JP2017119782A - 水溶性フラックス用洗浄剤組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
20℃における水への溶解度が1質量%以上であるアミン(成分B)と、
20℃における水への溶解度が1質量%以上であり、下記式(II)で表されるグリコールエーテル化合物(成分C)と、
有機酸及び無機酸から選ばれる少なくとも1種の酸のアンモニウム塩(成分D)と、
水(成分E)と、を含有し、
成分Aの含有量が、0.7質量%以上3.5質量%以下であり、
成分Bの含有量が、3質量%以上10質量%以下であり、
成分Cの含有量が、1.5質量%以上14質量%以下であり、
成分Dの含有量が、0.5質量%以上2質量%以下である、水溶性フラックス用洗浄剤組成物に関する。
[式(II)において、R5は、炭素数1以上12以下の炭化水素基を示し、EOはエチレンオキサイド、POはプロピレンオキサイド、nはEOの付加モル数、mはPOの付加モル数、nは1以上10以下、mは0以上5以下である。]
水溶性フラックスを用いて半田付けを行う際、リフロー時の加熱によって水に難溶なフラックス残渣が生成することがある。このようなフラックス残渣の洗浄に本開示に係る洗浄剤組成物を用いると、洗浄剤組成物中のアルカリ剤(成分A)及びアミン(成分B)により、フラックス残渣の分解が促進され、そして、洗浄剤組成物中のグリコールエーテル化合物(成分C)により、狭い隙間等への浸透性が高くなり、フラックス残渣の除去効率が向上すると推定される。さらに、洗浄剤組成物中のアンモニウム塩(成分D)により、アルカリ性条件下で起こりうる半田金属中の錫の腐食を抑制できると推定される。但し、本開示はこのメカニズムに限定して解釈されなくてもよい。
特徴1:沸点180℃以下の揮発成分を除くリフロー前の重量平均分子量が200以上6000未満である。
特徴2:リフロー後の重量平均分子量が6000以上である。
本開示に係る洗浄剤組成物における成分Aは、下記式(I)で表される水酸化テトラアルキルアンモニウム、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムから選ばれる少なくとも一つのアルカリ剤である。洗浄性向上の観点から、成分Aとしては、下記(I)で表される水酸化テトラアルキルアンモニウムが好ましい。
本開示に係る洗浄剤組成物における成分Bは、20℃における水への溶解度が1質量%以上であるアミンであり、洗浄性向上の観点から、下記式(III)で表されるアミンが好ましい。
本開示に係る洗浄剤組成物における成分Cは、20℃における水への溶解度が1質量%以上であり、下記式(II)で表されるグリコールエーテル化合物(成分C)である。
本開示に係る洗浄剤組成物における成分Dは、有機酸及び無機酸から選ばれる少なくとも1種の酸のアンモニウム塩である。
本開示に係る洗浄剤組成物における成分Eは、水である。水としては、イオン交換水、RO水、蒸留水、純水、超純水が使用されうる。水の含有量は、本開示に係る洗浄剤組成物の使用態様にあわせて適宜設定すればよい。
本開示に係る洗浄剤組成物は、本開示の効果を損なわない範囲で、必要に応じて前記成分A〜E以外の他の成分を含有することができる。その他の成分としては、例えばノニオン性界面活性剤、ヒドロキシエチルアミノ酢酸、ヒドロキシエチルイミノ2酢酸、エチレンジアミンテトラ酢酸等のアミノカルボン酸塩等のキレート力を持つ化合物、防腐剤、防錆剤、殺菌剤、抗菌剤、シリコーン等の消泡剤、酸化防止剤、ヤシ脂肪酸メチルや酢酸ベンジル等のエステル、炭化水素系溶剤あるいはアルコール類等が挙げられる。
本開示に係る洗浄剤組成物は、前記成分A〜E及び必要に応じてその他の成分を公知の方法で配合することによって製造できる。したがって、本開示は、少なくとも前記成分A〜Eを配合する工程を含む、洗浄剤組成物の製造方法に関する。本開示において「配合する」とは、成分A〜E及び必要に応じてその他の成分を同時に又は任意の順に混合することを含む。本開示に係る洗浄剤組成物の製造方法において、各成分の配合量は、上述した本開示に係る洗浄剤組成物の各成分の含有量と同じとすることができる。本開示に係る洗浄剤組成物は、添加作業、貯蔵及び輸送の観点から、濃縮液として製造及び保管し、使用時に成分A〜成分Dが上述した含有量(すなわち、洗浄時の含有量)になるよう水(成分E)で希釈して用いることができる。
本開示に係る洗浄剤組成物は、水溶性フラックス残渣を有する被洗浄物の洗浄に使用される。水溶性フラックス残渣を有する被洗浄物としては、例えば、リフローされた半田を有する被洗浄物が挙げられる。被洗浄物の具体例としては、例えば、電子部品及びその製造中間物が挙げられ、具体的には、半田付け電子部品及びその製造中間物が挙げられ、より具体的には、部品が半田で半田付けされた電子部品及びその製造中間物、部品が半田を介して接続されている電子部品及びその製造中間物、半田付けされた部品の隙間に水溶性フラックス残渣を含む電子部品及びその製造中間物、半田を介して接続されている部品の隙間に水溶性フラックス残渣を含む電子部品及びその製造中間物等が挙げられる。前記製造中間物は、半導体パッケージや半導体装置を含む電子部品の製造工程における中間製造物であって、例えば、水溶性フラックスを使用した半田付けにより、半導体チップ、チップ型コンデンサ、及び回路基板から選ばれる少なくとも1つの部品が搭載された回路基板、及び/又は、前記部品を半田接続するための半田バンプが形成された回路基板を含む。被洗浄物における隙間とは、例えば、回路基板とその回路基板に半田付けされて搭載された部品(半導体チップ、チップ型コンデンサ、他の回路基板等)との間に形成される空間であって、その高さ(部品間の距離)が、例えば、5〜500μm、10〜250μm、或いは20〜100μmの空間をいう。隙間の幅及び奥行きは、搭載される部品や回路基板上の電極(ランド)の大きさや間隔に依存する。
本開示は、水溶性フラックス残渣を有する被洗浄物を本開示に係る洗浄剤組成物に接触させることを含む、フラックス残渣の洗浄方法に関する(以下、本開示に係る洗浄方法ともいう)。本開示に係る洗浄方法は、水溶性フラックス残渣を有する被洗浄物を本開示に係る洗浄剤組成物で洗浄する工程を有する。被洗浄物に本開示に係る洗浄剤組成物を接触させる方法、又は、被洗浄物を本開示に係る洗浄剤組成物で洗浄する方法としては、例えば、超音波洗浄装置の浴槽内で接触させる方法、洗浄剤組成物をスプレー状に射出して接触させる方法(シャワー方式)等が挙げられる。本開示に係る洗浄剤組成物は、希釈することなくそのまま洗浄に使用できる。本開示の洗浄方法は、洗浄剤組成物に被洗浄物を接触させた後、水でリンスし、乾燥する工程を含むことが好ましい。本開示の洗浄方法であれば、半田付けした部品の隙間に残存する水溶性フラックス残渣を効率よく洗浄できる。本開示の洗浄方法による洗浄性及び狭い隙間への浸透性の顕著な効果発現の点から、半田は鉛(Pb)フリー半田であることが好ましい。本開示の洗浄方法は、本開示に係る洗浄剤組成物の洗浄力が発揮されやすい点から、本開示に係る洗浄剤組成物と被洗浄物との接触時に超音波を照射することが好ましく、その超音波は比較的強いものであることがより好ましい。前記超音波の周波数としては、同様の観点から、26〜72Hz、80〜1500Wが好ましく、36〜72Hz、80〜1500Wがより好ましい。
本開示の電子部品の製造方法は、半導体チップ、チップ型コンデンサ、及び回路基板から選ばれる少なくとも1つの部品を、水溶性フラックスを使用した半田付により回路基板上に搭載する工程、並びに前記部品等を接続するための半田バンプを回路基板上に形成する工程から選ばれる少なくとも1つの工程と、前記部品が搭載された回路基板及び前記半田バンプが形成された回路基板から選ばれる少なくとも1つを本開示の洗浄方法により洗浄する工程と、を含む。水溶性フラックスを使用した半田付けは、例えば、鉛フリー半田で行われるものであり、リフロー方式でもよく、フロー方式でもよい。電子部品は、半導体チップが未搭載の半導体パッケージ、半導体チップが搭載された半導体パッケージ、及び、半導体装置を含む。本開示の電子部品の製造方法は、本開示の洗浄方法を行うことにより、半田付けされた部品の隙間や半田バンプの周辺等に残存するフラックス残渣が低減され、フラックス残渣が残留することに起因する電極間でのショートや接着不良が抑制されるから、信頼性の高い電子部品の製造が可能になる。さらに、本開示の洗浄方法を行うことにより、半田付けされた部品の隙間等に残存するフラックス残渣の洗浄が容易になることから、洗浄時間が短縮化でき、電子部品の製造効率を向上できる。
本開示は、本開示に係る洗浄方法及び/又は本開示に係る電子部品の製造方法に使用するためのキットであって、本開示に係る洗浄剤組成物を構成する前記成分A〜Eのうちの少なくとも1成分が他の成分と混合されない状態で保管されている、キットに関する。
表1に記載の成分Dを水(成分E)に溶解させた後、表1に記載の成分A、成分B及び成分Cを添加して均一溶解させることにより、実施例1〜12及び比較例1〜12の洗浄剤組成物を調製した。表1中の各成分の数値は、断りのない限り、調製した洗浄剤組成物における含有量(質量%)を示す。
・テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(成分A)(昭和電工株式会社製、TMAH、濃度:25質量%)
・テトラエチルアンモニウムヒドロキシド(成分A)(東京化成工業株式会社製、TEAH、10質量%水溶液)
・N−メチルエタノールアミン(成分B)(日本乳化剤株式会社製、アミノアルコールMMA、溶解度:50質量%以上)
・モノエタノールアミン(成分B)(株式会社日本触媒製、MEA、溶解度:50質量%以上)
・トリエタノールアミン(成分B)(株式会社日本触媒製、TEA、溶解度:50質量%以上)
・N、N−ジブチルエタノールアミン(非成分B)(日本乳化剤株式会社製、アミノアルコール 2B、溶解度:0.4質量%)
・ジエチレングリコールモノブチルエーテル(成分C)(日本乳化剤株式会社製、ブチルジグリコール、BDG、溶解度:50質量%以上)
・ジエチレングリコールモノメチルエーテル(成分C)(日本乳化剤株式会社製、メチルジグリコール、MDG、溶解度:50質量%以上)
・ポリオキシエチレン2−エチルヘキシルエーテル(成分C)(青木油脂工業株式会社製、ブラウノン EH−6、エチレンオキサイド平均付加モル数6、溶解度:10質量%)
・ポリオキシエチレンステアリルエーテル(非成分C)(花王株式会社製、エマルゲン306P、エチレンオキサイド平均付加モル数6、溶解度:10質量%)
・ベンジルグリコール(非成分C)(日本乳化剤株式会社製、ベンジルグリコール、BzG、溶解度:0.4質量%)
・ギ酸アンモニウム(成分D)(ナカライテスク株式会社製、ナカライ規格特級)
・硫酸アンモニウム(成分D)(和光純薬工業株式会社製、和光一級)
・炭酸アンモニウム(成分D)(和光純薬工業株式会社製、試薬特級、炭酸水素アンモニウムとカルバミド酸アンモニウムの混合物)
・水(成分E)(オルガノ株式会社製純水装置G−10DSTSETで製造した1μS/cm以下の純水)
水溶性フラックスの重量平均分子量を以下の方法で測定する。
下記の測定装置と分析カラムを用い、溶離液としてジメチルホルムアミド(60mmol/Lリン酸、50mmol/L臭化リチウム)を、毎分1.0mLの流速で流し、40℃の恒温槽中でカラムを安定させた。そこに試料溶液100μLを注入して測定を行った。試料の分子量は、予め作成した検量線に基づき算出した。このときの検量線には、数種類の分子量が既知の標準ポリスチレン(「TSKgel標準ポリスチレン」(東ソー株式会社製、タイプ(重量平均分子量、Mw/Mn))A−500(5.89×102、1.14)、F−10(9.89×104、1.01)、F−850(8.42×105、1.17)。重量平均分子量3万、4000(西尾工業株式会社製)、重量平均分子量90万(株式会社ケムコ製))を標準試料として作成したものを用いた。
・測定装置:高速GPC装置 HLC−8320GPC EcoSEC(東ソー株式会社製)
・分析カラム:TSKgel α−M+TSKgel α−M(東ソー株式会社製)
調製した実施例1〜12及び比較例1〜12の洗浄剤組成物について、保存安定性、洗浄性、及び半田腐食性について試験を行い、評価した。
上記製造方法で洗浄剤組成物を製造し、密栓できる透明なガラス瓶に洗浄剤組成物を採取し、製造直後及び室温にて1時間静置後の状態を目視で確認した。確認の結果、濁り、沈殿及び分離が確認されず、透明な状態の場合は、保存安定性が良好であると判断し、表1では○と表記した。濁り、沈殿又は分離が確認された場合は、保存安定性が良好ではないと判断し、表1では×と表記した。
(1)テスト基板の作成
ICチップ(10mm×10mm)を1個搭載し半田バンプで接続したテスト基板(50mm×50mm、ICチップと基板の隙間は約50μm)を用いた。ソルダーペーストには市販の水溶性フラックス(製品名:Sparkle Flux WF−6070、千住金属工業株式会社製)、リフロー炉にはエコリフローSNR825(千住金属工業株式会社製)を用い、リフローピーク温度240℃、半田溶融時間45秒、窒素雰囲気下(酸素濃度100ppm)で半田接続した。水溶性フラックスの重量平均分子量は、リフロー前が1900、リフロー後が27000であった。
100mLビーカーに各洗浄剤組成物を80g採取した洗浄槽及び100mLビーカーに水を100g採取したすすぎ槽を2つ用意し(第1リンス、第2リンス)、マグネティックスターラーによる撹拌(回転数:800rpm)を行うとともに各すすぎ槽を60℃に加温した。洗浄槽にテスト基板を3分間もしくは1.5分間浸漬させた後に、第1リンスに5分間浸漬し、さらに第2リンスに5分間浸漬した。その後テスト基板を85℃の送風低温乾燥機内で15分間乾燥した。
洗浄後のテスト基板のICチップを剥離し、光学顕微鏡VHX-2000(株式会社キーエンス製、倍率200倍)で中心付近の10か所を観察し、半田バンプ周辺に残存するフラックス残渣の有無を目視確認し、フラックス残渣が完全に除去できた個数から除去率(%)を求める。2回の平均値を、洗浄性の評価結果として表1に示した。
(1)試験方法
ICチップを搭載する前の半田バンプを有する前記テスト基板を60℃に加温した前記洗浄槽に10分間浸漬し、第1リンスに5分間浸漬し、さらに第2リンスに5分間浸漬し、その後流水で洗浄剤組成物を洗い流し、85℃の送風低温乾燥機内で15分間乾燥する。テスト基板の半田バンプ表面の状態を、卓上顕微鏡 Miniscope TM3030 (株式会社日立ハイテクノロジーズ製)を用いて観察する。
浸漬前にあらかじめ観察した半田バンプと同箇所を浸漬後再度観察した。観察の結果、浸漬前と比較して荒れが確認された場合は腐食していると判断し、表1では×と表記した。浸漬前後に変化が見られなかった場合は腐食していないと判断し、表1では○と表記した。
実施例1の洗浄剤組成物について、さらに下記溶解試験を行って、洗浄性を評価した。評価結果は、表2に示した。
(1)水溶性フラックス残渣の作製
水溶性フラックス(製品名:Sparkle Flux WF−6070、千住金属工業株式会社製)から溶剤などの揮発成分をロータリーエバポレーターにて除去し、水溶性フラックス残渣(非加熱処理)を作製した。
さらに、同様にして、非加熱処理の水溶性フラックス残渣を3つ用意し、各水溶性フラックス残渣を窒素雰囲気下、銅板上で30分間、180、220または250℃に維持して加熱処理し、3種の加熱処理済み水溶性フラックス残渣を作製した。
非加熱処理の水溶性フラックス残渣、及び3種の加熱処理済み水溶性フラックス残渣(加熱温度:180℃、220℃、250℃)の重量平均分子量を測定し、表2に示した。
スクリュー管瓶(株式会社マルエム製、No.8、110mL)に水50gを加え、60℃に加温したものを4つ用意する。さらに、同種のスクリュー管瓶に表1の実施例1に示す洗浄剤組成物(pH12.95)50gを加え、60℃に加温したものを4つ用意する。
そして、各スクリュー管瓶に、非加熱処理の水溶性フラックス残渣及び3種の加熱処理済み水溶性フラックス残渣をそれぞれ0.5g添加し、上下に30回振とうする。振とう後、60℃で10分間静置し、液中の水溶性フラックス残渣が溶解していることを目視にて確認する。結果を表2に示す。水溶性フラックス残渣が確認されなかった場合は、水溶性フラックス残渣すべてが溶解したと判断し、表2では〇と表記した。水溶性フラックス残渣が確認された場合、水溶性フラックス残渣の溶け残りがあると判断し、表2では×と表記した。
Claims (7)
- 下記式(I)で表される水酸化テトラアルキルアンモニウム、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムから選ばれる少なくとも一つのアルカリ剤(成分A)と、
20℃における水への溶解度が1質量%以上であるアミン(成分B)と、
20℃における水への溶解度が1質量%以上であり、下記式(II)で表されるグリコールエーテル化合物(成分C)と、
有機酸及び無機酸から選ばれる少なくとも1種の酸のアンモニウム塩(成分D)と、
水(成分E)と、を含有し、
成分Aの含有量が、0.7質量%以上3.5質量%以下であり、
成分Bの含有量が、3質量%以上10質量%以下であり、
成分Cの含有量が、1.5質量%以上14質量%以下であり、
成分Dの含有量が、0.5質量%以上2質量%以下である、水溶性フラックス用洗浄剤組成物。
R5−O−(EO)n(PO)m−H (II)
[式(II)において、R5は、炭素数1以上12以下の炭化水素基を示し、EOはエチレンオキサイド、POはプロピレンオキサイド、nはEOの付加モル数、mはPOの付加モル数、nは1以上10以下、mは0以上5以下である。] - アミン(成分B)が、下式(III)で表される化合物である、請求項1記載の洗浄剤組成物。
- 水溶性フラックス残渣を有する被洗浄物を、請求項1又は2に記載の洗浄剤組成物で洗浄する工程を有する、フラックス残渣の洗浄方法。
- 被洗浄物が、半田付け電子部品の製造中間物である、請求項3に記載の洗浄方法。
- 水溶性フラックス残渣が、下記の特徴を有する水溶性フラックス由来の残渣である、請求項3又は4に記載の洗浄方法。
特徴1:沸点180℃以下の揮発成分を除くリフロー前の重量平均分子量が200以上6000未満である。
特徴2:リフロー後の重量平均分子量が6000以上である。 - 半導体チップ、チップ型コンデンサ、及び回路基板から選ばれる少なくとも1つの部品を、水溶性フラックスを使用した半田付けにより回路基板上に搭載する工程、並びに前記部品等を接続するための半田バンプを回路基板上に形成する工程から選ばれる少なくとも1つの工程と、
前記部品が搭載された回路基板及び前記半田バンプが形成された回路基板から選ばれる少なくとも1つを請求項3から5のいずれかに記載の洗浄方法により洗浄する工程と、を含む、電子部品の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の洗浄剤組成物の、電子部品の製造への使用。
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