JP2017103952A5 - - Google Patents

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5070674B2 (ja) * 2004-06-14 2012-11-14 富士ゼロックス株式会社 インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録装置
JP2010180738A (ja) * 2009-02-04 2010-08-19 Seiko Epson Corp マイクロポンプ
JP5708098B2 (ja) * 2011-03-18 2015-04-30 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出装置および画像形成装置
JP6060672B2 (ja) * 2012-12-20 2017-01-18 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及びその製造方法
JP6268999B2 (ja) * 2013-12-06 2018-01-31 セイコーエプソン株式会社 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、指アシスト装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置

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