JP2017205806A5 - レーザ加工装置 - Google Patents

Claims (1)

1. レーザ発振器から出力されたレーザ光を成形する光学系ユニットと、加工対象の構造物の固定機構と、第１のミラーと、第２のミラーと、第３のミラーと、第４のミラーと、第１のレンズと、第２のレンズと、を有し、
   前記固定機構の上方から第１の線状ビームを照射する機能と、前記固定機構の下方から第２の線状ビームを照射する機能と、を有し、
   前記第１の線状ビームは、光学系ユニットにより成形された前記レーザ光を、前記第１のミラーにより反射して、前記第１のレンズにより集光することで形成され、
   前記第２の線状ビームは、前記レーザ光を、前記第２のミラー乃至前記第４のミラーにより反射して、前記第２のレンズにより集光することで形成され、
   前記固定機構が有するステージは、前記第２のレンズから入射した前記レーザ光を透過する機能を有し、
   前記第１のミラーを移動させることにより、前記レーザ光の光路を切り替え、前記第１の線状ビームの形成をするか、前記第２の線状ビームの形成をするかを調整するレーザ加工装置。