JP2017168527A - 半導体記憶装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電極と電荷蓄積層との間の電荷のトンネリングを抑制し、かつ、トンネル膜の劣化を抑制することができる半導体記憶装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本実施形態による半導体記憶装置は、半導体層を備える。積層体は、半導体層上に設けられた第1絶縁層および電極層を含む。チャネル層は、積層体に設けられたホール内に設けられ、半導体層に電気的に接続する。第2絶縁層は、チャネル層と電極層との間に設けられている。電荷蓄積層は、第2絶縁層と電極層との間に設けられている。第2絶縁層は、電荷蓄積層と電極層との間に設けられている。第2絶縁層は、電荷蓄積層側に設けられた絶縁膜と電極層側に設けられた第1誘電体層とを含む。第1誘電体層は、酸化物となったときに酸化アルミニウムよりも高い誘電率を有する第1材料と、第1材料の酸化物よりも誘電率の低い第2材料と、酸素とを含む層である。
【選択図】図3
Description
図1は、第1実施形態によるNAND型EEPROM1(以下、メモリ1ともいう)の構成の一例を示す断面図である。メモリ1は、例えば、メモリセルを3次元的に配置した積層型メモリでよい。
図9は、第2実施形態に従ったメモリ1の電荷ブロック層40およびその周辺の構成の一例を示す断面図である。第2実施形態の電荷ブロック層40は、シリコン酸化膜42と第1誘電体層44との積層膜である点で第1実施形態の電荷ブロック層40と同様である。また、電極層20の側面と電荷蓄積層50との間において、シリコン酸化膜42は電荷蓄積層50側に設けられており、第1誘電体層44は電極層20側に設けられている。
図10は、第3実施形態に従ったメモリ1の電荷ブロック層40およびその周辺の構成の一例を示す断面図である。第3実施形態の電荷ブロック層40は、シリコン酸化膜42と第1誘電体層44との積層膜である点で第1実施形態の電荷ブロック層40と同様である。また、電極層20の側面と電荷蓄積層50との間において、シリコン酸化膜42は電荷蓄積層50側に設けられており、第1誘電体層44は電極層20側に設けられている。
Claims (7)
- 半導体層と、
前記半導体層上に設けられた第1絶縁層および電極層の積層体と、
前記積層体に設けられたホール内に設けられたチャネル層と、
前記チャネル層と前記電極層との間に設けられた第2絶縁層と、
前記第2絶縁層と前記電極層との間に設けられた電荷蓄積層と、
前記電荷蓄積層と前記電極層との間に設けられた第3絶縁層であって、前記電荷蓄積層側に設けられた絶縁膜と前記電極層側に設けられた第1誘電体層とを含む前記第3絶縁層とを備え、
前記第1誘電体層は、酸化物となったときに酸化アルミニウムよりも高い誘電率を有する第1材料と、前記第1材料の酸化物よりも誘電率の低い第2材料と、酸素とを含む層である、半導体記憶装置。 - 前記第1材料は、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、ランタン(La)、イットリウム(Y)の少なくとも1つを含む材料である、請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記第2材料は、シリコン(Si)、アルミニウム(Al)、イットリウム(Y)、ランタン(La)、ハフニウム(Hf)の少なくとも1つを含む材料である、請求項1または請求項2に記載の半導体記憶装置。
- 前記第3絶縁層は、前記電荷蓄積層と前記電極層との間、および、前記第1絶縁層と前記電極層との間に設けられている、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。
- 前記第3絶縁層の前記第1誘電体層は、前記電荷蓄積層と前記電極層との間、および、前記第1絶縁層と前記電極層との間に設けられおり、
前記第3絶縁層内の前記絶縁膜は、前記ホールの内に設けられている、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。 - 前記第3絶縁層は、前記ホールの内に設けられている、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。
- 半導体層上に第1絶縁層および犠牲層を積層し、
前記第1絶縁層および前記犠牲層に前記半導体層に達するホールを形成し、
前記ホールの内面に電荷蓄積層、第2絶縁層、チャネル層を形成し、
隣接する前記ホール間の前記第1絶縁層および前記犠牲層に前記積層方向へ前記半導体層に達するスリットを形成し、
前記スリットを介して前記犠牲層を除去し、
前記犠牲層の除去後、前記積層方向に隣接する前記第1絶縁層の対向面および前記電荷蓄積層の側面に、絶縁膜および第1誘電体層を積層した第3絶縁層を形成し、あるいは、前記ホールの形成後、前記電荷蓄積層の形成前に、前記第3絶縁層の前記絶縁膜または前記絶縁膜および前記第1誘電体層を前記ホールの内面に形成し、
前記積層方向に隣接する前記第1絶縁層間に、前記第3絶縁層を介して電極層を形成することを具備し、
前記第1誘電体層は、酸化物として酸化アルミニウムよりも高い誘電率を有する第1材料と、前記第1材料よりも誘電率の低い第2材料と、酸素とを含む層である、半導体記憶装置の製造方法。
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