JP7094842B2 - ガス輸送装置 - Google Patents
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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- Compressor (AREA)
Description
11:排気蓋板
111:排気管
112:排出開口
113:進入開口
114:排気合流槽
12:導流部
120:本体
121:凸出側フレーム
122:フレーム体
123:合流チャンバー
124:凹溝
125:連通孔
126:ピン開口
127:シール開口
14:ガスポンプ
140:圧縮チャンバー
141:入気板
141a:入気孔
141b:合流排孔
141c:合流通槽
142:共振片
142a:可動部
142b:固定部
142c:中空孔
143:圧電アクチュエーター
1431:懸吊板
1431a:凸部
1431b:第2表面
1431c:第1表面
1432:外枠
1432a:第2表面
1432b:第1表面
1432c:導電ピン
1433:ブラケット
1433a:第2表面
1433b:第1表面
1434:圧電素子
1435:隙間
144a:第1絶縁片
144b:第2絶縁片
145:導電性片
145a:導電ピン
h:間隙
Claims (5)
- 排気蓋板と、複数の導流部と、複数のガスポンプとを含むガス輸送装置であって、
前記排気蓋板は排気管及び排気合流槽を有し、前記排気管が前記排気合流槽に対応して連通するように設置されており、
前記各導流部は本体、凸出側フレーム及びフレーム体を有し、前記本体が凹溝及び連通孔を有し、前記連通孔が前記凹溝に連通され、
前記各ガスポンプは前記各導流部の前記フレーム体内に対応して設置され、
そのうち、前記複数の導流部は並行に設置され、前記排気蓋板で前記複数の導流部をカバーして閉鎖することにより、前記排気蓋板と前記複数の導流部の前記凸出側フレームとを上下に密接させ、前記排気合流槽と互いに連通する合流チャンバーを画定し、前記ガスポンプを駆動させてガスを輸送する際に、ガスが前記各導流部の前記凹溝に導入され、かつ前記連通孔、前記合流チャンバー及び前記排気合流槽を順番に経由し、最後にガスが前記排気管から排出されることを特徴とするガス輸送装置。 - 前記排気管は、内径が徐々に小さくなるテーパ形状であることを特徴とする請求項1に記載のガス輸送装置。
- 前記凸出側フレームが前記本体の上方を囲むように突出し、前記フレーム体が前記本体の下方を囲むように突出し、前記本体に設置される前記凸出側フレームが前記本体に設置される前記フレーム体と比較してやや内縮することにより、前記排気蓋板を載置するための段差空間が形成されることを特徴とする請求項1に記載のガス輸送装置。
- 前記複数の導流部の前記凸出側フレームはシール開口を有し、前記フレーム体はピン開口を有することを特徴とする請求項1に記載のガス輸送装置。
- 前記少なくとも1つのガスポンプは入気板と、共振片と、圧電アクチュエーターと、導電性片と、第1絶縁片と、第2絶縁片とを含み、
前記入気板は少なくとも1つの入気孔と、少なくとも1つの合流排孔と、合流通槽とを含み、
前記共振片は中空孔を含み、
前記圧電アクチュエーターは圧電素子と、懸吊板と、外枠と、少なくとも1つのブラケットと、第1導電ピンとを含み、前記懸吊板、前記外枠及び前記少なくとも1つのブラケットの間に少なくとも1つの隙間が画定され、前記懸吊板が第1表面と第2表面をさらに有し、前記第2表面に凸部が設けられ、前記第1表面に前記圧電素子が設置され、
前記導電性片は第2導電ピンを含み、
そのうち、前記入気板、前記共振片、前記圧電アクチュエーター、前記第1絶縁片、前記導電性片及び前記第2絶縁片は互いに対応して積み重ねて設置され、前記共振片と前記圧電アクチュエーターの間に間隙を有することで圧縮チャンバーが画定され、前記圧電素子が前記懸吊板に電圧を印加することにより、前記懸吊板が往復の上下曲げ振動を行い、ガスが前記入気板の前記少なくとも1つの入気孔から導入され、前記合流排孔、前記合流通槽、前記中空孔及び前記圧縮チャンバーを順番に経由し、最後に前記少なくとも1つの隙間から前記凹溝へ導入されることを特徴とする請求項1に記載のガス輸送装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW106137192A TWI650484B (zh) | 2017-10-27 | 2017-10-27 | 氣體輸送裝置 |
TW106137192 | 2017-10-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019082166A JP2019082166A (ja) | 2019-05-30 |
JP7094842B2 true JP7094842B2 (ja) | 2022-07-04 |
Family
ID=63528566
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018169549A Active JP7094842B2 (ja) | 2017-10-27 | 2018-09-11 | ガス輸送装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10865785B2 (ja) |
EP (1) | EP3477111B1 (ja) |
JP (1) | JP7094842B2 (ja) |
TW (1) | TWI650484B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2017
- 2017-10-27 TW TW106137192A patent/TWI650484B/zh active
-
2018
- 2018-09-07 US US16/124,487 patent/US10865785B2/en active Active
- 2018-09-07 EP EP18193116.3A patent/EP3477111B1/en active Active
- 2018-09-11 JP JP2018169549A patent/JP7094842B2/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3477111B1 (en) | 2020-06-03 |
TWI650484B (zh) | 2019-02-11 |
US10865785B2 (en) | 2020-12-15 |
EP3477111A1 (en) | 2019-05-01 |
US20190128251A1 (en) | 2019-05-02 |
JP2019082166A (ja) | 2019-05-30 |
TW201917289A (zh) | 2019-05-01 |
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