JP2017098330A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2017098330A5
JP2017098330A5 JP2015226775A JP2015226775A JP2017098330A5 JP 2017098330 A5 JP2017098330 A5 JP 2017098330A5 JP 2015226775 A JP2015226775 A JP 2015226775A JP 2015226775 A JP2015226775 A JP 2015226775A JP 2017098330 A5 JP2017098330 A5 JP 2017098330A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
chucks
base
substrate holding
support pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015226775A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2017098330A (ja
JP6777985B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2015226775A priority Critical patent/JP6777985B2/ja
Priority claimed from JP2015226775A external-priority patent/JP6777985B2/ja
Priority to TW105135880A priority patent/TWI719075B/zh
Priority to KR1020160150985A priority patent/KR102557223B1/ko
Priority to US15/351,242 priority patent/US10847407B2/en
Publication of JP2017098330A publication Critical patent/JP2017098330A/ja
Publication of JP2017098330A5 publication Critical patent/JP2017098330A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6777985B2 publication Critical patent/JP6777985B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2015226775A 2015-11-19 2015-11-19 基板保持装置 Active JP6777985B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015226775A JP6777985B2 (ja) 2015-11-19 2015-11-19 基板保持装置
TW105135880A TWI719075B (zh) 2015-11-19 2016-11-04 基板保持裝置
KR1020160150985A KR102557223B1 (ko) 2015-11-19 2016-11-14 기판 보유 지지 장치
US15/351,242 US10847407B2 (en) 2015-11-19 2016-11-14 Substrate holding apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015226775A JP6777985B2 (ja) 2015-11-19 2015-11-19 基板保持装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2017098330A JP2017098330A (ja) 2017-06-01
JP2017098330A5 true JP2017098330A5 (enExample) 2018-07-26
JP6777985B2 JP6777985B2 (ja) 2020-10-28

Family

ID=58721040

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015226775A Active JP6777985B2 (ja) 2015-11-19 2015-11-19 基板保持装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10847407B2 (enExample)
JP (1) JP6777985B2 (enExample)
KR (1) KR102557223B1 (enExample)
TW (1) TWI719075B (enExample)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018211876A1 (ja) 2017-05-17 2018-11-22 国立研究開発法人農業・食品産業技術総合研究機構 ビトリゲル膜乾燥体の製造方法及び製造装置
CN110098152B (zh) * 2018-01-31 2020-12-08 株洲中车时代半导体有限公司 一种压力分层串联夹具
JP7116550B2 (ja) 2018-02-08 2022-08-10 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法
JP7255078B2 (ja) * 2018-03-20 2023-04-11 日新電機株式会社 クランプ機構及び当該クランプ機構を備える基板保持装置
JP7020986B2 (ja) * 2018-04-16 2022-02-16 株式会社荏原製作所 基板処理装置および基板保持装置
KR102753250B1 (ko) * 2019-05-14 2025-01-15 삼성디스플레이 주식회사 클램프 장치
CN110246783B (zh) * 2019-06-10 2021-06-15 宁波润华全芯微电子设备有限公司 一种去胶机夹持主轴
CN111048466B (zh) * 2019-12-26 2022-08-16 北京北方华创微电子装备有限公司 晶圆夹持装置
US11353497B2 (en) * 2020-03-27 2022-06-07 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Test socket
JP7438015B2 (ja) * 2020-05-01 2024-02-26 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
US20230390898A1 (en) * 2022-06-07 2023-12-07 Ebara Corporation Substrate clamping apparatus
JP2025007277A (ja) * 2023-06-30 2025-01-17 芝浦メカトロニクス株式会社 基板処理装置
CN118366905B (zh) * 2024-06-19 2024-08-16 深圳市石金科技股份有限公司 硅片生产用移动装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5879576A (en) * 1996-05-07 1999-03-09 Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. Method and apparatus for processing substrates
JPH1059540A (ja) * 1996-05-13 1998-03-03 Ebara Corp 基板把持装置
JPH11186367A (ja) * 1997-12-24 1999-07-09 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板保持装置
JP3660171B2 (ja) 1999-09-22 2005-06-15 松下電器産業株式会社 通信装置及び通信方法
JP3953248B2 (ja) * 2000-01-14 2007-08-08 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
KR100873153B1 (ko) * 2007-10-05 2008-12-10 세메스 주식회사 스핀 헤드
KR20090041154A (ko) * 2007-10-23 2009-04-28 삼성전자주식회사 기판 세정 장치 및 기판 세정 방법
KR101958874B1 (ko) * 2008-06-04 2019-03-15 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판처리장치, 기판처리방법, 기판 파지기구, 및 기판 파지방법
JP5422143B2 (ja) * 2008-06-04 2014-02-19 株式会社荏原製作所 基板把持機構
KR101259862B1 (ko) * 2010-02-05 2013-05-02 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 보유지지구 및 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치
JP4794685B1 (ja) * 2010-10-19 2011-10-19 ミクロ技研株式会社 基板処理装置及び基板処理方法
JP6053528B2 (ja) * 2013-01-11 2016-12-27 株式会社荏原製作所 基板把持装置
JP6181438B2 (ja) 2013-06-24 2017-08-16 株式会社荏原製作所 基板保持装置および基板洗浄装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017098330A5 (enExample)
ES2437266B1 (es) Dispositivo de sujeción para portapiezas
JP2016529733A5 (enExample)
AR105035A1 (es) Un dispositivo de contacto de fluido-sólido
WO2014179800A3 (en) Electronic device holder with repositionable stand and systems and methods thereof
JP2015116656A5 (enExample)
EA201791370A1 (ru) Теплообменник и снабженное им пневматическое устройство
JP2015144197A5 (enExample)
JP2020036941A5 (ja) 光照射装置
BR112018072455A2 (pt) método para verificar pneus em uma linha de produção de pneus.
RU2017107535A (ru) Устройства магазина для удержания изделий из стекла во время обработки
JP2016518699A5 (enExample)
CN106672398B (zh) 一种尺寸可调的环状产品存放装置
EA201792681A1 (ru) Регулируемая конструкция матраса
ES2650246T3 (es) Aparato para conformar elementos de masa alimenticia en forma de disco
JP2016139629A5 (ja) ボンディング装置およびボンディング装置のコレット傾き検査方法
CN104259500A (zh) 圆筒状工件加工用夹具
RU2014105787A (ru) Способ базирования крупногабаритных заготовок сложной формы на многокоординатных станках
CN204053823U (zh) 一种治具架
CN203648572U (zh) 药学实验用试管组具
CN203862516U (zh) 轮毂涂装夹持装置
CN203746813U (zh) 一种新型硅片测试机的乘片台盘
JP2018509764A5 (ja) ワークピース保持・加熱装置
CN203911688U (zh) 离心铸铝转子支架式快退假轴
RU2012158133A (ru) Способ формообразования тонкостенных осесимметричных деталей усеченной сужающей формы и устройство для его осуществления