JP2017168751A5 - - Google Patents

Description

本発明の１つの側面は、基板のインプリント領域上のインプリント材にモールドを接触させ該インプリント材を硬化させることで前記インプリント領域にパターンを形成するインプリント装置に係り、前記インプリント装置は、前記インプリント材に前記モールドが接触した状態で、前記モールドと前記インプリント領域との間の相対的な位置関係を調整するアライメント動作を制御する制御部を備え、前記アライメント動作は、前記モールドに対して前記インプリント領域を相対的に並進させる並進動作と、前記モールドに対して前記インプリント領域を相対的に回転させる回転動作とを含み、前記制御部は、前記アライメント動作として、少なくとも第１動作および第２動作を順番に行い、前記第２動作における前記モールドに対する前記インプリント領域の相対的な回転方向が前記第１動作における前記モールドに対する前記インプリント領域の相対的な回転方向とは逆になるように制御する。

Claims (13)

1. 基板のインプリント領域上のインプリント材にモールドを接触させ該インプリント材を硬化させることで前記インプリント領域にパターンを形成するインプリント装置であって、
   前記インプリント材に前記モールドが接触した状態で、前記モールドと前記インプリント領域との間の相対的な位置関係を調整するアライメント動作を制御する制御部を備え、
   前記アライメント動作は、前記モールドに対して前記インプリント領域を相対的に並進させる並進動作と、前記モールドに対して前記インプリント領域を相対的に回転させる回転動作とを含み、
   前記制御部は、前記アライメント動作として、少なくとも第１動作および第２動作を順番に行い、前記第２動作における前記モールドに対する前記インプリント領域の相対的な回転方向が前記第１動作における前記モールドに対する前記インプリント領域の相対的な回転方向とは逆になるように制御する、
   ことを特徴とするインプリント装置。
2. 前記モールドと前記インプリント領域との間の相対的な位置関係を計測するための計測部を更に備え、
   前記制御部は、前記計測部を使って得られた計測結果に基づいて前記アライメント動作を制御する、
   ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
3. 前記第２動作は、前記第１動作の後に実施され、
   前記制御部は、前記計測結果に基づいて前記第１動作における前記相対的な回転方向を決定する、
   ことを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
4. 前記制御部は、前記並進動作を前記計測結果に基づいてフィードバック制御し、前記第１動作をフィードバック制御によらずに制御し、前記第２動作の少なくとも途中以降を前記計測結果に基づいてフィードバック制御する、
   ことを特徴とする請求項２又は３に記載のインプリント装置。
5. 前記回転動作は、前記第２動作の後に実施される動作として第３動作を更に含み、前記第３動作の終了によって前記回転動作が終了し、
   前記制御部は、前記並進動作を前記計測結果に基づいてフィードバック制御し、前記第１動作および前記第２動作をフィードバック制御によらずに制御し、前記第３動作の少なくとも途中以降を前記計測結果に基づいてフィードバック制御する、
   ことを特徴とする請求項２又は３に記載のインプリント装置。
6. 前記制御部は、前記モールドと前記インプリント領域の少なくとも一部との間の相対速度が閾値を超えないように前記回転動作を制御する、
   ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のインプリント装置。
7. 前記制御部は、前記モールドと前記インプリント領域の一部との間の相対速度が閾値を超えないように、かつ、前記モールドと前記インプリント領域の他の一部との間の相対速度が前記閾値を超えるように、前記回転動作を制御する、
   ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のインプリント装置。
8. 前記制御部は、前記モールドと前記インプリント領域との間の相対的な位置関係を調整するための動作として、前記アライメント動作または他のアライメント動作を選択するように構成され、当該選択されたアライメント動作を実行するように制御し、
   前記他のアライメント動作は、前記他のアライメント動作の開始時から前記計測結果に基づいて前記モールドと前記インプリント領域との間の相対的な位置および回転角をフィードバック制御する動作である、
   ことを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載のインプリント装置。
9. 前記制御部は、前記パターンを形成する処理のためのジョブの情報を取得し、前記情報に基づいて前記アライメント動作または前記他のアライメント動作を選択する、
   ことを特徴とする請求項８に記載のインプリント装置。
10. 前記制御部は、前記パターンを形成する処理のログの情報に基づいて前記アライメント動作または前記他のアライメント動作を選択する、
    ことを特徴とする請求項８に記載のインプリント装置。
11. 前記制御部は、前記インプリント領域の複数の部分領域のうち前記第１動作で最も移動が少ない部分領域が前記複数の部分領域のうち前記第２動作で最も移動量が少ない部分領域と異なる部分領域となるように、前記第１動作と前記第２動作とを制御することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のインプリント装置。
12. 基板のインプリント領域上のインプリント材にモールドを接触させ該インプリント材を硬化させることで前記インプリント領域にパターンを形成するインプリント装置であって、
    前記インプリント材に前記モールドが接触した状態で、前記モールドと前記インプリント領域との間の相対的な位置関係を調整するアライメント動作を制御する制御部を備え、前記インプリント領域は、第１部分領域および第２部分領域を含み、
    前記アライメント動作は、前記モールドに対して前記インプリント領域を相対的に並進させる並進動作と、前記モールドに対して前記インプリント領域を相対的に回転させる回転動作とを含み、
    前記制御部は、前記アライメント動作として、前記モールドと前記第１部分領域との間の相対速度が前記モールドと前記第２部分領域との間の相対速度より小さくなるように前記モールドに対して前記インプリント領域を相対的に回転させる第１動作と、前記モールドと前記第２部分領域との間の相対速度が前記モールドと前記第１部分領域との間の相対速度より小さくなるように前記モールドに対して前記インプリント領域を相対的に回転させる第２動作とが少なくとも順番に行われるように制御する
    ことを特徴とするインプリント装置。
13. 請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
    前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
    を含むことを特徴とする物品製造方法。