JP2017092317A - レーザモジュール - Google Patents

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【課題】簡単な構造で光学部品を精度よく組み立ておよび調整することができると共に安定して固定できるレーザモジュールを得る。【解決手段】レーザモジュール10は、レーザ光を出射するレーザ発振素子1と、レーザ発振素子1を支持し、レーザ光の光軸と垂直な固定面2aを有する第1の支持部品2と、レーザ光の出射角度を補正し、光軸と平行な固定面を有する光学部品3と、光軸と平行な第1の固定面4aと光軸と垂直な第2の固定面4bとを有し、光学部品3の固定面と第1の固定面4aとが接着固定され、第1の支持部品2の固定面2aと第2の固定面4bとが接着固定されている第2の支持部品4と、備える。【選択図】図1

Description

本発明は、光学部品の支持構造を有するレーザモジュールに関する。
従来のレーザモジュールにおいては、レーザ発振素子から出射したレーザ光を集光するための集光レンズといった光学部品を、レーザ発振素子が固定されたヒートシンクに直接接着剤によって接着固定させている(特許文献1参照)。
特開2002−232056号公報
特許文献1に記載の従来のレーザモジュールにおいては、光学部品である集光レンズの光学部分の一部とヒートシンクの間を接着固定しているため、接着面のアンバランスおよび接着面積の不足による光学部品の位置ずれが発生するという問題があった。また、接着剤が光学部品の光学面にはみ出して、光学面を汚染するという問題もあった。また、安定して固定させるために十分な面積を有するように接着面を設けられないので、組み立て後の光軸に対する調整精度のばらつきが大きくなるという欠点もあった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡単な構造で光学部品を精度よく組み立ておよび調整することができると共に安定して固定できるレーザモジュールを得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、レーザ光を出射するレーザ発振素子と、レーザ発振素子を支持し、レーザ光の光軸と垂直な固定面を有する第1の支持部品と、レーザ光の出射角度を補正し、光軸と平行な固定面を有する光学部品と、を備えることを特徴とする。本発明は、光軸と平行な第1の固定面と光軸と垂直な第2の固定面とを有し、光学部品の固定面と第1の固定面とが接着固定され、第1の支持部品の固定面と第2の固定面とが接着固定されている第2の支持部品をさらに備えることを特徴とする。
本発明によれば、簡単な構造で光学部品を精度よく組み立ておよび調整することができると共に安定して固定できるという効果を奏する。
本発明の実施の形態1にかかるレーザモジュールの平面図 実施の形態1にかかるレーザモジュールの側面図 本発明の実施の形態2にかかるレーザモジュールの側面図 本発明の実施の形態3にかかるレーザモジュールの平面図 実施の形態3にかかるレーザモジュールの側面図 実施の形態3にかかる組立部品を床に置いた様子を示す図
以下に、本発明の実施の形態にかかるレーザモジュールを図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1にかかるレーザモジュール10の平面図である。図2は、実施の形態1にかかるレーザモジュール10の側面図である。図1の紙面垂直方向はY軸方向であり、図2の紙面垂直方向はX軸方向である。
実施の形態1にかかるレーザモジュール10は、マルチエミッタ型のレーザ発振素子1と、レーザ発振素子1を支持する第1の支持部品2と、レーザ光を平行化あるいは集光しレーザ光の出射角度を補正する光学部品3と、光学部品3を支持する第2の支持部品4と、を備える。
図1および図2において、マルチエミッタ型のレーザ発振素子1は、Z軸方向を光軸とするレーザ光を出射するエミッタがX軸方向に間隔を空けて直線上に並ぶように複数配置されている。即ち、複数のエミッタは、光軸と垂直方向に直線上に配置されている。レーザ発振素子1は、熱伝導特性が高く放熱特性も兼ね備えた第1の支持部品2に半田付といった方法により固定される。
第1の支持部品2には、光学部品3を固定するための固定面2aが形成されている。固定面2aは、レーザ光の光軸と垂直な、即ち、X−Y面と平行となるように形成されている。第1の支持部品2は、固定面2a以外の部分で熱伝導特性が高く外部との取付けインターフェースとなる図示しない部品に固定され、図示しない電極を介してレーザ発振素子1に給電される。
レーザ発振素子1で発振されたレーザ光は、図1および図2のZ軸方向に出射され、光学部品3により所望の出射角度となるように補正される。光学部品3には、マルチエミッタ型のレーザ発振素子1のエミッタ数と位置に対応するように、光学面であるレンズ面30が複数形成されている。さらに、光学部品3には、レーザ光のZ軸方向の光軸と平行で、且つX−Z面と平行な固定面3aが第2の支持部品4と接着固定するため形成されている。
なお、上では、光学部品3は、レンズ面30がエミッタの配置に対応して片面に複数形成されている構成としたが、このような構成に限るものではなく、両面にレンズ面が形成されている構成、あるいはシリンドリカル型のレンズ面が形成されている構成となっていてもかまわない。
第2の支持部品4は、硝子材料を直方体形状に加工して形成したものである。第2の支持部品4には、光学部品3を接着固定するための第1の固定面4aおよび第1の支持部品2に接着固定するための第2の固定面4bが形成されている。第1の固定面4aは、レーザ光の光軸と平行で、且つX−Z面と平行となるように形成されている。第2の固定面4bは、レーザ光の光軸と垂直で、且つX−Y面と平行となるように形成されている。
まず、光学部品3は、第1の支持部品2に固定されたレーザ発振素子1のエミッタの位置に基づいて位置と角度の調整を行った後、固定面3aと第1の固定面4aとを接着させることにより第2の支持部品4に固定される。ここで、両者を接着する接着剤は図示しない。
つぎに、光学部品3が固定された第2の支持部品4は、レーザ発振素子1から出射されたレーザ光が光学部品3で所望の出射角度となるように、位置と角度の調整を行った後、第2の固定面4bと固定面2aとを接着させることにより第1の支持部品2に固定される。ここで、第2の固定面4bと固定面2aとは接着剤50を介して接着される。ここでの位置と角度の調整を、以後、調芯と呼ぶ。
光学部品3が固定された第2の支持部品4の第2の固定面4bと第1の支持部品2の固定面2aの接着部5には、特に紫外線硬化型の接着剤50を使用する。調芯が終わった後、接着部5に紫外線硬化型の接着剤50を塗布して、紫外線を照射して接着部5の間隙を埋めるように接着剤50を硬化させ、第2の固定面4bと固定面2aとを接着固定する。
このように、第2の支持部品4が、光学部品3の固定面3aを第1の固定面4aで接着固定し、レーザ発振素子1が固定された第1の支持部品2の固定面2aを、接着部5に接着剤50を塗布して第2の固定面4bで接着固定する。これにより、接着剤50のはみ出しによる光学部品3のレーザ光透過領域の汚染を防止できる。さらに、簡単な構造で固定面の接着面積を大きくすることができるので、光学部品3を精度よく組み立て且つ調芯することができるとともに、安定して固定させることができる。
また、レーザ発振素子1の複数のエミッタがZ軸方向を光軸にして並んで配置される配置方向であるX軸方向と平行でありX−Z面と平行となるように、光学部品3の固定面3aおよび第2の支持部品4の第1の固定面4aが形成されているので、組み立ておよび調芯が容易になる。
また、第2の支持部品4は、硝子材料を直方体形状に加工して形成されているので簡単な構造であり、レーザ発振素子1および光学部品3を支持するための複雑な形状の部材も不要であるので、レーザモジュール10の組み立てが容易となる。さらに、硝子材料を用いていることにより接着部5へ紫外線を効率良く照射できるので接着剤50の硬化時間が短くなり、部品コストおよび製造コストを低下させることができる。
また、光学部品3は予め第2の支持部品4に固定した後に調芯を行うので、調芯時に光学部品3に直接接触する必要がないので、調芯の工程中に塵といった汚れが付着することまたは傷が付くことを防止できる。
また、接着面積が小さいレーザモジュールでは、接着剤を構成する材料の特性により接着の固定強度を更に安定させるために、紫外線硬化を行った後に、更に熱硬化処理が必要となる場合があった。しかし、実施の形態1にかかるレーザモジュール10においては、接着面積が大きくなるように接着部5を設けることができるので、接着剤50の熱硬化処理が不要になるとともに、接着剤50の紫外線硬化時間も短縮することができる。
また、実施の形態1にかかるレーザモジュール10においては、第1の支持部品2に固定されたレーザ発振素子1のエミッタの位置に基づいて位置と角度の調整を行った後に、光学部品3を第2の支持部品4に接着固定するので、レーザ光の光軸であるZ軸方向の調整精度を高めることができる。この結果、調芯が容易になる。
さらに、実施の形態1にかかるレーザモジュール10においては、接着部5のレーザ光の光軸であるZ軸方向の組立公差を小さくすることができるので、接着部5の接着厚み、即ち接着剤50の厚みを薄くすることができる。その結果、硬化後の接着剤50の熱収縮による光学部品3の位置ずれの影響が少なくなり、レーザモジュール10からのレーザ光の出射角度を安定して維持することができる。
実施の形態2.
図3は、本発明の実施の形態2にかかるレーザモジュール10の側面図である。図3の紙面垂直方向はX軸方向である。実施の形態2にかかるレーザモジュール10の平面図は、図1と同様である。実施の形態2にかかるレーザモジュール10では、実施の形態1における第2の支持部品4が第2の支持部品6に変更されているが、それ以外の構成要素は、実施の形態1と同じである。従って、実施の形態1で説明した構成要素と同一または相当部分についての説明は省略する。
実施の形態2における第2の支持部品6も、光学部品3を接着固定するためのレーザ光の光軸と平行で、且つX−Z面と平行な第1の固定面6aと、第1の支持部品2に接着固定するためのレーザ光の光軸と垂直で、且つX−Y面と平行な第2の固定面6bが形成されている。
しかし、第2の支持部品6は、実施の形態1における第2の支持部品4とは異なり、複数の直方体、具体的には2種類の直方体を組み合わせた形状に形成されている。その結果、図3に示すように、第2の支持部品6は、レーザ光の光軸に平行で且つ第1の固定面6aと垂直な面であるY−Z面での断面の形状がL字状となる様に成形されている。
従って、第2の固定面6bの面積を実施の形態1の第2の固定面4bの面積より大きくすることができる。これにより、接着部7の接着面積を実施の形態1の接着部5の接着面積より大きくするように設けることができる。その結果、第2の固定面6bと固定面2aとを接着する接着剤70はより広い面積で両者を接着することができる。
このように、実施の形態2にかかるレーザモジュール10においては、第1の支持部品2と第2の支持部品6との接着面積をさらに大きくすることができるので、レーザモジュール10が小型化されても光学部品3を精度よく組み立て且つ調芯することができるとともに、安定して固定させることができる。
なお、上の説明においては、第2の支持部品6を2種類の直方体を組み合わせた形状に加工するとしたが、光学部品3を接着固定するための第1の固定面6aと、第1の支持部品2に接着固定するための第2の固定面6bを備え、第2の固定面6bの面積を大きくとれる形状であれば、これに限定されない。第2の支持部品6のレーザ光の光軸に平行なY−Z面での断面の形状もL字状に限定されず、断面の形状が直角三角形といった形状に形成されていてもかまわない。
実施の形態3.
図4は、本発明の実施の形態3にかかるレーザモジュール10の平面図である。図5は、実施の形態3にかかるレーザモジュール10の側面図である。図4の紙面垂直方向はY軸方向であり、図5の紙面垂直方向はX軸方向である。図6は、実施の形態3にかかる組立部品を床に置いた様子を示す図である。
実施の形態3にかかるレーザモジュール10では、実施の形態1における第2の支持部品4が第2の支持部品8に変更されているが、それ以外の構成要素は、実施の形態1と同じである。従って、実施の形態1で説明した構成要素と同一または相当部分について説明を省略する。
実施の形態3における第2の支持部品8も、光学部品3を接着固定するためのレーザ光の光軸と平行で、且つX−Z面と平行な第1の固定面8aと、第1の支持部品2に接着固定するためのレーザ光の光軸と垂直で、且つX−Y面と平行な第2の固定面8bが形成されている。
図4および図5に示されるように、レーザ光の光軸方向であるZ軸方向にみた光学部品3のレンズ面30の頂点から第2の支持部品8のレーザ光の出射方向の端までの長さbが、レーザ光の光軸と垂直方向で且つ第1の固定面8aと垂直な方向であるY軸方向にみた光学部品3の高さaより大きくなるよう形成されている。第2の支持部品8のレーザ光の出射方向の端とは、第2の固定面8bとは反対側の面の端である。
上記したようにb>aとすることにより、光学部品3のレンズ面30の直径よりもレーザ光の出射側の光軸方向であるZ軸方向に沿って第2の支持部品8の形状が長くなるように形成される。このような第2の支持部品8と光学部品3とが固定されて一体となった組立部品により、実施の形態1および2と同様に簡単な構造で光学部品3を精度よく組み立ておよび調芯することができる。
それに加えて、実施の形態3にかかる第2の支持部品8を用いることにより、光学部品3と一体化して組立部品とした後に、調芯を行う前の工程において、当該組立部品を誤って固い床9に置いてしまったような場合でも、図6に示す様に、光学部品3のレンズ面30を誤って床9に接触させて塵といった汚れを付着させること或いは傷をつけることを防ぐことができる。これにより、組み立てがさらに容易になり、生産に係る歩留まりを向上させることができる。
なお、実施の形態3では、第2の支持部品8の形状においてレーザ光の出射方向であるZ軸方向の長さを伸ばすことについて説明したが、レーザ光の出射方向と垂直方向であるX軸方向での第2の支持部品8の長さをより大きく形成して、組み立てをさらに容易にしてもよい。また、以上説明した実施の形態3にかかる第2の支持部品8の特徴と実施の形態2における第2の支持部品6の特徴とを組み合わせることも可能である。
以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
1 レーザ発振素子、2 第1の支持部品、2a,3a 固定面、3 光学部品、4,6,8 第2の支持部品、4a,6a,8a 第1の固定面、4b,6b,8b 第2の固定面、5,7 接着部、9 床、10 レーザモジュール、30 レンズ面、50,70 接着剤。

Claims (6)

  1. レーザ光を出射するレーザ発振素子と、
    前記レーザ発振素子を支持し、前記レーザ光の光軸と垂直な固定面を有する第1の支持部品と、
    前記レーザ光の出射角度を補正し、前記光軸と平行な固定面を有する光学部品と、
    前記光軸と平行な第1の固定面と前記光軸と垂直な第2の固定面とを有し、前記光学部品の固定面と前記第1の固定面とが接着固定され、前記第1の支持部品の固定面と前記第2の固定面とが接着固定されている第2の支持部品と、
    を備えることを特徴とするレーザモジュール。
  2. 前記レーザ発振素子は前記レーザ光を出射するエミッタを複数有し、前記エミッタは直線上に配置され、
    前記光学部品の光学面は、複数の前記エミッタの配置に対応して複数形成されている
    ことを特徴とする請求項1に記載のレーザモジュール。
  3. 前記第2の支持部品は直方体形状に形成されている
    ことを特徴とする請求項1または2に記載のレーザモジュール。
  4. 前記第2の支持部品は複数の直方体を組み合わせた形状に形成されており、
    前記光軸と平行で且つ前記第1の固定面と垂直な面による断面がL字型である
    ことを特徴とする請求項1または2に記載のレーザモジュール。
  5. 前記光軸方向にみた前記光学面であるレンズ面の頂点から前記第2の支持部品の前記レーザ光の出射方向の端までの長さが、前記光軸と垂直方向で且つ前記第1の固定面と垂直な方向にみた前記光学部品の高さより大きい
    ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のレーザモジュール。
  6. 前記第2の支持部品は、硝子材料で形成されている
    ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のレーザモジュール。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7454019B2 (ja) 2022-08-23 2024-03-21 京セラSoc株式会社 半導体レーザ装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001059925A (ja) * 1999-06-15 2001-03-06 Furukawa Electric Co Ltd:The 半導体レーザモジュール
JP2003295028A (ja) * 2002-04-01 2003-10-15 Sumitomo Heavy Ind Ltd ホルダ一体型レンズの製造方法、ホルダ一体型レンズ、ホルダ一体型レンズ用中間部品の製造方法、ホルダ一体型レンズ用中間部品
JP2006284851A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Fuji Photo Film Co Ltd レンズホルダおよびそれを用いたレーザアレイユニット
JP2006301597A (ja) * 2005-03-22 2006-11-02 Fuji Photo Film Co Ltd レーザー装置およびその組立方法
JP2011090156A (ja) * 2009-10-22 2011-05-06 Fujikura Ltd 光ファイバ用フェルール、光導波路と光ファイバとの接続方法
JP2015023201A (ja) * 2013-07-22 2015-02-02 パナソニック株式会社 半導体レーザモジュール
US20150223621A1 (en) * 2010-10-21 2015-08-13 Spg International Llc Shelving system constructed using bonding

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001059925A (ja) * 1999-06-15 2001-03-06 Furukawa Electric Co Ltd:The 半導体レーザモジュール
JP2003295028A (ja) * 2002-04-01 2003-10-15 Sumitomo Heavy Ind Ltd ホルダ一体型レンズの製造方法、ホルダ一体型レンズ、ホルダ一体型レンズ用中間部品の製造方法、ホルダ一体型レンズ用中間部品
JP2006301597A (ja) * 2005-03-22 2006-11-02 Fuji Photo Film Co Ltd レーザー装置およびその組立方法
JP2006284851A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Fuji Photo Film Co Ltd レンズホルダおよびそれを用いたレーザアレイユニット
JP2011090156A (ja) * 2009-10-22 2011-05-06 Fujikura Ltd 光ファイバ用フェルール、光導波路と光ファイバとの接続方法
US20150223621A1 (en) * 2010-10-21 2015-08-13 Spg International Llc Shelving system constructed using bonding
JP2015023201A (ja) * 2013-07-22 2015-02-02 パナソニック株式会社 半導体レーザモジュール

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7454019B2 (ja) 2022-08-23 2024-03-21 京セラSoc株式会社 半導体レーザ装置

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