JP2019169680A - 発光素子およびその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 34
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 8
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 23
- 239000000284 extract Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 15
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 4
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 4
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N triethylgallium Chemical compound CC[Ga](CC)CC RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910015363 Au—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- QBJCZLXULXFYCK-UHFFFAOYSA-N magnesium;cyclopenta-1,3-diene Chemical compound [Mg+2].C1C=CC=[C-]1.C1C=CC=[C-]1 QBJCZLXULXFYCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002052 molecular layer Substances 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0062—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
- H01L33/0075—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds comprising nitride compounds
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0095—Post-treatment of devices, e.g. annealing, recrystallisation or short-circuit elimination
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table
- H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table containing nitrogen
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/40—Materials therefor
- H01L33/405—Reflective materials
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Abstract
【課題】n電極のコンタクトのための熱処理温度が低減された縦型の紫外発光素子を提供すること。【解決手段】図1の発光素子は、n層11と、発光層12と、p層13とが順に積層されたIII 族窒化物半導体からなる半導体層を有している。p層13上には、反射電極14、支持基板15、pパッド電極16が順に設けられている。また、n層11裏面11aには改善層17を介してn電極18が設けられている。n電極18側から光を取り出す縦型の紫外発光素子である。改善層17は、n層11の裏面11aとn電極18との間に設けられている。改善層17は、n層11よりもバンドギャップエネルギーの小さなn型のIII 族窒化物半導体からなる。また、改善層17は、n電極18と同一の平面パターンである。【選択図】図1
Description
本発明は、III 族窒化物半導体からなる紫外発光の発光素子およびその製造方法に関するものである。特に縦方向に導通を取る構造の発光素子およびその製造方法に関するものである。
従来のIII 族窒化物半導体からなる紫外発光の発光素子は、フリップチップ型の構造が多く採用されている。しかし、フリップチップ型では、p電極とn電極が同一面側となり、半導体層のAl組成比が高いため、電流の面内拡散が難しい。そこで、レーザーリフトオフなどの方法によって成長基板を除去し、その除去により露出するn層にn電極を形成して縦方向に導通を取る構造を採用することが考えられる。
特許文献1には、GaN基板を用いた縦型のIII 族窒化物半導体からなる発光素子が記載されている。また、特許文献1には次のような記載がある。GaN基板の裏面は面方位が不均一であり、裏面にn電極を設けるとオーミック性が不安定となる。そこで、GaN基板裏面にSiドープのGaNからなるコンタクト層を全面に形成し、その後にコンタクト層にn電極を全面に形成することが記載されている。
特許文献2には、サファイア基板を用い、p電極とn電極を同一面側に設けたIII 族窒化物半導体からなる紫外発光素子が記載されている。特許文献2では、AlGaNからなるnコンタクト層とn電極との間に、nコンタクト層よりもバンドギャップの小さなAlGaN層を設けることにより、コンタクト抵抗を低減できることが記載されている。
成長基板の除去により露出するn層表面にn電極を形成する場合、そのn層表面は窒素極性面であり、ガリウム極性面に比べてコンタクト低減のための熱処理温度が200℃程度高くなってしまう。さらに、紫外発光素子であるためnコンタクト層はAl組成比が高く、これにより熱処理温度はさらに高くなってしまう。特に発光波長が短いほどnコンタクト層のAl組成比を高くする必要があり、熱処理温度の高温化が顕著となる。そのため、発光波長が短い紫外発光素子では縦型の構造を採用することが困難であった。
そこで本発明の目的は、n電極のコンタクトのための熱処理温度が低減されたIII 族窒化物半導体からなる縦型の紫外発光素子を提供することである。また、その紫外発光素子の製造方法を提供することである。
本発明は、縦型のIII 族窒化物半導体からなる紫外発光の発光素子の製造方法において、成長基板上に、III 族窒化物半導体からなるn層、発光層、p層を順に積層する工程と、p層上に反射電極を形成し、反射電極と支持基板とを接合する工程と、リフトオフにより成長基板を除去し、n層裏面を露出させる工程と、n層裏面に、バンドギャップエネルギーがn層のバンドギャップエネルギーよりも小さなn型III 族窒化物半導体からなる改善層を形成する工程と、改善層上にn電極を形成して熱処理する工程と、を有し、改善層は、n層よりも面積が小さく、かつn電極を内包する平面パターンとする、ことを特徴とする発光素子の製造方法である。
また本発明は、縦型のIII 族窒化物半導体からなる紫外発光の発光素子において、III 族窒化物半導体からなるn層と、n層上に位置するIII 族窒化物半導体からなる発光層と、発光層上に位置するIII 族窒化物半導体からなるp層と、p層上に位置する反射電極と、反射電極上に位置する支持基板と、n層の発光層側とは反対側の面に位置するn電極と、n層とn電極との間に位置し、バンドギャップエネルギーがn層のバンドギャップエネルギーよりも小さなn型III 族窒化物半導体からなる改善層と、を有し、改善層は、n層よりも面積が小さく、かつn電極を内包する平面パターンである、ことを特徴とする発光素子である。
改善層の平面パターンは、n電極の平面パターンと同一であることが好ましい。改善層による光吸収を抑制することができる。
改善層の厚さは、2分子層以上200nm以下とすることが好ましい。同様に改善層による光吸収を抑制することができる。
また、改善層のバンドギャップエネルギーは、4.6eV以下であることが好ましい。n電極のコンタクトを良好とするために必要な熱処理温度をより低減することができる。
改善層は、任意の方法により成膜してよいが、スパッタ、PSD、またはMBEにより形成することが好ましい。
本発明によれば、n電極とn層との間に改善層を設けているため、n電極のコンタクトのための熱処理温度を低減することができる。そのため、縦型の紫外発光素子を容易に実現することができる。また、動作電圧の低減や、出力向上を図ることができる。
以下、本発明の具体的な実施例について図を参照に説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。
図1は、実施例1の発光素子の構成を示した図である。図1のように、実施例1の発光素子は、n層11と、発光層12と、p層13とが順に積層されたIII 族窒化物半導体からなる半導体層を有している。p層13上には、反射電極14、支持基板15、pパッド電極16が順に設けられている。また、n層11裏面11aには改善層17を介してn電極18が設けられている。実施例1の発光素子は、n電極18側から光を取り出す縦型の紫外発光素子である。
n層11は、Siドープのn−AlGaNからなる。厚さは0.5〜10μm、Si濃度は、1×1018〜1×1020/cm3 である。Al組成比は、発光層12から放射される光を吸収しないように設定されていて、発光波長が短いほどAl組成比は高くなる。具体的には、発光層よりも大きなバンドギャップとなるようにAl組成比が設定されている。なお、発光波長が365nm以上の紫外領域である場合には、n層11はn−GaNでもよい。n層11の表面のうちガリウム極性面の方には発光層12が位置しており、他方の窒素極性面(裏面11a)の方には改善層17を介してn電極18が位置している。またn層11裏面11aのうち、改善層17、n電極18が設けられていない領域には、角錐状の凹凸が設けられてる。このような凹凸を設けることで光取り出しを向上させている。
発光層12は、n層11上に設けられている。発光層12は、井戸層と障壁層が繰り返し積層されたMQW構造である。繰り返し回数は3〜10である。なお、発光層はSQW構造であってもよい。
井戸層はIII 族窒化物半導体からなり、所望の紫外発光波長似合わせて材料が選択される。厚さは1分子層〜15nmである。GaNの発光波長が365nm、AlNの発光波長が210nmであるため、発光波長が365nmより大きな紫外領域ではInGaNを用い、In組成比により発光波長を調整する。発光波長が210〜365nmでは、AlGaNを用い、Al組成比によって発光波長を調整する。もちろん、AlGaInNを用いて、Al組成比とIn組成比によって発光波長を調整してもよい。
障壁層は、井戸層よりもバンドギャップの大きなAlGaNからなり、厚さは2〜15nmである。
p層13は、発光層12上に位置しており、発光層12側から順に、電子ブロック層、ホール拡散層、pコンタクト層を積層させた構造である。
電子ブロック層は、Mgドープのp−AlGaNからなる。厚さは1〜50nm、Mg濃度は1×1019〜1×1021/cm3 である。Al組成比は発光層12の障壁層よりも大きければよく、たとえば30〜50%である。電子ブロック層を設けることで発光層12からp層13側へと電子がオーバーフローすることを抑制している。
ホール拡散層は、Mgドープのp−GaNからなる。厚さは20〜100nm、1×1019〜1×1020/cm3 である。ホール拡散層によりホールが面内に十分に拡散するようにしている。
pコンタクト層は、Mgドープのp−GaNからなる。厚さは2〜10nm、1×1020〜1×1022/cm3 である。pコンタクト層を設けることで反射電極14とのコンタクトを良好としている。
なお、n層11、発光層12、p層13の構成は上記に限るものではなく、紫外発光素子の構成として知られている任意の構成を採用することができる。
反射電極14は、p層13上の全面に設けられている。反射電極14は、p層13にコンタクトを取る電極であり、発光層12から放射される光をn層11側へと反射させて光を取り出すために設けるものである。反射電極14の材料は発光波長に対して高反射率の材料であり、たとえば、Al、Ru、Rhなどである。また、Rh、Ag、Ni、またはこれらの合金を用いることもできる。たとえば、Ni/Au、Ni/Alなどである。ここで「/」は積層を意味し、A/BはA、Bの順に積層された構造であることを意味する。以下材料の説明において同様である。
支持基板15は、反射電極14上に設けられている。支持基板15はIII 族窒化物半導体からなる半導体層を成長させるために用いる成長基板を除去する際に、ウェハを物理的に支持する基板である。支持基板15は、導電性の材料からなり、たとえばSiやGe、W、Moなどである。
pパッド電極16は、支持基板15上に設けられている。pパッド電極16の材料は、たとえばAuである。
n電極18は、改善層17を介してn層11の裏面11aに設けられている。n電極18の材料は、たとえばTi/Al/Ti/Auである。n電極18の平面パターンは任意でよい。ただし、実施例1の発光素子はn電極18側が光取り出し側であるため、n電極18は光を反射、吸収し、光取り出しを悪化させる要因となる。そのため、n電極18の面積はn層11裏面11aの面積の1〜20%とすることが好ましい。より好ましくは1〜15%、さらに好ましくは1〜10%以下である。
n電極18の材料は、上記以外にもV、V/Au、V/Al、V/Ti/Al、V/Ti/Au、Ni/Al、などを用いることができる。
図2は、n電極18の平面パターンの一例を示した図である。図2(a)は、n層11裏面11aの中央に円を1つとしたパターンである。図2(b)は、n層11裏面11aの4つの角部にそれぞれ円を配置したパターンである。図2(c)は、n層11裏面11aの中央に円を1つ配置し、他の領域に小さなドットを格子状に配置し、各ドットと中央の円とを放射状ないしは矩形の配線により接続したパターンである。図2(b)、(c)の平面パターンによれば、電流の面内拡散性をより向上させることができる。
改善層17は、n層11の裏面11aとn電極18との間に設けられている。改善層17は、n層11よりもバンドギャップエネルギーの小さなn型のIII 族窒化物半導体からなる。たとえば、n−AlGaN、n−AlGaInN、n−GaN、n−InGaN、n−InNである。形成の容易さの点からはn−GaNが好ましい。n型不純物は、Siである。他にもGe、Oなどを用いることができる。なお、n層11が多層である場合には、n層11のうち改善層17と接する層よりも改善層17のバンドギャップが小さければよい。
改善層17を設けない従来の場合、熱処理温度が高く、素子に熱ダメージを与えるため、紫外発光素子では実質的に縦型構造を採用することができなかった。熱処理温度が高くなる要因は以下の2つの理由である。第1に、n層11裏面11aは窒素極性面であるため、良好なコンタクトを取るために必要な熱処理温度をガリウム極性面の場合に比べて200℃程度上げない必要があるからである。窒素極性面はNに対するボンド数が3と多く、結合を引き離す際のエネルギーが高くなり、そのために熱処理温度が高くなるのである。第2に、紫外発光素子では発光層12から放射される紫外線を吸収しないようにn層11のAl組成比を高くする必要がある。良好なコンタクトを取るために必要な熱処理温度はAl組成比が高いほど高くなる。
これに対し、実施例1では、n電極18とn層11との間にn型III 族窒化物半導体からなる改善層17を設け、その改善層17のバンドギャップエネルギーをn層11のバンドギャップエネルギーよりも小さくしている。これにより、n層11のAl組成比を小さくするのと同等の効果が得られ、n電極18がn層11裏面11aに対して良好なコンタクトを取るために必要な熱処理温度を低減することができる。
改善層17のバンドギャップエネルギーは、4.6eV以下とすることが好ましい。n電極18のコンタクトを良好とするために必要な熱処理温度をより低減するためである。より好ましくは4eV以下、さらに好ましくは3.4eV以下である。また、同様の理由により、n層11と改善層17とのバンドギャップエネルギーの差は、0.1eV以上とすることが好ましい。より好ましくは0.7eV以上、さらに好ましくは1.3eV以上である。
また、改善層17は、n電極18と同一の平面パターンである。これにより、改善層17が設けられる面積をなるべく減少させ、改善層17による光の吸収を抑えている。改善層17は必ずしもn電極18と同一パターンとする必要はなく、n層11裏面11aよりも面積が小さく、かつ平面視においてn電極18を内包するパターンであればよい。ただし、改善層17による光吸収をより低減するためには、n層11裏面11aの面積の20%以下とすることが好ましく、n電極18の面積に近いことが好ましい。たとえばn電極18の面積の1〜1.2倍とすることが好ましく、最も好ましいのは実施例1のように改善層17とn電極18の平面パターンを同一とすることである。
改善層17の厚さは、発光波長の1/4よりも薄くすることが好ましい。改善層17による光吸収をより低減することができる。同様の理由により、改善層17の厚さは200nm以下とすることが好ましい。改善層17は2分子層以上あればよい。良好にコンタクトを取るためには0.5〜200nmとすることが好ましく、さらに光吸収を考慮すると0.5〜100nmとすることが好ましい。さらに好ましくは1〜20nmである。
改善層17のn型不純物濃度は、1×1017〜5×1020/cm3 とすることが好ましい。この範囲であれば、n電極18とn層11とがより良好にコンタクトを取ることができる。より好ましくは、1×1018〜5×1020/cm3 である。
実施例1の発光素子の発光波長は紫外線領域であり、たとえば220〜380nmである。特に発光波長が230〜350nm、さらには250〜300nmである場合に本発明は好適である。このような短い波長では、従来はn電極18のコンタクトのための熱処理温度が高すぎ、縦型の構造を採用することはできなかったが、本発明によればそのような波長であってもn電極18のコンタクトが取れるため縦型の構造を採用することができる。
以上、実施例1の発光素子は、n電極18とn層11との間に改善層17が設けられているため、n電極18とn層11裏面11aに対して良好なコンタクトを取るために必要な熱処理温度を低減することができる。そのため、熱処理ダメージの抑制された縦型の紫外発光素子を実現できる。またその結果、発光素子の動作電圧を低減することができ、光出力を向上させることができる。
次に、実施例1の発光素子の製造方法について、図3を参照に説明する。
まず、サファイアからなる成長基板20上に、結晶成長の核となるAlN核層(図示しない)を形成し、次いでAlNからなるバッファ層(図示しない)を形成する。さらにバッファ層上に、減圧MOCVD法によってIII 族窒化物半導体からなるn層11、発光層12、p層13を順に積層する(図3(a)参照)。圧力は、0.05〜0.5atm、成長温度は800〜1400℃である。MOCVD法において用いる原料ガスには、Ga源としてTMG(トリメチルガリウム)やTEG(トリエチルガリウム)、Al源としてTMA(トリメチルアルミニウム)、In源としてTMI(トリメチルインジウム)、N源としてアンモニア、p型ドーパントガスとしてビスシクロペンタジエニルマグネシウム、n型ドーパントガスとしてシランを用いる。キャリアガスには通常、水素を用い、Inを含む層を形成する場合にのみキャリアガスとして窒素を用いる。
次に、p層13上にスパッタや蒸着によって反射電極14を形成する。次に、一方の表面にpパッド電極16が形成された支持基板15を用意し、支持基板15の他方の表面と反射電極14とを貼り合わせる。張り合わせの際、Au−Snなどのはんだ層(図示しない)を形成しておき、加熱、圧着して反射電極14と支持基板15とを接合する(図3(b)参照)。なお、pパッド電極16は接合後に形成してもよい。
次に、レーザーリフトオフにより成長基板20を除去する。レーザーリフトオフでは、成長基板20とバッファ層を透過してn層11で光が吸収される波長のレーザー光を用いる。このような波長のレーザー光を成長基板20裏面側から照射することで、n層11を分解し、バッファ層とn層11との界面で分離させることで成長基板20を除去する(図3(c)参照)。なお、n層11中に光吸収用の層を設けることでレーザーリフトオフによる成長基板20除去を容易とすることもできる。
なお、レーザーリフトオフ以外の基板リフトオフ法を用いてもよい。たとえば、ケミカルリフトオフを用いてもよい。これは、薬液により溶解可能な層を導入し、支持基板と接合後に薬液によりその溶解可能な層を溶解させることにより、基板を除去する方法である。
次に、成長基板20の除去により露出したn層11裏面11aのうち、次工程で改善層17を設ける領域を除いて、ウェットエッチングによって凹凸を設ける。エッチング溶液は、たとえばTMAH、水酸化ナトリウム、リン酸などである。これらのエッチング溶液は異方性を有しており、微小な角錐状の凹凸が形成される。
次に、成長基板20の除去により露出したn層11裏面11aに、n層11よりもバンドギャップの小さなn型III 族窒化物半導体からなる改善層17を形成する(図3(d)参照)。改善層17は、スパッタにより形成する。また、改善層17の平面パターンは次工程で形成するn電極18の平面パターンと同一である。
なお、改善層17の成膜方法はスパッタに限るものではない。PSD(パルススパッタ法)、MBE(分子線エピタキシー法)、MOCVDなどの成膜方法を用いることができる。特にn型不純物のドープしやすさからスパッタ、PSD、MBEが好ましい。また、n型不純物は改善層17の成膜後に導入してもよい。
次に、改善層17上に蒸着やスパッタによってn電極18を形成する(図3(e)参照)。n電極18の平面パターンは改善層17の平面パターンと同一である。次に、n電極18がn層11裏面11aに対して良好にコンタクトするように、窒素雰囲気で熱処理を行う。熱処理の雰囲気は、窒素意外にArなどの不活性ガスでもよく、また真空であってもよい。
ここで、良好なコンタクトを得るために必要な熱処理温度は、改善層17を設けない場合に比べて低減することができる。そのため、素子への熱ダメージを軽減することができる。たとえば、n層11のAl組成比が70%の場合、改善層17がないと熱処理温度はおよそ1000℃とする必要があった。しかし、n−GaNからなる改善層17を設ければ、熱処理温度はおよそ700℃とすることができる。以上が実施例1の発光素子の製造工程である。
本発明の発光素子は、殺菌、照明、樹脂硬化などに使用することができる。
11:n層
12:発光層
13:p層
14:反射電極
15:支持基板
16:pパッド電極
17:改善層
18:n電極
12:発光層
13:p層
14:反射電極
15:支持基板
16:pパッド電極
17:改善層
18:n電極
Claims (9)
- 縦型のIII 族窒化物半導体からなる紫外発光の発光素子の製造方法において、
成長基板上に、III 族窒化物半導体からなるn層、発光層、p層を順に積層する工程と、
前記p層上に反射電極を形成し、前記反射電極と支持基板とを接合する工程と、
リフトオフにより前記成長基板を除去し、n層裏面を露出させる工程と、
前記n層裏面に、バンドギャップエネルギーが前記n層のバンドギャップエネルギーよりも小さなn型III 族窒化物半導体からなる改善層を形成する工程と、
前記改善層上にn電極を形成して熱処理する工程と、
を有し、
前記改善層は、前記n層よりも面積が小さく、かつ前記n電極を内包する平面パターンとする、
ことを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記改善層の平面パターンは、前記n電極の平面パターンと同一とする、ことを特徴とする請求項1に記載の発光素子の製造方法。
- 前記改善層は、スパッタ、PSD、またはMBEにより形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の発光素子の製造方法。
- 前記改善層の厚さは、2分子層以上200nm以下とする、ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記改善層のバンドギャップエネルギーは、4.6eV以下である、ことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 縦型のIII 族窒化物半導体からなる紫外発光の発光素子において、
III 族窒化物半導体からなるn層と、
前記n層上に位置するIII 族窒化物半導体からなる発光層と、
前記発光層上に位置するIII 族窒化物半導体からなるp層と、
前記p層上に位置する反射電極と、
前記反射電極上に位置する支持基板と、
前記n層の前記発光層側とは反対側の面に位置するn電極と、
前記n層と前記n電極との間に位置し、バンドギャップエネルギーが前記n層のバンドギャップエネルギーよりも小さなn型III 族窒化物半導体からなる改善層と、
を有し、
前記改善層は、前記n層よりも面積が小さく、かつ前記n電極を内包する平面パターンである、
ことを特徴とする発光素子。 - 前記改善層の平面パターンは、前記n電極の平面パターンと同一である、ことを特徴とする請求項6に記載の発光素子。
- 前記改善層の厚さは、2分子層以上200nm以下である、ことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の発光素子。
- 前記改善層のバンドギャップエネルギーは、4.6eV以下である、ことを特徴とする請求項6ないし請求項8のいずれか1項に記載の発光素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018058419A JP2019169680A (ja) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | 発光素子およびその製造方法 |
CN201910163468.5A CN110364597A (zh) | 2018-03-26 | 2019-03-05 | 发光元件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018058419A JP2019169680A (ja) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | 発光素子およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019169680A true JP2019169680A (ja) | 2019-10-03 |
Family
ID=68108526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018058419A Pending JP2019169680A (ja) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | 発光素子およびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019169680A (ja) |
CN (1) | CN110364597A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112652691A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-13 | 深圳第三代半导体研究院 | 一种发光二极管及其制造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012089754A (ja) * | 2010-10-21 | 2012-05-10 | Uv Craftory Co Ltd | 窒化物半導体紫外線発光素子 |
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CN105428487A (zh) * | 2014-09-04 | 2016-03-23 | 首尔伟傲世有限公司 | 垂直紫外线发光装置及其制造方法 |
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WO2018042792A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 国立研究開発法人科学技術振興機構 | 化合物半導体及びその製造方法ならびに窒化物半導体 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5847732B2 (ja) * | 2010-12-28 | 2016-01-27 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
CN105762242A (zh) * | 2014-12-17 | 2016-07-13 | 晶能光电(江西)有限公司 | 一种GaN基薄膜LED芯片及其制备方法 |
JP2017050439A (ja) * | 2015-09-03 | 2017-03-09 | 豊田合成株式会社 | 紫外発光素子およびその製造方法 |
-
2018
- 2018-03-26 JP JP2018058419A patent/JP2019169680A/ja active Pending
-
2019
- 2019-03-05 CN CN201910163468.5A patent/CN110364597A/zh active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN110364597A (zh) | 2019-10-22 |
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|
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