JP2017135940A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017135940A5 JP2017135940A5 JP2016015772A JP2016015772A JP2017135940A5 JP 2017135940 A5 JP2017135940 A5 JP 2017135940A5 JP 2016015772 A JP2016015772 A JP 2016015772A JP 2016015772 A JP2016015772 A JP 2016015772A JP 2017135940 A5 JP2017135940 A5 JP 2017135940A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode layer
- layer
- piezoelectric
- disposed
- wiring layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016015772A JP6724393B2 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 圧電駆動装置、モーター、ロボット及びポンプ |
| CN201710059759.0A CN107068850B (zh) | 2016-01-29 | 2017-01-24 | 压电驱动装置、马达、机器人以及泵 |
| US15/417,415 US10580960B2 (en) | 2016-01-29 | 2017-01-27 | Piezoelectric driving device, motor, robot, and pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016015772A JP6724393B2 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 圧電駆動装置、モーター、ロボット及びポンプ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017135940A JP2017135940A (ja) | 2017-08-03 |
| JP2017135940A5 true JP2017135940A5 (enExample) | 2019-02-28 |
| JP6724393B2 JP6724393B2 (ja) | 2020-07-15 |
Family
ID=59387701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016015772A Expired - Fee Related JP6724393B2 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 圧電駆動装置、モーター、ロボット及びポンプ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10580960B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6724393B2 (enExample) |
| CN (1) | CN107068850B (enExample) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116813338B (zh) * | 2023-07-06 | 2024-11-22 | 柯斯特电子科技(深圳)有限公司 | 一种压电陶瓷材料及其制备方法与用途 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030048041A1 (en) * | 2001-09-07 | 2003-03-13 | Hiroyuki Kita | Piezoelectric thin-film element and a manufacturing method thereof |
| JP2004320979A (ja) | 2003-04-03 | 2004-11-11 | Seiko Epson Corp | 稼働装置および電気機器 |
| JP2007173691A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の製造方法及びアクチュエータ装置並びに液体噴射ヘッド |
| KR101153690B1 (ko) * | 2006-02-20 | 2012-06-18 | 삼성전기주식회사 | 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 및 그 형성 방법 |
| JP2008227123A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Seiko Epson Corp | 圧電振動体の製造方法および製造装置 |
| JP5278654B2 (ja) | 2008-01-24 | 2013-09-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| EP2617076B1 (en) * | 2010-09-15 | 2014-12-10 | Ricoh Company, Limited | Electromechanical transducing device and manufacturing method thereof |
| KR101228958B1 (ko) * | 2011-07-06 | 2013-02-01 | 유재인 | 압전소자를 이용한 발전장치 |
| JP5811728B2 (ja) * | 2011-09-16 | 2015-11-11 | 株式会社リコー | 電気−機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 |
| JP2013197522A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Ricoh Co Ltd | 圧電体薄膜素子とその製造方法、該圧電体薄膜素子を用いた液滴吐出ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
| JP5984523B2 (ja) * | 2012-06-15 | 2016-09-06 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
| JP6205701B2 (ja) | 2012-10-22 | 2017-10-04 | セイコーエプソン株式会社 | 流体注入装置 |
| JP2014198461A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-10-23 | 株式会社リコー | アクチュエータ素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 |
| JP6252057B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-12-27 | 株式会社リコー | 圧電体アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジ、インクジェット記録装置、及び圧電体アクチュエータの製造方法 |
| JP6268999B2 (ja) | 2013-12-06 | 2018-01-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、指アシスト装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置 |
| JP6398454B2 (ja) * | 2014-08-13 | 2018-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 |
| WO2016158056A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 株式会社村田製作所 | 共振装置 |
-
2016
- 2016-01-29 JP JP2016015772A patent/JP6724393B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2017
- 2017-01-24 CN CN201710059759.0A patent/CN107068850B/zh active Active
- 2017-01-27 US US15/417,415 patent/US10580960B2/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2017017916A5 (enExample) | ||
| ATE532476T1 (de) | Medizinischer manipulator und geeigneter betätiger dafür | |
| JP2016092879A5 (enExample) | ||
| JP2016139608A5 (ja) | 二次電池 | |
| JP2013178522A5 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2017513572A5 (enExample) | ||
| EP3345811A4 (en) | SCREENING AND VEHICLE WITH SERVO DRIVE AND TOY TOO | |
| JP2015029410A5 (enExample) | ||
| JP2015003719A5 (enExample) | ||
| JP2015053477A5 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2016062880A5 (enExample) | ||
| JP2016040992A5 (enExample) | ||
| JP2015184124A5 (enExample) | ||
| JP2016051184A5 (enExample) | ||
| JP2016040993A5 (enExample) | ||
| JP2017103953A5 (enExample) | ||
| JP2018084519A5 (enExample) | ||
| JP2016126353A5 (enExample) | ||
| JP2018133563A5 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2017135940A5 (enExample) | ||
| JP2016175274A5 (enExample) | ||
| JP2017069998A5 (enExample) | ||
| JP2012191733A5 (enExample) | ||
| EP3978880A4 (en) | Redundancy resolver device and electric power steering device | |
| JP2015152584A5 (enExample) |