置された記録素子基板２１を４個備えている。この記録素子基板２１を互いに重なるよう配置することで、異なる記録素子基板２１の記録素子列と交差する方向における記録素子列１８が隙間なく配置される。

紙などの記録媒体２３を、液体吐出ヘッド２２と記録媒体との相対移動方向（矢印２４方向）に移動することで記録が行われる。図１の点線で示した枠中には、記録素子基板２１の一部を拡大した図が示してある。

以下、記録素子基板２１の詳細について説明する。
図２は、本実施形態の記録素子基板２１における記録素子列と、記録素子の断面を示した図である。基板１１上に配置されたエネルギ発生素子であるヒータ１２が設けられており、基板１１と向かい合う（対向する）位置にオリフィスプレート（プレート部材）１４が設けられている。オリフィスプレート１４には、ヒータ１２と向かい合う位置に吐出口１３がもうけられており、更に、基板１１上には供給口１７が設けられており、供給口１７からヒータ１２の位置へ液体が供給される。またヒータ１２同士の間には、流路壁１５（ａ）（第１壁）、１５（ｂ）（第２壁）が配されている。流路壁１５（ａ）、１５（ｂ）は、オリフィスプレート１４と接続されている。なお、流路壁１５（ａ）、１５（ｂ）と、オリフィスプレート１４とは、同じ材質で一体で形成されていてもよい。

記録素子１６は、ヒータ１２、吐出口１３、オリフィスプレート１４、液体供給口１７、流路壁１５（ａ）、１５（ｂ）から形成されている。ヒータ１２が液体を加熱することにより発生した気泡の撃力によって、液体が吐出口１３から吐出され、記録媒体に着弾することで記録が行われる。吐出口１３は、一列に配置され、吐出口列を形成する。記録素子１６は一列に配置され、記録素子列（エネルギ発生素子列）１８を形成する。流路壁１５は、短い流路壁１５（ａ）と、長い流路壁１５（ｂ）とがある。長い流路壁１５（ｂ）は、供給口１７の間まで伸びており、さらに液室壁１５５まで繋がっている。長い流路壁１５（ｂ）の両側の記録素子１６は、流体的に隔離されている（ただし液体供給口１７を通じて基板の裏側では連通している）。短い流路壁１５（ａ）と長い流路壁１５（ｂ）とは交互に配置されており、記録素子１６は、吐出口１３を中心とすると、記録素子列方向に対して非対称である。また記録素子列における隣り合う記録素子１６同士は、記録素子列１８と垂直（略垂直）方向（矢印２４方向）の軸に対して鏡像対称である。

長い流路壁１５（ｂ）が壁１５５まで繋がっているため、吐出口１３は、二つ一組で独立した液室に配置されることになる。このため、長い流路壁１５（ｂ）で隔てられた記録素子間では、クロストークの影響を抑制することができる。また短い流路壁１５（ａ）で隔てられた記録素子間では、駆動する時間間隔を長くとることで、クロストークの影響を抑制することができる。

図３は、記録素子基板２１における記録素子列と膨潤した記録素子の断面を示した図である。流路壁及びオリフィスプレートが樹脂部材で形成されていると、長時間液体に浸されることで膨潤し変形する。長い流路壁１５（ｂ）の方が短い流路壁１５（ａ）よりも体積が大きいため、膨潤した際に吐出口１３を持ち上げる形となり、吐出口１３は短い方の流路１５（ａ）の方に傾く。このため、吐出する液滴は、短い流路１５（ａ）寄りに斜めに吐出する。

図４は、記録素子基板２１における記録素子列１８の配置を示した図である。ここでは、記録素子列１８（ａ）から１８（ｄ）までの４列で構成されている記録素子基板２１の例を説明する。本実施形態では、液体吐出ヘッド２２と記録媒体２３とが相対移動する方向（矢印２４方向）は、記録素子列１８が延在する方向と垂直な関係となっている。

並列する複数の記録素子列１８は、互いに矢印１９方向においてずれており（記録素子の配列方向にずれており）、ずれ量は記録素子１つ分である（記録素子の間隔分ずれて設けられている）。なお、液室壁１５５は、隣り合う記録素子列間、あるいは記録素子列１８と記録素子基板２１の縁を隔てている。矢印２４方向においては、図中の黒点線枠内の各記録素子は、流路壁が膨潤している場合、矢印１９方向に非対称であり、長い流路壁１５（ｂ）が上側にある記録素子と、下側にある記録素子と、が交互に配置されている。なお、記録素子の配置は、交互でなくても、長い流路壁１５（ｂ）が上側にある記録素子と、下側にある記録素子と、の二種類から構成されていればよい。本実施形態では、短い流路壁１５（ａ）と、長い流路壁１５（ｂ）とが交互に並んでいる。また、記録素子列１８（ａ）から１８（ｄ）は、周期的に配置された長短の流路壁列の位相がずれているとも表現できる。本実施形態では、隣り合う記録素子列間で、記録素子１つ分の位相ずれがある。

図５は、記録素子の配置と、記録した際に着弾した液滴の模式図とを対応して示した図である。図５（ａ）は、比較例として記録素子列１８をずらさずに配置した場合であり、図５（ｂ）は、本実施形態の記録素子基板２１における記録素子列１８を、記録素子列１８における隣り合う記録素子の間隔以下のずれ量で互いにずらして配置した場合を示している。

図５（ａ）では、膨潤によって非対称に変形した吐出口によって、液滴吐出方向が変化する。矢印２４方向において、一方向に偏向して吐出された液滴ばかりが着弾するため、白スジ２５や黒スジ２６が発生する。図５（ｂ）では、矢印２４方向において、ある方向に偏向して吐出された液滴と、反対方向に偏向して吐出された液滴が混在して画像が形成されるため、白スジや黒スジが目立ちにくい。なお、本実施形態では、矢印２４方向において、各記録素子列１８がランダムに記録することで、斜め方向の白スジが発生することを防いでいる。

このように、記録媒体と相対移動する方向において、膨潤によって非対称に変形することで、向きが異なる記録素子を混在させて配列する。これによって、高度な微細加工技術を用いることなく、白スジ・黒スジ等による記録品位の低下を抑制することができる液体吐出ヘッドを実現することができた。

（第２の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第２の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。

図６は、本実施形態の記録素子基板２１における記録素子列を示した図である。本実施形態の記録素子基板２１は、記録素子列１８（ａ）から１８（ｄ）までの４列の記録素子列を備えた（記録素子列が４列設けられた）構成を説明する。

記録素子列１８（ａ）と１８（ｂ）および記録素子列１８（ｃ）と１８（ｄ）は、矢印１９方向において互いにずれておらず、記録素子列１８（ｂ）と１８（ｃ）とは、矢印１９方向において互いにずれており、そのずれ量は記録素子１つ分である。このように、４列の記録素子列における隣り合う１組の記録素子列を互いにずらして配置する。本実施形態では、短い流路壁１５（ａ）と、長い流路壁１５（ｂ）とが交互に並んでいる。また、記録素子列１８（ｂ）と１８（ｃ）とでは、周期的に配置された長短の流路壁列の位相がずれているとも表現できる。本実施形態では、隣り合う記録素子列間で、記録素子１つ分の位相ずれがある。

このような記録素子列の配列においても、図中の黒点線枠で示した通り、膨潤によって非対称に変形した吐出口で偏向した方向が混在していることから、ある方向に偏向して吐出された液滴と、反対方向に偏向して吐出された液滴が混在して画像が形成される。そのため、記録された記録媒体では白スジや黒スジが目立ちにくくなる。

このように、記録媒体と相対移動する方向において、膨潤によって非対称に変形することで、向きが異なる記録素子を混在させて配列する。これによって、高度な微細加工技術を用いることなく、白スジ・黒スジ等による記録品位の低下を抑制することができる液体吐出ヘッドを実現することができた。

（第３の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第３の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。

図７は、本実施形態の記録素子基板２１における記録素子列を示した図である。本実施形態の記録素子基板２１は、記録素子列１８（ａ）から１８（ｄ）までの４列の記録素子列を備えた構成を説明する。
本実施形態では、液体吐出ヘッドと記録媒体との相対移動方向は、記録素子列と垂直に交差する方向（矢印２４方向）とは異なる方向であり、図中の黒点線枠のように、斜めに傾いた方向に相対移動する。記録素子列１８（ａ）から１８（ｄ）は互いにずれている。

短い流路壁１５（ａ）と長い流路壁１５（ｂ）とが交互に並んでおり、その周期は記録素子２つ分である。記録素子列１８（ａ）から１８（ｄ）は、周期的に配置された長短の流路壁列の位相がずれているとも表現できる。本実施形態では、液体吐出ヘッドと記録媒体との相対移動方向においては、隣接する記録素子列間で、記録素子１つ分の位相ずれがある。

このような記録素子列の配列においても、図中の黒点線枠で示した通り、膨潤によって非対称に変形した吐出口で偏向した方向が混在していることから、ある方向に偏向して吐出された液滴と、反対方向に偏向して吐出された液滴が混在して画像が形成される。そのため、記録された記録媒体では白スジや黒スジが目立ちにくくなる。

このように、記録媒体と相対移動する方向において、膨潤によって非対称に変形することで向きが異なる記録素子を混在させて配列する。これによって、高度な微細加工技術を用いることなく、白スジ・黒スジ等による記録品位の低下を抑制することができる液体吐出ヘッドを実現することができた。

（第４の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第４の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。

図８は、本実施形態の記録素子基板２１における記録素子列を示した図である。本実施形態の記録素子基板２１は、記録素子列１８（ａ）から１８（ｄ）までの４列の記録素子列を備え、３つの記録素子をまとめて流路形成部材で取り囲む構成となっている。すなわち、長い流路壁１５（ｂ）が記録素子３つおきに配置されている。なお、３つに限定するものでなく、長い流路壁１５（ｂ）が所定の数の記録素子おきに配置されていてもよい（長い流路壁同士の間に短い流路壁が２つ以上設けられていてもよい）。よって、長い流路壁と隣り合う吐出口が非対称な記録素子からの液滴吐出方向は偏向するが、短い流路壁だけで囲まれた記録素子からの液滴吐出方向は偏向しない。本実施形態では、短い流路壁１５（ａ）と、長い流路壁１５（ｂ）とが周期的に並んでいる。また、記録素子列１８（ａ）から１８（ｄ）は、周期的に配置された長短の流路壁列の位相がずれているとも表現できる。本実施形態では、隣り合う記録素子列間で、記録素子１つ分の位相ずれがある。

このような記録素子列の配列においても、図中の黒点線枠で示した通り、膨潤によって非対称に変形した吐出口で偏向した方向が混在していることから、ある方向に偏向して吐出された液滴と、反対方向に偏向して吐出された液滴が混在して画像が形成される。そのため、記録された記録媒体では白スジや黒スジが目立ちにくくなる。

このように、記録媒体と相対移動する方向において、膨潤によって非対称に変形することで、向きが異なる記録素子を混在させて配列する。これによって、高度な微細加工技術を用いることなく、白スジ・黒スジ等による記録品位の低下を抑制することができる液体吐出ヘッドを実現することができた。

（第５の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第５の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。

図９は、本実施形態の記録素子基板２１における記録素子列を示した図である。本実施形態の記録素子基板２１は、記録素子列１８（ａ）から１８（ｄ）までの４列の記録素子列を備え、記録素子列１８（ａ）から１８（ｂ）は記録素子１つ分の半分ずれている。これは、記録素子１８（ａ）と１８（ｂ）の２列で、記録素子列方向（矢印１９方向）に２倍の密度で記録素子を配列したことに相当する。また同様に、記録素子１８（ｃ）と１８（ｄ）との２列で、２倍の密度の記録素子列を形成している。本実施形態では、短い流路壁１５（ａ）と、長い流路壁１５（ｂ）とが交互に並んでいる。また、記録素子列１８（ａ）から１８（ｄ）は、周期的に配置された長短の流路壁列の位相がずれているとも表現できる。本実施形態では、隣り合う記録素子列間で、記録素子１つ分の１／２位相ずれがある。

このような記録素子列の配列においても、図中の黒点線枠で示した通り、膨潤によって非対称に変形した吐出口で偏向した方向が混在していることから、ある方向に偏向して吐出された液滴と、反対方向に偏向して吐出された液滴が混在して画像が形成される。そのため、記録された記録媒体では白スジや黒スジが目立ちにくくなる。

このように、記録媒体と相対移動する方向において、膨潤によって非対称に変形することで、向きが異なる記録素子を混在させて配列する。これによって、高度な微細加工技術を用いることなく、白スジ・黒スジ等による記録品位の低下を抑制することができる液体吐出ヘッドを実現することができた。

なお、本実施形態で示したような、記録素子１つ分の半分のずれがある場合は、記録素子列が３列以上ある場合に効果を得ることができる。

（第６の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第６の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。

図１０は、本実施形態の記録素子基板２１における記録素子列を部分的に示した図であり、図１１は、記録素子基板２１における記録素子列を示した図である。本実施形態では、長い流路壁１５（ｂ）に、スリット２７が形成されている。スリット２７を形成することで、長い流路壁１５（ｂ）を隔てた記録素子間で液体が連通し、クロストーク抑制効果が若干低減する。しかし万一、１つの液体供給口に異物等が詰まり液体の供給が不通になった場合でも、スリットを通じて別の記録素子からの液体供給が可能になる。またスリット２７を形成することで流路壁の体積が減ることから、膨潤時の吐出口の非対称変形を低減する効果もある。

このように、長い流路壁１５（ｂ）に、スリットを形成し、記録媒体と相対移動する方向において、膨潤によって非対称に変形することで、向きが異なる記録素子を混在させて配列する。これによって、高度な微細加工技術を用いることなく、白スジ・黒スジ等による記録品位の低下を抑制することができる液体吐出ヘッドを実現することができた。

（第７の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第７の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。

図１２は、本実施形態の記録素子基板２１における記録素子列を部分的に示した図であり、図１３は、記録素子基板２１における記録素子列を示した図である。本実施形態では、液体供給口１７が記録素子１６の片側のみに設けられている。本実施形態では、液体供給口１７が片側にしかないため、液体吐出チップの幅を細く作れるという利点がある。

このように、本実施形態の記録素子列１８を、図１３のように配置し、記録媒体と相対移動する方向において、膨潤によって非対称に変形することで、向きが異なる記録素子を混在させて配列する。これによって、高度な微細加工技術を用いることなく、白スジ・黒スジ等による記録品位の低下を抑制することができ、高速に駆動する記録素子を高密度に配置した液体吐出ヘッドを実現することができた。

上記各実施形態においてエネルギ発生素子にはその両側に設けられた供給口から液体が供給される構成について説明したが、本発明これに限られない。エネルギ発生素子の一方の側の供給口からエネルギ発生素子に液体が供給され吐出口から液体を吐出する。吐出されなかった液体はエネルギ発生素子の他方の側の供給口から液体吐出ヘッドの外部に流出する構成にも適用可能である。液体吐出ヘッドの外部に流出した液体は再度液体吐出ヘッドに供給される、所謂循環構成にも適用可能である。この場合、エネルギ発生素子を内部に備える圧力室を備え、この圧力室内の液体は圧力室の外部との間で循環される液体吐出ヘッドの構成となる。

１５（ａ） 短い流路壁
１５（ｂ） 長い流路壁
１８ 記録素子列
２１ 記録素子基板
２２ 液体吐出ヘッド
２３ 記録媒体
２７ スリット

Claims (14)

1. プレート部材に設けられた複数の吐出口と、前記吐出口と対向して設けられ、前記吐出口から液体を吐出するのに用いられるエネルギを発生するエネルギ発生素子と、前記プレート部材と接続され液体が流れる流路の一部を形成する、前記エネルギ発生素子の一方の側に設けられた第１壁と、前記エネルギ発生素子の他方の側に設けられた、前記第１壁より体積の大きい第２壁と、を備えた基板、が配列された液体吐出ヘッドであって、
   第１の方向に前記第１壁が設けられ、前記第１の方向とは反対の方向である第２の方向に前記第２壁が設けられた前記エネルギ発生素子と、前記第１の方向に前記第２壁が設けられ、前記第２の方向に前記第１壁が設けられた前記エネルギ発生素子と、が所定の周期で配列された並列する複数のエネルギ発生素子列を備え、
   複数の前記エネルギ発生素子列は、前記エネルギ発生素子列における隣り合う前記エネルギ発生素子の間隔以下のずれ量で、前記エネルギ発生素子列において前記エネルギ発生素子が配列された方向にずれて設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第１及び第２壁は前記第１の方向と交差する方向に延在し、前記第２壁は、前記第１壁よりも長さが長いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記エネルギ発生素子列において、前記第１壁と前記第２壁とが、交互に配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記エネルギ発生素子列において、前記第２壁同士の間に、前記第１壁が２つ以上設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１の方向と交差する方向における前記エネルギ発生素子列の両側に、前記エネルギ発生素子に液体を供給するための供給口が設けられており、前記第１壁は前記供給口の間に設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１壁は、吐出する液体を供給する１つの供給口と隣り合って設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記エネルギ発生素子列が４列設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. ４列の前記エネルギ発生素子列のうち、隣り合う１組の前記エネルギ発生素子列は、前記エネルギ発生素子列の配列方向にずれて設けられていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 隣り合う前記エネルギ発生素子列は、前記エネルギ発生素子列における隣り合う前記エネルギ発生素子の間隔分ずれて設けられていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 隣り合う前記エネルギ発生素子列は、前記エネルギ発生素子列における隣り合う前記エネルギ発生素子の１／２の間隔分ずれて設けられていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第２壁には、スリットが設けられており、前記第２壁を挟む前記流路は、前記スリットを介して連通していることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. プレート部材に設けられた複数の吐出口と、
    前記吐出口と対向して設けられ、前記吐出口から液体を吐出するのに用いられるエネルギを発生するエネルギ発生素子と、
    前記プレート部材と接続され液体が流れる流路の一部を形成する、前記エネルギ発生素子の一方の側に設けられた１壁と、前記エネルギ発生素子の他方の側に設けられた、前記第１壁より体積の大きい第２壁と、を備えた基板、が配列された液体吐出ヘッドであって、
    第１の方向に前記第１壁が設けられ、前記第１の方向とは反対の方向である第２の方向に前記第２壁が設けられた前記エネルギ発生素子の前記吐出口列の配列方向と略垂直に交わる方向に、
    前記第１の方向に前記第２壁が設けられ、前記第２の方向に前記第１壁が設けられた前記エネルギ発生素子が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
13. プレート部材に設けられた複数の吐出口と、
    前記吐出口と対向して設けられ、前記吐出口から液体を吐出するのに用いられるエネルギを発生するエネルギ発生素子と、
    前記プレート部材と接続され液体が流れる流路の一部を形成する、前記エネルギ発生素子の一方の側に設けられた第１壁と、前記エネルギ発生素子の他方の側に設けられた、前記第１壁より体積の大きい第２壁と、を備えた記録素子基板であって、
    第１の方向に前記第１壁が設けられ、前記第１の方向とは反対の方向である第２の方向に前記第２壁が設けられた前記エネルギ発生素子と、
    前記第１の方向に前記第２壁が設けられ、前記第２の方向に前記第１壁が設けられた前記エネルギ発生素子と、が所定の周期で配列された複数のエネルギ発生素子列を備え、
    複数の前記エネルギ発生素子列は、前記エネルギ発生素子列における隣り合う前記エネルギ発生素子の間隔以下のずれ量で、前記エネルギ発生素子が配列された方向にずれて設けられていることを特徴とする記録素子基板。
14. 前記エネルギ発生素子を内部に備える圧力室とを備え、前記圧力室内の液体は当該圧力室の外部との間で循環される、請求項１ないし請求項１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。