JP2017201835A - 弾性波装置および回路基板 - Google Patents
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Abstract
Description
図6は、上述した弾性表面波装置1の変形例としての弾性表面波装置2の断面図であり、図2(b)と同じ部分の断面に相当する。弾性表面波装置1では、第2の柱状導体16の先端部を絶縁膜18で覆っていたのに対し、図6に示す弾性表面波装置2では第2の柱状導体16の先端部をそのまま露出させている。このように第2の柱状導体16の先端部を露出させておけば、弾性表面波装置2を回路基板などに実装する際に第2の柱状導体16もダミーの端子として利用することができる。例えば回路基板のグランドパッドと第2の柱状導体16とを半田などで接合するようにすれば、弾性表面波装置2の回路基板への接続強度を強固にすることができる。
3・・・圧電基板(基板)
3a・・・第1主面(主面)
6・・・櫛歯状電極(励振電極)
7・・・保護層
8・・・絶縁部材
9・・・保護カバー
11・・・接続用導体
15・・・第1の柱状導体
16・・・第2の柱状導体
17・・・振動空間
18・・・絶縁膜
Claims (12)
- 弾性波を伝搬させる基板と、
該基板の主面上に配置された複数の励振電極と、
前記基板の主面上に配置された、前記励振電極の振動空間を複数構成するとともに、前記励振電極に電気的に接続された第1の柱状電極を有する保護カバーと、を有し、
該保護カバーは、前記振動空間を構成する内壁面が、前記励振電極に対向する天井部に対して湾曲した湾曲部を有している弾性波装置。 - 前記保護カバーは、前記湾曲部が、前記振動空間の前記内壁面のうち、隣接する他の前記振動空間側に配置されている請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記振動空間は、前記内壁面全体が、アーチ状に形成されている請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記湾曲部は、平面視において、前記振動空間の外周全体に形成されている請求項1〜3のいずれかに記載の弾性波装置。
- 前記保護カバー上に配置された、前記第1の柱状電極の上面が開口した絶縁膜をさらに有する請求項1〜4のいずれかに記載の弾性波装置。
- 前記第1の柱状電極は、前記主面側が拡径となったテーパ部を有する請求項1〜5のいずれかに記載の弾性波装置。
- 前記基板の主面に配置されるとともに前記保護カバー内に位置し、電気的に浮き状態となった第2の柱状電極をさらに有する請求項1〜6のいずれかに記載の弾性波装置。
- 前記第2の柱状電極は、平面視において、前記湾曲部よりも前記圧電基板の外周側に配置されている請求項7に記載の弾性波装置。
- 前記第2の柱状電極は、前記主面側が拡径となったテーパ部を有する請求項7または8に記載の弾性波装置。
- 前記絶縁膜は、前記第2の柱状電極の上面を覆っている請求項5を引用する請求項7〜9のいずれかに記載の弾性波装置。
- 前記励振電極に電気的に接続される配線を複数有するとともに、該配線が絶縁部材を介して立体配線された立体配線部を有し、
該立体配線部が前記振動空間内に配置されている請求項1〜10のいずれかに記載の弾性波装置。 - 請求項1〜11のいずれかに記載の弾性波装置と、
前記弾性波装置が実装された第2の基板と、を有する回路基板。
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