JP6004265B2 - Led素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
導電体又は半導体で構成された支持基板と、
前記支持基板の上層に形成された導電層と、
前記導電層の一部上面に底面を接触して形成された絶縁層と、
前記導電層の一部上面及び前記絶縁層の一部上面に底面を接触して形成された、p型窒化物半導体で構成される第1半導体層と、
前記第1半導体層の上層に形成された、窒化物半導体で構成される発光層と、
前記第1半導体層及び前記発光層よりも水平方向に広がりを有し、前記発光層の上面及び前記絶縁層の一部上面に底面を接触して形成された、n型窒化物半導体で構成される第2半導体層と、
前記第2半導体層の底面と前記絶縁層の上面が接触している領域の直上位置に係る前記第2半導体層の上層に形成されたボンディング電極とを有することを特徴とする。
前記絶縁層と前記第2半導体層の界面にショットキーバリア層が形成されていることを別の特徴とする。
前記導電層は多層構造であり、前記第1半導体層の底面及び前記絶縁層の底面に上面が接触する最上層には、前記発光層から下方に放射される光を上方に反射させるための反射電極が形成されているものとしても構わない。
前記導電層は、前記反射電極に加えて、
底面が前記支持基板の上面に接触して形成されたハンダ層と、
底面が前記ハンダ層の上面に、上面が前記反射電極の底面にそれぞれ接触して形成された保護層を有する構成としても構わない。
p型窒化物半導体で構成される第1半導体層、窒化物半導体で構成される発光層、及びn型窒化物半導体で構成される第2半導体層を含むLED素子の製造方法であって、
サファイア基板を準備する工程(a)と、
前記サファイア基板の上層に、前記第2半導体層、前記発光層、前記第1半導体層を下からこの順に形成する工程(b)と、
前記第1半導体層及び前記発光層の一部領域をエッチングして、前記第2半導体層の上面を露出させる工程(c)と、
露出している前記第2半導体層の上面及び前記第1半導体層の一部上面を覆うように絶縁層を形成する工程(d)と、
露出している前記第1半導体層の上面及び前記絶縁層の上面を覆うように導電層を形成する工程(e)と、
前記導電層の上面に、直接又は別の導電層を介して導電体又は半導体で構成された支持基板の底面を貼り合せる工程(f)と、
前記支持基板を底面、前記サファイア基板を上面に位置させた状態で、上方からレーザを照射して前記サファイア基板を剥離して前記第2半導体基板の上面を露出させる工程(g)と、
前記第2半導体層の底面と前記絶縁層の上面が接触している領域の真上位置に係る前記第2半導体層の上層に、ボンディング電極を形成する工程(h)と、
前記ボンディング電極に対してワイヤを接続する工程(i)とを有することを特徴とする。
前記第2半導体層の上面を露出させる工程(c)の後に、前記第2半導体層の露出面に対してプラズマを照射してショットキーバリア層を形成する工程(j)を有し、
前記工程(j)の後に、前記絶縁層を形成する工程(d)を行うことを別の特徴とする。
前記第2半導体層の上面を露出させる工程(g)の後に、前記第2半導体層の露出面に凹凸を形成する工程(k)を有し、
前記工程(k)の後、前記ボンディング電極を形成する工程(h)を行うことを別の特徴とする。
前記工程(e)で形成される前記導電層は多層構造であり、
前記工程(e)は、少なくとも露出している前記第1半導体層の上面及び前記絶縁層の上面に接触する箇所には反射電極を形成する工程を含むものとしても構わない。
前記工程(e)で形成される前記導電層は、前記反射電極に加えて保護層及びハンダ層を含み、
前記工程(e)は、
少なくとも露出している前記第1半導体層の上面及び前記絶縁層の上面に接触する箇所に反射電極を形成する工程と、
前記反射電極の上層に前記保護層を形成する工程と、
前記保護層の上層に前記ハンダ層を形成する工程を有し、
前記貼り合せる工程(f)は、前記ハンダ層の上層に前記支持基板の底面を直接貼り合せるか、又は上層に別のハンダ層が形成されている前記支持基板の上下を反転させた後、前記ハンダ層の上層に当該別のハンダ層の底面を貼り合せる工程であるものとしても構わない。
本発明のLED素子1の構造につき、図1A及び図1Bを参照して説明する。図1Aは素子の概略断面図、図1Bは概略上面図である。
支持基板11は、例えばCuW、Moなどの導電性基板、又はSi、GaAsなどの半導体基板で構成される。
支持基板11の上層には、多層構造からなる導電層20が形成されている。この導電層20は、本実施形態では、ハンダ層13、ハンダ層15、保護層17及び反射電極19を含む。
絶縁層21は、例えばSiO2、SiN、AlN、Al2O3、AlONなどで構成される。この絶縁層21は、一部の上面はp型半導体層31の底面と接触し、別の一部の上面はn型半導体層35の底面と接触している。本素子1において、絶縁層21は少なくとも2つの機能を果たしているが、この点については後述する。
上述したように、LED層30は、p型半導体層31、発光層33、及びn型半導体層35が下からこの順に積層されて形成される。
ボンディング電極43はn型半導体層35の上層に形成され、例えばCr−Auで構成されるn型電極で構成される。上述したように、より詳細には、ボンディング電極43は、n型半導体層35の底面と絶縁層21の上面が接触している領域の真上位置に係るn型半導体層35の上層に形成されている。
電極42はボンディング電極43と同じ材料で構成されるものとして構わない。また、電極42は、ボンディング電極43と同様に、n型半導体層35の上層に形成されているが、ボンディング電極43とは異なりワイヤ45が接続される電極ではない。このため、電極42の底面以外の周辺には絶縁層41が形成されている。
次に、本素子1が備える絶縁層21の機能について説明する。本素子1において、絶縁層21は少なくとも2つの機能を果たしている。第1の機能はLED層30の発光領域の拡大、第2の機能はボンディング時の発光層33へのダメージの防止である。
図1Cは本素子の別の概略断面図である。図1Aに示すLED素子1と比較して、図1Cに示すLED素子1Aは、絶縁層21とn型半導体層35の界面にショットキーバリア層50が形成されている点が異なる。
図2は、本発明のLED素子と従来構成のLED素子の性能を比較したグラフである。図2のグラフについて、以下説明する。
次に、本発明のLED素子1の製造方法につき、図3A〜図3Lに示す工程断面図、及び図4に示すフローチャートを参照して説明する。また、以下の説明に示すステップ番号は、図4のフローチャートのステップ番号に対応している。なお、LED素子1Aの製造方法については後述する。
図3Aに示すように、サファイア基板61上にLEDエピ層40を形成する。このステップS1は工程(a)及び工程(b)に対応しており、例えば以下の手順により行われる。
まず、c面サファイア基板61のクリーニングを行う。このクリーニングは、より具体的には、例えばMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:有機金属気相成長)装置の処理炉内にc面サファイア基板61を配置し、処理炉内に流量が10slmの水素ガスを流しながら、炉内温度を例えば1150℃に昇温することにより行われる。
次に、c面サファイア基板61の表面に、GaNよりなる低温バッファ層を形成し、更にその上層にGaNよりなる下地層を形成する。これら低温バッファ層及び下地層がノンドープ層36に対応する。
次に、ノンドープ層36の上層にAlnGa1−nN(0≦n<1)の組成からなる電子供給層を形成し、更にその上層にn型GaNよりなる保護層を形成する。これら電子供給層及び保護層がn型半導体層35に対応する。
次に、n型半導体層35の上層にGaInNで構成される井戸層及びn型AlGaNで構成される障壁層が周期的に繰り返される多重量子井戸構造を有する発光層33を形成する。
次に、発光層33の上層に、AlmGa1−mN(0≦m<1)で構成される層(正孔供給層)を形成し、更にその上層にp型GaNで構成される層(保護層)を形成する。これら正孔供給層及び保護層がp型半導体層31に対応する。
次に、ステップS1で得られたウェハに対して活性化処理を行う。より具体的には、RTA(Rapid Thermal Anneal:急速加熱)装置を用いて、窒素雰囲気下中650℃で15分間の活性化処理を行う。
次に、図3Bに示すように、p型半導体層31の一部の上面をマスク62で覆う。マスク62は、レジスト、SiO2、Niなどを利用することができる。ここで、マスク62は、後にボンディング電極43が形成される領域に対向する箇所については覆わず、他の箇所を覆うように形成する。
次に、ウェハに対してエッチングを行うことで、図3Cに示すように、マスク62で覆われていない領域について、n型半導体層35の上面を露出させる。なお、以下では、本ステップS4でエッチングされた領域を「MESA部70」と称することがある。
次に、マスク62を剥離する。
次に、図3Dに示すように、ステップS4で露出されたn型半導体層35の上面(MESA部70の露出面)から隣接するp型半導体層31の上面をまたぐように、絶縁層21を形成する。なお、このとき、p型半導体層31の上面を全て覆わず、一部を露出させたままとする(領域71参照)。
図3Fに示すように、p型半導体層31及び絶縁層21の上面を覆うように、導電層20を形成する。ここでは、反射電極19、保護層17、及びハンダ層15を含む多層構造の導電層20を形成する。
次に、図3Hに示すように、サファイア基板61と支持基板11とを、ハンダ層13及びハンダ層15を接触させる向きに貼り合せる。より具体的には、280℃の温度、10MPaの圧力下で、ハンダ層15と支持基板11の上層に形成されたハンダ層13とを貼り合せる。なお、このステップS8は工程(f)に対応している。
次に、図3Iに示すように、サファイア基板61を剥離する。より具体的には、サファイア基板61を上に、支持基板11を下に向けた状態で、サファイア基板61側からKrFエキシマレーザを照射して、サファイア基板61とLEDエピ層40の界面を分解させることでサファイア基板61の剥離を行う。サファイア61はレーザが通過する一方、その下層のGaNはレーザを吸収するため、この界面が高温化してGaNが分解される。これによってサファイア基板61が剥離される。
次に、図3Jに示すように隣接する素子同士を分離する。具体的には、隣接素子との境界領域に対し、ICP装置を用いて絶縁層21が露出するまでLED層30をエッチングする。これにより、隣接領域のLED層30同士が分離される。
次に、図3Kに示すようにn型半導体層35の表面に凹凸を形成する。具体的には、KOH等のアルカリ溶液を浸すことで凹凸形成を行う。このとき、後に電極42及びボンディング電極43を形成する箇所に対しては、凹凸を形成しないものとしても構わない。これらの箇所に凹凸を形成しないことで、電極を形成する箇所のn型半導体層35の表面が平坦な状態のまま維持される。電極形成箇所のn型半導体層35の表面を平坦な状態のまま維持することで、特にボンディング電極43の形成後、ワイヤボンディングを行う際にボンディング電極43とn型半導体層35の界面にボイドが発生するのを防ぐ効果が得られる。このステップS11が工程(k)に対応する。
次に、図3Lに示すように、n型半導体層35の上面に電極42及びボンディング電極43を形成する。より具体的には、膜厚100nmのCrと膜厚3μmのAu100nmからなる電極を形成後、窒素雰囲気中で250℃1分間のシンタリングを行う。なお、このステップS12は工程(h)に対応している。
次に、露出されている素子側面、及びボンディング電極43以外の上面を絶縁層41で覆う。より具体的には、EB装置にてSiO2膜を形成する。なおSiN膜を形成しても構わない。
次に、各素子同士を例えばレーザダイシング装置によって分離する。
次に、支持基板11の裏面を例えばAgペーストにてパッケージと接合し、ボンディング電極43に対してワイヤボンディングを行う。例えば、50gの荷重でΦ100μmのボンディング領域にAuからなるワイヤ45を連結させることで、ワイヤボンディングを行う。これにより、図1Aに示すLED素子1が形成される。なお、このステップS15は工程(i)に対応している。
次に、LED素子1Aの製造方法につき説明する。
ステップS4の後、露出したn型半導体層35の上面に対してプラズマを照射してショットキーバリア層50を形成する。より具体的には、ウェハをプラズマ照射装置内に設置した状態で、O2、Ar、N2などを供給してプラズマを発生させ、露出したn型半導体層35の上面すなわちMESA部70に照射を行い、当該MESA部70
を不活性化させる。MESA部70がプラズマ中にさらされることで、その表面が不活性化されて、極めて薄膜のショットキーバリア層50が形成される(図3M参照)。これにより、一種の絶縁膜が付いた状態に近くなり、前述したようにLED素子1よりも更に電気的耐圧を高める効果が得られる。
以下、別実施形態について説明する。
10 : 発光領域
11 : 支持基板
13 : ハンダ層
15 : ハンダ層
17 : 保護層
19 : 反射電極
20 : 導電層
21 : 絶縁層
21a : 導電部材
30 : LED層
31 : p型半導体層
33 : 発光層
35 : n型半導体層
36 : ノンドープ層
40 : LEDエピ層
41 : 絶縁層
42 : 電極
43 : ボンディング電極
45 : ワイヤ
50 : ショットキーバリア層
61 : サファイア基板
62 : マスク
70 : MESA部
71 : 露出領域
Claims (9)
- 窒化物半導体を含むLED素子であって、
導電体又は半導体で構成された支持基板と、
前記支持基板の上層に形成された導電層と、
前記導電層の一部上面に底面を接触して形成された絶縁層と、
前記導電層の一部上面及び前記絶縁層の一部上面に底面を接触して形成された、p型窒化物半導体で構成される第1半導体層と、
前記第1半導体層の上層に形成された、窒化物半導体で構成される発光層と、
前記第1半導体層及び前記発光層よりも水平方向に広がりを有し、前記発光層の上面及び前記絶縁層の一部上面に底面を接触して形成された、n型窒化物半導体で構成される第2半導体層と、
前記第2半導体層の底面と前記絶縁層の上面が接触している領域の直上位置に係る前記第2半導体層の上層に形成されたボンディング電極と、
前記ボンディング電極の面に接触して形成されたボンディングワイヤとを有することを特徴とするLED素子。 - 前記絶縁層と前記第2半導体層の界面にショットキーバリア層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のLED素子。
- 前記導電層は多層構造であり、前記第1半導体層の底面及び前記絶縁層の底面に上面が接触する最上層には、前記発光層から下方に放射される光を上方に反射させるための反射電極が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のLED素子。
- 前記導電層は、前記反射電極に加えて、
底面が前記支持基板の上面に接触して形成されたハンダ層と、
底面が前記ハンダ層の上面に、上面が前記反射電極の底面にそれぞれ接触して形成された保護層を有することを特徴とする請求項3に記載のLED素子。 - p型窒化物半導体で構成される第1半導体層、窒化物半導体で構成される発光層、及びn型窒化物半導体で構成される第2半導体層を含むLED素子の製造方法であって、
サファイア基板を準備する工程(a)と、
前記サファイア基板の上層に、前記第2半導体層、前記発光層、前記第1半導体層を下からこの順に形成する工程(b)と、
前記第1半導体層及び前記発光層の一部領域をエッチングして、前記第2半導体層の上面を露出させる工程(c)と、
露出している前記第2半導体層の上面及び前記第1半導体層の一部上面を覆うように絶縁層を形成する工程(d)と、
露出している前記第1半導体層の上面及び前記絶縁層の上面を覆うように導電層を形成する工程(e)と、
前記導電層の上面に、直接又は別の導電層を介して導電体又は半導体で構成された支持基板の底面を貼り合せる工程(f)と、
前記支持基板を底面、前記サファイア基板を上面に位置させた状態で、上方からレーザを照射して前記サファイア基板を剥離して前記第2半導体層の上面を露出させる工程(g)と、
前記第2半導体層の底面と前記絶縁層の上面が接触している領域の真上位置に係る前記第2半導体層の上層に、ボンディング電極を形成する工程(h)と、
前記ボンディング電極に対してワイヤを接続する工程(i)とを有することを特徴とするLED素子の製造方法。 - 前記第2半導体層の上面を露出させる工程(c)の後に、前記第2半導体層の露出面に対してプラズマを照射してショットキーバリア層を形成する工程(j)を有し、
前記工程(j)の後に、前記絶縁層を形成する工程(d)を行うことを特徴とする請求項5に記載のLED素子の製造方法。 - 前記第2半導体層の上面を露出させる工程(g)の後に、前記第2半導体層の露出面に凹凸を形成する工程(k)を有し、
前記工程(k)の後、前記ボンディング電極を形成する工程(h)を行うことを特徴とする請求項5又は6に記載のLED素子の製造方法。 - 前記工程(e)で形成される前記導電層は多層構造であり、
前記工程(e)は、少なくとも露出している前記第1半導体層の上面及び前記絶縁層の上面に接触する箇所には反射電極を形成する工程を含むことを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載のLED素子の製造方法。 - 前記工程(e)で形成される前記導電層は、前記反射電極に加えて保護層及びハンダ層を含み、
前記工程(e)は、
少なくとも露出している前記第1半導体層の上面及び前記絶縁層の上面に接触する箇所に反射電極を形成する工程と、
前記反射電極の上層に前記保護層を形成する工程と、
前記保護層の上層に前記ハンダ層を形成する工程を有し、
前記貼り合せる工程(f)は、前記ハンダ層の上層に前記支持基板の底面を直接貼り合せるか、又は上層に別のハンダ層が形成されている前記支持基板の上下を反転させた後、前記ハンダ層の上層に当該別のハンダ層の底面を貼り合せる工程であることを特徴とする請求項8に記載のLED素子の製造方法。
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