JP2019044770A - 気体輸送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】マイクロ型気体輸送装置の提供【解決手段】本発明は、ケース、噴気孔片、チャンバフレーム、アクチュエータ、絶縁フレーム、導電フレームの順で積重ねて構成する気体輸送装置を提供する。アクチェータ、チャンバフレーム、懸吊片の間に四角形の共振チャンバが形成され、アクチュエータを駆動し噴気孔片を連動させ振動を生じさせることで、噴気孔片の懸吊片が往復振動を生じて変位し、気体が、噴気孔片の少なくとも一つの空隙を通じて気流チャンバに流入し、ケースにある排気孔から排出され、気体の伝送と流動を実現する。【選択図】図５Ａ

Description

本発明は気体輸送装置に関するものであって、とりわけマイクロ型、静音且つ高速で気体を伝送する気体輸送装置である。

現在各分野において、医薬、コンピュータテクノロジー、印刷、エネルギー源等の工業に関わらず、商品は精密化及びマイクロ化へ向かって発展しており、そのうち、マイクロポンプ、インクジェット、工業印刷装置等の商品は流体輸送の構造を要の技術としており、どのようにして新しい構造を創造し、従来技術を突破するかが求められている。

技術の日進月歩につれて、気体輸送装置は、例えば工業での応用、医業での応用、医療介護、電子冷却など、多元的に応用され、今日人気を集めているウェアラブル式装置には総じてその形跡が見られ、従来の気体輸送装置は徐々にマイクロ化、流量極大化の傾向が見られる。

現在の技術において、気体輸送装置は主に従来の構造部品を積重ねて構成し、並びに各構成部の部品がマイクロ化或いは、スリム化の方式を以て、装置全体のマイクロ化、スリム化を達成している。しかしながら、従来の構造がマイクロ化した後、そのサイズの精度を制御するのは難しく、且つ組立ての精度も同様に制御が難しく、良品率の不一致を招いてしまい、更には伝送流体の流量が不安定になる等の問題が挙げられる。また、従来の気体輸送装置において、輸出する気体を効果的に集めることができないため、或いはパーツのサイズが小さすぎるため、気体を押出す力が足りず、気体輸送流量が不足する問題を招いていた。

以上より、どのように上述の従来の技術の欠点を改善し、従来の機体輸送装置の計器或いは設備の体積を小さくし、マイクロ化、静音を達成し、且つマイクロ化のサイズの精度の制御が難しい、流量が不足するという問題を克服し、各種装置のマイクロ型流体輸送装置に幅広く運用できるかが、現状求められている。

本発明の主な目的は、気体輸送装置の特殊流路及び噴射孔板の設計により、従来気体輸送装置が、体積縮小化、マイクロ化、静音効果、サイズの精度のコントロールを同時に兼ね備える事ができなかった問題を克服する気体輸送装置の提供である。

本発明の主な目的は、四角形の共振チャンバ及び特殊管径導管の設計を通して、圧電ユニットと、四角形の共振チャンバがヘルムホルツ共鳴を達成し、輸送する気体をベルヌーイ定理の理想的な流体状態に近づけて、高速で噴出し、従来技術の気体伝送流量が不足する問題を解決する気体輸送装置の提供である。

上述の目的を達成するため、本発明の比較的広義の実施態様は、気体輸送装置を提供し、気体を伝送して流動させることであり、それは、ケースと、噴気孔片と、チャンバフレームと、アクチュエータと、絶縁フレームと、導電フレームと、を含み、ケースが、少なくとも一つの固定槽と、容置槽と、排気孔と、を備え、容置槽が底面を備え、噴気孔片が、少なくとも一つの支持体と、懸吊片と、中空孔と、を含み、懸吊片が湾曲振動でき、少なくとも一つの支持体が固定槽中に設置されて、噴気孔片を容置槽内で定位置に容設し、容置槽内の底面との間で気流チャンバを形成し、気流チャンバが排気孔と連通し、少なくとも一つの支持体及び懸吊片と、ケースとの間で少なくとも一つの空隙が形成され、チャ
ンバフレームが、懸吊片上に重畳して搭載され、アクチュエータが、チャンバフレーム上に重畳して搭載され、電圧を印加されて往復の湾曲振動を生じ、絶縁フレームが、アクチュエータ上に重畳して搭載され、導電フレームが、絶縁フレーム上に重畳して搭載され、アクチュエータ、チャンバフレーム、懸吊片の間に四角形の共振チャンバが形成され、アクチュエータが駆動され噴気孔片を連動させ共振を生じさせることで、噴気孔片の懸吊片が往復振動を生じて変位し、気体を少なくとも一つの空隙を通過させて気流チャンバへ進入させ、更に排気孔から排出し、気体の輸送流動を実現させる。

本発明に係る好実施例における気体輸送装置の外観構造指示図 図１の示す気体輸送装置の部品の分解正面構造指示図 図１の示す気体輸送装置の部品の分解背面構造指示図 図２Ａの示すケースの外観構造指示図 図２Ａの示す噴気孔片の俯瞰構造指示図 図１の示す気体輸送装置のＡ−Ａ断面構造指示図 図５Ａの示す気体輸送装置の断面作動指示図 図５Ａの示す気体輸送装置の断面作動指示図

本発明の特徴と利点を体現するいくつかの典型的実施例については、後方で詳しく説明する。本発明は異なる態様において各種の変化が可能であり、そのいずれも本発明の範囲を脱せず、且つ本発明の説明および図面は本質的に説明のために用いられ、本発明を制限するものではないことが理解されるべきである。

図１乃至図５Ｃを参照すると、本発明の提供する気体輸送装置１は、少なくとも一つのケース１１と、少なくとも一つの固定槽１１３と、少なくとも一つの容置槽１１１と、少なくとも一つの排気孔１１２と、少なくとも一つの噴気孔片１２と、少なくとも一つの支持体１２０と、少なくとも一つの懸吊片１２１と、少なくとも一つの中空孔１２４と、少なくとも一つの気流チャンバ１９と、少なくとも一つの空隙１２５と、少なくとも一つのチャンバフレーム１３と、少なくとも一つのアクチュエータ１４と、少なくとも一つの絶縁フレーム１７と、少なくとも一つの導電フレーム１８と、少なくとも一つの四角形の共振チャンバ１３０と、を含み、以下の実施例において、前記ケース１１と、前記容置槽１１１と、前記排気孔１１２と、前記噴気孔片１２と、前記懸吊片１２１と、前記中空孔１２４と、前記気流チャンバ１９と、前記チャンバフレーム１３と、前記アクチュエータ１４と、前記絶縁フレーム１７と、前記導電フレーム１８と、四角形の前記共振チャンバ１３０と、は数量を一つとして説明しているが、これに限らず、前記ケース１１と、前記容置槽１１１と、前記排気孔１１２と、前記噴気孔片１２と、前記懸吊片１２１と、前記中空孔１２４と、前記気流チャンバ１９と、前記チャンバフレーム１３と、前記アクチュエータ１４と、前記絶縁フレーム１７と、前記導電フレーム１８と、四角形の前記共振チャンバ１３０と、は複数個の組合せとすることもできる。

図１、図２Ａ、図２Ｂを参照すると、図１は本発明に係る好実施例における気体輸送装置の外観構造指示図であり、図２Ａは図１の示す気体輸送装置の部品の分解正面構造指示図であり、図２Ｂは図１の示す気体輸送装置の部品の分解背面構造指示図である。図１、図２Ａ、図２Ｂの示すように、本実施例の前記気体輸送装置１はマイクロ化の気体伝送構造であるため、気体を高速且つ大量に伝送する。本実施例の前記気体輸送装置１は、前記ケース１１と、前記噴気孔片１２と、前記チャンバフレーム１３と、前記アクチュエータ１４と、前記絶縁フレーム１７と、前記導電フレーム１８等のパーツを順に積重ねて設置する。

図２Ａ、図２Ｂ、図３を参照すると、図３は図２Ａの示すケースの外見構造指示図である。図の示すように、本実施例の前記ケース１１は、前記容置槽１１１と、前記排気孔１１２と、少なくとも一つの前記固定槽１１３と、第一開口１１４と、第二開口１１５と、導管１１６（図２Ｂ参照）と、を含み、そのうち、前記容置槽１１１は、底面１１１ａを含み、前記容置槽１１１は前記ケース１１内部で凹陥する四角形の凹槽構造であり、即ち前記容置槽１１１の前記底面１１１ａは四角形の底面であるが、これに限らない。本発明に係る他の一部の実施例において、前記容置槽１１１の形状は円形、楕円形、三角形、多角形の内の一つとすることも出来る。本好例の前記容置槽１１１は、積重ねて設置する前記噴気孔片１２と、前記チャンバフレーム１３と、前記アクチュエータ１４と、前記絶縁フレーム１７と、前記導電フレーム１８と、をその中に容置する。本実施例において、前記排気孔１１２は前記底面１１１ａの中心箇所を貫設して設置され、気体の流通に役立ち、且つ図５Ａの示すように、前記排気孔１１２は、前記導管１１６と連通する。本実施例の少なくとも一つの前記固定槽１１３は前記噴気孔片１２をその中に固定し、本実施例の前記固定槽１１３は数量を４個とし、前記ケース１１の前記容置槽１１１付近の四隅にそれぞれ対応して設置され、且つ矢印型の凹溝構造であるが、これに限らず、その数量、凹溝形状の態様は実際の状況に基づいて変化させることが出来る。図２Ｂ及び図３に示すように、本実施例の前記導管１１６は長柱状の中空管状構造であり、前記導管１１６は更に、導出通路１１７及び導出孔１１８を備え、前記導管１１６にある前記導出通路１１７は、前記排気孔１１２を通じて、前記容置槽１１１と互いに連通し、前記導管１１６にある前記導出通路１１７は、前記導出孔１１８を通して前記ケース１１の外部と連通し、そのうち、前記排気孔１１２の口径は前記導出孔１１８の口径（図５Ａ参照）より大きく、即ち前記導出通路１１７内径は徐々に縮小する錐状を呈し、錐形の様に下向きに徐々に縮小し、そのうち、前記排気孔の直径は０．８５ミリメートルから１．２５ミリメートルの間であり、前記導出孔１１８の直径は０．８ミリメートルから１．２ミリメートルの間であって、気体が前記排気孔１１２から前記導管１１６に進入し、並びに前記導出通路１１７から排出される際、気体が合流する効果を明確に生じさせ、並びに合流した後の気体は、前記導管１１６にある前記導出通路１１７から高速で且つ大量に噴出する。本発明の他の一部の実施例において、前記ケース１１は導管を備えなくてもよく、即ち気体は前記排気孔１１２から直接前記ケース１１の外へ排出されるが、これに限らない。

図２Ａと、図２Ｂと、図４とを同時に参照すると、図４は図２Ａの示す噴気孔片の俯瞰構造指示図である。図に示すように、本実施例の前記噴気孔片１２は少なくとも一つの前記支持体１２０と、前記懸吊片１２１と、前記中空孔１２４と、を含む。本実施例の前記懸吊片１２１は湾曲振動できる片状構造であり、且つその形状は、前記容置槽１１１に対応しているが、これに限らず、前記懸吊片１２１の形状は四角形、円形、楕円形、三角形、多角形、のうちの一つとすることが出来る。前記中空孔１２４は前記懸吊片１２１の中心箇所を貫設して設置され、気体流通に役立つ。本実施例の前記支持体１２０の数量は４個であるが、これに限らず、その数量及び形態は、主に前記固定槽１１３に対応して設置され、且つ実際の状況に基づいて変化させることが出来る。例を挙げて説明すると、本実施例のそれぞれの前記支持体１２０は固定部１２２と、連接部１２３と、を含み、前記固定部１２２と前記前記固定槽１１３（図３参照）の形状はそれぞれＬ型で互いに合致し、即ち前記固定部１２２の形状はＬ型であり、前記固定槽１１３はＬ型の凹溝であり、これにより前記固定部１２２は前記固定槽１１３内に容設され、二つの互いに合致する形状を通して、定位の効果のほか、連接強度を増加することもでき、前記支持体１２０を設置し固定することで、前記噴気孔片１２は前記ケース１１にある前記容置槽１１１内に容置され、前記固定部１２２と、前記固定槽１１３が互いに嵌合し、前記噴気孔片１２は素早く且つ正確に前記ケース１１にある前記容置槽１１１内に定位され、上述より、軽薄で簡単な構造であるだけでなく、同時に組立に便利で、従来の気体輸送装置がサイズの精度を精確に制御するのが困難である問題を克服する。

本実施例の前記連接部１２３は前記懸吊片１２１と前記固定部１２２と、の間に連接し、且つ前記連接部１２３は弾性を備え、前記懸吊片１２１が往復式湾曲振動を行う手助けをする。本実施例において、複数個の前記支持体１２０と、前記懸吊片１２１と、前記ケース１１にある前記容置槽１１１と、の間に複数個の前記空隙１２５（図５Ａ参照）を定義し、気体を複数個の前記空隙１２５から前記容置槽１１１と前記懸吊片１２１との間に流入させ、前記気体輸送装置１に気体の輸送を行わせる。

図２Ａ、図２Ｂ、図５Ａを同時に参照すると、図５Ａは図１の示す気体輸送装置のＡ−Ａ断面構造指示図である。図に示すように、本実施例において、前記噴気孔片１２と、前記チャンバフレーム１３と、前記アクチュエータ１４と、は前記共振チャンバ１３０を形成し、そのうち、前記チャンバフレーム１３は、四角形のフレーム構造とすることができ、前記共振チャンバ１３０は、チャンバフレームに対応するため四角形の共振チャンバとし、前記共振チャンバ１３０の容積は６．３立方ミリメートルから１８６立方ミリメートルの間である。その他、本実施例の前記アクチュエータ１４は、圧電キャリア板１４１と、調整共振板１４２と、圧電片１４３と、を含み、そのうち、前記圧電キャリア板１４１は金属板とすることができ、且つその周縁は延伸して第一導電ピン１４１１を形成し、電力を受取るために用いられ、前記調整共振板１４２は、前記圧電キャリア板１４１に貼付され、前記調整共振板１４２も同様に金属板とすることができ、前記圧電片１４３は、前記調整共振板１４２に設置され、前記圧電片１４３は電力を受取り、並びに圧電効果により変形した際、前記調整共振板１４２は、前記圧電片１４３と前記圧電キャリア板１４１との間に位置し、両者間の緩衝材となり、前記圧電キャリア板１４１の振動周波数を調整し、且つ調整共振板１４２の厚みが前記圧電キャリア板１４１の厚みより大きく、異なる調整共振片の厚みを利用することで、前記アクチュエータ１４の振動周波数を調整でき、前記アクチュエータ１４の振動周波数を１０Ｋから３０Ｋヘルツ（Ｈｚ）に制御する。これ以外に、本実施例において、前記圧電キャリア板１４１の厚さは、０．０４ミリメートルから０．０６ミリメートルの間であり、前記調整共振板１４２の厚さは、０．１ミリメートルから０．３ミリメートルの間であり、前記圧電片１４３の厚さは０．０５ミリメートルから０．１５ミリメートルの間である。

図２Ａと、図２Ｂと、図５Ａと、を参照すると、前記噴気孔片１２は前記容置槽１１１に容設される際、前記噴気孔片１２と前記容置槽１１１との間に前記気流チャンバ１９を形成し、前記気流チャンバ１９と前記排気孔１１２は連通し、そのうち、前記気流チャンバ１９の高さは０．２ミリメートルから０．８ミリメートルの間である。

図１と、図２Ａと、図２Ｂと、を参照すると、前記アクチュエータ１４上に前記絶縁フレーム１７と、前記導電フレーム１８と、を設置し、前記導電フレーム１８は第二導電ピン１８１及び電極１８２を備え、前記電極１８２は前記アクチュエータ１４にある前記圧電片１４３と電気的接続し、そのうち、前記導電フレーム１８にある前記第二導電ピン１８１と、前記圧電キャリア板１４１にある前記第一導電ピン１４１１は、それぞれ前記ケース１１にある前記第二開口１１５及び前記第一開口１１４に凸出して設置され、外部電力との接続に用い、前記圧電キャリア板１４１、前記調整共振板１４２、前記圧電片１４３、前記導電フレーム１８を通じて回路を形成し、その他に、前記絶縁フレーム１７を前記導電フレーム１８及び前記圧電キャリア板１４１間に設置し、前記導電フレーム１８と前記圧電キャリア板１４１間が、直接電気的接続してショートするのを防ぐ。

図５Ａ、図５Ｂ、図５Ｃを参照すると、図５Ｂ及び図５Ｃは、図５Ａの示す気体輸送装置の断面作動指示図である。図５Ａを参照すると、前記気体輸送装置１が未起動の初期状態であり、且つ、前記ケース１１、前記噴気孔片１２、前記チャンバフレーム１３、前記アクチュエータ１４、前記絶縁フレーム１７、前記導電フレーム１８、の順で積重ねて設置して前記気体輸送装置１を構成し、そのうち、前記アクチュエータ１４と、前記チャン
バフレーム１３と、前記懸吊片１２と、の間に四角形の前記共振チャンバ１３０を形成する。本実施例において、四角形の前記共振チャンバ１３０の気体振動周波数と、前記懸吊片１２１の圧電振動周波数を同等に近づけるように制御することで、四角形の前記共振チャンバ１３０と、前記懸吊片１２１と、はヘルムホルツ共鳴効果（Ｈｅｌｍｈｏｌｔｚ ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）を発生させ、気体伝送効率を向上させる。図５Ｂに示すように、前記圧電片１４３が上向きに振動した際、前記噴気孔片１２にある前記懸吊片１２１は上向きに振動し、この時、気体は複数個の前記空隙１２５から流入して前記気流チャンバ１９に進入し、並びに前記中空孔１２４を経て、四角形の前記共振チャンバ１３０内に流入することで、四角形の前記共振チャンバ１３０内の気圧は増加し、並びに圧力勾配を発生させる。続いて図５Ｃを参照すると、前記圧電片１４３が下向きに振動した際、前記噴気孔片１２にある前記懸吊片１２１は下向きに振動し、この時、気体は四角形の前記共振チャンバ１３０から、前記中空孔１２４を経由して高速で流出し、前記気流チャンバ１９内の空気を押出し、並びに気体を、前記排気孔１１２を経て、上が広く、下が狭い設計である前記導管１１６内に進入させて気体を合流させ、並びに合流後の気体はベルヌーイの定理の理想的な流体状態に近いため、前記導管１１６にある導出孔１１８から高速で且つ大量に噴出し、且つ慣性の法則により、排気後の四角形の前記共振チャンバ１３０内部の気圧を平衡蒸気圧より低くし、気体は再度四角形の前記共振チャンバ１３０内に進入する。前記圧電片１４３の往復式上下振動、及び四角形の前記共振チャンバ１３０と前記圧電片１４３の振動周波数を同等に近づけるように制御することにより、ヘルムホルツ共鳴効果を発生させ、気体の高速且つ大量の伝送を実現する。

以上より、本発明の気体輸送装置は、圧電片に電圧を印加して駆動することで上下振動させ、四角形の共振チャンバを連動させることで、四角形の共振チャンバが圧力変化を生じ、気体伝送の効果を達成する。その他に、本発明は、Ｌ字型の固定部とＬ字型の固定槽を互いに嵌合させることで、噴気孔片が容易且つ正確にケース内の容置槽に定位され、従来の気体輸送装置がマイクロ化及びサイズの精度のコントロールを同時に兼ね備えることができなかった問題を克服しており、並びに支持体とケースとの間の接触面積を増加させることで、支持体の連接能力を向上している。更に、本発明は四角形の共振チャンバと圧電片の共振周波数を同等に近づけることで、ヘルムホルツ共鳴効果を発生させ、更に一歩気体の伝送速度及び輸送量を向上している。また、本発明はケース底部に上が広く、下が狭い特殊な口径である導管を設置することで、気体を更に合流しやすくし、ベルヌーイの定理の理想の流体状態に近づくことで高速噴出し、高速の気体輸送の目的を達成している。

発明は当業者であれば諸般の修飾が可能であるが、いずれも後付の特許請求の範囲の保護範囲に含まれる。

１ 気体輸送装置
１１ ケース
１１１ 容置槽
１１１ａ 底面
１１２ 排気孔
１１３ 固定槽
１１４ 第一開口
１１５ 第二開口
１１６ 導管
１１７ 導出通路
１１８ 導出孔
１２ 噴気孔片
１２０ 支持体
１２１ 懸吊片
１２２ 固定部
１２３ 連接部
１２４ 中空孔
１２５ 空隙
１３ チャンバフレーム
１３０ 共振チャンバ
１４ アクチュエータ
１４１ 圧電キャリア板
１４１１ 第一導電ピン
１４２ 調整共振板
１４３ 圧電片
１７ 絶縁フレーム
１８ 導電フレーム
１８１ 第二導電ピン
１８２ 電極
１９ 気流チャンバ

Claims (12)

1. 気体輸送装置であって、ケースと、噴気孔片と、チャンバフレームと、アクチュエータと、絶縁フレームと、導電フレームと、を含み、
   前記ケースが、少なくとも一つの固定槽と、容置槽と、排気孔と、を含み、前記容置槽が底面を備え、
   前記噴気孔片が、少なくとも一つの支持体と、懸吊片と、中空孔と、を含み、前記懸吊片が湾曲振動でき、少なくとも一つの前記フレームが少なくとも一つの前記固定槽に設置されて、前記噴気孔片を前記容置槽内に容設し、前記容置槽内の前記底面との間で気流チャンバを形成し、前記気流チャンバと前記排気孔が連通し、且つ少なくとも一つの前記支持体及び前記懸吊片と、前記ケースとの間で少なくとも一つの空隙が形成され、
   前記チャンバフレームが、四角形のフレームであり、前記懸吊片上に重畳して搭載され、
   前記アクチュエータが、前記チャンバフレーム上に重畳して搭載され、電圧を印加されて往復の湾曲振動を生じ、
   前記絶縁フレームが、前記圧電片上に重畳して搭載され、
   前記導電フレームが、前記絶縁フレーム上に重畳して搭載され、
   前記アクチュエータ、前記チャンバフレーム、前記懸吊片の間に四角形の共振チャンバが形成され、前記アクチュエータが駆動され前記噴気孔片を連動させて共振を生じさせることで、前記噴気孔片の前記懸吊片が往復振動を生じて変位し、前記気体を少なくとも一つの前記空隙を通過させて前記気流チャンバへ進入させ、更に前記排気孔から排出し、前記気体の伝送流動を実現させることを特徴とする、気体輸送装置。
2. 少なくとも一つの前記支持体は、固定部と、連接部と、を含み、前記固定部の形状は少なくとも一つの前記固定槽の形状に対応し、前記連接部は、前記懸吊片と前記固定部との間に連接し、前記連接部は弾性を備え、前記懸吊片を支持し、前記懸吊片は往復の湾曲振動を行い、且つ前記固定部の形状はＬ字型であり、前記固定槽はＬ字型の凹槽であることを特徴とする、請求項１に記載の気体輸送装置。
3. 前記容置槽が四角形であることを特徴とする、請求項１に記載の気体輸送装置。
4. 前記懸吊片が四角形であることを特徴とする、請求項１に記載の気体輸送装置。
5. 前記アクチュエータが、圧電キャリア板と、調整共振板と、圧電片と、を含み、
   前記圧電キャリア板が、前記チャンバフレーム上に重畳して搭載され、
   前記調整共振板が、前記圧電キャリア板上に重畳して搭載され、
   前記圧電片が、前記調整共振板上に重畳して搭載され、電圧を印加して前記圧電キャリア板及び前記調整共振板を駆動し、往復の湾曲振動を生じさせることを特徴とする、請求項１に記載の気体輸送装置。
6. 前記圧電キャリア板が四角形であることを特徴とする、請求項５に記載の気体輸送装置。
7. 前記調整共振板の厚さが、前記圧電キャリア板の厚さより大きいことを特徴とする、請求項５に記載の気体輸送装置。
8. 前記圧電片の振動周波数が１０Ｋヘルツから３０Ｋヘルツの間であることを特徴とする、請求項５に記載の気体輸送装置。
9. 前記ケースが、前記排気孔の位置から、外に向かって導管を延伸させ、前記導管が、導
   出通路を備え、前記排気孔と連通し、且つ前記ケースの外部と連通し、且つ前記導出通路の前記排気孔から連通する箇所が、大口から徐々に縮小する錐状を呈し、前記排気孔の直径は０．８５ミリメートルから１．２５ミリメートルの間であり、前記導出通路の直径は０．８ミリメートルから１．２ミリメートルの間であることを特徴とする、請求項１に記載の気体輸送装置。
10. 前記圧電キャリア板の厚さが０．０４ミリメートルから０．０６ミリメートルの間であり、前記調整共振板の厚さが０．１ミリメートルから０．３ミリメートルの間であり、前記圧電片の厚さが０．０５ミリメートルから０．１５ミリメートルの間であることを特徴とする、請求項５に記載の気体輸送装置。
11. 前記気流チャンバの高さが０．２ミリメートルから０．８ミリメートルの間であり、四角形の前記共振チャンバの容積が６．３立方ミリメートルから１８６立方ミリメートルの間であることを特徴とする、請求項１に記載の気体輸送装置。
12. 気体輸送装置であって、少なくとも一つのケースと、少なくとも一つの噴気孔片と、少なくとも一つのチャンバフレームと、少なくとも一つのアクチュエータと、少なくとも一つの絶縁フレームと、少なくとも一つの導電フレームと、を含み、
    少なくとも一つの前記ケースが、少なくとも一つの固定槽と、少なくとも一つの容置槽と、少なくとも一つの排気孔と、を含み、前記容置槽が底面を備え、
    少なくとも一つの噴気孔片が、少なくとも一つの支持体と、少なくとも一つの懸吊片と、少なくとも一つの中空孔と、を含み、前記懸吊片が湾曲振動でき、少なくとも一つの前記支持体が少なくとも一つの前記固定槽に設置されて、前記噴気孔片を前記容置槽内に容設し、前記容置槽内の前記底面との間で少なくとも一つの気流チャンバを形成し、前記気流チャンバと前記排気孔が連通し、且つ少なくとも一つの前記支持体及び前記懸吊片と、前記ケースとの間で少なくとも一つの空隙が形成され、
    少なくとも一つの前記チャンバフレームが、四角形のフレームであり、前記懸吊片上に重畳して搭載され、
    少なくとも一つの前記アクチュエータが、前記チャンバフレーム上に重畳して搭載され、電圧を印加されて往復の湾曲振動を生じ、
    少なくとも一つの前記絶縁フレームが、前記圧電片上に重畳して搭載され、
    少なくとも一つの前記導電フレームが、前記絶縁フレーム上に重畳して搭載され、
    前記アクチュエータ、前記チャンバフレーム、前記懸吊片の間に四角形の少なくとも一つの共振チャンバが形成され、前記アクチュエータが駆動され前記噴気孔片を連動させて共振を生じさせることで、前記噴気孔片の前記懸吊片が往復振動を生じて変位し、前記気体を少なくとも一つの前記空隙を通過させて前記気流チャンバへ進入させ、更に前記排気孔から排出し、前記気体の伝送流動を実現させることを特徴とする、気体輸送装置。