JP2017115110A - 縮合硬化性樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
で示される基であり、R2は独立に水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基であり、aは0〜500の整数であり、bは0〜5,000の整数であり、cは0〜500の整数であり、dは0〜500の整数であり、eは1〜500の整数であり、fは2〜100の整数である。]
で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有有機ケイ素化合物を含む縮合硬化性樹脂組成物の硬化物が、良好な硬さと耐クラック性を兼ね備えることを見出し、本発明をなすに至った。
〔1〕
(A)下記一般式(1)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有有機ケイ素化合物
で示される基であり、R2は独立に水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基であり、aは0〜500の整数であり、bは0〜5,000の整数であり、cは0〜500の整数であり、dは0〜500の整数であり、eは1〜500の整数であり、fは2〜100の整数である。]
を含む縮合硬化性樹脂組成物。
〔2〕
(A)成分が、(A−1)上記式(1)において、bが0〜1,000の整数であり、1≦c+d≦1,000である水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有分岐状有機ケイ素化合物であることを特徴とする〔1〕に記載の縮合硬化性樹脂組成物。
〔3〕
(A)成分が、(A−2)下記一般式(3)
(R1 2SiO)b’Ze’(O0.5R2)2 (3)
(式中、R1、R2、Zは上記と同じであり、b’は0〜5,000の整数であり、e’は1〜500の整数であり、1≦b’+e’≦5,001である。)
で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子鎖両末端に有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有直鎖状有機ケイ素化合物であることを特徴とする〔1〕に記載の縮合硬化性樹脂組成物。
〔4〕
更に、(B)下記一般式(4)
(R1 3SiO0.5)g(R1 2SiO)h(R1SiO1.5)k(SiO2)p(O0.5R2)q
(4)
(式中、R1、R2は上記と同じであり、gは0〜500の整数であり、hは0〜5,000の整数であり、kは0〜500の整数であり、pは0〜500の整数であり、qは2〜100の整数であり、1≦h+k+p≦5,000である。)
で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有する有機ケイ素化合物を、(A)成分の合計100質量部に対して5〜500質量部含むことを特徴とする〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の縮合硬化性樹脂組成物。
〔5〕
(B)成分が、(B−1)上記一般式(4)において、hが0〜1,000の整数であり、1≦k+p≦1,000である水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有する分岐状有機ケイ素化合物を、(A)成分の合計100質量部に対して50〜500質量部含むことを特徴とする〔4〕に記載の縮合硬化性樹脂組成物。
〔6〕
(B)成分が、(B−2)下記一般式(5)
(R1 2SiO)h’(O0.5R2)2 (5)
(式中、R1、R2は上記と同じである。h’は1〜5,000の整数である。)
で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子鎖両末端に有する直鎖状有機ケイ素化合物を、(A)成分の合計100質量部に対して5〜200質量部含むことを特徴とする〔4〕に記載の縮合硬化性樹脂組成物。
〔7〕
更に、(C)縮合触媒を含むことを特徴とする〔1〕〜〔6〕のいずれかに記載の縮合硬化性樹脂組成物。
〔8〕
〔1〕〜〔7〕のいずれかに記載の縮合硬化性樹脂組成物の硬化物で封止された半導体装置。
本発明の縮合硬化性樹脂組成物は、(A)後述する式(1)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有有機ケイ素化合物を含むものである。
本発明の(A)成分は、下記一般式(1)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有有機ケイ素化合物である。
で示される基であり、R2は独立に水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基であり、aは0〜500の整数であり、bは0〜5,000の整数であり、cは0〜500の整数であり、dは0〜500の整数であり、eは1〜500の整数であり、fは2〜100の整数である。]
R2は水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基であり、具体的には、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基が挙げられ、メチル基、エチル基が好ましい。
R3は炭素数1〜12の脂肪族不飽和結合を含まない非置換の一価炭化水素基であり、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基などの炭素数1〜12の一価脂肪族飽和炭化水素基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基等のアラルキル基などの炭素数6〜12の一価芳香族炭化水素基が挙げられ、メチル基、フェニル基がより好ましい。
で示される加水分解性基又は水酸基を有するシルフェニレンオリゴマーと任意の加水分解性シラン又は加水分解性シロキサンとを公知の方法により共(加水分解)縮合することによって得ることができる。また、XがOR2(R2は上記と同じ)のものであれば(A)成分としてそのまま用いることもできる。
また、(A)成分としては、上記式(1)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有有機ケイ素化合物の中でも、下記の(A−1)分岐状有機ケイ素化合物及び/又は(A−2)直鎖状有機ケイ素化合物であることが好ましい。
(A−1)成分は、上記式(1)において、bが0〜1,000の整数であり、1≦c+d≦1,000である水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有分岐状有機ケイ素化合物である。この場合、R1、R2、Z、a、c、d、e、fは上記と同じであり、bは0〜1,000の整数であり、好ましくは0〜500の整数であり、更に好ましくは0〜250の整数であり、1≦c+d≦1,000であり、好ましくは5≦c+d≦750であり、更に好ましくは10≦c+d≦500である。
(A−2)成分は、下記一般式(3)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子鎖両末端に有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有直鎖状有機ケイ素化合物である。
(R1 2SiO)b’Ze’(O0.5R2)2 (3)
(式中、R1、R2、Zは上記と同じであり、b’は0〜5,000の整数であり、e’は1〜500の整数であり、1≦b’+e’≦5,001である。)
以下、各成分について詳細に説明する。
(B)成分は、下記一般式(4)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有する有機ケイ素化合物である。
(R1 3SiO0.5)g(R1 2SiO)h(R1SiO1.5)k(SiO2)p(O0.5R2)q
(4)
(式中、R1、R2は上記と同じであり、gは0〜500の整数であり、hは0〜5,000の整数であり、kは0〜500の整数であり、pは0〜500の整数であり、qは2〜100の整数であり、1≦h+k+p≦5,000である。)
(B−1)成分は、上記一般式(4)において、hが0〜1,000の整数であり、1≦k+p≦1,000である水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有する分岐状有機ケイ素化合物である。この場合、R1、R2、g、k、p、q、h+k+pは上記と同じであり、hは0〜1,000の整数であり、好ましくは0〜500の整数であり、更に好ましくは0〜250の整数であり、1≦k+p≦1,000であり、好ましくは5≦k+p≦750であり、更に好ましくは10≦k+p≦500である。
(B−2)成分は、下記一般式(5)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子鎖両末端に有する直鎖状有機ケイ素化合物である。
(R1 2SiO)h’(O0.5R2)2 (5)
本発明では、硬化速度を向上させる目的で(C)縮合触媒を加えてもよい。該縮合触媒は、上記(A)成分及び任意で(B)成分の縮合反応を進行させるものであれば特に限定されず、従来公知のものであってよい。該縮合触媒としては、例えば、スズ、鉛、アンチモン、鉄、カドミウム、バリウム、マンガン、亜鉛、クロム、コバルト、ニッケル、アルミニウム、マグネシウム、ハフニウム、ガリウム又はゲルマニウム及びジルコニウムなどの金属を含む縮合触媒が挙げられる。これらの金属は、アルコキシ化、エステル化、キレート化されていてよい。例えば、ジブチルスズジオクトエート、ジブチルスズジアセテート、ジブチルスズジマレエート、ジブチルスズジラウレート、及びブチルスズ2−エチルヘキソエートなどのアルキルスズエステル化合物等の有機スズ金属触媒、及び、鉄、コバルト、マンガン、鉛、及び亜鉛の2−エチルヘキソエート、及びアルミニウムビスエチルアセトアセテート・モノアセチルアセトネート等のアルミキレートが挙げられる。
蛍光体は、特に制限されるものでなく、従来公知の蛍光体を使用すればよい。例えば、半導体素子、特に窒化物系半導体を発光層とする半導体発光ダイオードからの光を吸収し、異なる波長の光に波長変換するものであることが好ましい。このような蛍光体としては、例えば、Eu、Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される窒化物系蛍光体・酸窒化物系蛍光体、Eu等のランタノイド系、Mn等の遷移金属系の元素により主に賦活されるアルカリ土類金属ハロゲンアパタイト蛍光体、アルカリ土類金属ホウ酸ハロゲン蛍光体、アルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体、アルカリ土類金属ケイ酸塩蛍光体、アルカリ土類金属硫化物蛍光体、アルカリ土類金属チオガレート蛍光体、アルカリ土類金属窒化ケイ素蛍光体、ゲルマン酸塩蛍光体、又は、Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される希土類アルミン酸塩蛍光体、希土類ケイ酸塩蛍光体又はEu等のランタノイド系元素で主に賦活される有機及び有機錯体蛍光体、Ca−Al−Si−O−N系オキシ窒化物ガラス蛍光体等から選ばれる1種以上であることが好ましい。
Eu、Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される酸窒化物系蛍光体としては、MSi2O2N2:Eu(Mは、Sr、Ca、Ba、Mg、Znから選ばれる少なくとも1種である。)が挙げられる。
Eu等のランタノイド系、Mn等の遷移金属系の元素により主に賦活されるアルカリ土類金属ハロゲンアパタイト蛍光体としては、M5(PO4)3X’:R’(Mは、Sr、Ca、Ba、Mg、Znから選ばれる少なくとも1種である。X’は、F、Cl、Br、Iから選ばれる少なくとも1種である。R’は、Eu、Mn、Eu及びMnのいずれか1以上である。)が挙げられる。
アルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体としては、SrAl2O4:R’、Sr4Al14O25:R’、CaAl2O4:R’、BaMg2Al16O27:R’、BaMg2Al16O12:R’、及びBaMgAl10O17:R’(R’は、Eu、Mn、Eu及びMnのいずれか1以上である。)が挙げられる。
アルカリ土類金属硫化物蛍光体としては、La2O2S:Eu、Y2O2S:Eu、及びGd2O2S:Euなどが挙げられる。
Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される希土類アルミン酸塩蛍光体としては、Y3Al5O12:Ce、(Y0.8Gd0.2)3Al5O12:Ce、Y3(Al0.8Ga0.2)5O12:Ce、及び(Y,Gd)3(Al,Ga)5O12の組成式で表されるYAG系蛍光体が挙げられる。また、Yの一部もしくは全部をTb、Lu等で置換したTb3Al5O12:Ce、Lu3Al5O12:Ceなどもある。
上記蛍光体は、所望に応じてEuに代えて、又は、Euに加えてTb、Cu、Ag、Au、Cr、Nd、Dy、Co、Ni、Tiから選択される1種以上を含有させることができる。
また、上記蛍光体以外の蛍光体であって、同様の性能、効果を有する蛍光体を使用することもできる。
無機充填材としては、例えば、シリカ、ヒュームドシリカ、ヒュームド二酸化チタン、アルミナ、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、二酸化チタン、酸化第二鉄、及び酸化亜鉛等を挙げることができる。これらは、1種単独で又は2種以上を併せて使用することができる。
無機充填材を配合する場合の配合量は特に制限されないが、(A)〜(C)成分の合計100質量部あたり20質量部以下、好ましくは0.1〜10質量部の範囲で適宜配合すればよい。
本発明の縮合硬化性樹脂組成物は、接着性を付与するため、必要に応じて接着助剤を含有してよい。接着助剤としては、例えば、一分子中にケイ素原子に結合したアルケニル基、アルコキシ基、エポキシ基から選ばれる官能性基を少なくとも2種、好ましくは3種有するオルガノシロキサンオリゴマーが挙げられる。該オルガノシロキサンオリゴマーは、ケイ素原子数4〜50個であることが好ましく、より好ましくは4〜20個である。なお、上記(A)、(B)成分とは、アルケニル基あるいはエポキシ基を含む点で相違するものである。
本発明の縮合硬化性樹脂組成物には、上記成分のほかに、その他の添加剤を配合することができる。その他の添加剤としては、例えば、ラジカル禁止剤、難燃剤、界面活性剤、光安定剤、増粘剤、可塑剤、酸化防止剤、熱安定剤、導電性付与剤、帯電防止剤、放射線遮断剤、核剤、リン系過酸化物分解剤、滑剤、顔料、金属不活性化剤、物性調整剤、有機溶剤等が挙げられる。これらの任意成分は、1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。
(Me3SiO0.5)4(PhSiO1.5)16Z3(O0.5H)4
(A−2)下記式で表される分岐状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(Me3SiO0.5)5(Me2SiO)100(PhSiO1.5)15Z4(O0.5H)4
(A−3)下記式で表される分岐状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(Me3SiO0.5)30(SiO2)45Z5(O0.5R)6 R=H又はiPr
(A−4)下記式で表される分岐状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(Me3SiO0.5)180(SiO2)180Z40(O0.5R)60 R=H又はEt
(A−5)下記式で表される分岐状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(Me3SiO0.5)30(Me2SiO)30(MeSiO1.5)190Z20(O0.5R)50 R=H又はMe
(A−6)下記式で表される直鎖状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
RO0.5−Z−O0.5R R=Me
(A−7)下記式で表される直鎖状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
RO0.5−Z’−O0.5R R=Me
(A−8)下記式で表される直鎖状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
HO0.5−(PhMeSiO)28Z2−O0.5H
(A−9)下記式で表される直鎖状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
RO0.5−(Me2SiO)300Z45−O0.5R R=H又はMe
(A−10)下記式で表される直鎖状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
RO0.5−(Me2SiO)1980Z495−O0.5R R=H又はMe
(Me3SiO0.5)5(PhSiO1.5)18(O0.5H)3
(B−2)下記式で表される分岐状シリコーン(信越化学工業株式会社製)
(Me3SiO0.5)30(SiO2)45(O0.5R)4 R=H又はiPr
(B−3)下記式で表される直鎖状シリコーン(信越化学工業株式会社製)
HO−(PhMeSiO)30−H
(B−4)下記式で表される直鎖状シリコーン(信越化学工業株式会社製)
RO−(Me2SiO)300−R R=H又はMe
(Me3SiO0.5)4(PhSiO1.5)16Y3(O0.5H)4
(D−2)下記式で表される直鎖状シリコーン(信越化学工業株式会社製)
HO0.5−(PhMeSiO)28Y2−O0.5H
(C)縮合触媒以外の上記各成分を表1,2に記載の配合量で混合した後、(C)縮合触媒を加えて更に混合し、硬化性樹脂組成物を調製した。実施例及び比較例で調製した硬化性樹脂組成物について、以下に示す試験を行った。
JIS Z 8803:2011に準じ、B型粘度計を用いて23℃での硬化性樹脂組成物の粘度を測定した。結果を表3,4に記載する。
50mm径×10mm厚のアルミシャーレに調製した硬化性樹脂組成物を流し込み、60℃×1時間、100℃×1時間、次いで150℃×4時間の順でステップキュアして、硬化物を得た。該硬化物の硬さ(Shore DもしくはType A)をJIS K 6253−3:2012に準拠して測定した。結果を表3,4に記載する。
50mm×20mm×1mm厚のスライドガラス2枚の間に凹型の1mm厚テフロン(登録商標)スペーサーを挟み、それらを固定した後、硬化性樹脂組成物を流し込み、60℃×1時間、100℃×1時間、次いで150℃×8時間の順でステップキュアしてサンプルを作製した。得られたサンプルの450nmにおける光透過率を分光光度計U−4100(株式会社日立ハイテクノロジーズ製)にて測定した。結果を表3,4に記載する。
上記試験(3)で作製したサンプルを150℃にて1,000時間放置した後、450nmにおける光透過率を分光光度計U−4100(株式会社日立ハイテクノロジーズ製)にて測定した。結果を表3,4に記載する。
150mm×200mm×2mm厚の凹型テフロン(登録商標)金型に硬化性樹脂組成物を流し込み、60℃×1時間、100℃×1時間、次いで150℃×8時間の順でステップキュアしてサンプルを作製した。JIS K 6251:2010に準拠して、EZ TEST(EZ−L、株式会社島津製作所製)を用いて、試験速度500mm/min、つかみ具間距離80mm、及び標点間距離40mmの条件でサンプルの引張強さと切断時伸びを測定した。結果を表3,4に記載する。
Tiger3528パッケージ(信越化学工業株式会社製)に硬化性樹脂組成物をディスペンスし、60℃×1時間、100℃×1時間、次いで150℃×8時間の順でステップキュアし、硬化物でパッケージを封止した試験体を製造した。該試験体の20個について、−50℃〜140℃、1,000回のサーマルサイクル試験(TCT)を行い、封止物にクラックが生じた試験体の数を計測した。結果を表3,4に記載する。
Claims (8)
- (A)下記一般式(1)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有有機ケイ素化合物
で示される基であり、R2は独立に水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基であり、aは0〜500の整数であり、bは0〜5,000の整数であり、cは0〜500の整数であり、dは0〜500の整数であり、eは1〜500の整数であり、fは2〜100の整数である。]
を含む縮合硬化性樹脂組成物。 - (A)成分が、(A−1)上記式(1)において、bが0〜1,000の整数であり、1≦c+d≦1,000である水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有分岐状有機ケイ素化合物であることを特徴とする請求項1に記載の縮合硬化性樹脂組成物。
- (A)成分が、(A−2)下記一般式(3)
(R1 2SiO)b’Ze’(O0.5R2)2 (3)
(式中、R1、R2、Zは上記と同じであり、b’は0〜5,000の整数であり、e’は1〜500の整数であり、1≦b’+e’≦5,001である。)
で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子鎖両末端に有するシルフェニレンオリゴマー骨格含有直鎖状有機ケイ素化合物であることを特徴とする請求項1に記載の縮合硬化性樹脂組成物。 - 更に、(B)下記一般式(4)
(R1 3SiO0.5)g(R1 2SiO)h(R1SiO1.5)k(SiO2)p(O0.5R2)q
(4)
(式中、R1、R2は上記と同じであり、gは0〜500の整数であり、hは0〜5,000の整数であり、kは0〜500の整数であり、pは0〜500の整数であり、qは2〜100の整数であり、1≦h+k+p≦5,000である。)
で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有する有機ケイ素化合物を、(A)成分の合計100質量部に対して5〜500質量部含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の縮合硬化性樹脂組成物。 - (B)成分が、(B−1)上記一般式(4)において、hが0〜1,000の整数であり、1≦k+p≦1,000である水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有する分岐状有機ケイ素化合物を、(A)成分の合計100質量部に対して50〜500質量部含むことを特徴とする請求項4に記載の縮合硬化性樹脂組成物。
- (B)成分が、(B−2)下記一般式(5)
(R1 2SiO)h’(O0.5R2)2 (5)
(式中、R1、R2は上記と同じである。h’は1〜5,000の整数である。)
で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子鎖両末端に有する直鎖状有機ケイ素化合物を、(A)成分の合計100質量部に対して5〜200質量部含むことを特徴とする請求項4に記載の縮合硬化性樹脂組成物。 - 更に、(C)縮合触媒を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の縮合硬化性樹脂組成物。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の縮合硬化性樹脂組成物の硬化物で封止された半導体装置。
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2016
- 2016-02-18 JP JP2016028902A patent/JP6561871B2/ja active Active
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