JP2017188807A5 - - Google Patents
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Description
図6と図7とを比較すると、平面視における弾性波共振器20と42との重なる領域54の面積は、実施例1は比較例1に比べ数10%減少している。弾性波共振器20と42とを空隙25を介し対向させた場合、弾性波共振器20と42との距離はほぼバンプ36の高さであり、10μm程度である。領域54の面積が大きいと、空隙25を介した弾性波共振器20と42との間の寄生容量が増加する。このため、弾性波共振器20を伝搬する高周波信号と弾性波共振器42を伝搬する高周波信号とが干渉し、アイソレーション特性が劣化する。実施例1では、比較例1に比べ領域54の面積が小さく、アイソレーション特性が向上する。なお、弾性波共振器20と42の重なる領域54について説明したが、配線34と44との重なる面積についても同様である。
さらに、図3のように、圧電基板10において直列共振器S11からS15(複数の第1IDT)はY1方向に配列している。図5のように、圧電基板40において直列共振器S21からS25(複数の第2IDT)はY2方向に配列している。このように、複数の共振器が配列していると、複数の共振器S11からS15(およびS21からS25)は一塊として長方形状となる。よって、図8(a)および図8(b)において説明した長方形を複数の共振器の一塊として扱うことができる。これにより、弾性波共振器20と42との電極指を非平行とすることにより、圧電基板10の上面に設けられた一塊の複数の共振器S11からS15と圧電基板40の下面に設けられた一塊の共振器S21からS25とが重なる面積を小さくできる。よって、共振器S11からS15とS21からS25との間の寄生容量を削減し、これらの間のアイソレーションを改善できる。
さらに、送信フィルタ50および受信フィルタ52がそれぞれ圧電基板10および40上に設けられている。送信フィルタ50は、ラダー型フィルタであり、複数の直列共振器S11からS15(第1直列共振器)および並列共振器P11からP13(第1並列共振器)を有している。受信フィルタ52は、ラダー型フィルタ(であり、複数の直列共振器S21からS25(第2直列共振器)および並列共振器P21からP23(第2並列共振器)を有している。ラダー型フィルタの直列共振器を効率よくレイアウトしようとすると、直列共振器は電極指の延伸方向に配列することになる。このとき、複数の直列共振器とこれらを接続する配線が一塊として長方形状となる。よって、図3のように、弾性波共振器20と42との電極指を非平行とする。これにより、圧電基板10の上面に設けられた直列共振器S11からS15およびこれらを接続する配線34と圧電基板40の下面に設けられた直列共振器S21からS25およびこれらを接続する配線44とが重なる面積を小さくできる。よって、送信フィルタ50と受信フィルタ52との間の寄生容量を削減し、これらの間のアイソレーションを改善できる。
送信フィルタ50および受信フィルタ52を例に説明したが、基板10および基板40に設けられたフィルタは送信フィルタおよび受信フィルタでなく、それぞれ入力端子と出力端子との間に接続されたラダー型フィルタでもよい。例えば周波数分割複信(FDD:Frequency Division Duplex)方式の送信帯域と受信帯域とは重ならない。このように、フィルタの通過帯域が異なる場合(例えば通過帯域の中心周波数が異なる場合、または通過帯域が重ならない場合)、フィルタ間のアイソレーション特性が問題となる。よって、弾性波共振器20と42との電極指を非平行とすることが好ましい。また、フィルタは多重モードフィルタでもよい。
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