JP7453769B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、液体循環機構を備えた液体吐出ヘッドに関する。

液体循環機構を備えた液体吐出ヘッドが特許文献１に記載されている。この液体吐出ヘッドは、液体を供給するための供給路が設けられた基板を備え、この基板上に、吐出口から液体を吐出させる複数の噴射素子が一列に配列されている。さらに、基板上には、隣接する２つの噴射素子毎に、流体ポンプがそれら噴射素子の間に設けられている。また、流体ポンプ毎に、循環流路が形成されている。循環流路は、供給路から隣接する２つの噴射素子に向かう流路と、各噴射素子から供給路に戻る流路とを有し、噴射素子間に配置された流体ポンプが、液体を循環させるように構成されている。

特許第５７００８７９号公報

しかしながら、特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、流体ポンプが噴射素子間に設けられているため、噴射素子の間隔を狭めて吐出口の高密度化を図ることは困難である。

本発明は、液体の循環機能を維持しつつ、吐出口の高密度化を図ることを目的とする。

本発明の液体吐出ヘッドは、液体を供給する供給路と、上記供給路から分岐して再び上記供給路に合流し、上記液体を吐出する吐出口と連通する循環流路と、を有する。上記循環流路は、上記吐出口と対向して設けられ、上記液体を吐出させるためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、上記液体を循環させるための送液素子と、を有する。上記エネルギー発生素子と上記送液素子は上記供給路から互いに異なる距離に位置している。

本発明によれば、液体の循環機能を維持しつつ、吐出口の高密度化を図ることができる。

本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドの素子基板の概略構成を説明するための模式図である。 図１に示す液体吐出ヘッドの液体循環機構を説明するための模式図である。 図２に示す液体吐出ヘッドの断面構造を示す模式図である。 本発明の液体吐出ヘッドの変形例を説明するための模式図である。 本発明の液体吐出ヘッドの別の変形例を説明するための模式図である。 比較例である液体吐出ヘッドの液体循環機構を説明するための模式図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、実施形態に記載されている構成要素はあくまで例示であり、本発明の範囲をそれらに限定する趣旨のものではない。

図１は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドの素子基板の概略構成を説明するための模式図である。
図１に示すように、素子基板１０は、液体を供給する供給路５が形成された基板１を有し、この基板１上に、複数の吐出口４を備えた流路形成部材２と、複数の端子３とが形成されている。基板１は、例えばシリコン等で形成される。液体は、例えばインク等である。端子３は基板１の両側（両端）に設けられており、液体の吐出や循環に必要な電力が端子３に供給される。

供給路５は、基板１を貫通する貫通孔であって、基板１の長手方向に延在するように形成されている。基板１上には、複数のエネルギー発生素子６が所定の間隔で一列に配列されたエネルギー発生素子列が、供給路５の開口の両側に設けられている。エネルギー発生素子６は、端子３に供給された電力によって駆動され、吐出口４から液体を吐出させるためのエネルギーを発生させる。例えば、エネルギー発生素子６として、熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子や圧電素子などを用いることができる。発熱抵抗素子は、例えば熱抵抗器（thermal resistor）である。圧電素子は、例えば圧電アクチュエーターである。
流路形成部材２は、液体の供給及び循環が可能な流路を形成する部材である。例えば、流路形成部材２は、供給路５から分岐して再び供給路５に合流し、その間に吐出口４と連通する循環流路を形成する。この循環流路は、吐出口４から液体を吐出させるためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子６を含む。各吐出口４と各エネルギー発生素子６とは互いに対向するように設けられている。吐出口４毎に、エネルギー発生素子６を内部に備えた圧力室が形成されている。供給路５は、循環流路を介して各圧力室に液体を供給することができる。

図２は、図１に示した液体吐出ヘッドの液体循環機構を説明するための模式図である。図２には、基板１に垂直な方向から見た場合の、流路形成部材２によって形成される循環流路の構成が模式的に示されている。
図２に示すように、流路形成部材２は、供給路５から分岐して再び供給路５に合流し、その間に吐出口４と連通する循環流路８を有する。循環流路８は、吐出口４毎に設けられている。循環流路８は、吐出口４と対向して設けられたエネルギー発生素子６と、液体を循環させるための送液素子７と、を有する。エネルギー発生素子６と送液素子７は、供給路５から互いに異なる距離に位置されている。ここでは、送液素子７がエネルギー発生素子６よりも供給路５側に位置する。

循環流路８は、供給路５から最も離れた位置に、エネルギー発生素子６が設けられた圧力室９を有する。圧力室９は、液体を吐出させるためのエネルギーの発生領域を指すものであり、境界が明確な室でなくてもよい。例えば、エネルギー発生素子６が熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子である場合、圧力室９は、液体吐出時の発砲領域を指す発泡室であってもよい。
ここで、循環流路８の具体的な構造について説明する。循環流路８は、供給路５からの分岐部５ａと圧力室９とを接続する第１流路８ａと、供給路５との合流部５ｂと圧力室９とを接続する第２流路８ｂと、第１流路８ａと第２流路８ｂを仕切る隔壁１１と、を備える。第１流路８ａは圧力室９に液体を供給するための流路であり、第２流路８ｂは圧力室９から液体を回収するための流路である。送液素子７は、第１流路８ａの流路内に設けられている。なお、液体を循環させることができるのであれば、送液素子７は、第２流路８ｂに設けられてもよく、また、第１流路８ａ及び第２流路８ｂの双方に設けられてもよい。送液素子７は、端子３に供給された電力によって駆動される。送液素子７として、上述した発熱抵抗素子や圧電素子などを用いることができる。具体的には、送液素子７として、圧電アクチュエーターポンプ、静電ポンプ（electrostatic pump）、電気流体力学ポンプ（electrohydrodynamic pump）などを用いることができる。

送液素子７を駆動すると、液体が供給路５から第１流路８ａに流入する。第１流路８ａに流入した液体は、慣性力により、圧力室９を通過し、第２流路８ｂを介して供給路５に戻る。すなわち、送液素子７は、第１流路８ａ、圧力室９、第２流路８ｂを順に通過するように液体を循環させることができる。図２には、この液体の循環経路が、実線の矢印で示されている。循環経路は、ポイント「Ａ」から出発して、第１流路８ａ、圧力室９、第２流路８ｂを順に通過して、ポイント「Ｂ」で終了する。

図３に、図２に示した圧力室９、第１流路８ａ及び第２流路８ｂの断面構造を模式的に示す。図３において、分図（ａ）は圧力室９の部分を破線Ａ－Ａで切断した場合の断面構造を模式的に示し、分図（ｂ）は第１流路８ａ及び第２流路８ｂの部分を破線Ｂ－Ｂで切断した場合の断面構造を模式的に示す。
図３（ａ）に示すように、吐出口４を備えた流路形成部材２が基板１上に形成されている。流路形成部材２は、吐出口４に連通する圧力室９を有する。圧力室９内の基板１上の吐出口４と対向する位置に、エネルギー発生素子６が形成されている。
また、図３（ｂ）に示すように、第１流路８ａ及び第２流路８ｂが基板１上に形成されている。第１流路８ａの流路断面形状は矩形であり、第２流路８ｂの流路断面形状も矩形である。第１流路８ａの流路断面積は、第２流路８ｂの流路断面積と同じである。第１流路８ａ内には、送液素子７が基板１上に形成されている。
ここでは、エネルギー発生素子６及び送液素子７はいずれも、基板１上に酸化物層等（不図示）を形成してなる薄膜層を備えた熱抵抗器からなるものを例示している。薄膜層は、酸化物層、金属層、導電トレース及びパッシベーション層を含む。

上述した本実施形態の液体吐出ヘッドによれば、エネルギー発生素子６と送液素子７は供給路５から互いに異なる距離に位置しているので、送液素子７がエネルギー発生素子６の間に介在することはない。また、循環流路８が、圧力室９と供給路５との間で液体を循環する。よって、液体循環機能を維持しつつ、吐出口４の高密度化が可能である。

以下、比較例を挙げて、本実施形態の液体吐出ヘッドの作用効果について詳細に説明する。
図６に、比較例である液体吐出ヘッドの液体循環機構を模式的に示す。
図６に示す液体吐出ヘッドは、等間隔で一列に配列された複数の吐出口１０４を有する。基板には、液体を供給するための供給路１０５が吐出口列に沿って設けられている。基板上の各吐出口１０４と対向する位置には、吐出口１０４から液体を吐出させる噴射素子（不図示）が設けられている。さらに、基板上には、隣接する２つの噴射素子毎に、流体ポンプ１０６がそれら噴射素子の間に設けられている。また、流体ポンプ１０６毎に、循環流路１０１が形成されている。ここで、噴射素子はエネルギー発生素子に対応する。

循環流路１０１は、流体ポンプ１０６を含む流路１０２と、この流路１０２を挟むように設けられた２つの流路１０３ａ、１０３ｂを有する。流路１０３ａ、１０３ｂはいずれも、一端が供給路１０５に連通し、他端が流路１０２を介して供給路１０５に連通するように構成されている。隣接する２つの噴射素子の一方が、流路１０３ａ内に配置され、他方が流路１０３ｂ内に配置されている。流体ポンプ１０６を駆動することで、液体が供給路１０５から流路１０２を介して流路１０３ａ、１０３ｂへ流入し、その後、液体は流路１０３ａ、１０３ｂから供給路１０５に戻る。

吐出口の高密度化を実現するためには、エネルギー発生素子である噴射素子の間隔を狭める必要がある。図６に示した液体吐出ヘッドでは、送液素子である流体ポンプ１０６がエネルギー発生素子である噴射素子間に介在するため、噴射素子の間隔を狭めることは困難である。
これに対して、本実施形態の液体吐出ヘッドでは、送液素子７はエネルギー発生素子６と供給路５との間に設けられている。すなわち、送液素子７は、エネルギー発生素子６の間に介在しない。よって、エネルギー発生素子６の間隔を狭めることができ、図６に示した液体吐出ヘッドと比較して、吐出口４の高密度化が可能である。

加えて、圧力室９において、液体の吐出動作を休止中に、吐出口４からの液体の蒸発によって液体の粘性が増大し、また、泡などの異物が生じる場合がある。本実施形態の液体吐出ヘッドでは、送液素子７は、第１流路８ａ、圧力室９、第２流路８ｂを順に通過するように液体を循環させることができる。この液体の循環により、圧力室９における液体の増粘を抑制することができ、圧力室９から異物を排除することができる。

以下に、一例として、吐出口４の高密度化を図った液体吐出ヘッドの各部の寸法について具体的に説明する。ここでは、吐出口４の密度が６００NPCI（ノズル／コラム・インチ：nozzles per column inch）とされている。これは、供給路５の一方の側に配列される吐出口４の列（コラム）に関し、１インチ当たり６００個の吐出口４が配列されていることを表している。供給路５のもう一方の側にも、同じ密度で吐出口４が配列されている。したがって、１つの供給路５に対して、１２００dpi（ドット／インチ）の密度で吐出口４が設けられていると見做すことができる。例えば、各列の吐出口が千鳥状に配置されることで、１２００DPIの密度を実現してもよい。

吐出口４は略円形の形状であって、圧力室９の上面の中央に配置されている。６００NPCIで吐出口４を均等に配列する場合、吐出口４の間隔Ｄ２は、例えば４２μｍである。圧力室９の間隔Ｄ３は、例えば７μｍである。基板１に垂直な方向から見た場合の圧力室９の形状は、Ｈ１（横）×Ｈ２（縦）の矩形形状である。ここでは、Ｈ１及びＶ１ともに３５μｍである。エネルギー発生素子６は例えば略正方形の形状であって、圧力室９の底面の中央に配置されている。
循環流路８の圧力室９以外の部分（隔壁１１、第１流路８ａ及び第２流路８ｂの部分）の長さＬ１は例えば６５μｍであり、幅Ｄ１は例えば２５μｍである。第１流路８ａの幅ｄ１と第２流路８ｂの幅ｄ２は同じで、例えば１０μｍである。隔壁１１の幅ｄ３は、例えば５μｍである。送液素子７として、ｈ１（幅）×ｈ２（長さ）の矩形形状の発熱抵抗素子が用いられている。ｈ１は例えば１０μｍであり、ｈ２は例えば１８μｍである。

なお、上述した各部の寸法は一例であり、所望の吐出口の密度に応じて適宜に変更可能である。例えば、１２００NPCI（２４００dpi）といった密度に対応するために、各部の寸法を調整することができる。例えば、上述の実施例では、循環流路８の圧力室以外の部分の幅Ｄ１と圧力室９の幅Ｈ１との大小関係がＤ１＜Ｈ１となっているが、これに限定されない。Ｄ１＞Ｈ１であってもよく、Ｄ＝Ｈ１であってもよい。
また、安定した液体の吐出及び循環が行われるように、エネルギー発生素子６及び送液素子７の形状や寸法を適宜に変更してもよい。例えば、所望のポンピング効果を達成するために、送液素子７の形状や寸法を調整することができる。

上述した本実施形態の液体吐出ヘッドは、本発明の一例であり、その構成は適宜に変更可能である。
以下、図４及び図５を参照して、本実施形態の液体吐出ヘッドの変形例について説明する。図４において、分図（ａ）～分図（ｅ）は第１乃至第５変形例を示す。図５において、分図（ｆ）～（ｉ）は第６乃至第９変形例を示す。

（第１変形例）
図４（ａ）に示す第１変形例である液体吐出ヘッドは、隔壁１１の長さが第１流路８ａ及び第２流路８ｂの長さと異なる点で、図２及び図３に示した液体吐出ヘッドと異なる。本変形例の液体吐出ヘッドでは、隔壁１１は第１流路８ａ及び第２流路８ｂよりも長い。隔壁１１の供給路側とは反対側の端部が圧力室内に入り込んでいる。
本変形例の液体吐出ヘッドによれば、隔壁１１の供給路側とは反対側の端部が圧力室９内に入り込んでいることで、圧力室９内の液体を効率よく循環させることが可能となる。

また、供給路５から第１流路８ａ及び圧力室９を介して吐出口４に至るまでの経路において、エネルギー発生素子６を基準として、供給路５側（上流側）の流路で生じる抵抗を後方抵抗と呼び、吐出口４側（下流側）の流路で生じる抵抗を前方抵抗と呼ぶ。前方抵抗に対して後方抵抗が十分に大きければ、エネルギー発生素子６が発生するエネルギーを吐出口４の方向に集中させることができ、その結果、液体を効率よく吐出することができる。しかし、後方抵抗が小さいと、エネルギー発生素子６が発生するエネルギーは、後方に抜けてしまい、液体の吐出に寄与しないエネルギーが増大する。本変形例の液体吐出ヘッドによれば、隔壁１１を長くしたことで、後方抵抗を高くすることができるので、液体を効率よく吐出することができる。

（第２変形例）
図４（ｂ）に示す第２変形例である液体吐出ヘッドは、隔壁１１を短くした点で、図２及び図３に示した液体吐出ヘッドと異なる。本変形例の液体吐出ヘッドでは、隔壁１１は循環流路８の圧力室９以外の部分の流路長よりも短い。このため、図２及び図３に示した液体吐出ヘッドと比較して、第１流路８ａ及び第２流路８ｂが短い。
本変形例の液体吐出ヘッドによれば、隔壁１１を短くしたことで、循環流路８の供給路５側の部分（供給路５と連通する部分）の流路断面積を増大することができるので、液体吐出時のリフィル性を確保できる。

（第３変形例）
図４（ｃ）に示す第３変形例である液体吐出ヘッドは、循環流路８と圧力室９との連通部分に段差が無い点で、図２及び図３に示した液体吐出ヘッドと異なる。本変形例の液体吐出ヘッドでは、循環流路８の外周側の対向する側面が直線状に形成されている。具体的には、循環流路８は隔壁１１を挟んで対向する第１内壁１２ａ及び第２内壁１２ｂを有し、圧力室９は互いに対向する第３内壁１２ｃ及び第４内壁１２ｄを有する。これら第１内壁１２ａ、第２内壁１２ｂ、第３内壁１２ｃ及び第４内壁１２ｄが、循環流路８の外周側の対向する側面である。第１内壁１２ａと第３内壁１２ｃとが一様な平面を形成し、第２内壁１２ｂと第４内壁１２ｄとが一様な平面を形成する。すなわち、第１内壁１２ａ、第２内壁１２ｂ、第３内壁１２ｃ及び第４内壁１２ｄは直線状に形成されている。この構造によれば、循環流路８と圧力室９との連通部分の内壁に段差が無いため、液体を循環させた際の液体の流れに乱れが発生し難くなり、その結果、効率よく液体を循環させることができる。

（第４変形例）
図４（ｄ）に示す第４変形例である液体吐出ヘッドは、循環流路８の方向転換部が曲面状に形成されている点で、第３変形例と異なる。循環流路８では、隔壁１１の端部と対向する面である圧力室９の第５内壁１２ｅの部分で、液体の流れる方向が転換する。すなわち、第５内壁１２ｅの部分は、循環流路８の方向転換部である。本変形例の液体吐出ヘッドでは、第５内壁１２ｅが曲面状に形成されている。例えば、第５内壁１２ｅはラウンド形状の凹面よりなる。これにより、第３変形例に比較して、液体を循環させた際の液体の流れに乱れがより発生し難くなる。

（第５変形例）
図４（ｅ）に示す第５変形例である液体吐出ヘッドは、隔壁１１の端部１１ａが曲面状に形成されている点で、第４変形例と異なる。本変形例の液体吐出ヘッドでは、基板１に垂直な方向から見た場合に、隔壁１１の供給路側とは反対側の端部１１ａが、供給路側と反対側に突き出す曲面状に形成されている。例えば、隔壁１１の端部１１ａは、ラウンド形状の凸面よりなる。これにより、第４変形例に比較して、液体を循環させた際の液体の流れに乱れがより発生し難くなる。

（第６変形例）
図５（ｆ）に示す第６変形例である液体吐出ヘッドは、吐出口４を小さくし、圧力室９と第１流路８ａ及び第２流路８ｂとの連通部分の内壁が曲面状に形成されている点で、図２及び図３に示した液体吐出ヘッドと異なる。本変形例の液体吐出ヘッドでは、図２及び図３に示した液体吐出ヘッドに比べて吐出口４が小さいので、吐出口４の高密度化に有利である。
また、本変形例の液体吐出ヘッドでは、循環流路８は隔壁１１を挟んで対向する第１内壁１２ａ及び第２内壁１２ｂを有する。第１内壁１２ａ及び第２内壁１２ｂの圧力室９側の部分は、曲面状に形成されている。例えば、第１内壁１２ａ及び第２内壁１２ｂの圧力室９側の部分は、ラウンド形状の凹面よりなる。加えて、隔壁１１の圧力室９側の端部１１ａは、供給路側と反対側に突き出す曲面状に形成されている。例えば、隔壁１１の端部１１ａは、ラウンド形状の凸面よりなる。これにより、液体を循環させた際の液体の流れに乱れが発生し難くなるので、効率よく液体を循環させることができる。

（第７変形例）
図５（ｇ）に示す第７変形例である液体吐出ヘッドは、第１流路８ａ及び第２流路８ｂの幅を大きくし、循環流路８の方向転換部が曲面状に形成されている点で、第６変形例と異なる。第６変形例と同様、吐出口４が小さいので、吐出口４の高密度化に有利である。
また、本変形例の液体吐出ヘッドでは、第１流路８ａと第２流路８ｂは、互いに連通しており、該連通部分に、圧力室９が形成されている。隔壁１１の端部と対向する面である圧力室９の第５内壁１２ｅの部分が、液体の流れる方向が転換する方向転換部である。この第５内壁１２ｅの部分は、曲面状に形成されている。具体的には、第５内壁１２ｅはラウンド形状の凹面よりなる。これにより、第６変形例に比較して、液体を循環させた際の液体の流れに乱れがより発生し難くなる。
さらに、第６変形例に比較して、隔壁１１の幅を小さくして第１流路８ａ及び第２流路８ｂの幅を大きくしたことで、効率よく液体を循環させることができる。

（第８変形例）
図５（ｈ）に示す第８変形例である液体吐出ヘッドは、第１流路８ａと第２流路８ｂの幅が互いに異なる点で、図２及び図３に示した液体吐出ヘッドと異なる。本変形例の液体吐出ヘッドでは、基板１に垂直な方向から見た場合、第１流路８ａの幅が第２流路８ｂの幅よりも広い。
一般に、送液素子７が設けられた第１流路８ａの幅（又は流路断面積）を第２流路８ｂの幅（又は流路断面積）より大きくすることで、液体の循環性能を向上させることができる。
また、第１流路８ａの幅を広くすることで、送液素子７のサイズ及び形状の設計上の自由度も向上する。

（第９変形例）
図５（ｉ）に示す第９変形例である液体吐出ヘッドは、循環流路８の側壁から離れた位置に突起１４を有する点で、図２及び図３に示した液体吐出ヘッドと異なる。本変形例の液体吐出ヘッドでは、圧力室９の第１流路８ａと連通する部分に、隔壁１１とは別体の構造体である突起１４が形成されている。突起１４は、フィルターの働きをするとともに、圧力室９に向かう液体の流れに対する抵抗である流路抵抗を調整することが可能である。突起１４として、例えば、円柱や角柱などの柱体や円錐や三角錐など錐体を用いることができる。
突起１４は、第１流路８ａから圧力室９に流入する液体の流れに対して抵抗となる。したがって、突起１４のサイズや形状を調整することで、前方抵抗と後方抵抗のバランスを調整することが可能となる。なお、突起１４の配置場所や数は適宜に変更可能である。例えば、第１流路８ａや第２流路８ｂ内に１つ以上の突起１４を設けることも可能である。

以上説明した液体吐出ヘッドは、本発明の一例であり、その構成は適宜に変更可能である。
例えば、上述した液体吐出ヘッドにおいて、図２乃至図５で説明した構成のうち、２つ以上の構成を組み合わせてもよい。
また、上述した液体吐出ヘッドにおいて、液体の循環が可能なら、送液素子７は、第２流路８ｂ内に設けられてもよく、また、第１流路８ａおよび第２流路８ｂの双方に設けられてもよい。

さらに、上述した液体吐出ヘッドにおいて、送液素子７とエネルギー発生素子６がともに、熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子より構成されてもよい。これにより、製造工数を削減することが可能である。
さらに、上述した液体吐出ヘッドにおいて、送液素子７とエネルギー発生素子６がともに、圧電素子より構成されてもよい。この場合も、製造工数の削減が可能である。
以上説明した本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出して記録媒体に画像等の情報を記録する記録装置、例えば、インクジェットプリンタ等に適用することが可能である。

４ 吐出口
５ 供給路
６ エネルギー発生素子
８ 循環流路
８ａ 第１流路
８ｂ 第２流路
９ 圧力室
１１ 隔壁

Claims (12)

1. 液体を吐出するための吐出口を備えた流路形成部材と、
   液体を吐出させるためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子を、前記吐出口と対向する位置に、備えた素子基板と、
   を有する液体吐出ヘッドであって、
   前記液体吐出ヘッドは、
   前記素子基板を貫通する貫通孔であり、かつ、液体を供給するための供給路と、
   前記供給路から分岐して再び前記供給路に合流し、前記吐出口と連通し、かつ、前記エネルギー発生素子と液体を循環させるための送液素子とが１つずつ設けられている循環流路と、を有し、
   前記エネルギー発生素子と前記送液素子は前記供給路から互いに異なる距離に位置し、前記循環流路は、前記供給路から最も離れた位置に、前記エネルギー発生素子が設けられた圧力室を有していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記循環流路は、前記供給路からの分岐部と前記圧力室とを接続する第１流路と、前記供給路との合流部と前記圧力室とを接続する第２流路と、前記第１流路と前記第２流路を仕切る隔壁と、を備え、前記送液素子が前記第１流路および第２流路の少なくとも一方に設けられている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１流路の流路断面積が前記第２流路の流路断面積と異なる、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記送液素子が前記第１流路内に設けられ、
   前記第１流路の流路断面積が前記第２流路の流路断面積より大きい、請求項２または３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記隔壁の前記供給路側とは反対側の端部が前記圧力室内に入り込んでいる、請求項２乃至４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記隔壁の前記供給路側とは反対側の端部が前記供給路側と反対側に突き出す曲面状に形成されている、請求項２乃至５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記循環流路の前記圧力室以外の部分の幅が前記圧力室の幅と異なる、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記循環流路の外周側の対向する側面は直線状に形成されている、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 液体を吐出するための吐出口を備えた流路形成部材と、
   液体を吐出させるためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子を、前記吐出口と対向する位置に、備えた素子基板と、
   を有する液体吐出ヘッドであって、
   前記液体吐出ヘッドは、
   前記素子基板を貫通する貫通孔であり、かつ、液体を供給するための供給路と、
   前記供給路から分岐して再び前記供給路に合流し、前記吐出口と連通し、かつ、前記エネルギー発生素子と液体を循環させるための送液素子とが１つずつ設けられている循環流路と、を有し、
   前記エネルギー発生素子と前記送液素子は前記供給路から互いに異なる距離に位置し、前記循環流路の方向転換部は曲面状に形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
10. 液体を吐出するための吐出口を備えた流路形成部材と、
    液体を吐出させるためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子を、前記吐出口と対向する位置に、備えた素子基板と、
    を有する液体吐出ヘッドであって、
    前記液体吐出ヘッドは、
    前記素子基板を貫通する貫通孔であり、かつ、液体を供給するための供給路と、
    前記供給路から分岐して再び前記供給路に合流し、前記吐出口と連通し、かつ、前記エネルギー発生素子と液体を循環させるための送液素子とが１つずつ設けられている循環流路と、を有し、
    前記エネルギー発生素子と前記送液素子は前記供給路から互いに異なる距離に位置し、前記循環流路の側壁から離れた位置に突起を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
11. 前記送液素子と前記エネルギー発生素子が、熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子よりなる、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記送液素子と前記エネルギー発生素子が、圧電素子よりなる、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。

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