JP2017135940A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 振動板と、
   前記振動板の上方に設けられた第１電極層と、
   前記第１電極層の上方に設けられた圧電体層と、
   前記圧電体層の上方に設けられた第２電極層と、
   前記第１電極層、前記圧電体層、及び前記第２電極層を覆うように設けられた絶縁層と、
   前記絶縁層の上方に設けられ、前記第２電極層と導通する配線層と、
   を備え、
   前記振動板の平面視で、
   前記第１電極層、前記圧電体層、及び前記第２電極層とが重なり合う部分に能動部が設けられ、
   前記能動部は、長手方向と短手方向とを有し、
   前記短手方向の両端において、
   前記第１電極層の端は、前記配線層の端と同じ位置又は前記配線層の端よりも外側の位置に配置され、かつ前記第２電極層の端よりも外側の位置に配置され、
   前記第２電極層の端は、前記配線層の端と同じ位置又は前記配線層の端よりも内側の位置に配置されている、圧電駆動装置。
2. 請求項１において、
   前記長手方向の少なくとも一端において、
   前記第１電極層の端は、前記配線層の端と同じ位置又は端よりも外側の位置に配置され、かつ前記第２電極層の端よりも外側の位置に配置され、
   前記第２電極層の端は、前記配線層の端と同じ位置又は端よりも内側の位置に配置されている、圧電駆動装置。
3. 請求項１又は請求項２において、
   前記能動部の前記長手方向の長さは、前記短手方向の長さの、１．００１倍以上１０００倍以下である、圧電駆動装置。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
   前記圧電駆動装置によって回転されるローターと、
   を含む、モーター。
5. 複数のリンク部と、
   複数の前記リンク部を接続する関節部と、
   複数の前記リンク部を前記関節部で回動させる請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
   を含む、ロボット。
6. 請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
   液体を輸送するチューブと、
   前記圧電駆動装置の駆動によって前記チューブを閉塞する複数のフィンガーと、
   を含む、ポンプ。