KR100406941B1 - 잉크젯 프린터 헤드 - Google Patents

Abstract

본 발명의 잉크젯 프린터 헤드는 발열저항체가 구비된 기판과, 잉크공급로를 통해 유입된 잉크가 충전되는 잉크챔버의 측벽을 형성하도록 상기 기판상에 설치되는 잉크챔버 배리어와, 상기 잉크챔버와 통하도록 형성된 노즐홀을 가지며 상기 잉크챔버 배리어상에 설치되는 노즐플레이트를 포함하며, 상기 노즐플레이트에는 상기 잉크공급로상에 위치하도록 상기 노즐홀의 주위로부터 상기 기판측으로 돌출 형성되어 잉크흐름을 간섭하기 위한 적어도 하나 이상의 잉크분리벽이 더 구비된다. 이러한 구성에 따르면, 상기 잉크분리벽에 의해 잉크토출시 잉크공급로 내측으로 잉크가 역류하는 현상과 노즐에서 발생하는 잉크 꼬리 및 위성 액적의 발생을 효율적으로 감소시킬 수 있으므로 잉크젯 프린터 헤드의 인쇄 성능과 인쇄 품질을 향상시킬 수 있다.

Description

잉크젯 프린터 헤드{Ink jet printer head}

본 발명은 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것으로서, 특히 잉크 유로의 구조 개선에 의해 토출잉크의 역류현상 및 액적형상을 개선하여 인쇄성능과 인쇄화질 향상을 도모한 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것이다.

일반적으로, 잉크젯 프린터 헤드에 적용되는 대표적인 잉크 토출방식은 저항발열체를 이용하여 잉크를 순간 가열함으로써 기포를 생성 팽창시켜 그 압력에 의해 노즐홀로 잉크를 토출시키는 소위, 써멀(Thermal) 구동방식과, 압전체의 변위에 의한 가압력을 이용하여 노즐홀로 잉크를 토출시키는 압전체 구동방식 등이 있다.

종래의 써멀 구동방식 잉크젯 프린터 헤드는, 기판과 노즐플레이트에 대한 잉크 토출 방향에 따라 도 1a에 도시된 측면 잉크토출방식과, 도 2b에 도시된 상면 잉크토출방식으로 구분되어지기도 한다.

도 1a의 측면 잉크토출방식 잉크젯 프린터 헤드(10)에 따르면, 기판(11)과 노즐플레이트(12)의 사이에 형성된 잉크공급로(ink channel; 13)의 일측단부에 노즐홀(16)이 형성되며, 잉크공급로(13)에 충전된 잉크(1)를 박막 발열저항체(14)에 의해 순간 가열함으로써 기포(2)를 생성 팽창시켜 그 압력에 의해 노즐홀(16) 주위의 잉크를 토출 분사시키게 된다.

도 1b의 상면 잉크토출방식 잉크젯 프린터 헤드(20)는 도시된 바와 같이, 박막 발열저항체(미도시)가 마련된 기판(21)상에 잉크공급로(22)와 통하는 잉크챔버(24)를 형성하도록 적층되는 잉크챔버 배리어(barrier; 23)와, 상기 잉크챔버(24)와 연통하도록 형성된 노즐홀(26)을 가지고 상기 잉크챔버 배리어(23)상에 적층되는 노즐플레이트(25)를 포함하여 구성된다.

상기 구성에 따르면, 상기 박막 발열저항체를 발열시켜 잉크챔버(24)에 충전된 잉크를 순간 가열함으로써 기포를 생성 팽창시켜 잉크챔버(24)의 내부에 압력을 가하게 되어 노즐홀(26) 부근의 잉크를 토출하여 분사하게 된다.

그런데, 상기와 같은 종래 잉크젯 프린터 헤드(10)(20)는, 잉크 토출시 기포 팽창 압력에 의해 잉크공급로(13)(22)의 내측으로 잉크가 밀려들어 역류하게 되는 소위, 백-플로우(back-flower) 현상이 발생하게 된다. 이러한 백-플로우현상은 그 충격에 따른 영향으로 인하여 프린팅 동작과정에서 크로스-토크(cross-talk)를 유발시켜 프린트 품질불량을 야기시키는 원인으로 작용하게 된다.

또한, 종래에는 잉크 토출 완료단계에서의 기포 소멸시 토출잉크 액적에 꼬리가 발생하게 된다. 이러한 잉크 액적 꼬리는 잉크의 표면장력과 점도에 의해 길게 늘어지기 때문에 여러 개의 파편들이 발생하여 고해상도의 화질 인쇄를 어렵게 한다.

상기한 바와 같은 문제점들에 대한 대책으로서, 종래의 측면 잉크 토출방식 잉크젯 프린터 헤드(10)의 경우 백-플로우와 잉크액적 꼬리 발생을 억제시키기 위하여 잉크공급로(13)의 길이 규격을 증대시키고 있으나, 이러한 구성은 기판에서의 단위 토출구조가 차지하는 면적과 부피를 증대시킴에 따라 잉크젯 프린터 헤드의 규격이 대형화됨과 아울러 잉크토출 용량과 성능 저하를 유발시키는 문제점이 있다.

그리고, 종래의 상면 잉크토출방식 잉크젯 프린터 헤드(20)의 경우에는 도시된 바와 같이 잉크챔버 배리어(23)의 잉크공급로(22)에 계단부(23a)(23b)를 가공하여 네크(neck)를 형성함으로써 백-플로우현상을 다소 억제시킬 수 있도록 개선된 구성을 가지는 것도 있으나, 이는 제조공정 및 구조가 복잡하게 될 뿐만 아니라 잉크챔버(24)와 노즐홀(26) 사이에 형성된 잉크공급로의 높이는 그대로 유지되므로그 개선효과에 한계를 가지는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 잉크젯 프린터 헤드가 가지는 문제점을 감안하여 이를 개선하고자 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 잉크 유로의 구조 개선에 의해 토출잉크의 역류현상과 액적형상을 개선함으로써 인쇄성능과 인쇄화질 향상을 도모할 수 있는 잉크젯 프린터 헤드를 제공함에 있다.

도 1a 및 도 1b는 종래 잉크젯 프린터 헤드의 유형을 개략적으로 나타내 보인 요부 단면도,

도 2는 본 발명의 제1실시예에 의한 잉크젯 프린터 헤드의 요부를 개략적으로 나타내 보인 사시도,

도 3은 도 2의 평면도.

도 4는 도 2의 A-A선을 따라 절제하여 도시한 개략적 단면도,

도 5는 도 2의 발열구동부를 발췌하여 도시한 수직 단면도,

도 6은 도 2의 노즐부를 발췌하여 뒤집어 도시한 사시도,

도 7a 내지 도7c는 도 6의 노즐부의 제조공정을 설명하기 위해 도시한 사시도,

도 8a 내지 도 8h는 도 2에 도시된 잉크젯 프린터 헤드의 잉크 토출과정을 설명하기 위해 도시한 단면도,

도 9 내지 도 11은 각각 본 발명의 제2실시예에 의한 잉크젯 프린터 헤드의 요부를 개략적으로 도시해 보인 사시도, 평면도 및 단면도,

도 12는 도 9의 노즐부를 발췌하여 뒤집어 도시한 사시도,

도 13 내지 도 15는 각각 본 발명의 제3실시예에 의한 잉크젯 프린터 헤드의요부를 개략적으로 도시해 보인 사시도, 평면도 및 단면도,

도 16은 도 13의 노즐부를 발췌하여 뒤집어 도시한 사시도,

도 17 내지 19는 각각 본 발명의 제4실시예에 의한 잉크젯 프린터 헤드의 요부를 개략적으로 도시해 보인 사시도, 평면도 및 단면도,

도 20은 도 17의 노즐부를 발췌하여 뒤집어 도시한 사시도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 액적 2 : 기포

2a : 상변화부 100 : 잉크젯 프린터 헤드

110 : 발열구동부 112 : 기판

114 : 발열저항체 116 : 도선

120 : 노즐부 121 : 노즐플레이트

122 : 잉크챔버 배리어 123 : 잉크분리벽

124 : 잉크챔버 125 : 잉크공급로

126 : 노즐홀

상기한 바와 같은 목적 달성을 위하여 본 발명은 발열저항체가 구비된 기판과, 잉크공급로를 통해 유입된 잉크가 충전되는 잉크챔버의 측벽을 형성하도록 상기 기판상에 설치되는 잉크챔버 배리어와, 상기 잉크챔버와 통하도록 형성된 노즐홀을 가지며 상기 잉크챔버 배리어상에 설치되는 노즐플레이트를 포함하는 잉크젯 프린터 헤드에 있어서, 상기 노즐플레이트에는 상기 잉크공급로상에 위치하도록 상기 노즐홀의 주위로부터 상기 기판측으로 돌출 형성되어 잉크흐름을 간섭하기 위한 적어도 하나 이상의 잉크분리벽이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 잉크젯 프린터 헤드를 상세하게 설명하기로 한다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 의한 잉크젯 프린터 헤드의 단위 토출구조가 도시되어 있다. 잉크젯 프린터의 헤드는 이러한 단위 토출구조의 다수 집합에 의하여 이루어지나, 이하 단위 토출 구조를 간단히 잉크젯 프린터 헤드로 표시한다.

단위 토출구조의 잉크젯 프린터 헤드(100)는 발열구동부(110)와 노즐부(120)로 구성된다.

발열구동부(110)는, 도 5에 도시한 바와 같이, 기판(112) 위에 산화막(112a)을 형성하고 산화막(112a)상의 중앙에 발열저항체(114)를 형성하며, 산화막(112a) 및 발열저항체(114) 상에 도선(116)을 형성하여 발열저항체(114)의 외곽경계선을 제외한 부분상의 도선을 에칭한 후, 발열보호막(114a)을 적층하여 형성한 구성이다. 산화막(112a)은 단열 및 절연 작용을 하며, 발열저항체(114)는 외부의 구동 회로로부터 도선(116)에 통해 인가된 전기 신호를 열 에너지로 변환시킨다. 보호막(114a)은 발열저항체(114) 및 도선(116)의 상부에 형성되어 기포의 수축시의 충격에 의한 손상을 방지하고 절연 작용도 한다. 기판(112)의 재료로서는 예컨대, 실리콘웨이퍼 등이 사용되고, 발열저항체(116)의 재료로서는, 예컨대, Ta-Al 또는 폴리실리콘 등이 사용되며, 상기 보호막(114a)의 재료로서는 예컨대, 실리콘 산화막 또는 실리콘질화막과 금속층의 복합 재료가 사용된다.

노즐부(120)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 노즐플레이트(121)에 잉크챔버 배리어(122), 잉크분리벽(123) 및 노즐홀(126)을 형성한 것이다. 잉크분리벽(123)은 잉크 공급로(125)의 잉크흐름을 간섭하도록 노즐플레이트(121)에서 노즐홀(126)의 주위로부터 기판(112)측으로 돌출 형성되어 있다. 잉크챔버 배리어(122)의 상면에는 기판(112)과의 접착을 위해 접착제층이 형성되어 있다.

본 발명의 잉크젯 프린터 헤드는 도 5의 발열구동부(110)와 도6의 노즐부(120)를 접합함으로써 형성되는데, 이는 잉크챔버 배리어(122) 상면의 접착제층과 기판(112)을 열압착에 의해 접착함으로써 이루어진다. 따라서, 잉크젯 프린터 헤드는 기판(112)과 노즐플레이트(121)에 의해 상하면이, 잉크챔버 배리어(122)에 의해 전후 측벽이 각각 구획 형성된 공간을 가진다. 잉크챔버(124)는 잉크젯 프린터 헤드(100)의 공간 중 잉크분리벽(123)에 의해 구획 형성된 잉크분리벽(123)의 내측 부분의 공간이다. 잉크 공급로(125)는 잉크용기(미도시)로부터 잉크챔버(124)로 잉크가 공급되는 통로이다.

도 2 내지 도 4에서는 도시의 명확화를 위해 기판(112) 및 발열저항체(114) 상면의 산화막(11액적(1)), 도선(116) 및 보호막(14a)을 생략하여 도시하였다. 도시된 바와 같이, 잉크분리벽(123)은 그 선단부(123a)가 발열저항체(114)로부터 수직 방향으로 소정의 간극으로 이격되게 설치되어 있다. 발열저항체(114)에서 발생된 기포(2)에 의해 잉크챔버(124)와 잉크공급로(125)가 자동적으로 차단되도록 잉크분리벽(123)은 그 선단부(123a)가 기판(112)의 수평 방향으로 발열저항체(114)의 양단의 일부분과 중첩되게 설치되는 것이 바람직하다. 한편, 잉크분리벽(123)의 두께(t)는 기판(112)에 설치된 발열저항체(114)의 상면에서부터 노즐플레이트(121)의 하면까지의 높이보다 작다. 또, 잉크분리벽(123)의 길이(ℓ)는 잉크공급로(125)의 길이 이하이다. 또한, 잉크분리벽(123)의 폭(w)은 잉크챔버(124)의 폭 이하이고, 발열저항체(114)의 폭 이상이다.

도 7a 내지 도 7c를 참조하면서, 노즐부(120)를 형성하는 방법에 대하여 설명하기로 한다.

본 발명의 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부(120)를 형성하는 방법으로서는 엑시머레이저를 이용하여 노즐플레이트를 가공하는 방법이 있다.

노즐플레이트(121), 잉크챔버 배리어(122), 잉크분리벽(123), 노즐홀(126) 등은 엑시머레이저에 의해 폴리머판을 열분해하여 형성된다. 도 7a에 도시된 바와 같이, 잉크챔버 배리어(122)가 형성될 부분 외의 부분인 가공 부분이 개방된 제1마스크(미도시)를 이용하여 기판(112)의 상면과 잉크분리벽(123)의 선단부 사이의 간격만큼 직사면체 폴리머판을 엑시머레이저에 의해 1차 가공하며, 이에 의해 잉크챔버 배리어(122)의 일부가 형성된다. 다음으로, 도 7b에 도시된 바와 같이 잉크분리벽(123)보다 더 깊이 가공해야 하는 잉크챔버(124) 및 잉크공급로(125)를 형성하기 위해 별도의 제2마스크(미도시)를 이용하여 잉크분리벽(123)의 길이만큼 상기 1차 가공된 폴리머판을 2차 엑시머레이저 가공하며, 이에 의해 노즐플레이트(121), 잉크챔버 배리어(122) 및 잉크분리벽(123)의 형상이 완전히 갖추어진다. 도 7c에 도시된 바와 같이, 제3마스크(미도시)를 이용하여 노즐플레이트(121)에 엑시머레이저를 조사하여 잉크챔버측으로부터 직경이 출구 방향으로 점차 감소하는 노즐홀(126)을 3차 가공함으로써 노즐부(120)의 형성이 완료된다.

도면에 도시하지는 않았지만, 노즐부를 형성하는 다른 방법으로서는 기판상에 감광성 폴리머를 라미네이팅하고 패터닝하는 방법이 있다. 먼저, 노즐플레이트와 기판 상면과의 간극만큼 기판상에 증착 또는 스퍼터링으로 희생층을 라미네이팅한 다음, 잉크분리벽과 발열저항체 사이의 공간을 형성하도록 희생층의 폭과 길이로 패터닝한다. 패터닝된 희생층상에 잉크챔버 배리어를 형성하는 재료로서 감광성 폴리머 필름을 기판에 라미네이팅한 후 잉크챔버를 형성하기 위해 에칭한다. 그후, 잉크챔버 배리어의 하부에 형성된 희생층을 제거하여 잉크분리벽을 형성함으로써 노즐부의 형성이 완료된다. 잉크챔버 배리어는 포토 레지스트를 스핀 코팅하여 형성될 수도 있다.

도 8a 내지 도 8h는 발명의 제1실시예에 의한 잉크젯 프린터 헤드에서 잉크가 토출되는 과정이 도시되어 있다.

도 8a에 도시된 바와 같이, 잉크는 기포가 생성되기 전까지는 정지되어 있다. 발열저항체(114)에 전기 신호가 인가되면, 발열저항체(114)에서 발생되는 열 에너지에 의해 기포(2)가 형성되며, 도 8b에 도시된 바와 같이, 이에 의해 잉크가 노즐홀(126)을 통해 토출되기 시작한다. 이때는 아직 기포(2)가 발열저항체(114) 상에 일정 간격을 두고 설치된 잉크분리벽(123)에 도달하지 않았기 때문에 잉크챔버(124)와 잉크공급로(125) 사이에 잉크의 상호 유동이 존재한다.

그러나, 도 8c에 도시된 바와 같이, 발열저항체에 의한 가열이 계속되면 내부 압력의 증가에 의해 기포(2)가 팽창하여 상변화부(2a)가 잉크분리벽(123)에 도달하게 됨으로써 기포(2)에 의해 잉크챔버(124)와 잉크공급로(125)의 연결이 차단된다. 따라서, 도 8d 및 도 8e에 도시된 바와 같이, 발열저항체에 인가되는 전기신호를 차단한 후, 기포가 관성력을 잃을 때까지 팽창하는 과정 중에 잉크챔버(124)와 잉크공급로(125)의 연결이 차단되어 있으므로 역류 방향(화살표 B방향)의 유동 저항이 토출 방향(화살표 A방향)에 비해 크기 때문에 잉크의 역류량이 작게 되어 기포의 팽창력이 노즐홀(126)을 통한 잉크 토출을 위해 유효하게 사용된다.

도 8f 내지 도 8h에 도시된 바와 같이, 노즐홀(126)을 통해 액적(1)이 토출된 후 기포(2)가 관성력을 잃고 내부 압력도 작아져서 수축하면, 잉크 액적(1)이 노즐홀(126)로부터 인쇄매체로 분사되어 인쇄가 이루어진다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 의한 잉크젯 프린터 헤드에 의하면, 잉크 토출의 대부분의 과정에서 기포(2)에 의해 잉크챔버(124)와 잉크공급로(125)가 분리되어 있으므로 토출시 잉크챔버 내에 고립되어 있는 잉크만이 분사되며, 따라서 종래의 기술에서 문제가 되었던 잉크 꼬리 및 위성 액적의 발생이 감소될 수 있다.

한편, 잉크공급로에서의 유동저항이 너무 크게 되면, 잉크챔버내에 잉크가 재충전되는 시간이 길어짐으로써, 전체적으로 인쇄 속도가 저하되는 문제가 발생할 수 있다. 이러한 경우에는 잉크 분리벽의 두께(t)를 작게 하여 유동저항을 줄일 수 있을 것이다.

도 9 내지 도 12는 각각 본 발명의 제2실시예에 의한 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것으로, 역류 방향의 유동저항을 증가시키기 위해 폭(w_p)을 작게 한 잉크공급로(125)에 잉크분리벽(123)을 설치한 것을 도시하고 있다. 따라서, 잉크분리벽(123)을 설치하고 잉크챔버 배리어(122)의 양단을 잉크 공급로 쪽으로 연장 형성하여 잉크공급로의 폭(w_p)을 조절함으로써 역류 방향의 유동저항을 원하는 대로 조절할 수 있다.

도 13 내지 도 16은 본 발명의 제3실시예, 도 17 내지 도 20은 본 발명의 제4실시예에 의한 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것이다.

제3실시예와 제4실시예는 각각 제1실시예와 제2실시예에 있어서 하나의 잉크유입로 만을 갖는 것을 제외하고는 제1실시예 및 제2실시예와 동일하므로 그에 대한 상세한 설명을 생략하기로 한다.

전술한 본 발명의 잉크젯 프린터 헤드에 의하면, 잉크분리벽을 추가 설치함으로써 잉크의 토출시에 발열저항체 상에서 토출을 위해 발생시킨 기포 자체에 의해 잉크챔버와 잉크공급로의 잉크 유동이 분리됨으로써, 잉크토출시 잉크공급로 내측으로 잉크가 역류하는 현상과 노즐에서 발생하는 잉크 꼬리 및 위성 액적의 발생을 효율적으로 감소시킬 수 있으므로 잉크젯 프린터 헤드의 인쇄 성능과 인쇄 품질을 향상시킬 수 있다. 특히, 본 발명은 잉크챔버내에 잉크분리벽을 설치하여 잉크챔버와 잉크공급로의 잉크 유동을 분리하는 것으로 추가적인 에너지 소모가 없으며, 복잡한 공정에 의한 별도의 장치가 없이 기존의 챔버 형성 공정에서 단순히 잉크분리벽을 설치하는 것이므로 작동 비용 및 공정 비용을 감소시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 잉크 유동 저항을 조절하기 위해 잉크공급로를 높이 방향으로 변화시킬 수 있는 구조이므로 전체적인 단위 토출 구조의 길이 감소가 가능하여 집적도를 향상시킬 수 있다.

본 발명은 그 주요 특징을 이루는 사상을 벗어나지 않으면서 다른 특정 형태로 실시될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 이상의 예와 실시예는 어느 경우에나 제한적인 아닌 예시적인 것으로서 고려되어야 하며, 본 발명은 이상의 상세한 설명으로 한정되어서는 안 된다.

Claims (8)

1. 발열저항체가 구비된 기판과, 잉크공급로를 통해 유입된 잉크가 충전되는 잉크챔버의 측벽을 형성하도록 상기 기판상에 설치되는 잉크챔버 배리어와, 상기 잉크챔버와 통하도록 형성된 노즐홀을 가지며 상기 잉크챔버 배리어상에 설치되는 노즐플레이트를 포함하는 잉크젯 프린터 헤드에 있어서,

   상기 노즐플레이트에는 상기 잉크공급로상에 위치하도록 상기 노즐홀의 주위로부터 상기 기판측으로 돌출 형성되어 잉크흐름을 간섭하기 위한 적어도 하나 이상의 잉크분리벽이 더 구비되며,

   상기 잉크분리벽의 두께는 상기 발열저항체의 상면으로부터 상기 노즐플레이트의 하면까지의 높이보다 작은 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판의 상면과 상기 잉크분리벽의 선단부 사이에는 일정한 간격이 유지되도록 형성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
3. 제1항에 있어서, 상기 잉크분리벽의 선단부는 상기 발열저항체의 외곽경계선 상방에 배치되도록 형성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
4. 삭제
5. 제1항에 있어서, 상기 잉크분리벽의 길이는 상기 잉크공급로의 길이 이하인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
6. 제1항에 있어서, 상기 잉크분리벽의 폭은 상기 잉크챔버의 폭 이하이고, 상기 발열저항체의 폭 이상인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
7. 기판에 발열저항체를 형성하는 단계와;

   폴리머판에서 잉크챔버 배리어의 일부를 형성하도록 소정의 제1마스크를 이용하여 상기 기판의 상면과 잉크분리벽의 선단부 사이의 간격만큼 엑시머레이저 가공하는 단계와;

   상기 1차 가공된 폴리머판에서 잉크챔버 배리어, 잉크분리벽 및 노즐플레이트를 완성하도록 소정의 제2마스크를 이용하여 상기 잉크분리벽의 길이만큼 더 엑시머레이저 가공하는 단계와;

   상기 2차 가공된 폴리머판에서 노즐홀을 형성하도록 소정의 제3마스크를 이용하여 엑시머레이저 가공하는 단계와;

   상기 기판과 상기 잉크챔버 배리어를 접합하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드 제조방법.
8. 기판에 발열저항체를 형성하는 단계와;

   상기 기판상에 희생층을 라미네이팅하는 단계와;

   상기 희생층을 소정의 폭과 길이만큼 패터닝하는 단계와;

   상기 희생층상에 폴리머층을 형성하는 단계와;

   잉크챔버 및 잉크공급로를 형성하도록 상기 폴리머층을 에칭하는 단계와;

   상기 희생층을 제거하여 잉크분리벽을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드 제조방법.