JP2017133513A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
Description
1A 小型流体制御装置
1B 小型バルブ装置
1a 殼体
10 座体
11 気体導入板
11a 気体導入板の第2表面
11b 気体導入板の第1表面
110 気体導入孔
111 中心凹部
112 気体ガイド溝
12 共振片
12a 可動部
12b 固定部
120 中空孔
121 第1チャンバ
13 圧電アクチュエータ
130 懸吊板
130a 懸吊板の第2表面
130b 懸吊板の第1表面
130c 凸部
130d 中心部
130e 外周部
131 外枠
131a 外枠の第2表面
131b 外枠の第1表面
132 フレーム
132a フレームの第2表面
132b フレームの第1表面
133 圧電セラミック板
134、151 導電ピン
135 空隙
141、142 絶縁片
15 導電片
16 集気板
16a 収容空間
160 表面
161 基準表面
162 集気チャンバ
163 第1貫通孔
164 第2貫通孔
165 第1圧力リリーフチャンバ
166 第1出口チャンバ
167、181a 凸部構造
168 側壁
17 バルブ片
170 弁孔
171 位置決め孔
18 出口板
180 基準表面
181 圧力リリーフ通孔
182 出口通孔
183 第2圧力リリーフチャンバ
184 第2出口チャンバ
185 連通流路
187 第2表面
188 位置規制構造
19 出口
g0 間隙
(a)〜(x) 圧電アクチュエータの異なる実施態様
a0、i0、j0、m0、n0、o0、p0、q0、r0 懸吊板
a1、i1、m1、n1、o1、p1、q1、r1 外枠
a2、i2、m2、n2、o2、p2、q2、r2 フレーム、板連接部
a3、 m3、n3、o3、p3、q3、r3 空隙
d 圧電アクチュエータの振動移動
s4、t4、u4、v4、w4、x4 凸部
m2’、n2’、o2’、q2’、r2’ 外枠に連接されるフレームの端部
m2”、n2”、o2”、q2”、r2” 懸吊板に連接されるフレームの端部
Claims (10)
- 圧電アクチュエータであって、懸吊板と、外枠と、少なくとも1つのフレームと、圧電セラミック板を含み、
前記懸吊板が、正方形の構造で、4mm〜8mmの間の辺の長さを有し、かつ中心部から外周部まで湾曲振動することができ、
前記外枠が、前記懸吊板の外側に周設され、
前記少なくとも1つのフレームが前記懸吊板と前記外枠の間に連接されて、弾性的な支持を提供し、
前記圧電セラミック板が、正方形の構造で、前記懸吊板の辺の長さより大きくない辺の長さを有し、前記懸吊板の第1表面に貼付され、電圧の印加で前記懸吊板を駆動して湾曲振動させるために用いられることを特徴とする、圧電アクチュエータ。 - 前記懸吊板が正方形の構造で、4mm〜6mmの間の辺の長さを有することを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記懸吊板が正方形の構造で、6mm〜7.5mmの間の辺の長さを有することを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記懸吊板が正方形の構造で、7.5mm〜8mmの間の辺の長さを有するることを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記懸吊板の第2表面が凸部を備え、前記凸部の高さは0.02mm〜0.08mmの間であり、かつ円形の突起構造で、その直径は前記懸吊板の最小辺の長さの0.55倍の寸法であることを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記少なくとも1つのフレームが板連接部で、前記外枠及び前記懸吊板の間を連結するために用いられることを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記板連接部の両端部は相互に対応し、かつ同一軸線上に設置されることを特徴とする、請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記板連接部は0〜45度の傾斜角で前記懸吊板及び前記外枠に連接されることを特徴とする、請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記少なくとも1つのフレームが梁部と、懸吊板連接部と、外枠連接部を含み、
前記梁部が前記懸吊板と前記外枠の間の間隙中に設置され、その設置方向が前記外枠及び前記懸吊板に平行であり、
前記懸吊板連接部が前記梁部と前記懸吊板の間に連接され、
前記外枠連接部が前記梁部と前記外枠の間に連接され、前記懸吊板連接部と相互に対応し、かつ同一軸線上に設置されることを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記懸吊板の厚さが0.1mm〜0.4mmの間であることを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019030659A (ja) * | 2017-08-08 | 2019-02-28 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | エアフィルタ防護器 |
JP2019035575A (ja) * | 2017-08-15 | 2019-03-07 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | ポータブル式エアクリーナ |
JP2019045497A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | アクチュエータセンサモジュール |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10388849B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
US10584695B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-03-10 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
EP3203080B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-09-22 | Microjet Technology Co., Ltd | Miniature pneumatic device |
US10451051B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-10-22 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
EP3203079B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-05-19 | Microjet Technology Co., Ltd | Piezoelectric actuator |
EP3203081B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-06-16 | Microjet Technology Co., Ltd | Miniature fluid control device |
US10529911B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-01-07 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
US10487820B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-11-26 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10371136B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-06 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10615329B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-04-07 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
EP3203076B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-05-12 | Microjet Technology Co., Ltd | Miniature fluid control device |
US10683861B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-06-16 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
TWI690657B (zh) * | 2016-11-10 | 2020-04-11 | 研能科技股份有限公司 | 微型流體控制裝置 |
US10746169B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-08-18 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature pneumatic device |
US10655620B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-05-19 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
TWI614857B (zh) | 2016-11-24 | 2018-02-11 | 研能科技股份有限公司 | 氣冷散熱裝置 |
US10438868B2 (en) * | 2017-02-20 | 2019-10-08 | Microjet Technology Co., Ltd. | Air-cooling heat dissipation device |
TWI618859B (zh) * | 2017-02-20 | 2018-03-21 | 研能科技股份有限公司 | 氣冷散熱裝置 |
TWI650543B (zh) * | 2017-08-21 | 2019-02-11 | 研能科技股份有限公司 | 具致動傳感模組之裝置 |
TWI650545B (zh) | 2017-08-22 | 2019-02-11 | 研能科技股份有限公司 | 致動傳感模組 |
US10564553B2 (en) * | 2017-09-26 | 2020-02-18 | Guangdong University Of Technology | Large load-bearing guide mechanism and multi-DOF large-stroke high-precision motion platform system |
TWI646262B (zh) | 2017-10-27 | 2019-01-01 | 研能科技股份有限公司 | 氣體輸送裝置 |
EP3499213B1 (en) * | 2017-12-15 | 2021-09-15 | Microjet Technology Co., Ltd. | Particulate matter measuring device |
JP6680415B2 (ja) * | 2017-12-22 | 2020-04-15 | 株式会社村田製作所 | ポンプ |
TWI661185B (zh) * | 2018-01-08 | 2019-06-01 | 研能科技股份有限公司 | 氣體檢測裝置 |
WO2019171736A1 (ja) * | 2018-03-09 | 2019-09-12 | 株式会社村田製作所 | バルブおよびバルブを備える流体制御装置 |
TWI678523B (zh) * | 2018-03-30 | 2019-12-01 | 研能科技股份有限公司 | 致動傳感模組 |
TWI651467B (zh) | 2018-03-30 | 2019-02-21 | 研能科技股份有限公司 | 致動傳感模組 |
US10943850B2 (en) | 2018-08-10 | 2021-03-09 | Frore Systems Inc. | Piezoelectric MEMS-based active cooling for heat dissipation in compute devices |
TWI692581B (zh) * | 2018-08-13 | 2020-05-01 | 科際精密股份有限公司 | 流體驅動系統 |
KR20220082053A (ko) | 2019-10-30 | 2022-06-16 | 프로리 시스템스 인코포레이티드 | Mems 기반 기류 시스템 |
TWI747076B (zh) * | 2019-11-08 | 2021-11-21 | 研能科技股份有限公司 | 行動裝置散熱組件 |
US11796262B2 (en) | 2019-12-06 | 2023-10-24 | Frore Systems Inc. | Top chamber cavities for center-pinned actuators |
CN116325139A (zh) * | 2020-10-02 | 2023-06-23 | 福珞尔系统公司 | 主动式热沉 |
TW202217146A (zh) * | 2020-10-20 | 2022-05-01 | 研能科技股份有限公司 | 薄型氣體傳輸裝置 |
WO2022187158A1 (en) * | 2021-03-02 | 2022-09-09 | Frore Systems Inc. | Mounting and use of piezoelectric cooling systems in devices |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004328055A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-11-18 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電型電気音響変換器 |
JP2013057247A (ja) * | 2011-09-06 | 2013-03-28 | Murata Mfg Co Ltd | 流体制御装置 |
US20140377099A1 (en) * | 2013-06-24 | 2014-12-25 | Microjet Technology Co., Ltd. | Micro-gas pressure driving apparatus |
WO2016013390A1 (ja) * | 2014-07-25 | 2016-01-28 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
Family Cites Families (78)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2517378B1 (fr) | 1981-11-28 | 1988-03-11 | Becker Erich | Pompe a membrane |
DE3935474A1 (de) | 1989-06-22 | 1991-01-03 | Hoechst Ceram Tec Ag | Piezoelektrischer biegewandler und seine verwendung |
US5171132A (en) | 1989-12-27 | 1992-12-15 | Seiko Epson Corporation | Two-valve thin plate micropump |
DE4220226A1 (de) | 1992-06-20 | 1993-12-23 | Bosch Gmbh Robert | Magnetostrikiver Wandler |
US5267589A (en) | 1993-04-05 | 1993-12-07 | Ford Motor Company | Piezoelectric pressure control valve |
JP3114461B2 (ja) | 1993-10-21 | 2000-12-04 | 株式会社村田製作所 | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 |
US5834864A (en) | 1995-09-13 | 1998-11-10 | Hewlett Packard Company | Magnetic micro-mover |
DE19546181C2 (de) | 1995-12-11 | 1998-11-26 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikroventil |
DE19648730C2 (de) | 1996-11-25 | 1998-11-19 | Fraunhofer Ges Forschung | Piezoelektrisch betätigtes Mikroventil |
US6123316A (en) | 1996-11-27 | 2000-09-26 | Xerox Corporation | Conduit system for a valve array |
DE19719862A1 (de) | 1997-05-12 | 1998-11-19 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikromembranpumpe |
KR100385388B1 (ko) | 1998-11-05 | 2003-05-27 | 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 | 압전 스피커, 이의 제조 방법 및 이를 구비한 스피커 시스템 |
JP3814132B2 (ja) | 1999-10-27 | 2006-08-23 | セイコーインスツル株式会社 | ポンプ及びその駆動方法 |
ATE374162T1 (de) | 2000-11-02 | 2007-10-15 | Biacore Ab | Ventil dem eine mikrofluide flüssigkeitstransportanordnung integral zugeordnet ist |
TW561223B (en) | 2001-04-24 | 2003-11-11 | Matsushita Electric Works Ltd | Pump and its producing method |
US6715733B2 (en) | 2001-08-08 | 2004-04-06 | Agilent Technologies, Inc. | High temperature micro-machined valve |
DE10202996A1 (de) | 2002-01-26 | 2003-08-14 | Eppendorf Ag | Piezoelektrisch steuerbare Mikrofluidaktorik |
JP3933058B2 (ja) | 2002-02-25 | 2007-06-20 | 日立化成工業株式会社 | マイクロ流体システム用支持ユニット及びその製造方法 |
US7033002B2 (en) | 2002-05-20 | 2006-04-25 | Ricoh Company, Ltd. | Electrostatic actuator and liquid droplet ejecting head having stable operation characteristics against environmental changes |
US7159841B2 (en) | 2002-11-07 | 2007-01-09 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Piezoelectric axial flow microvalve |
US7280016B2 (en) | 2003-02-27 | 2007-10-09 | University Of Washington | Design of membrane actuator based on ferromagnetic shape memory alloy composite for synthetic jet actuator |
GB0308197D0 (en) | 2003-04-09 | 2003-05-14 | The Technology Partnership Plc | Gas flow generator |
US7701119B2 (en) * | 2003-12-26 | 2010-04-20 | Nec Corporation | Piezoelectric actuator |
JP2005299597A (ja) | 2004-04-15 | 2005-10-27 | Tama Tlo Kk | マイクロポンプ |
WO2006110908A1 (en) * | 2005-04-15 | 2006-10-19 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Microactuator having multiple degrees of freedom |
US7505110B2 (en) | 2006-03-14 | 2009-03-17 | International Business Machines Corporation | Micro-electro-mechanical valves and pumps |
WO2008069266A1 (ja) | 2006-12-09 | 2008-06-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電マイクロブロア |
CN101377192B (zh) | 2007-08-30 | 2012-06-13 | 研能科技股份有限公司 | 流体输送装置 |
US7710001B2 (en) | 2007-10-01 | 2010-05-04 | Washington State University | Piezoelectric transducers and associated methods |
JP5186900B2 (ja) | 2007-11-28 | 2013-04-24 | ソニー株式会社 | 振動体、入力装置および電子機器 |
JP2009156454A (ja) | 2007-12-28 | 2009-07-16 | Star Micronics Co Ltd | 逆止弁 |
TWI431195B (zh) | 2008-03-05 | 2014-03-21 | Microjet Technology Co Ltd | 微液滴流體輸送裝置 |
CN101550925B (zh) | 2008-03-31 | 2014-08-27 | 研能科技股份有限公司 | 具有多个双腔体致动结构的流体输送装置 |
WO2009145064A1 (ja) | 2008-05-30 | 2009-12-03 | 株式会社村田製作所 | 圧電マイクロブロア |
JP5115626B2 (ja) | 2008-06-03 | 2013-01-09 | 株式会社村田製作所 | 圧電マイクロブロア |
EP2312158B1 (en) | 2008-06-05 | 2016-04-27 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Piezoelectric microblower |
JP2009293566A (ja) | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電駆動体及び圧電ブロア |
JP2010214633A (ja) | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Ricoh Co Ltd | 圧電型アクチュエータ、液適吐出ヘッド、液滴ヘッドカートリッジ、液滴吐出装置、マイクロポンプ及び圧電型アクチュエータの製造方法 |
EP2484906B1 (en) | 2009-10-01 | 2019-08-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric micro-blower |
ES2410104T3 (es) | 2010-01-11 | 2013-07-01 | Alstom Wind Sl | Dispositivo de bloqueo de un accionamiento auxiliar de un aerogenerador |
US8371829B2 (en) | 2010-02-03 | 2013-02-12 | Kci Licensing, Inc. | Fluid disc pump with square-wave driver |
KR101333542B1 (ko) | 2010-05-21 | 2013-11-28 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 유체 펌프 |
CN102444566B (zh) | 2010-10-12 | 2014-07-16 | 研能科技股份有限公司 | 流体输送装置 |
JP5779354B2 (ja) | 2011-01-19 | 2015-09-16 | リバーエレテック株式会社 | 圧電振動子 |
JP5177331B1 (ja) | 2011-04-11 | 2013-04-03 | 株式会社村田製作所 | ポンプ装置 |
JP5533823B2 (ja) | 2011-09-06 | 2014-06-25 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
JP5900155B2 (ja) | 2011-09-06 | 2016-04-06 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
CN103906923A (zh) | 2011-09-27 | 2014-07-02 | 株式会社菊池制作所 | 微型隔膜泵 |
WO2013054801A1 (ja) | 2011-10-11 | 2013-04-18 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置、流体制御装置の調整方法 |
JP5982117B2 (ja) | 2011-12-05 | 2016-08-31 | 株式会社菊池製作所 | マイクロダイヤフラムポンプ |
JP2013119877A (ja) | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Fujikin Inc | ダイヤフラム弁 |
JP6176498B2 (ja) | 2012-02-29 | 2017-08-09 | ケーシーアイ ライセンシング インコーポレイテッド | ディスクポンプシステムを用いて減圧して流量を測定するためのシステムおよび方法 |
GB2515239B (en) | 2012-04-19 | 2018-12-19 | Murata Manufacturing Co | Valve and fluid control apparatus |
JP5928160B2 (ja) | 2012-05-29 | 2016-06-01 | オムロンヘルスケア株式会社 | 圧電ポンプおよびこれを備えた血圧情報測定装置 |
WO2013187271A1 (ja) * | 2012-06-11 | 2013-12-19 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
JP6371370B2 (ja) | 2013-03-14 | 2018-08-08 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | シンセティックジェットサスペンション構造 |
KR20140137722A (ko) | 2013-05-23 | 2014-12-03 | 삼성전기주식회사 | 진동발생장치 |
CN104234986B (zh) | 2013-06-24 | 2016-10-05 | 研能科技股份有限公司 | 微型气压动力装置 |
CN203476838U (zh) | 2013-06-24 | 2014-03-12 | 研能科技股份有限公司 | 微型气体传输装置 |
CN104235081B (zh) | 2013-06-24 | 2016-08-03 | 研能科技股份有限公司 | 微型气体传输装置 |
TWM465471U (zh) | 2013-06-24 | 2013-11-11 | Microjet Technology Co Ltd | 微型氣體傳輸裝置 |
TWM467740U (zh) | 2013-06-24 | 2013-12-11 | Microjet Technology Co Ltd | 微型氣壓動力裝置 |
CN203476669U (zh) | 2013-06-24 | 2014-03-12 | 研能科技股份有限公司 | 微型气压动力装置 |
CN203488347U (zh) | 2013-09-25 | 2014-03-19 | 研能科技股份有限公司 | 微型气压动力装置 |
TWM481312U (zh) | 2013-09-25 | 2014-07-01 | Microjet Technology Co Ltd | 微型氣壓動力裝置 |
JP2015083952A (ja) | 2013-10-25 | 2015-04-30 | キヤノン株式会社 | マイクロ流体デバイスおよび液体中の気泡の分離方法 |
GB201322103D0 (en) | 2013-12-13 | 2014-01-29 | The Technology Partnership Plc | Fluid pump |
TWI553230B (zh) | 2014-09-15 | 2016-10-11 | 研能科技股份有限公司 | 微型氣壓動力裝置 |
TWM513272U (zh) | 2015-06-25 | 2015-12-01 | Koge Micro Tech Co Ltd | 壓電泵 |
TWM528306U (zh) | 2016-01-29 | 2016-09-11 | Microjet Technology Co Ltd | 微型閥門裝置 |
EP3203079B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-05-19 | Microjet Technology Co., Ltd | Piezoelectric actuator |
CN205383064U (zh) | 2016-01-29 | 2016-07-13 | 研能科技股份有限公司 | 微型气压动力装置 |
US9976673B2 (en) | 2016-01-29 | 2018-05-22 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature fluid control device |
TWM529794U (zh) | 2016-01-29 | 2016-10-01 | Microjet Technology Co Ltd | 微型氣壓動力裝置 |
EP3203080B1 (en) | 2016-01-29 | 2021-09-22 | Microjet Technology Co., Ltd | Miniature pneumatic device |
TWI633239B (zh) | 2016-01-29 | 2018-08-21 | 研能科技股份有限公司 | 微型氣壓動力裝置 |
TWM530883U (zh) | 2016-06-24 | 2016-10-21 | Microjet Technology Co Ltd | 壓電致動器結構 |
TWI683959B (zh) | 2016-09-05 | 2020-02-01 | 研能科技股份有限公司 | 壓電致動器及其所適用之微型流體控制裝置 |
-
2017
- 2017-01-19 EP EP17152119.8A patent/EP3203079B1/en active Active
- 2017-01-19 US US15/409,917 patent/US10388850B2/en active Active
- 2017-01-20 KR KR1020170009588A patent/KR20170091020A/ko not_active Application Discontinuation
- 2017-01-24 JP JP2017010030A patent/JP2017133513A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004328055A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-11-18 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電型電気音響変換器 |
JP2013057247A (ja) * | 2011-09-06 | 2013-03-28 | Murata Mfg Co Ltd | 流体制御装置 |
US20140377099A1 (en) * | 2013-06-24 | 2014-12-25 | Microjet Technology Co., Ltd. | Micro-gas pressure driving apparatus |
WO2016013390A1 (ja) * | 2014-07-25 | 2016-01-28 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019030659A (ja) * | 2017-08-08 | 2019-02-28 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | エアフィルタ防護器 |
JP2019035575A (ja) * | 2017-08-15 | 2019-03-07 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | ポータブル式エアクリーナ |
JP7034033B2 (ja) | 2017-08-15 | 2022-03-11 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | ポータブル式エアクリーナ |
JP2019045497A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | アクチュエータセンサモジュール |
JP7152221B2 (ja) | 2017-08-31 | 2022-10-12 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | アクチュエータセンサモジュール |
JP7152221B6 (ja) | 2017-08-31 | 2022-10-31 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | アクチュエータセンサモジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10388850B2 (en) | 2019-08-20 |
US20170222123A1 (en) | 2017-08-03 |
EP3203079A1 (en) | 2017-08-09 |
EP3203079B1 (en) | 2021-05-19 |
KR20170091020A (ko) | 2017-08-08 |
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