JP2017212375A - 静電チャック又は電極内蔵サセプタ - Google Patents
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Abstract
Description
窒化アルミニウム粉末97質量%、酸化イットリウム粉末3質量%からなる粉末混合物を得て、これを型に充填して一軸加圧処理を施した。これによって、直径320mm、厚さ3mmの第一層を形成した。
原料となる窒化アルミニウムの粉末にIPA及び有機バインダと可塑剤を添加し、混合、スプレードライ乾燥をすることで、窒化アルミニウム顆粒を得た。この顆粒をCIP成形し、焼成温度1900℃で焼成時間6時間、常圧焼成した後、円筒加工を行い、拡径部32の外径60mm、拡径部32の厚み8mm、円筒部31の外径42mm、内径32mm、長さ160mmのシャフト30を得た。
基材10の接合面とシャフト30の接合面とを重ね合わせ、ホットプレス焼成により接合した。温度は1600℃、圧力は6MPa、時間は4時間とした。
静電チャック100の静電容量を求めたところ、1.46×10−8/Fであり、静電吸着をするのに必要十分な値であり良好であった。
メッシュのメッシュサイズ、モリブデン線の線径を表1に示したものとした以外の作製条件を除き、実施例1と同様に静電チャック100を作製した。
静電チャック100の静電容量を求めたところ、1.30×10−8/F〜1.32×10−8/Fであり、何れも静電吸着をするのに必要十分な値であり良好であった。
F=(CV/S)2/2ε0・・・(1)
ここで、Vは電圧、Sはシリコンウエハの面積、ε0は真空の誘電率を表す。
メッシュのメッシュサイズ、モリブデン線の線径を表2に示したものとした以外の作製条件は、実施例1と同様に静電チャック100を作製した。
静電チャック100の静電容量を求めたところ、1.13×10−8/F〜1.43×10−8/Fであり、何れも静電吸着をするのに十分な値であった。
メッシュのメッシュサイズ、モリブデン線の線径を表2に示したものとした以外の作製条件は、実施例1と同様に静電チャック100を作製した。
静電チャック100の静電容量を求めたところ、1.04×10−8/F以下であり、何れも静電吸着をするのに不十分な値であった。
電極20としてモリブデン線を平畳織り又は綾畳織りで織ったものを使用した。メッシュのメッシュサイズ、モリブデン線の線径は表3に示したものを使用した。表3のメッシュサイズ及び線径の欄において、最初の数字は縦糸に係る数値であり、後の数字は横糸に係る数値である。このようなメッシュ以外の作製条件は、実施例1と同様に静電チャック100を作製した。
静電チャック100の静電容量を求めたところ、1.62×10−8/Fであり、何れも静電吸着をするのに必要十分な値であり良好であった。
電極20としてモリブデン線を平織りで織ったものを使用した。メッシュのメッシュサイズ、モリブデン線の線径は表4に示したものを使用した。メッシュ以外の作製条件は、実施例1と同様に静電チャック100を作製した。
静電チャック100の静電容量を求めたところ、1.05×10−8/F〜1.26×10−8/Fであり、何れも静電吸着をするのに必要十分な値であり良好であった。
電極20としてモリブデン線を平織りで織ったものを使用した。メッシュのメッシュサイズ、モリブデン線の線径は表5に示したものを使用した。メッシュ以外の作製条件は、実施例1と同様に静電チャック100を作製した。
静電チャック100の静電容量を求めたところ、0.623×10−8/F〜0.994×10−8/Fであり、静電吸着をするのに不十分な値であった。
Claims (5)
- AlNからなる基材に、複数の所定の異なる方向に線状の導電性材料体が延びるメッシュ電極からなる内部電極を埋設してなる静電チャック又は電極内蔵サセプタであって、
前記線状の導電性材料体は、線径が0.04mm以上0.25mm以下であり、1インチ当たりのメッシュサイズが50以上1450以下の綾織り、又は綾畳織りで織られていることを特徴とする静電チャック又は電極内蔵サセプタ。 - AlNからなる基材に、複数の所定の異なる方向に線状の導電性材料体が延びるメッシュ電極からなる内部電極を埋設してなる静電チャック又は電極内蔵サセプタであって、
前記線状の導電性材料体は、線径が0.05mm以上0.15mm以下であり、1インチ当たりのメッシュサイズが50以上175以下の綾織りで、又は綾畳織りで織られ、かつ空間率が40%以下であることを特徴とする静電チャック又は電極内蔵サセプタ。 - AlNからなる基材に、複数の所定の異なる方向に線状の導電性材料体が延びるメッシュ電極からなる内部電極を埋設してなる静電チャック又は電極内蔵サセプタであって、
前記線状の導電性材料体は、線径が0.04mmより大きく0.25mm以下であり、1インチ当たりのメッシュサイズが30以上200以下の平織り、又は平畳織りで織られ、かつ空間率が40%以下であることを特徴とする静電チャック又は電極内蔵サセプタ。 - 前記線状の導電性材料体の素材は、Mo又はWからなることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の静電チャック又は電極内蔵サセプタ。
- 前記基材の上面と前記内部電極との、前記基材の厚さ方向の距離は、0.2mm以上2.5mm以下であることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の静電チャック又は電極内蔵サセプタ。
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