JP6829676B2 - 小型空気圧動力装置 - Google Patents
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- F04B53/10—Valves; Arrangement of valves
Description
1A 小型流体制御装置
1B 小型バルブ装置
1a ケーシング
10 ベース
11 気体導入板
11a 気体導入板の第二表面
11b 気体導入板の第一表面
110 気体導入孔
111 中心凹部
112 気体ガイド溝
12 共振片
12a 可動部
12b 固定部
120 中空孔
121 第一チャンバ
13 圧電アクチュエータ
130 懸吊板
130a 懸吊板の第二表面
130b 懸吊板の第一表面
130c 凸部
130d 中心部
130e 外周部
131 外枠
131a 外枠の第二表面
131b 外枠の第一表面
132 フレーム
132a フレームの第二表面
132b フレームの第一表面
133 圧電セラミック板
134、151 導電ピン
135 空隙
141、142 絶縁片
15 導電片
16 集気板
16a 収容空間
160 表面
161 基準表面
162 集気チャンバ
163 第一貫通孔
164 第二貫通孔
165 第一圧力リリーフチャンバ
166 第一出口チャンバ
167、181a 凸部構造
168 側壁
17 バルブ片
170 弁孔
171 位置決め孔
18 出口板
180 基準表面
181 圧力リリーフ通孔
182 出口通孔
183 第二圧力リリーフチャンバ
184 第二出口チャンバ
185 連通流路
187 第二表面
188 位置規制構造
19 出口
g0 間隙
(a)〜(x) 圧電アクチュエータの異なる実施態様
a0、i0、j0、m0、n0、o0、p0、q0、r0 懸吊板
a1、i1、m1、n1、o1、p1、q1、r1 外枠
a2、i2、m2、n2、o2、p2、q2、r2 フレーム、板連接部
a3、 m3、n3、o3、p3、q3、r3 空隙
d 圧電アクチュエータの振動移動
s4、t4、u4、v4、w4、x4 凸部
m2’、n2’、o2’、q2’、r2’ 外枠に連接されるフレームの端部
m2”、n2”、o2”、q2”、r2” 懸吊板に連接されるフレームの端部
Claims (9)
- 小型流体制御装置と、小型バルブ装置とを含み、
前記小型流体制御装置が、
少なくとも一つの気体導入孔、少なくとも一つの集約アレイ、集約チャンバを構成する中心凹部を有し、前記少なくとも一つの気体導入孔が気体の導入に用いられ、前記集約アレイが気体導入孔に対応し、且つ気体導入孔の気体をガイドして中心凹部が構成する集約チャンバに集約させる気体導入板と、
前記気体導入板の前記集約チャンバに対応する中空孔を有する共振片と、
懸吊板、外枠及び圧電セラミック板を有し、前記懸吊板が、2mm〜4mm未満の間の長さ、2mm〜4mm未満の間の幅、0.1mm〜0.3mmの間の厚さを有し、前記外枠が、前記懸吊板と前記外枠との間を連接するように設置された少なくとも一つのフレームを有し、前記懸吊板、前記外枠及び前記フレームの間で少なくとも一つの空隙を形成し、前記圧電セラミック板が、前記懸吊板の第一表面に貼着し、前記懸吊板の辺の長さより大きくない辺の長さを有し、且つ2mm〜4mm未満の間の長さ、2mm〜4mm未満の間の幅、0.05mm〜0.3mmの間の厚さを有し、さらに、その長さと幅との比が0.44倍〜2.25倍の間である圧電アクチュエータと、
第一貫通孔、第二貫通孔、第一圧力リリーフチャンバ、第一出口チャンバ及び基準表面を有し、前記第一出口チャンバが凸部構造を有し、前記凸部構造の高さが前記基準表面より高く、前記第一貫通孔が前記第一圧力リリーフチャンバと連通し合い、前記第二貫通孔が前記第一出口チャンバと連通し合う集気板と、を包括し、
そのうち、前記気体導入板、前記共振片、前記圧電アクチュエータ及び前記集気板が順次対応するように積層し且つ位置決めするように設置し、前記共振片は前記圧電アクチュエータとの間に第一チャンバを形成するための間隙を有し、前記圧電アクチュエータが駆動を受けると、気体が前記気体導入板の前記少なくとも一つの気体導入孔から導入され、前記少なくとも一つの集約アレイを介して前記中心凹部に集約され、さらに、前記共振片の前記中空孔を介して前記第一チャンバ内に進入し、さらにまた、前記圧電アクチュエータの前記少なくとも一つのフレームの間にある前記空隙から下に向かって前記集気板へと伝送されることで、気体が持続的に押圧されており、
前記小型バルブ装置が、
弁孔を有し、且つ0.1mm〜0.3mmの間の厚さを有し、前記集気板の前記凸部構造が前記弁孔に対応するように設置され、前記弁孔に当接されてプレストレス作用を形成し、前記弁孔を完全に封鎖するバルブ片と、
圧力リリーフ通孔、出口通孔、第二圧力リリーフチャンバ、第二出口チャンバ、少なくとも一つの位置規制構造及び基準表面を有し、前記基準表面が前記第二圧力リリーフチャンバと前記第二出口チャンバとを凹設し、前記圧力リリーフ通孔が前記第二圧力リリーフチャンバの中心部位に設けられ、前記圧力リリーフ通孔の端部が凸部構造を有し、前記凸部構造の高さが前記基準表面より高く、前記出口通孔が前記第二出口チャンバと連通し合い、前記少なくとも一つの位置規制構造が前記第二圧力リリーフチャンバ内に設置され、前記位置規制構造の高さが0.1mm〜0.5mmの間にあり、前記第二圧力リリーフチャンバが前記第二出口チャンバとの間に連通流路を有する出口板と、を包括し、
そのうち、前記バルブ片と前記出口板とは、前記小型流体制御装置の前記集気板上に順次対応するように積層し且つ位置決めするように設置し、前記出口板の前記圧力リリーフ通孔は前記集気板の前記第一貫通孔に、前記出口板の前記第二圧力リリーフチャンバは前記集気板の前記第一圧力リリーフチャンバに、前記出口板の前記第二出口チャンバは前記集気板の前記第一出口チャンバにそれぞれ対応し、前記バルブ片は、前記集気板と前記出口板との間に設置して前記第一圧力リリーフチャンバと前記第二圧力リリーフチャンバとの連通を阻隔し、且つ前記バルブ片の前記弁孔は、前記第二貫通孔と前記出口通孔との間に対応するように設置され、気体が前記小型流体制御装置から下に向かって前記小型バルブ装置内へと伝送されると、前記集気板の前記第一貫通孔及び前記第二貫通孔から前記第一圧力リリーフチャンバ及び前記第一出口チャンバ内に進入し、前記小型バルブ装置の前記バルブ片が前記出口板の凸部構造に速やかに当接されてプレストレス作用を形成し、前記圧力リリーフ通孔を完全に封鎖すると同時に、気体が前記バルブ片の前記弁孔から導入されて前記小型バルブ装置の前記出口通孔内に流入し、圧力蓄積作業が行われ、圧力を蓄積した気体が導入された気体より大きくなると、圧力を蓄積した気体は、前記出口通孔から前記第二出口チャンバへと流動することで、前記バルブ片が移動され、前記バルブ片の前記弁孔が前記集気板に当接して閉じられ、且つ前記少なくとも一つの位置規制構造が前記バルブ片の支持を補助することで、前記バルブ片が外れないように防止するとともに、圧力を蓄積した気体が前記第二出口チャンバ内で前記連通流路に沿って前記第二圧力リリーフチャンバ内へと流れ、この時、前記第二圧力リリーフチャンバ内で前記バルブ片が移動され、圧力を蓄積した気体が前記圧力リリーフ通孔から流出し、圧力逃がしの作業を行い、前記小型流体制御装置と前記小型バルブ装置とを組み立てたときの全体厚さが1.5mm〜4mmの間であることを特徴とする、小型空気圧動力装置。 - 前記小型流体制御装置の前記懸吊板は、長さが2.5mm〜3.5mmで、幅が2.5mm〜3.5mmで、厚さが0.2mmであることを特徴とする、請求項1に記載の小型空気圧動力装置。
- 前記小型バルブ装置の前記位置規制構造の高さは、0.2mmであることを特徴とする、請求項1に記載の小型空気圧動力装置。
- 小型流体制御装置と、小型バルブ装置とを含み、
前記小型流体制御装置が、
気体導入板と、
共振片と、
懸吊板、外枠及び圧電セラミック板を有し、前記懸吊板の長さが2mm〜4mm未満の間で、幅が2mm〜4mm未満の間で、厚さが0.1mm〜0.3mmの間で、前記外枠が少なくとも一つのフレームを有し、前記外枠と前記懸吊板との間が少なくとも一つの前記フレームによって連接し、且つ前記懸吊板の第一表面に前記圧電セラミック板が貼着し、前記圧電セラミック板が前記懸吊板の辺の長さより大きくない辺の長さを有し、且つ2mm〜4mm未満の間の長さ、2mm〜4mm未満の間の幅を有し、前記圧電セラミック板の前記長さと前記幅との比が0.44倍〜2.25倍の間である圧電アクチュエータと、
少なくとも二つの貫通孔と少なくとも二つのチャンバとを有する集気板と、を包括し、
そのうち、前記気体導入板、前記共振片、前記圧電アクチュエータ及び前記集気板が順次対応するように積層し且つ位置決めするように設置し、前記共振片は前記圧電アクチュエータとの間に間隙を有して第一チャンバを形成し、前記圧電アクチュエータが前記集気板と集気チャンバを形成し、前記圧電アクチュエータが駆動を受けると、気体が前記気体導入板から進入し、前記共振片を介して前記第一チャンバ内に進入し、さらに下に向かって前記集気チャンバに伝送されており、
前記小型バルブ装置が、
弁孔を有するバルブ片と、
少なくとも二つの貫通孔と少なくとも二つのチャンバとを有する出口板と、を包括し、
そのうち、前記バルブ片と前記出口板とが前記小型流体制御装置の前記集気板上に順次対応するように積層し且つ位置決めするように設置し、気体が前記集気チャンバへと伝送されると、さらに小型バルブ装置内へと伝送され、集気板、出口板がそれぞれ有する少なくとも二つの貫通孔及び少なくとも二つのチャンバを介し、気体の単方向の流動によりバルブ片の弁孔が対応するように開閉が行われ、圧力蓄積作業或いは圧力逃がし作業を行い、前記小型流体制御装置と前記小型バルブ装置とを組み立てたときの全体厚さが1.5mm〜4mmの間であることを特徴とする、小型空気圧動力装置。 - 前記小型流体制御装置の前記気体導入板は、少なくとも一つの気体導入孔と、少なくとも一つの集約アレイと、中心凹部を有し、前記少なくとも一つの気体導入孔が気体の導入に用いられ、前記集約アレイが前記気体導入孔に対応し、且つ前記気体導入孔の気体をガイドして前記中心凹部へ集約させ、前記共振片は、前記気体導入板の前記中心凹部に対応する中空孔を有することを特徴とする、請求項4に記載の小型空気圧動力装置。
- 前記集気板は、第一貫通孔と、第二貫通孔と、第一圧力リリーフチャンバと、第一出口チャンバとを有し、前記第一貫通孔が前記第一圧力リリーフチャンバと連通し合い、前記第二貫通孔が前記第一出口チャンバと連通し合うことを特徴とする、請求項4に記載の小型空気圧動力装置。
- 前記小型バルブ装置の前記出口板は、圧力リリーフ通孔、出口通孔、第二圧力リリーフチャンバ及び第二出口チャンバを有し、前記第二圧力リリーフチャンバが前記第二出口チャンバとの間に連通流路を有することを特徴とする、請求項4に記載の小型空気圧動力装置。
- 前記懸吊板は、長さが2.5〜3.5mmで、幅が2.5〜3.5mmで、厚さが0.2mmであることを特徴とする、請求項4に記載の小型空気圧動力装置。
- 順次積層するように設置した気体導入板、共振片、圧電アクチュエータ及び集気板を包括し、前記共振片は、前記圧電アクチュエータとの間に間隙を有して第一チャンバを形成し、前記圧電アクチュエータが駆動を受けると、気体が前記気体導入板から進入し、前記共振片を介して前記第一チャンバ内に進入し、さらに伝送し、前記圧電アクチュエータは、懸吊板、外枠及び圧電セラミック板を有し、前記懸吊板の長さが2mm〜4mm未満の間で、幅が2mm〜4mm未満の間であり、前記外枠が少なくとも一つのフレームを有し、前記外枠と前記懸吊板との間が少なくとも一つの前記フレームによって連接し、且つ前記懸吊板の第一表面に前記圧電セラミック板が貼着し、前記圧電セラミック板が前記懸吊板の辺の長さより大きくない辺の長さを有し、且つ2mm〜4mm未満の間の長さ、2mm〜4mm未満の間の幅を有し、前記圧電セラミック板の前記長さと前記幅との比が0.44倍〜2.25倍の間である小型流体制御装置と、
前記小型流体制御装置の前記集気板上に順次積層するように設置したバルブ片と出口板とを包括し、前記バルブ片は、弁孔を有する小型バルブ装置と、を含み、
そのうち、気体が前記小型流体制御装置から前記小型バルブ装置内に伝送されることで、圧力蓄積作業或いは圧力逃がし作業を行い、前記小型流体制御装置と前記小型バルブ装置とを組み立てたときの全体厚さが1.5mm〜4mmの間であることを特徴とする、小型空気圧動力装置。
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