JP2017212530A - Mems素子 - Google Patents
Mems素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017212530A JP2017212530A JP2016103309A JP2016103309A JP2017212530A JP 2017212530 A JP2017212530 A JP 2017212530A JP 2016103309 A JP2016103309 A JP 2016103309A JP 2016103309 A JP2016103309 A JP 2016103309A JP 2017212530 A JP2017212530 A JP 2017212530A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- protrusions
- mems element
- movable electrode
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
- 238000002955 isolation Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000010255 response to auditory stimulus Effects 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Abstract
Description
Claims (4)
- 支持基板上に、外圧を受けて変位する可動電極膜を配置し、該可動電極膜は表面に少なくとも二つの電極のいずれかに接続した複数の電極突起を備え、前記可動電極膜の変位とともに各前記電極突起間の距離が変化し、該距離の変化に応じて変化する前記二つの電極間の容量値から前記可動電極膜が受けた前記外圧の大きさを検知することを特徴とするMEMS素子。
- 請求項1に記載のMEMS素子において、
前記電極突起を同心円状に配置することを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1または2いずれか記載のMEMS素子において、
前記電極と前記電極突起との間、および前記電極突起間を接続する配線を、相互に重ならないように配置することを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1乃至3いずれか記載のMEMS素子において、
前記電極突起の表面を絶縁層で被覆することを特徴とするMEMS素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016103309A JP6679044B2 (ja) | 2016-05-24 | 2016-05-24 | Mems素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016103309A JP6679044B2 (ja) | 2016-05-24 | 2016-05-24 | Mems素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017212530A true JP2017212530A (ja) | 2017-11-30 |
JP6679044B2 JP6679044B2 (ja) | 2020-04-15 |
Family
ID=60475706
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016103309A Active JP6679044B2 (ja) | 2016-05-24 | 2016-05-24 | Mems素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6679044B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109030581A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-12-18 | 南京铁道职业技术学院 | 一种复合结构的受电弓碳滑板表面损伤检测用电荷变换器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50137122A (ja) * | 1974-04-17 | 1975-10-31 | ||
JP2006102934A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-20 | Lucent Technol Inc | 適応光学装置で使用するための傾斜またはピストン運動を有するmemsミラー |
JP2008259061A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電型トランスデューサ |
JP2012175509A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Omron Corp | 音響センサ及びマイクロフォン |
-
2016
- 2016-05-24 JP JP2016103309A patent/JP6679044B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50137122A (ja) * | 1974-04-17 | 1975-10-31 | ||
JP2006102934A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-20 | Lucent Technol Inc | 適応光学装置で使用するための傾斜またはピストン運動を有するmemsミラー |
JP2008259061A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電型トランスデューサ |
JP2012175509A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Omron Corp | 音響センサ及びマイクロフォン |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109030581A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-12-18 | 南京铁道职业技术学院 | 一种复合结构的受电弓碳滑板表面损伤检测用电荷变换器 |
CN109030581B (zh) * | 2018-07-04 | 2024-04-16 | 南京铁道职业技术学院 | 一种复合结构的受电弓碳滑板表面损伤检测用电荷变换器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6679044B2 (ja) | 2020-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101740113B1 (ko) | 주변압에서의 변화 및 압력파를 센싱하기 위한 mems 센서 구조체 | |
JP6279464B2 (ja) | センサおよびその製造方法 | |
JP5790003B2 (ja) | 加速度センサー | |
JP2019201263A (ja) | Memsマイクロフォン | |
JP6405276B2 (ja) | Mems素子およびその製造方法 | |
JP6481265B2 (ja) | Mems素子 | |
JP6345926B2 (ja) | Mems素子およびその製造方法 | |
JP2014180702A (ja) | Mems素子およびその製造方法 | |
JP7499020B2 (ja) | Mems素子 | |
JP6679044B2 (ja) | Mems素子 | |
JP2007243757A (ja) | コンデンサマイクロホン | |
JP2017121028A (ja) | Mems素子 | |
JP4976349B2 (ja) | 静電容量型加速度センサ及び静電容量型加速度計 | |
JP4605544B2 (ja) | コンデンサマイクロホン | |
JP6582274B2 (ja) | Mems素子 | |
JP7040722B2 (ja) | Mems素子 | |
JP6382032B2 (ja) | Mems素子 | |
JP2018058150A (ja) | Mems素子及びその製造方法 | |
JP6699854B2 (ja) | Mems素子 | |
JP6662509B2 (ja) | Mems素子 | |
JP2016007681A (ja) | Mems素子およびその製造方法 | |
JP2017073581A (ja) | Mems素子 | |
JP6784005B2 (ja) | Mems素子およびその製造方法 | |
JP2015188947A (ja) | Mems素子 | |
JP6874943B2 (ja) | Mems素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190327 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200218 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200309 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6679044 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |