JP2017151373A - 赤外顕微鏡及び赤外顕微鏡システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】赤外光を試料上の分析位置に導く照明光学系61と、赤外分光光度計20から供給される赤外光を照明光学系61に導くための位置調整が可能な接続光学系80と、試料上の分析位置を含む領域に可視光を出射する可視光源部30と、試料上の分析位置を含む領域からの可視光が検出面に入射して可視光画像を取得する画像取得部40と、試料上の分析位置からの赤外光を検出する検出部50とを備え、画像取得部40は、赤外光が検出面に入射して赤外光画像を取得する構成とする。
【選択図】図1
Description
赤外顕微鏡システムは、赤外顕微鏡本体200と接続光学系80とを有する赤外顕微鏡2と、FTIR20と、赤外顕微鏡システム全体の制御を行うコンピュータ190とを備える。
試料台の上面には、試料Sを載せたり取り除いたりすることが可能となっている。このような試料台は、コンピュータ190によって駆動機構へ必要な駆動信号が出力されることにより、所望のX方向とY方向とZ方向とに移動できるようになっている。
このようなマイケルソン干渉計22によれば、赤外光源部23から出射された赤外光束は、ビームスプリッタ22cに照射され、ビームスプリッタ22cで移動鏡22aと固定鏡22bとの二方向に分割される。そして、移動鏡22aで反射した赤外光束と固定鏡22bで反射した赤外光束とはビームスプリッタ22cに戻って合成され、光束取出窓21aや検出器25へ送られる。このとき、移動鏡22aは入射光軸方向Mで前後に往復動しているため、分割された二光束の光路長の差は周期的に変化し、ビームスプリッタ22cから光束取出窓21aや検出器25へ向かう光は、時間的に振幅が変動するインターフェログラムとなる。
ここで、その調整作業について説明する。まず、作業者(分析者等)は、FTIR20と赤外顕微鏡本体200との間に接続光学系80を設置する。次に、作業者は、FTIR20のHe−Neレーザ光源部24aから赤色レーザ光を出射させる。次に、作業者は、He−Neレーザ光源部24aからマイケルソン干渉計22に入り、ビームスプリッタ22cからの戻り赤色レーザ光を目安にして、第一平面鏡81の角度を粗調整する。このとき、第一平面鏡81からの赤色レーザ光が導かれる第二平面鏡82に例えば方眼紙のようなレーザの標的となるものを被せて、標的中の赤色レーザ光の位置を目視で確認しながらネジ調整機構を用いて粗調整する。次に、作業者は、FTIR20の赤外光源部23から赤外光束を出射させる。次に、作業者は、赤外検出器51からの出力信号による赤外スペクトルを見ながら、赤外パワーが最大となるように、ネジ調整機構を用いて第一平面鏡81の角度を微調整する(図3参照)。
また、ネジ調整機構を用いて粗調整した場合でも、赤外スペクトルを確認するための適切位置となっていないことがあった。この場合、赤外スペクトルの強度を上げるべく調整代の広い範囲を探索しながら再調整するため、十数分から数十分を要することがあった。さらに、赤外パワーが上がらず適切な位置が見つからない場合には、何度もやり直さなければならなかった。
He−Neレーザ光源部24aは、マイケルソン干渉計22からの戻り赤色レーザ光がレーザチューブ(He−Neレーザ光源部24a)の射出窓内に入らないように、マイケルソン干渉計22の光学系の光軸から僅かな角度(例えば0.5℃)だけずれるように設置されている。これは、レーザチューブ内に赤色レーザ光が戻るとレーザ発振が不安定になり、マイケルソン干渉計22の制御に影響が出てしまうことを防ぐためである。よって、He−Neレーザ光源部24aから出射された赤色レーザ光が、マイケルソン干渉計22に入り、移動鏡22aと固定鏡22bとで反射して戻り、ビームスプリッタ22cから第二平面鏡82に至るまでの距離が長いために、赤色レーザ光の光軸と赤外光束の光軸とのズレ量が過度に大きくなっていることがわかった。
(1)赤外光源23a、(2)ジャキノー絞り23b、(3)顕微鏡ピンホール65(光学鏡筒長さにより決まる)、(4)試料面、(5)遠隔可変アパーチャ66(試料S面上の赤外測定領域を決める)、(6)CMOSカメラ141の6か所の共役な位置が、光軸上に理想的に配置され、芯出しとピント調整とが適切な状態であれば、(1)〜(6)の像がCMOSカメラ141の検出面に重なって結像し、同時に、(1)〜(6)の像の中心がCMOSカメラ141の画像の視野中心に合致している状態となる。なお、FTIR20側の(1)と(2)とは、FTIR20の製造時に光軸調整が完了しており、(3)〜(6)の4か所は、赤外顕微鏡2の製造時に光軸調整が完了している。
よって、肉眼では見えない赤外光を赤外顕微鏡本体200に内蔵されたCMOSカメラ141で可視化しながら、赤外光の光軸と赤外顕微鏡本体200の光学系の光軸との調整を実施することを見出した(図2(a)〜(c)参照)。
また、本発明の赤外顕微鏡において、前記接続光学系は、第一平面鏡と、第二平面鏡と、前記第一平面鏡を回転移動させる調整機構とを備えるようにしてもよい。
本発明の赤外顕微鏡によれば、白色LEDを用いることで、赤外線カットフィルタを外した場合でも、近赤外光の放射がなく、通常分析時の可視光画像が赤く被る不具合を防止することができる。
本発明の赤外顕微鏡システムによれば、調整作業時には使用しないジャキノー絞りの円形開口を光路に挿入し、接続光学系の角度の変化に追従して動く円形開口像の中心を目視で確認しながら赤外光画像の視野中心に合わせることで、赤外分光光度計からの赤外光の光軸と赤外顕微鏡の光学系の光軸とを短時間で正確に調整することができる。
赤外顕微鏡システムは、赤外顕微鏡本体100と接続光学系80とを有する赤外顕微鏡1と、FTIR20と、赤外顕微鏡システム全体の制御を行うコンピュータ90とを備える。
よって、円形開口像の直径を赤外光画像の縦方向程度あるいはそれよりも小さくすることが好ましく、調整作業時には大きな円形開口から小さな円形開口へ切り替えながら調整すると、赤外光束の光軸の中心を見つけやすくなる。
試料S面上での円形開口像の直径=円形開口の直径×(放物面鏡63または64の焦点距離)/(放物面鏡23cの焦点距離)/(カセグレン鏡60の倍率) ・・・(1)
したがって、例えば400μm×300μmの赤外光画像である場合には、ジャキノー絞り23bの円形開口像の直径が試料面上で300μmとなるように、ジャキノー絞り23bの円形開口の直径を1mm、放物面鏡63または放物面鏡64の焦点距離を275mm、放物面鏡23cの焦点距離を60mm、カセグレン鏡60の倍率を15倍にそれぞれ設定する。
例えば、作業者は、試料S上の赤外光束の照射位置を指定したり、試料S上の分析範囲の位置を指定したりするときには、操作部92を用いて「通常測定モード」を入力する。これにより、画像取得制御部91aは、白色LEDを点灯し、CMOSカメラ41の露光時間を所定時間に、感度(アナログゲイン、デジタルゲイン)を所定値にする「通常測定モード」のパラメータに設定する。そして、画像取得装置40から可視光画像を取得してモニタ93に表示する。これにより、作業者は、モニタ93に表示された可視光画像を観察しながら、可視光画像上で操作部92を用いてマウスドラッグやスクロールバーの操作等を実行することにより、試料S上の赤外光束の照射位置を指定する。
まず、作業者は、FTIR20と赤外顕微鏡本体100との間に接続光学系80を設置する。次に、作業者は、FTIR20のHe−Neレーザ光源部24aから赤色レーザ光を出射させる。次に、作業者は、He−Neレーザ光源部24aからの戻り赤色レーザ光を目安にして、第一平面鏡81の角度を粗調整する。このとき、第一平面鏡81からの赤色レーザ光が導かれる第二平面鏡82に例えば方眼紙のようなレーザの標的となるものを被せて、標的中の赤色レーザ光の位置を目視で確認しながらネジ調整機構を用いて粗調整する。
<1>上述したような本発明に係る赤外顕微鏡システムでは、作業者は、モニタ93に表示された赤外光画像を見ながら、円形開口像が赤外光画像のほぼ中央に調整された状態となるように、ネジ調整機構を用いて第一平面鏡81の角度を調整する構成としたが、円形開口像が赤外光画像のほぼ中央に調整された状態となるように、画像取得制御部91aがネジ調整機構を用いて第一平面鏡81の角度を自動的に調整するような構成としてもよい。
10 試料ステージ
20 FTIR(赤外分光光度計)
30 可視光源部
40 画像取得装置(画像取得部)
50 検出部
61 カセグレン鏡(照明光学系)
80 接続光学系
91 CPU(制御部)
Claims (6)
- 赤外光を試料上の分析位置に導く照明光学系と、
赤外分光光度計から供給される赤外光を前記照明光学系に導く接続光学系と、
前記試料上の分析位置を含む領域に可視光を出射する可視光源部と、
前記試料上の分析位置を含む領域からの可視光が検出面に入射して可視光画像を取得する画像取得部と、
前記試料上の分析位置からの赤外光を検出する検出部とを備える赤外顕微鏡であって、
前記接続光学系は、位置調整が可能となっており、
前記画像取得部は、赤外光が検出面に入射して赤外光画像を取得することが可能となっていることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 前記接続光学系は、第一平面鏡と、第二平面鏡と、前記第一平面鏡を回転移動させる調整機構とを備えることを特徴とする請求項1に記載の赤外顕微鏡。
- 前記可視光源部は、白色LEDであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の赤外顕微鏡。
- 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の赤外顕微鏡と、
赤外分光光度計と、
前記赤外顕微鏡及び前記赤外分光光度計を制御する制御部とを備えることを特徴とする赤外顕微鏡システム。 - 前記赤外分光光度計は、赤外光を出射する赤外光源と、前記赤外光源の前方に配置されたジャキノー絞りとを備えることを特徴とする請求項4に記載の赤外顕微鏡システム。
- 前記制御部は、前記赤外光画像に基づいて、前記接続光学系を制御することを特徴とする請求項5に記載の赤外顕微鏡システム。
Priority Applications (1)
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