JP2017101301A - 銅皮膜の成膜方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施形態に係る銅皮膜の成膜方法を説明するためのフロー図である。本実施形態では、金属製の基材の表面に、カーボンナノチューブを含有した銅皮膜を成膜する。
まず、溶媒としてイオン交換水を準備し、アミノ基を含む官能基付与剤としてトリエチレンテトラミン(関東化学(株)社製)を、0.25Mになるように添加した。次に、直径10nm、G/D比1.2のカーボンナノチューブ(宇部興産(株)社製AMC)を準備し、これを、トリエチレンテトラミンを添加した溶液に、混合した。
実施例と同じように、基材の表面に銅皮膜を成膜した。実施例1と相違する点は、イオン交換水に、トリエチレンテトラミン(官能基付与剤)の代わりに、ポリアクリル酸ナトリウム(分散剤)を添加し、(ソリューション)プラズマ処理を行っていない点である。実施例と同じ電解メッキ処理の条件で成膜した銅皮膜の重量を測定した。この結果を表1に示す。
実施例の銅皮膜の重量は、比較例のものに比べて大きく、実施例では、電解メッキ処理の電流効率は、95%に相当し、効率良く銅皮膜が成膜されたといえる。また、図2に示すように、銅皮膜には、カーボンナノチューブが均一に分散していることが確認できた。
Claims (1)
- 電解メッキ処理により、基材の表面に、カーボンナノチューブを含有した銅皮膜を成膜する銅皮膜の成膜方法であって、
前記カーボンナノチューブとして、ラマンスペクトルにおいて、1350cm−1付近に現れるDバンドの面積に対する1590cm−1付近に現れるGバンドの面積の比(G/D比)が0.1以上であるカーボンナノチューブを、アミノ基を含む官能基付与剤を含有した溶液に混合する工程と、
前記カーボンナノチューブを混合した溶液をプラズマ処理することにより、前記カーボンナノチューブの表面に、前記官能基付与剤のアミノ基を付与する工程と、
前記アミノ基が付与されたカーボンナノチューブを含む溶液に、銅イオンを添加する工程と、
前記電解メッキ処理により、前記銅イオンが添加された溶液をメッキ液として、前記基材の表面に前記銅皮膜を成膜する工程と、を含むことを特徴とする銅皮膜の成膜方法。
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