JP2017185579A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
4 筐体
6 基台
8 X軸移動機構(直動機構)
10 X軸ガイドレール
12 X軸移動テーブル(スライダ)
14 X軸ボールねじ(ボールねじ)
16 X軸パルスモータ(サーボモータ)
18 テーブルベース
20 チャックテーブル
20a クランプ
20b 保持面
22 ウォーターケース
24 支持構造
26 切削ユニット移動機構(直動機構)
28 Y軸ガイドレール
30 Y軸移動プレート(スライダ)
32 Y軸ボールねじ(ボールねじ)
34 Y軸パルスモータ(サーボモータ)
36 Z軸ガイドレール
38 Z軸移動プレート(スライダ)
40 Z軸ボールねじ(ボールねじ)
42 Z軸パルスモータ(サーボモータ)
44 切削ユニット(加工ユニット)
46 カメラ(撮像ユニット)
48 切削ブレード
50 制御ユニット
52 劣化検出ユニット
52a トルク測定部
52b 閾値設定部
52c 信号発生部
54 表示パネル
11 被加工物
13 テープ
15 フレーム
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
サーボモータで回転するボールねじと該ボールねじに螺合するナットと該ナットが固定されたスライダとを含む直動機構と、
該直動機構の劣化を検出する劣化検出ユニットと、を備え、
該劣化検出ユニットは、
該スライダを所定の速度で移動させる際に、該サーボモータが出力するトルクを測定するトルク測定部と、
トルクの閾値を設定する閾値設定部と、
該トルク測定部で測定したトルクが該閾値設定部で設定した閾値によって規定される範囲を外れた場合に、該ボールねじと該ナットのねじ溝との間の隙間が拡大していることを通知するための信号を発生する信号発生部と、を含むことを特徴とする加工装置。 - 該スライダには、該チャックテーブル又は該加工ユニットが取り付けられており、
該直動機構は、該スライダとともに該チャックテーブル又は該加工ユニットを移動させ、
該トルク測定部は、該スライダの移動範囲の所定領域でトルクを測定することを特徴とする請求項1記載の加工装置。
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