JP2017103439A - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
半導体発光素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017103439A JP2017103439A JP2015238060A JP2015238060A JP2017103439A JP 2017103439 A JP2017103439 A JP 2017103439A JP 2015238060 A JP2015238060 A JP 2015238060A JP 2015238060 A JP2015238060 A JP 2015238060A JP 2017103439 A JP2017103439 A JP 2017103439A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- semiconductor layer
- layer
- light emitting
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Led Devices (AREA)
Abstract
【課題】良好な寿命特性を有し、且つ従来よりも光取り出し効率の向上した半導体発光素子を提供する。
【解決手段】半導体発光素子は、基板と、基板の上層に形成された、n型又はp型の第一半導体層と、活性層と、第一半導体層とは導電型の異なる第二半導体層とを含む半導体層と、第一半導体層の面のうち、活性層とは反対側の面に接触して形成された第一電極と、第二半導体層の面のうち、活性層とは反対側の面に接触し、基板の面に直交する方向に関して第一電極に対向する位置を含む領域に形成された第二電極とを備える。第一半導体層の面のうち、活性層とは反対側の面であって、第一電極が形成されていない領域の少なくとも一部は凹凸面で構成される。第二半導体層は、第一電極の外縁部よりも外側の位置において第二電極と接触している。
【選択図】 図1B
【解決手段】半導体発光素子は、基板と、基板の上層に形成された、n型又はp型の第一半導体層と、活性層と、第一半導体層とは導電型の異なる第二半導体層とを含む半導体層と、第一半導体層の面のうち、活性層とは反対側の面に接触して形成された第一電極と、第二半導体層の面のうち、活性層とは反対側の面に接触し、基板の面に直交する方向に関して第一電極に対向する位置を含む領域に形成された第二電極とを備える。第一半導体層の面のうち、活性層とは反対側の面であって、第一電極が形成されていない領域の少なくとも一部は凹凸面で構成される。第二半導体層は、第一電極の外縁部よりも外側の位置において第二電極と接触している。
【選択図】 図1B
Description
本発明は、半導体発光素子及びその製造方法に関する。
近年、窒化物半導体を用いた発光素子の開発が進められている。この発光素子は、n型半導体層と、p型半導体層と、これらn型半導体層及びp型半導体層に挟まれるように形成された活性層とを含んで構成される。n型半導体層とp型半導体層の間に電位差が設けられることで両者間に電流が流れ、活性層内で電子と正孔が再結合して発光する。活性層内で生成されたこの光を有効に利用すべく、種々の研究開発が進められている。
例えば、下記特許文献1には、いわゆる「縦型構造」を有する発光素子が開示されている。縦型構造の素子とは、活性層に対して基板に直交する方向に電圧が印加されることで、活性層が発光する素子を指す。
図5は、特許文献1に開示された半導体発光素子の断面図を模式的に示したものである。従来の半導体発光素子90は、基板91上に導電層92、反射膜93、絶縁層94、反射電極95、半導体層99、及びn側電極100を備えて構成される。半導体層99は、p型半導体層96、活性層97、及びn型半導体層98が基板91側から順に積層されて構成される。
絶縁層94の下層には金属材料からなる反射膜93が形成されているが、この反射膜93はオーミック性を有さず電極としての機能を奏さない。一方、反射電極95は金属材料からなり、p型半導体層96の間でオーミック接触が実現されることで電極(p側電極)として機能している。
反射電極95は、活性層97で生成された光のうち、基板91に向かう方向(図面下向き)に放射された光を反射させてn側半導体層98側(図面上向き)に取り出すことで、光の取り出し効率を高める目的を兼ねている。反射膜93も同様の目的で形成されており、反射電極95が形成されていない箇所を通過して下向きに進行した光を反射させてn側半導体層98側に進行方向を変えることで、光の取り出し効率が高められる。
しかし、活性層97から下向きに放射された光が反射膜93によって反射されて上向きに取り出されるに際し、この光は、反射膜93で反射される前と反射した後の2回にわたって、絶縁層94内を通過することになる。絶縁層94は透明膜として構成されるものの、この絶縁層94内を光が通過する際に数%の光が絶縁層94によって吸収されてしまう。より詳細には、活性層97から絶縁層94を通過して反射膜93に達するまでに3〜4%程度の光が吸収され、更に反射膜93で反射された光が絶縁層94を通過してn型半導体層98側の外部に取り出されるまでに更に3〜4%の光が吸収される。
つまり、従来の構成では、活性層97から放射された光のうち、下向きに放射された光を反射させて取り出し効率を高めてはいるものの、一部の光が絶縁層94内に吸収されてしまっているため、取り出し効率を十分に高められているとはいえない。
また、本発明者は、光取り出し効率を高めるべく、n型半導体層98の表面に凹凸を形成することを検討した。このとき、所定の時間以上発光を持続させると、発光しなくなる素子が顕在化することを見出した。
本発明は、上記の課題に鑑み、良好な寿命特性を有し、且つ従来よりも光取り出し効率の向上した半導体発光素子を提供することを目的とする。
本発明に係る半導体発光素子は、
基板と、
前記基板の上層に形成された、n型又はp型の第一半導体層と、活性層と、前記第一半導体層とは導電型の異なる第二半導体層とを含む半導体層と、
前記第一半導体層の面のうち、前記活性層とは反対側の面に接触して形成された第一電極と、
前記第二半導体層の面のうち、前記活性層とは反対側の面に接触し、前記基板の面に直交する方向に関して前記第一電極に対向する位置を含む領域に形成された第二電極とを備え、
前記第一半導体層の面のうちの、前記活性層とは反対側の面は、前記第一電極が形成されている領域内は平坦面で構成され、前記第一電極が形成されていない領域内の少なくとも一部は凹凸面で構成され、
前記第二半導体層は、前記第一電極の外縁部よりも外側の位置において、前記第二電極と接触していることを特徴とする。
基板と、
前記基板の上層に形成された、n型又はp型の第一半導体層と、活性層と、前記第一半導体層とは導電型の異なる第二半導体層とを含む半導体層と、
前記第一半導体層の面のうち、前記活性層とは反対側の面に接触して形成された第一電極と、
前記第二半導体層の面のうち、前記活性層とは反対側の面に接触し、前記基板の面に直交する方向に関して前記第一電極に対向する位置を含む領域に形成された第二電極とを備え、
前記第一半導体層の面のうちの、前記活性層とは反対側の面は、前記第一電極が形成されている領域内は平坦面で構成され、前記第一電極が形成されていない領域内の少なくとも一部は凹凸面で構成され、
前記第二半導体層は、前記第一電極の外縁部よりも外側の位置において、前記第二電極と接触していることを特徴とする。
上記の構成によれば、第一半導体層の面のうち、活性層とは反対側の面の少なくとも一部には凹凸面が形成されている。この結果、活性層から第一半導体層に向かって放射された光のうち、第一半導体層の面で反射されて活性層側に向かう光の量を減らすことができ、光取り出し量が向上する。
ところで、活性層で光を発光させるためには、第一電極と第二電極の間に電位差を発生させ、第一電極と第二電極との間に活性層を介した電流を流す。このとき、第一電極の外縁部及び第二電極の外縁部には電界が集中しやすい。電界が集中しやすい箇所が近接していると、この間で局所的に加熱が生じ、半導体層が劣化することが想定される。また、加熱に伴う温度上昇に起因して、電極を構成する材料がマイグレーションし、第一電極と第二電極とが短絡するおそれがある。これらの現象が生じると、発光素子はもはや不点灯状態になってしまう。すなわち、発光素子の寿命特性が低くなる。
特に、上記のように、第二半導体層の面のうち、活性層とは反対側の面に接触し、基板の面に直交する方向に関して前記第一電極に対向する位置を含む領域に第二電極を形成する場合、第二電極と第一電極の距離(基板の面に直交する方向に関する距離)が近づく。つまり、このような構成の下では、従来の発光素子よりも寿命特性が低下しやすくなる。
そこで、上記の構成では、第二電極を、第一電極の外縁部よりも更に外側の位置まで延伸させて形成することで、第一電極の外縁部と、第二電極の外縁部の離間距離を確保している。これにより、電界が集中しやすい領域同士の距離を離すことで、半導体層の劣化の進行や、マイグレーションの進行が抑制され、寿命特性が向上する。なお、第二電極の外縁部を、第一電極の外縁部よりも内側の位置とすることでも、両者間の離間距離を確保することはできるが、この場合、活性層内を流れる電流の、基板の面に平行な方向に関する拡がりが犠牲になってしまう。上記のような構成とすることで、光取り出し効率の向上と寿命特性の向上の双方を実現することができる。
また、上記の構成では、第一半導体層の面のうちの活性層とは反対側の面は、第一電極が形成されている領域が平坦面で構成されている。もし、この領域内の第一半導体層の面が凹凸面で形成されていると、第一半導体層の上面に第一電極を形成する際に、凹凸面の凹部内に第一電極を構成する材料が流入する可能性がある。このとき、第一電極と第二電極の距離が更に近づいてしまい、寿命特性の低下につながるおそれがある。第一電極が形成されている領域内においては、第一半導体層の面を平坦面とすることで、第一半導体層の凹凸面に第一電極の構成材料が流入することが抑制される。
上記の電流遮断層としては、例えばSiO2、SiN、Zr2O3、AlN、Al2O3等の絶縁性材料を用いることができる。
前記第二電極の面のうち、前記第二半導体層側の面の全面が前記第二半導体層と接触しているものとしても構わない。
この構成によれば、活性層から第二電極側へ放射された光が、第二電極で反射された後に第一半導体層へ向かう間に、第二半導体層と第二電極の間において、他の層による光吸収を実質的にゼロにすることができるため、光取り出し効率を従来よりも高めることができる。
前記第一半導体層の面のうち、前記活性層とは反対側の面であって、前記第一電極の外縁部よりも外側の領域は、平坦面で構成されているものとしても構わない。
上述したように、第二電極の外縁部は、第一電極の外縁部よりも外側に位置している。ここで、第一電極の外縁部よりも外側の領域において、第一半導体層の面に凹凸面が形成されている場合、第一半導体層の上面に第一電極を形成する際に、第一電極の構成材料が、第一半導体層の面上に設けられた凹部に流入するおそれがある。この凹部は、第二電極の外縁部に近いため、両者間の間で加熱が生じ、寿命特性が低下する可能性がある。上記の構成のように、第一電極の外縁部よりも外側の領域については、第一半導体層の表面を平坦面で構成することで、万一、第一電極の構成材料が第一半導体層の凹凸面に流入したとしても、第二電極の外縁部に近接した位置に流入する事態を回避することができる。
また、第一電極の外縁部よりも外側の領域については、第一電極の外縁部よりも内側の領域に比べて面積が極めて小さいため、第一半導体層の表面を凹凸面にするか平坦面にするかで、光取り出し量に大きな差異は生じない。よって、上記の構成によれば、高い光取り出し量を確保しながらも、寿命特性の向上した発光素子が実現される。
前記第二電極の外縁部は、前記第一電極の外縁部よりも外側で、且つ前記半導体層の外縁部よりも内側に配置されているものとしても構わない。
第二電極の外縁部が半導体層の外縁部よりも内側になるように第二電極を配置することで、第二電極は外気に暴露されることがなく、素子の内部に留められる。これにより、第二電極の構成材料がマイグレーションによって第一電極側に拡散するのを抑制する効果が得られる。
前記第二電極は、前記第二半導体層とは反対側の面よりも、前記第二半導体層側の面の方が面積が大きいものとしても構わない。より詳細には、前記第二電極の外縁部がナイフエッジ形状を示すように構成されるものとしても構わない。
上記のように第二電極をテーパー形状(特にナイフエッジ形状)とすることで、第二電極と電流遮断層の密着性が高められ、第二電極のマイグレーションをより確実に防止することができる。
前記基板の面に直交する方向に関して前記第一電極と対向する位置において、前記第二電極の面のうち、前記第二半導体層とは反対側の面に、直接又は他の導電層を介して接触して形成された電流遮断層を有するものとしても構わない。
上記の構成によれば、第一電極と第二電極の間を流れる電流が、基板の面に直交する方向に集中して流れるのが抑制される。これにより、活性層内を流れる電流を、基板の面に平行な方向に拡げる効果が得られ、発光効率が向上する。この結果、第二電極と第二半導体層の間に絶縁層を設ける必要がなくなるため、この絶縁層内での光吸収が抑制され、光取り出し効率が更に向上する。
前記第一電極の外縁部は、前記基板の面に直交する方向に見たときに枠形状を示すものとしても構わない。このとき、前記基板の面に直交する方向に発光素子を見たときに、第二電極と第二半導体層との接触位置は、この枠形状よりも外側であるものとしても構わない。
前記活性層は、ピーク波長が400nm以下の光を放射する窒化物半導体で構成されているものとしても構わない。
ピーク波長が400nm以下の光を発する発光素子においては、第一半導体層及び第二半導体層内での光吸収を抑制するため、これらの半導体層の厚みをなるべく薄くする必要がある。例えば、半導体層の厚みは5μm以下で構成される。このとき、基板の面に直交する方向に関し、第一電極と第二電極の離間距離が短くなり、上述したような半導体層の劣化の課題が生じやすくなる。しかし、上記の構成によれば、第二電極と第二半導体層との接触位置を、第一電極の外縁部よりも外側とすることで、第一電極の外縁部と、第二電極の外縁部の離間距離が確保されている。これにより、半導体層の劣化が抑制され、寿命特性が向上する。
本発明の半導体発光素子の製造方法は、
成長基板を準備する工程(a)と、
前記成長基板の上層に、n型又はp型の第一半導体層と、活性層と、前記第一半導体層とは導電型の異なる第二半導体層とを含む半導体層を形成する工程(b)と、
前記第二半導体層の上面に第二電極を形成する工程(c)と、
前記第二電極の上層に、接合層を介して前記成長基板とは別の支持基板を貼り合わせる工程(d)と、
前記成長基板を剥離して前記第一半導体層を露出させる工程(e)と、
露出した前記第一半導体層の表面を加工して、凹凸面と平坦面を形成する工程(f)と、
前記第一半導体層の面のうち、前記平坦面の一部に第一電極を形成する工程(g)とを有し、
前記工程(g)は、前記第一電極の構成材料を前記凹凸面に流入させないように前記第一電極を形成することを特徴とする。
成長基板を準備する工程(a)と、
前記成長基板の上層に、n型又はp型の第一半導体層と、活性層と、前記第一半導体層とは導電型の異なる第二半導体層とを含む半導体層を形成する工程(b)と、
前記第二半導体層の上面に第二電極を形成する工程(c)と、
前記第二電極の上層に、接合層を介して前記成長基板とは別の支持基板を貼り合わせる工程(d)と、
前記成長基板を剥離して前記第一半導体層を露出させる工程(e)と、
露出した前記第一半導体層の表面を加工して、凹凸面と平坦面を形成する工程(f)と、
前記第一半導体層の面のうち、前記平坦面の一部に第一電極を形成する工程(g)とを有し、
前記工程(g)は、前記第一電極の構成材料を前記凹凸面に流入させないように前記第一電極を形成することを特徴とする。
前記工程(g)は、具体的には、以下の方法で実現することができる。すなわち、
前記工程(g)は、
前記平坦面の面積よりも開口面積が小さい開口領域を含むレジストマスクを準備する工程(g1)と、
前記平坦面の一部領域を前記開口領域を介して露出させた状態で、前記第一半導体層の上面に前記レジストマスクを形成する工程(g2)と、
前記レジストマスクの上面及び前記開口領域を介して露出した前記第一半導体層の上面に、前記第一電極を構成する導電性材料を形成する工程(g3)と、
前記レジストマスクを除去して、前記平坦面の一部上面に前記第一電極を形成する工程(g4)とを有するものとしても構わない。
前記工程(g)は、
前記平坦面の面積よりも開口面積が小さい開口領域を含むレジストマスクを準備する工程(g1)と、
前記平坦面の一部領域を前記開口領域を介して露出させた状態で、前記第一半導体層の上面に前記レジストマスクを形成する工程(g2)と、
前記レジストマスクの上面及び前記開口領域を介して露出した前記第一半導体層の上面に、前記第一電極を構成する導電性材料を形成する工程(g3)と、
前記レジストマスクを除去して、前記平坦面の一部上面に前記第一電極を形成する工程(g4)とを有するものとしても構わない。
前記工程(c)は、前記第二半導体層の外縁部よりも内側の位置において前記第二半導体層の上面に接触して前記第二電極を形成する工程であるものとしても構わない。
前記工程(f)は、露出した前記第一半導体層の表面のうち、少なくとも外縁部に隣接した領域は前記平坦面を構成するように、表面を加工する工程であるものとしても構わない。
前記工程(g)は、前記第二半導体層と前記第二電極との接触位置よりも内側の位置に前記第一電極を形成する工程であるものとしても構わない。
前記工程(c)は、前記第二半導体層との接触面から離れるほどに面積が小さくなるような、テーパー形状を示す前記第二電極を形成する工程であるものとしても構わない。より詳細には、前記工程(c)は、外縁部がナイフエッジ形状を示すように前記第二電極を形成する工程であるものとしても構わない。
前記工程(g)は、前記支持基板の面に直交する方向に見たときに、外縁部が枠形状を示すような前記第一電極を形成する工程であるものとしても構わない。
前記工程(b)で形成される前記活性層は、ピーク波長が400nm以下の光を放射する窒化物半導体で構成されているものとしても構わない。
前記工程(b)で形成される前記半導体層は、厚みが5μm以下で構成されているものとしても構わない。
本発明によれば、良好な寿命特性を有し、且つ従来よりも光取り出し効率の向上した半導体発光素子が実現される。
本発明の半導体発光素子及びその製造方法につき、図面を参照して説明する。なお、各図において、図面の寸法比と実際の寸法比は必ずしも一致しない。また、以下において、「AlGaN」という記述は、AlmGa1−mN(0<m<1)という記述と同義であり、AlとGaの組成比の記述を単に省略して記載したものであって、AlとGaの組成比が1:1である場合に限定する趣旨ではない。「InGaN」等の記述についても同様である。
[構造]
図1A〜図1Bは、本発明の半導体発光素子の一実施形態の構成を模式的に示す図面である。図1Aは光取り出し方向から見たときの平面図に対応する。図1Bは、図1A内におけるX1−X1線で切断したときの断面図に対応する。以下では、光取り出し面をX−Y平面とし、このX−Y平面に直交する方向をZ方向と規定する。
図1A〜図1Bは、本発明の半導体発光素子の一実施形態の構成を模式的に示す図面である。図1Aは光取り出し方向から見たときの平面図に対応する。図1Bは、図1A内におけるX1−X1線で切断したときの断面図に対応する。以下では、光取り出し面をX−Y平面とし、このX−Y平面に直交する方向をZ方向と規定する。
図1Bに示すように、半導体発光素子1は、基板3と、基板3の上層に形成された半導体層5と、第一電極15と、第二電極13と、電流遮断層24とを備える。以下では、半導体発光素子1を単に「発光素子1」と適宜略記することがある。
(基板3)
基板3は、例えばCuW、W、Moなどの導電性基板、又はSiなどの半導体基板で構成される。
基板3は、例えばCuW、W、Moなどの導電性基板、又はSiなどの半導体基板で構成される。
(半導体層5)
本実施形態では、半導体層5は、基板3に近い側からp型半導体層11、活性層9及びn型半導体層7が順に積層されて形成されている。本実施形態では、n型半導体層7が「第一半導体層」に対応し、p型半導体層11が「第二半導体層」に対応する。
本実施形態では、半導体層5は、基板3に近い側からp型半導体層11、活性層9及びn型半導体層7が順に積層されて形成されている。本実施形態では、n型半導体層7が「第一半導体層」に対応し、p型半導体層11が「第二半導体層」に対応する。
p型半導体層11は、例えばMg、Be、Zn、又はCなどのp型不純物がドープされた窒化物半導体層で構成される。窒化物半導体層としては、例えばGaN、AlGaN、AlInGaN等を利用することができる。
活性層9は、例えばInGaNで構成される発光層及びn型AlGaNで構成される障壁層が周期的に繰り返されてなる半導体層で形成される。これらの層はアンドープでもp型又はn型にドープされていても構わない。活性層9は、少なくともエネルギーバンドギャップの異なる2種類の材料からなる層が積層されて構成されていればよい。活性層9の構成材料は、生成したい光の波長に応じて適宜選択される。本実施形態の発光素子1は、活性層9で生成される光の波長が400nm以下である。例えば、発光波長が365nmの場合、活性層9は、In0.006Ga0.994NとAl0.09Ga0.91Nとが繰り返し積層されて構成される。
n型半導体層7は、例えばSi、Ge、S、Se、Sn、又はTeなどのn型不純物がドープされた窒化物半導体層で構成される。この窒化物半導体層としては、例えばGaN、AlGaN、AlInGaN等を利用することができる。なお、n型半導体層7は、p型半導体層11と異なる組成の材料で構成されているものとしても構わない。
特に、発光素子1が波長400nm以下の光を放射する素子の場合、半導体層5,特にn型半導体層7内での光吸収を抑制するべく、光取り出し面を構成するn型半導体層7の厚みを薄くするのが好ましい。一例として、n型半導体層7の厚みは4.5μm以下であるのが好ましく、4μm以下であるのがより好ましく、3.5μm以下であるのが更により好ましい。なお、半導体層5全体の厚みとしては、5μm以下であるのが好ましく、4.5μm以下であるのがより好ましく、4μm以下であるのが更により好ましい。半導体層5のうち、p型半導体層11及び活性層9と比較して、n型半導体層7の厚みが十分に大きい。
(第一電極15)
第一電極15は、第一半導体層7の面のうち、活性層9とは反対側の面に形成されている。本実施形態では、第一電極15はn側の電極を構成する。第一電極15は、例えば、Ni/Al/Ni/Ti/Auの多層構造の他、Cr/Au、Ti/Pt/Au、Ti/Pt/Cr/Au/Cr/Pt/Au等で構成することができる。
第一電極15は、第一半導体層7の面のうち、活性層9とは反対側の面に形成されている。本実施形態では、第一電極15はn側の電極を構成する。第一電極15は、例えば、Ni/Al/Ni/Ti/Auの多層構造の他、Cr/Au、Ti/Pt/Au、Ti/Pt/Cr/Au/Cr/Pt/Au等で構成することができる。
図1Aに示すように、第一電極15は、Z方向に見たときに枠形状を示す。より詳細には、第一電極15の外縁部は、半導体層5(第一半導体層7)の外縁部に沿って枠形状を有して構成されている。なお、図1Aに示す発光素子1は、枠形状を示す第一電極15の外縁部の内側の2箇所で、外縁部からX方向に離間した位置に、Y方向に延伸した2本の第一電極15を有している。しかし、枠形状を示す領域の内側において、第一電極15の延伸する本数は2本に限られるものではなく、1本でもよいし、3本以上であっても構わない。図1Aに示した第一電極15の形状はあくまで一例であり、設計に応じて任意に変更可能である。
第一電極15は、一部の箇所において、電流供給線14が連結される電流供給部15aを含んで構成される。電流供給部15aは、第一電極15の他の領域と比較して幅広の領域を示す。電流供給線14は、例えばAu、Cuなどで構成されている。電流供給線14は、電流供給部15aが連結されている端部とは反対側の端部は、例えばパッケージ基板の給電パターンなどに接続されている。
(第二電極13)
第二電極13は、p型半導体層11に接触して形成されており、p型半導体層11との間でオーミック接触が形成されている。本実施形態では、第二電極13はp側電極を構成する。
第二電極13は、p型半導体層11に接触して形成されており、p型半導体層11との間でオーミック接触が形成されている。本実施形態では、第二電極13はp側電極を構成する。
第一電極15と第二電極13との間に電圧が印加されることで、活性層9内を電流が流れ、活性層9が発光する。
第二電極13は、活性層9から放射される光に対して高い反射率(例えば80%以上であり、より好ましくは90%以上)を示す導電性の材料で構成されるのが好ましい。より具体的には、第二電極13は、例えばAg、Al、又はRhを含む材料で構成される。上述したように、図1Aに示す発光素子1は、活性層9から放射された光をn型半導体層7側に取り出すことが想定されている。第二電極13を高い反射率を示す材料で構成することで、活性層9から基板3側に向けて放射された光がn型半導体層7側に向けて反射されるため、光取り出し効率が高められる。
図1Aに示すように、第二電極13は、基板3の面に直交する方向に関して第一電極15に対向する位置を含む領域に形成されている。この点については、図1Cを参照して後述される。
(導電層20)
導電層20は、基板3の上層に形成されている。本実施形態では、導電層20は、保護層23、接合層21、接合層19、保護層17、及び保護層16の多層構造で構成されている。
導電層20は、基板3の上層に形成されている。本実施形態では、導電層20は、保護層23、接合層21、接合層19、保護層17、及び保護層16の多層構造で構成されている。
接合層19及び接合層21は、例えばAu−Sn、Au−In、Au−Cu−Sn、Cu−Sn、Pd−Sn、Snなどで構成される。後述するように、これらの接合層19と接合層21は、基板3上に形成された接合層21と、別の基板(後述する成長基板25)上に形成された接合層19を対向させた後に、両者を貼り合わせることで形成されたものである。これらの接合層19及び接合層21は、単一の層として一体化されているものとしても構わない。
保護層16及び保護層17は、例えばNi/Ti/Pt、TiW/Pt等の多層構造で構成されており、接合層(19,21)を構成する材料が第二電極13側に拡散して、第二電極13の反射率が低下することを抑制する目的で設けられている。ただし、発光素子1が、保護層16又は保護層17を備えるか否かは任意である。
保護層23は、例えば保護層17と同一の材料で構成され、接合層(19,21)を構成する材料が基板3側に拡散するのを抑制する目的で設けられている。ただし、発光素子1が保護層23を備えるか否かは任意である。
(電流遮断層24)
電流遮断層24は、例えばSiO2、SiN、Zr2O3、AlN、Al2O3などで構成される。電流遮断層24は、Z方向に関して、第一電極15と対向する位置に形成されている。電流遮断層24は、活性層9を流れる電流を、XY平面に平行な方向に拡げる役割を果たしている。更に、電流遮断層24は半導体層5の外側の位置にも形成されており、製造方法の説明の際に後述するように(ステップS11)、素子分離時におけるエッチングストッパー層としても機能する。
電流遮断層24は、例えばSiO2、SiN、Zr2O3、AlN、Al2O3などで構成される。電流遮断層24は、Z方向に関して、第一電極15と対向する位置に形成されている。電流遮断層24は、活性層9を流れる電流を、XY平面に平行な方向に拡げる役割を果たしている。更に、電流遮断層24は半導体層5の外側の位置にも形成されており、製造方法の説明の際に後述するように(ステップS11)、素子分離時におけるエッチングストッパー層としても機能する。
図1Cは、図1Bに示す発光素子1の模式的な断面図の一部を拡大した図面である。図1B及び図1Cに示すように、n型半導体層7の面のうち、活性層9とは反対側の面、すなわち光取り出し面を構成する側の面が、凹凸面7aと平坦面7bとで構成されている。特に、図1B及び図1Cに示す発光素子1では、n型半導体層7の面のうち、第一電極15が形成されていない領域の面の少なくとも一部が凹凸面7aで構成され、第一電極15が形成されている領域の面が平坦面7bで構成されている。
更に、図1Cに示すように、第一電極15の幅(内径)15dよりも、第一半導体層7の平坦面7bの幅(内径)の方が大きい。すなわち、第一電極15は、当該第一電極の底面全体が第一半導体層7の平坦面7bに接触して形成されている。
更に、図1Cに示すように、第二電極13は、基板3の面に直交する方向に関して第一電極15と対向する位置に配置されるとともに、第一電極15の外縁部よりも外側の位置に伸び出すように形成されている。そして、当該第二電極13は、第一電極15の外縁部よりも外側に伸び出している位置において、第二半導体層11と接触している(領域13A)。つまり、図1Aにおいて、枠状部を示す第一電極15の外縁部よりも外側の位置で、第二電極13と第二半導体層11とが接触している。なお、図1Bに示すように、本実施形態の発光素子1は、第二電極13の一方の面の全面が第二半導体層11に接触している。
なお、図1Dに示すように、第二電極13は、テーパ形状13Bを示すように形成されているものとしても構わない。特に、第二電極13は、外縁部が鋭利であるとともに、p型半導体層12から離れるほどに面積が小さくなるナイフエッジ形状を有していることが好ましい。図1Dは、図1Cと同様に、図1Bに示す発光素子1の模式的な断面図の一部を拡大した図面である。図1Dに示す構造では、第二電極13は、第二半導体層11と反対側の面よりも、第二半導体層11側の面の方が面積が大きくなるように、テーパー形状を有して形成されている。
また、上述したように、発光素子1が保護層16を備えるか否かは任意である。図1Eに、保護層16を備えない発光素子1の断面図を模式的に示す。この場合、第二電極13の面のうち、第二半導体層11とは反対側の面と、電流遮断層24とは直接接触している。なお、図1Bに示す発光素子1では、第二電極13の面のうち、第二半導体層11とは反対側の面と、電流遮断層24とは、保護層17を介して接触している。
以下、発光素子1の製造方法を説明した後、発光素子1の作用について述べる。
[製造方法]
発光素子1の製造方法につき、図2A〜図2Rを参照して説明する。なお、以下で説明する製造条件や膜厚等の寸法はあくまで一例である。なお、以下の図2A〜図2Rは、いずれも図1Bと同じ方向に係る模式的な断面図に対応する。
発光素子1の製造方法につき、図2A〜図2Rを参照して説明する。なお、以下で説明する製造条件や膜厚等の寸法はあくまで一例である。なお、以下の図2A〜図2Rは、いずれも図1Bと同じ方向に係る模式的な断面図に対応する。
(ステップS1)
図2Aに示すように、成長基板25を準備する。成長基板25としては、一例としてC面を有するサファイア基板を用いることができる。
図2Aに示すように、成長基板25を準備する。成長基板25としては、一例としてC面を有するサファイア基板を用いることができる。
準備工程として、成長基板25のクリーニングを行う。このクリーニングは、より具体的な一例としては、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:有機金属化学気相蒸着)装置の処理炉内に成長基板25を配置し、処理炉内に所定の流量の水素ガスを流しながら、炉内温度を例えば1150℃に昇温することにより行われる。
ステップS1が工程(a)に対応する。
(ステップS2)
図2Bに示すように、成長基板25の上層に、下地層27、n型半導体層7、活性層9、及びp型半導体層11を順に形成する。このステップS2は、例えば以下の手順で行われる。
図2Bに示すように、成長基板25の上層に、下地層27、n型半導体層7、活性層9、及びp型半導体層11を順に形成する。このステップS2は、例えば以下の手順で行われる。
まず、МОCVD装置の炉内圧力を100kPa、炉内温度を480℃とする。そして、処理炉内にキャリアガスとして流量がそれぞれ5slmの窒素ガス及び水素ガスを流しながら、原料ガスとして、流量が50μmol/minのトリメチルガリウム(TMG)及び流量が250000μmol/minのアンモニアを処理炉内に68秒間供給する。これにより、成長基板25の表面に、厚みが20nmのGaNよりなる低温バッファ層を形成する。
次に、MOCVD装置の炉内温度を1150℃に昇温する。そして、処理炉内に、キャリアガスとして、流量が20slmの窒素ガス及び流量が15slmの水素ガスを流しながら、原料ガスとして、流量が100μmol/minのTMG及び流量が250000μmol/minのアンモニアを処理炉内に30分間供給する。これにより、低温バッファ層の表面に、厚みが1.7μmのGaNよりなるバッファ層を形成する。これらのバッファ層により下地層27が形成される。
次に、下地層27の上層にn型半導体層7を形成する。n型半導体層7の具体的な形成方法は、例えば以下の通りである。
まず、引き続き炉内温度を1150℃とした状態で、MOCVD装置の炉内圧力を30kPaとする。そして、処理炉内にキャリアガスとして流量が20slmの窒素ガス及び流量が15slmの水素ガスを流しながら、原料ガスとして、流量が94μmol/minのTMG、流量が6μmol/minのトリメチルアルミニウム(TMA)、流量が250000μmol/minのアンモニア及び流量が0.013μmol/minのテトラエチルシランを処理炉内に60分間供給する。これにより、例えばAl0.06Ga0.94Nの組成を有し、厚みが2μmのn型半導体層7が下地層27の上層に形成される。なお、n型半導体層7をGaN又はAlGaNで構成する場合、Alの組成比は、0%以上以上15%以下であるのが好ましく、2%以上11%以下であるのがより好ましく、5%以上9%以下であるのが更により好ましい。
なお、この後、TMAの供給を停止すると共に、それ以外の原料ガスを6秒間供給することにより、n型AlGaN層の上層に、厚みが5nm程度のn型GaNよりなる保護層を有してなるn型半導体層7を実現してもよい。なお、上述したように、n型半導体層7の厚みは、4.5μm以下であるのが好ましく、4μm以下であるのがより好ましく、3.5μm以下であるのが更により好ましい。
上記の説明では、n型半導体層7に含まれるn型不純物をSiとする場合について説明したが、n型不純物としては、Si以外にGe、S、Se、Sn又はTe等を用いることができる。
次に、n型半導体層7の上層に活性層9を形成する。活性層9の具体的な形成方法は、例えば以下の通りである。
まずMOCVD装置の炉内圧力を100kPa、炉内温度を830℃とする。そして、処理炉内にキャリアガスとして流量が15slmの窒素ガス及び流量が1slmの水素ガスを流しながら、原料ガスとして、流量が10μmol/minのTMG、流量が12μmol/minのトリメチルインジウム(TMI)及び流量が300000μmol/minのアンモニアを処理炉内に48秒間供給するステップを行う。その後、流量が10μmol/minのTMG、流量が1.6μmol/minのTMA、0.002μmol/minのテトラエチルシラン及び流量が300000μmol/minのアンモニアを処理炉内に120秒間供給するステップを行う。以下、これらの2つのステップを繰り返すことにより、厚みが2nmのInGaNよりなる発光層、及び厚みが7nmのn型AlGaNよりなる障壁層が15周期積層されてなる活性層9が、n型半導体層7の上層に形成される。
なお、活性層9から放射される光の波長を400nm以下とする場合には、発光層を構成するInGaNのIn組成比を10%以下とするのが好ましい。この場合、障壁層を構成するGaN又はAlGaNのAl組成比を、0%以上15%以下とするのが好ましく、2%以上13%以下とするのがより好ましく、5%以上10%以下とするのが更により好ましい。
次に、活性層9の上層にp型半導体層11を形成する。p型半導体層11の具体的な形成方法は、例えば以下の通りである。
具体的には、MOCVD装置の炉内圧力を100kPaに維持し、処理炉内にキャリアガスとして流量が15slmの窒素ガス及び流量が25slmの水素ガスを流しながら、炉内温度を1025℃に昇温する。その後、原料ガスとして、流量が35μmol/minのTMG、流量が20μmol/minのTMA、流量が250000μmol/minのアンモニア及びp型不純物をドープするための流量が0.1μmol/minのビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)を処理炉内に60秒間供給する。これにより、活性層33の表面に、厚みが20nmのAl0.3Ga0.7Nの組成を有する正孔供給層を形成する。その後、TMAの流量を4μmol/minに変更して原料ガスを360秒間供給することにより、厚みが120nmのAl0.13Ga0.87Nの組成を有する正孔供給層を形成する。これらの正孔供給層によりp型半導体層11が形成される。
なお、この工程の後、TMAの供給を停止すると共に、CP2Mgの流量を0.2μmol/minに変更して原料ガスを20秒間供給することにより、厚みが5nm程度で、p型不純物濃度が1×1020/cm3程度のp型GaN層を有してなるp型半導体層11を実現してもよい。
上記の説明では、p型半導体層11に含まれるp型不純物をMgとする場合について説明したが、p型不純物としては、Mg以外に、Be、Zn、又はC等を用いることもできる。
ステップS2が工程(b)に対応する。
(ステップS3)
ステップS2で得られたウェハに対して活性化処理を行う。具体的な一例としては、RTA(Rapid Thermal Anneal:急速加熱)装置を用いて、窒素雰囲気下中650℃で15分間の活性化処理を行う。
ステップS2で得られたウェハに対して活性化処理を行う。具体的な一例としては、RTA(Rapid Thermal Anneal:急速加熱)装置を用いて、窒素雰囲気下中650℃で15分間の活性化処理を行う。
(ステップS4)
次に、図2Cに示すように、p型半導体層11の上面の所定箇所に第二電極13を形成する。第二電極13の具体的な形成方法は、例えば以下の通りである。
次に、図2Cに示すように、p型半導体層11の上面の所定箇所に第二電極13を形成する。第二電極13の具体的な形成方法は、例えば以下の通りである。
スパッタリング装置を用いて、p型半導体層11の所定の領域の上面に、膜厚0.7nmのNi及び膜厚150nmのAgを成膜する。その後、RTA装置を用いてドライエア雰囲気中で400℃、2分間のコンタクトアニールを行う。なお、第二電極13の材料としては、NiとAgの合金の他、Al、Rh、AgとPdとCuの合金等によって第二電極13を形成することもできる。
ステップS4が工程(c)に対応する。
(ステップS5)
図2Cに示すように、第二電極13の上面に保護層16を形成する。例えば、電子線蒸着装置(EB装置)を用いて、膜厚80nmのNi、膜厚100nmのTi、及び膜厚200nmのPtを成膜することで保護層16を形成する。なお、保護層16の材料としては、Ni/Ti/Pt以外にも、TiW/Pt等を用いることができる。なお、本ステップS5を行うか否かは任意である。
図2Cに示すように、第二電極13の上面に保護層16を形成する。例えば、電子線蒸着装置(EB装置)を用いて、膜厚80nmのNi、膜厚100nmのTi、及び膜厚200nmのPtを成膜することで保護層16を形成する。なお、保護層16の材料としては、Ni/Ti/Pt以外にも、TiW/Pt等を用いることができる。なお、本ステップS5を行うか否かは任意である。
(ステップS6)
図2Dに示すように、露出しているp型半導体層11の上面、及び、保護層16の上面の所定の領域に、電流遮断層24を形成する。電流遮断層24は、例えば、SiO2、SiN、Zr2O3、AlN、又はAl2O3等をスパッタリング法等によって成膜することで形成される。
図2Dに示すように、露出しているp型半導体層11の上面、及び、保護層16の上面の所定の領域に、電流遮断層24を形成する。電流遮断層24は、例えば、SiO2、SiN、Zr2O3、AlN、又はAl2O3等をスパッタリング法等によって成膜することで形成される。
なお、本ステップS6において、電流遮断層24は、後のステップで第一電極15を形成する予定の領域に対して、Z方向に対向する位置に形成される。
なお、図2Eに示すように、ステップS4において、第二電極13をテーパー形状13Bを有して形成するものとしても構わない。このように形成することで、ステップS6において、電流遮断層24を第二電極13の側面及び上方に形成しやすくなる。これにより、第二電極13の側方を電流遮断層24によって密着して覆うことができる。
(ステップS7)
図2Fに示すように、保護層16及び電流遮断層24の上面全体に保護層17を形成し、保護層17の上面に接合層19を形成する。保護層17は、保護層16と同様の方法で形成される。例えば、電子線蒸着装置(EB装置)を用いて、TiとPtを多周期積層させることで形成される。その後、保護層17の上面に、膜厚10nmのTiを蒸着させた後、Au80%Sn20%で構成されるAu−Snハンダを膜厚3μm蒸着させることで、接合層19が形成される。なお、接合層19としては、Au−Snハンダの他、Au−In、Au−Cu−Sn、Cu−Sn、Pd−Sn、Sn等を利用することができる。なお、保護層17を設けるか否かは任意である。
図2Fに示すように、保護層16及び電流遮断層24の上面全体に保護層17を形成し、保護層17の上面に接合層19を形成する。保護層17は、保護層16と同様の方法で形成される。例えば、電子線蒸着装置(EB装置)を用いて、TiとPtを多周期積層させることで形成される。その後、保護層17の上面に、膜厚10nmのTiを蒸着させた後、Au80%Sn20%で構成されるAu−Snハンダを膜厚3μm蒸着させることで、接合層19が形成される。なお、接合層19としては、Au−Snハンダの他、Au−In、Au−Cu−Sn、Cu−Sn、Pd−Sn、Sn等を利用することができる。なお、保護層17を設けるか否かは任意である。
(ステップS8)
図2Gに示すように、成長基板25とは別に準備された基板3(支持基板3)の上面に、保護層23及び接合層21を形成する。基板3としては、上述したようにCuW、W、Mo等の導電性基板、又はSi等の半導体基板を利用することができる。保護層23は、保護層17と同様に形成することができ、接合層21は、接合層19と同様に形成することができる。保護層23を設けるか否かは任意である。
図2Gに示すように、成長基板25とは別に準備された基板3(支持基板3)の上面に、保護層23及び接合層21を形成する。基板3としては、上述したようにCuW、W、Mo等の導電性基板、又はSi等の半導体基板を利用することができる。保護層23は、保護層17と同様に形成することができ、接合層21は、接合層19と同様に形成することができる。保護層23を設けるか否かは任意である。
(ステップS9)
図2Hに示すように、成長基板25の上層に形成された接合層19と、基板3の上層に形成された接合層21を貼り合わせることで、成長基板25と基板3の貼り合わせを行う。具体的な一例としては、280℃の温度、0.2MPaの圧力下で、貼り合わせ処理が行われる。
図2Hに示すように、成長基板25の上層に形成された接合層19と、基板3の上層に形成された接合層21を貼り合わせることで、成長基板25と基板3の貼り合わせを行う。具体的な一例としては、280℃の温度、0.2MPaの圧力下で、貼り合わせ処理が行われる。
この工程により、接合層19及び接合層21が溶融して接合されることで、基板3と成長基板25が表裏面に貼り合わされた構造が形成される。つまり、接合層19と接合層21は、本ステップ以後においては一体化されているものとして構わない。そして、本ステップS9の実行前の段階で保護層23及び保護層17が形成されていることで、接合層(19,21)の構成材料の拡散が抑制されている。
本ステップS9が、工程(d)に対応する。
(ステップS10)
図2Iに示すように、成長基板25を剥離する。より具体的には、成長基板25側からレーザ光を照射する。ここで、照射するレーザ光を、成長基板25の構成材料(本実施形態ではサファイア)を透過し、下地層27の構成材料(本実施形態ではGaN)によって吸収されるような波長の光とする。これにより、下地層27でレーザ光が吸収されるため、成長基板25と下地層27の界面が高温化してGaNが分解され、成長基板25が剥離される。
図2Iに示すように、成長基板25を剥離する。より具体的には、成長基板25側からレーザ光を照射する。ここで、照射するレーザ光を、成長基板25の構成材料(本実施形態ではサファイア)を透過し、下地層27の構成材料(本実施形態ではGaN)によって吸収されるような波長の光とする。これにより、下地層27でレーザ光が吸収されるため、成長基板25と下地層27の界面が高温化してGaNが分解され、成長基板25が剥離される。
その後、ウェハ上に残存している金属Gaを塩酸等を用いて除去した後、GaN(下地層27)をICP装置を用いたドライエッチングによって除去し、n型半導体層7を露出させる。なお、本ステップS10において下地層27が除去されて、p型半導体層11、活性層9、及びn型半導体層7が、基板3側からこの順に積層されてなる半導体層5が残存する(図2J参照)。
本ステップS10が、工程(e)に対応する。
(ステップS11)
図2Kに示すように、隣接する素子同士を分離する。具体的には、隣接素子との境界領域に対し、ICP装置を用いて電流遮断層24の上面が露出するまで半導体層5をエッチングする。このとき、電流遮断層24がエッチングストッパー層として機能する。なお、図2Kでは、半導体層5の側面が鉛直方向に対して傾斜を有するように図示しているが、これは一例であって、このような形状に限定する趣旨ではない。
図2Kに示すように、隣接する素子同士を分離する。具体的には、隣接素子との境界領域に対し、ICP装置を用いて電流遮断層24の上面が露出するまで半導体層5をエッチングする。このとき、電流遮断層24がエッチングストッパー層として機能する。なお、図2Kでは、半導体層5の側面が鉛直方向に対して傾斜を有するように図示しているが、これは一例であって、このような形状に限定する趣旨ではない。
(ステップS12)
図2Lに示すように、n型半導体層7の上面の所定の領域にレジストマスク31を形成する。レジストマスク31としては、フォトレジストの他、酸によって除去が可能な金属膜や絶縁膜を用いることもできる。
図2Lに示すように、n型半導体層7の上面の所定の領域にレジストマスク31を形成する。レジストマスク31としては、フォトレジストの他、酸によって除去が可能な金属膜や絶縁膜を用いることもできる。
なお、本ステップS12において、レジストマスク31の幅31dは、後のステップで形成される第一電極15の幅15d(図1C参照)よりも幅広に設計されるのが好ましい。ただし、フォトリソグラフィ工程を極めて高精度で行うことができる場合においては、レジストマスク31の幅31dを、第一電極15の幅15dにほぼ等しく設計しても構わない。
(ステップS13)
図2Mに示すように、露出されたn型半導体層7の表面をエッチングすることで、凹凸面7aを形成する。具体的な方法の一例としては、ウェハをKOH等のアルカリ溶液に浸すことで実現される。これにより、レジストマスク31で覆われている領域のn型半導体層7はエッチングされずに平坦な面が維持される一方、レジストマスク31で覆われておらず、露出している領域のn型半導体層7はエッチングされて凹凸面7aが形成される。
図2Mに示すように、露出されたn型半導体層7の表面をエッチングすることで、凹凸面7aを形成する。具体的な方法の一例としては、ウェハをKOH等のアルカリ溶液に浸すことで実現される。これにより、レジストマスク31で覆われている領域のn型半導体層7はエッチングされずに平坦な面が維持される一方、レジストマスク31で覆われておらず、露出している領域のn型半導体層7はエッチングされて凹凸面7aが形成される。
その後、図2Nに示すように、レジストマスク31を剥離する。これにより、n型半導体層7の表面には、凹凸面7aと平坦面7bとが形成される。なお、光取り出し効率を向上する観点からは、凹凸面7aの凹部深さは、0.3μm以上3μm以下であるのが好ましく、0.4μm以上2.5μm以下であるのがより好ましい。
ステップS12〜S13が工程(f)に対応する。
(ステップS14)
図2Oに示すように、n型半導体層7の上面の所定の領域、及び半導体層5の側面にレジストマスク33を形成する。このとき、ステップS13によって形成された凹凸面7a、及び一部の平坦面7bを覆うようにレジストマスク33が形成される。すなわち、レジストマスク33の幅33dは、n型半導体層7の平坦面7bの幅よりも狭い。
図2Oに示すように、n型半導体層7の上面の所定の領域、及び半導体層5の側面にレジストマスク33を形成する。このとき、ステップS13によって形成された凹凸面7a、及び一部の平坦面7bを覆うようにレジストマスク33が形成される。すなわち、レジストマスク33の幅33dは、n型半導体層7の平坦面7bの幅よりも狭い。
なお、本ステップS14で形成されるレジストマスク33は、第二電極13の外縁部と第二半導体層11が接触している位置(領域13A)よりも、内側に開口部が設けられる。
本ステップS14が工程(g1)〜(g2)に対応する。
(ステップS15)
図2Pに示すように、露出しているn型半導体層7の上面、及びレジストマスク33の上面に、第一電極15の構成材料を形成する。具体的には、電子線蒸着装置によって例えばNi/Al/Ni/Ti/Auからなる導電性材料を、例えば膜厚3μm程度蒸着させる。
図2Pに示すように、露出しているn型半導体層7の上面、及びレジストマスク33の上面に、第一電極15の構成材料を形成する。具体的には、電子線蒸着装置によって例えばNi/Al/Ni/Ti/Auからなる導電性材料を、例えば膜厚3μm程度蒸着させる。
上述したように、レジストマスク33の開口幅33dは、n型半導体層7の平坦面7bの幅よりも狭い。よって、第一電極15の構成材料が、n型半導体層7の凹凸面7a内に流入する事態が抑制される。
本ステップS15が工程(g3)に対応する。
(ステップS16)
図2Qに示すように、レジストマスク33を剥離する。本ステップによって、n型半導体層7の平坦面7bの上面に、第一電極15が形成される。このとき、形成される第一電極15は、図1Aを参照して上述したように、外縁部が枠形状を示す。
図2Qに示すように、レジストマスク33を剥離する。本ステップによって、n型半導体層7の平坦面7bの上面に、第一電極15が形成される。このとき、形成される第一電極15は、図1Aを参照して上述したように、外縁部が枠形状を示す。
上記ステップS12〜S16を経て形成された第一電極15の幅15dは、n型半導体層7の平坦面7bの幅よりも狭い。そして、n型半導体層7の凹凸面7a内に、第一電極15の構成材料が流入することなく、n型半導体層7の平坦面7b上に第一電極15が形成される。
本ステップS16を経て形成された第一電極15は、Z方向(基板3の面に直交する方向)に関し、電流遮断層24と対向する位置に配置される。また、第一電極15の外縁部よりも外側において、n型半導体層7の上面は平坦面7bで構成される。また、第一電極15の外縁部よりも外側において、第二電極13と第二半導体層11が接触している(上述した図1Cに示す領域13A)。
本ステップS16が工程(g4)に対応する。なお、ステップS14〜S16が工程(g)に対応する。
(ステップS17)
図2Rに示すように、ウェハをチップ単位に分割する。具体的な一例としては、各素子同士を例えばレーザダイシング装置によって分離する。
図2Rに示すように、ウェハをチップ単位に分割する。具体的な一例としては、各素子同士を例えばレーザダイシング装置によって分離する。
その後、基板3の裏面を例えばAgペーストにてパッケージと接合し、電流供給部15aに対して電流供給線14を連結させる。例えば、50gの荷重で、Φ100μmの電流供給部15aにAuからなる電流供給線14を連結させることで、ワイヤボンディングを行う。これにより、図1A〜図1Bに示す発光素子1が形成される。
[検証]
以下、実施例及び参考例を参照して説明する。なお、いずれの発光素子も、ピーク発光波長が365nmであり、半導体層5の厚み(平坦面7bからp型半導体層11までの厚み)が2.6μm以上2.9μm以下の範囲内である。
以下、実施例及び参考例を参照して説明する。なお、いずれの発光素子も、ピーク発光波長が365nmであり、半導体層5の厚み(平坦面7bからp型半導体層11までの厚み)が2.6μm以上2.9μm以下の範囲内である。
(実施例1)
ステップS1〜S17を経て製造された発光素子1を、実施例1の素子とした。
ステップS1〜S17を経て製造された発光素子1を、実施例1の素子とした。
(参考例1)
図3Aに参考例1の発光素子の模式的な断面図を示す。参考例1の発光素子51は、第一電極15の外縁部と、第二電極13の外縁部が、Z方向に対向するように配置されている点が、実施例1の発光素子1とは異なっている。更に、参考例1の発光素子52はn型半導体層7の凹凸面7aが第一電極15の端部近傍まで配置されており、ステップS15によって、第一電極15の構成材料が凹凸面7aの凹部領域内に一部流入している(領域15x)。
図3Aに参考例1の発光素子の模式的な断面図を示す。参考例1の発光素子51は、第一電極15の外縁部と、第二電極13の外縁部が、Z方向に対向するように配置されている点が、実施例1の発光素子1とは異なっている。更に、参考例1の発光素子52はn型半導体層7の凹凸面7aが第一電極15の端部近傍まで配置されており、ステップS15によって、第一電極15の構成材料が凹凸面7aの凹部領域内に一部流入している(領域15x)。
図3Bに参考例2の発光素子の模式的な断面図を示す。参考例2の発光素子52は、参考例1の発光素子51と同様に、n型半導体層7の凹凸面7aが第一電極15の端部近傍まで配置されており、ステップS15によって、第一電極15の構成材料が凹凸面7aの凹部領域内に一部流入している(領域15x)。ただし、実施例1の発光素子1と同様に、第二電極13の外縁部と第二半導体層11との接触位置は、第一電極15の外縁部よりも外側である。
これら実施例1、参考例1、参考例2の各発光素子に対して、アルミ基板上にパッケージを実装し、25℃〜35℃のアルミ板に密着させた状態で連続点灯試験を行った。この結果を図4に示す。
実施例1の発光素子については、8000時間連続点灯後に不点灯状態になった割合(故障率)は4%に留まった。これに対し、参考例1の発光素子の故障率は29%であり、参考例2の発光素子の故障率は17%であった。なお、不点灯になった発光素子の断面を走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope:SEM)で観察し、エネルギー分散型X線分析(Energy dispersive X-ray spectrometry:EDS)の手法を用いて分析を行うと、第一電極15の近傍箇所に、第二電極13の構成材料であるAg成分が検出された。更に、不点灯になった発光素子のうちの一部は、第二電極13の外縁部(端部)と第一電極15の外縁部(端部)との間で、半導体層5にクラックが発現していることが確認された。
本発明者は、上記の現象の原因として、第一電極15の外縁部の近傍と、第二電極13の外縁部の近傍とに電界が集中したことで、これらの領域が局所的に加熱され、クラックや欠陥を通じて、第二電極13の構成材料が第一電極15側へと拡散(マイグレーション)したことによるものであると推察した。マイグレーションは温度が高いほど進展しやすいため、加熱によって温度が上昇したことで、第二電極13の構成材料が拡散しやすい環境下になっていたものと考えられる。
参考例2の発光素子52は、参考例1の発光素子51と比較して故障率が低下している。この理由としては、参考例2の発光素子52では、第一電極15の外縁部と、第二電極13の外縁部とのXY平面方向の離間距離が確保されたことで、第二電極13の構成材料が第一電極15に達するまで拡散した発光素子の数が、参考例1よりも減少したことによるものと考えられる。
実施例1の発光素子1は、参考例2の発光素子52よりも更に故障率が低下している。この理由としては、実施例1の発光素子1では、第一電極15の凹凸面7a内に第一電極15の構成材料を流入させない構成としたことで、第二電極13と第一電極15とのZ方向の離間距離が確保されたことで、第二電極13の構成材料が第一電極15に達するまで拡散した発光素子の数が、参考例2よりも減少したことによるものと考えられる。
[別実施形態]
以下、別実施形態につき説明する。
以下、別実施形態につき説明する。
〈1〉上記の実施形態では、半導体層5を構成する層のうち、基板3に近い側をp型半導体層11とし、基板3から遠い側をn型半導体層7として説明したが、これらの導電型を反転させても構わない。
〈2〉 上記の実施形態では、発光素子1が保護層(16,17)を備えているものとして説明したが、保護層(16,17)を必ずしも備えなければならないものではない。ただし、保護層(16,17)を備えることで、第一電極13の反射率が低下されるのを抑制することができるため、高い光取り出し効率を持続的に実現させるためには保護層(16,17)を備えるのが好ましい。
〈3〉 上記の実施形態では、発光素子1が電流遮断層24を備えているものとして説明したが、電流遮断層24を必ずしも備えなければならないものではない。ただし、活性層9を流れる電流をXY平面に平行な方向に拡げて発光効率を高める観点からは、電流遮断層24を備えるのが好ましい。
1 : 半導体発光素子
3 : 基板
5 : 半導体層
7 : n型半導体層
7a : 凹凸面
7b : 平坦面
9 : 活性層
11 : p型半導体層
13 : 第二電極
13B : テーパー形状
14 : 電流供給線
15 : 第一電極
15a : 電流供給部
15d : 第一電極の幅
16 : 保護層
17 : 保護層
19 : 接合層
20 : 導電層
21 : 接合層
23 : 保護層
24 : 電流遮断層
25 : 成長基板
27 : 下地層
31 : レジストマスク
31d : レジストマスク31の幅
33 : レジストマスク
33d : レジストマスク33の幅
51 : 参考例1の発光素子
90 : 従来の半導体発光素子
91 : 基板
92 : 導電層
93 : 反射膜
94 : 絶縁層
95 : 反射電極
96 : p型半導体層
97 : 活性層
98 : n型半導体層
99 : 半導体層
100 : n側電極
3 : 基板
5 : 半導体層
7 : n型半導体層
7a : 凹凸面
7b : 平坦面
9 : 活性層
11 : p型半導体層
13 : 第二電極
13B : テーパー形状
14 : 電流供給線
15 : 第一電極
15a : 電流供給部
15d : 第一電極の幅
16 : 保護層
17 : 保護層
19 : 接合層
20 : 導電層
21 : 接合層
23 : 保護層
24 : 電流遮断層
25 : 成長基板
27 : 下地層
31 : レジストマスク
31d : レジストマスク31の幅
33 : レジストマスク
33d : レジストマスク33の幅
51 : 参考例1の発光素子
90 : 従来の半導体発光素子
91 : 基板
92 : 導電層
93 : 反射膜
94 : 絶縁層
95 : 反射電極
96 : p型半導体層
97 : 活性層
98 : n型半導体層
99 : 半導体層
100 : n側電極
Claims (18)
- 基板と、
前記基板の上層に形成された、n型又はp型の第一半導体層と、活性層と、前記第一半導体層とは導電型の異なる第二半導体層とを含む半導体層と、
前記第一半導体層の面のうち、前記活性層とは反対側の面に接触して形成された第一電極と、
前記第二半導体層の面のうち、前記活性層とは反対側の面に接触し、前記基板の面に直交する方向に関して前記第一電極に対向する位置を含む領域に形成された第二電極とを備え、
前記第一半導体層の面のうちの、前記活性層とは反対側の面は、前記第一電極が形成されている領域内は平坦面で構成され、前記第一電極が形成されていない領域内の少なくとも一部は凹凸面で構成され、
前記第二半導体層は、前記第一電極の外縁部よりも外側の位置において、前記第二電極と接触していることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記第二電極の面のうち、前記第二半導体層側の面の全面が前記第二半導体層と接触していることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記第一半導体層の面のうち、前記活性層とは反対側の面であって、前記第一電極の外縁部よりも外側の領域は、平坦面で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体発光素子。
- 前記第二電極の外縁部は、前記第一電極の外縁部よりも外側で、且つ前記半導体層の外縁部よりも内側に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 前記第二電極の外縁部がナイフエッジ形状を示すことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 前記基板の面に直交する方向に関して前記第一電極と対向する位置において、前記第二電極の面のうち、前記第二半導体層とは反対側の面に、直接又は他の導電層を介して接触して形成された電流遮断層を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体発光素子
- 前記第一電極の外縁部は、前記基板の面に直交する方向に見たときに枠形状を示すことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 前記活性層は、ピーク波長が400nm以下の光を放射する窒化物半導体で構成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 前記半導体層は、厚みが5μm以下で構成されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 成長基板を準備する工程(a)と、
前記成長基板の上層に、n型又はp型の第一半導体層と、活性層と、前記第一半導体層とは導電型の異なる第二半導体層とを含む半導体層を形成する工程(b)と、
前記第二半導体層の上面に第二電極を形成する工程(c)と、
前記第二電極の上層に、接合層を介して前記成長基板とは別の支持基板を貼り合わせる工程(d)と、
前記成長基板を剥離して前記第一半導体層を露出させる工程(e)と、
露出した前記第一半導体層の表面を加工して、凹凸面と平坦面を形成する工程(f)と、
前記第一半導体層の面のうち、前記平坦面の一部に第一電極を形成する工程(g)とを有し、
前記工程(g)は、前記第一電極の構成材料を前記凹凸面に流入させないように前記第一電極を形成することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記工程(g)は、
前記平坦面の面積よりも開口面積が小さい開口領域を含むレジストマスクを準備する工程(g1)と、
前記平坦面の一部領域を前記開口領域を介して露出させた状態で、前記第一半導体層の上面に前記レジストマスクを形成する工程(g2)と、
前記レジストマスクの上面及び前記開口領域を介して露出した前記第一半導体層の上面に、前記第一電極を構成する導電性材料を形成する工程(g3)と、
前記レジストマスクを除去して、前記平坦面の一部上面に前記第一電極を形成する工程(g4)とを有することを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記工程(c)は、前記第二半導体層の外縁部よりも内側の位置において前記第二半導体層の上面に接触して前記第二電極を形成する工程であることを特徴とする請求項10又は11に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記工程(f)は、露出した前記第一半導体層の表面のうち、少なくとも外縁部に隣接した領域は前記平坦面を構成するように、表面を加工する工程であることを特徴とする請求項12に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記工程(g)は、前記第二半導体層と前記第二電極との接触位置よりも内側の位置に前記第一電極を形成する工程であることを特徴とする請求項12又は13に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記工程(c)は、外縁部がナイフエッジ形状を示すように前記第二電極を形成する工程であることを特徴とする請求項12〜14のいずれか1項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記工程(g)は、前記支持基板の面に直交する方向に見たときに、外縁部が枠形状を示すような前記第一電極を形成する工程であることを特徴とする請求項12〜15のいずれか1項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記工程(b)で形成される前記活性層は、ピーク波長が400nm以下の光を放射する窒化物半導体で構成されていることを特徴とする請求項10〜16のいずれか1項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記工程(b)で形成される前記半導体層は、厚みが5μm以下で構成されていることを特徴とする請求項10〜17のいずれか1項に記載の半導体発光素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015238060A JP2017103439A (ja) | 2015-12-04 | 2015-12-04 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
US15/366,685 US20170162745A1 (en) | 2015-12-04 | 2016-12-01 | Semiconductor light-emitting device and method for manufacturing same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015238060A JP2017103439A (ja) | 2015-12-04 | 2015-12-04 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017103439A true JP2017103439A (ja) | 2017-06-08 |
Family
ID=59016995
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015238060A Pending JP2017103439A (ja) | 2015-12-04 | 2015-12-04 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017103439A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020167401A (ja) * | 2019-03-26 | 2020-10-08 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 点光源型発光ダイオード及びその製造方法 |
JP2021521643A (ja) * | 2018-04-27 | 2021-08-26 | フェイスブック・テクノロジーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーFacebook Technologies, Llc | 紫外レーザーを用いたled表面改質 |
-
2015
- 2015-12-04 JP JP2015238060A patent/JP2017103439A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021521643A (ja) * | 2018-04-27 | 2021-08-26 | フェイスブック・テクノロジーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーFacebook Technologies, Llc | 紫外レーザーを用いたled表面改質 |
JP2020167401A (ja) * | 2019-03-26 | 2020-10-08 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 点光源型発光ダイオード及びその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20170162745A1 (en) | Semiconductor light-emitting device and method for manufacturing same | |
WO2015141517A1 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
US11114588B2 (en) | Semiconductor light emitting element | |
JP2017103439A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP5880633B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2015191976A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP6617875B2 (ja) | Led素子及びその製造方法 | |
JP2017069282A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP5818031B2 (ja) | Led素子 | |
WO2016072326A1 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2016195187A (ja) | 半導体発光素子 | |
WO2016158093A1 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP6690139B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP2017139298A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP2017005156A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP6468459B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2016195168A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
WO2015029727A1 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2019169680A (ja) | 発光素子およびその製造方法 | |
JP7360007B2 (ja) | 発光装置の製造方法 | |
JP2015050381A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP2016192527A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP2017117966A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP5880880B2 (ja) | 窒化物発光素子 | |
JP6004265B2 (ja) | Led素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180911 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190709 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200107 |