JP2017135974A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
1A 小型流体制御装置
1B 小型バルブ装置
1a 殼体
10 座体
11 気体導入板
11a 気体導入板の第2表面
11b 気体導入板の第1表面
110 気体導入孔
111 中心凹部
112 気体ガイド溝
12 共振片
12a 可動部
12b 固定部
120 中空孔
121 第1チャンバ
13 圧電アクチュエータ
130 懸吊板
130a 懸吊板の第2表面
130b 懸吊板の第1表面
130c 凸部
130d 中心部
130e 外周部
131 外枠
131a 外枠の第2表面
131b 外枠の第1表面
132 フレーム
132a フレームの第2表面
132b フレームの第1表面
133 圧電セラミック板
134、151 導電ピン
135 空隙
141、142 絶縁片
15 導電片
16 集気板
16a 収容空間
160 表面
161 基準表面
162 集気チャンバ
163 第1貫通孔
164 第2貫通孔
165 第1圧力リリーフチャンバ
166 第1出口チャンバ
167、181a 凸部構造
168 側壁
17 バルブ片
170 弁孔
171 位置決め孔
18 出口板
180 基準表面
181 圧力リリーフ通孔
182 出口通孔
183 第2圧力リリーフチャンバ
184 第2出口チャンバ
185 連通流路
187 第2表面
188 位置規制構造
19 出口
g0 間隙
(a)〜(x) 圧電アクチュエータの異なる実施態様
a0、i0、j0、m0、n0、o0、p0、q0、r0 懸吊板
a1、i1、m1、n1、o1、p1、q1、r1 外枠
a2、i2、m2、n2、o2、p2、q2、r2 フレーム、板連接部
a3、 m3、n3、o3、p3、q3、r3 空隙
d 圧電アクチュエータの振動移動
s4、t4、u4、v4、w4、x4 凸部
m2’、n2’、o2’、q2’、r2’ 外枠に連接されるフレームの端部
m2”、n2”、o2”、q2”、r2” 懸吊板に連接されるフレームの端部
Claims (10)
- 圧電アクチュエータであって、懸吊板と、圧電セラミック板と、外枠と、少なくとも1つのフレームを含み、
前記懸吊板が、正方形の構造で、4mm〜8mmの間の辺の長さを有し、かつ中心部から外周部まで湾曲振動することができ、
前記圧電セラミック板が、正方形の構造で、前記懸吊板の辺の長さより大きくない辺の長さを有し、前記懸吊板の第1表面に貼付され、電圧の印加で前記懸吊板を駆動して湾曲振動させるために用いられ、
前記外枠が、前記懸吊板の外側に周設され、
前記少なくとも1つのフレームが、前記懸吊板と前記外枠の間に連接されて、弾性的な支持を提供し、梁部と、懸吊板連接部と、外枠連接部を含み、
前記梁部が前記懸吊板と前記外枠の間の間隙中に設置され、その設置方向が前記外枠及び前記懸吊板に平行であり、
前記懸吊板連接部が前記梁部と前記懸吊板の間に連接され、
前記外枠連接部が前記梁部と前記外枠の間に連接され、前記懸吊板連接部と相互に対応し、かつ同一軸線上に設置されることを特徴とする、圧電アクチュエータ。 - 前記少なくとも1つのフレームが板連接部で、前記外枠及び前記懸吊板の間を連結するために用いられることを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記板連接部の両端部は相互に対応し、かつ同一軸線上に設置されることを特徴とする、請求項2に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記板連接部は0〜45度の傾斜角で前記懸吊板及び前記外枠に連接されることを特徴とする、請求項2に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記懸吊板が正方形の構造で、4mm〜6mmの間の辺の長さを有することを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記懸吊板が正方形の構造で、6mm〜7.5mmの間の辺の長さを有することを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記懸吊板が正方形の構造で、7.5mm〜8mmの間の辺の長さを有するることを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記懸吊板の第2表面が凸部を備え、前記懸吊板の前記凸部の高さは0.02mm〜0.08mmの間であることを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記懸吊板の前記凸部が、円形の突起構造で、その直径は前記懸吊板の最小辺の長さの0.55倍の寸法であることを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記懸吊板の厚さが0.1mm〜0.4mmの間であることを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
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