JP2017076081A5

JP2017076081A5 -

Info

Publication number: JP2017076081A5
Application number: JP2015204574A
Authority: JP
Filing date: 2015-10-16
Publication date: 2018-11-22

Description

本発明の一側面としての反射防止膜は、基板の表面に形成され、複数の層を含む多層膜である。複数の層のうち最も基板から離れた最上層の波長λ（ｎｍ）に対する屈折率をｎ_ｍとし、多層膜のうち最上層を除く１層以上の下地層の光学アドミタンスを、Ｙ＝ａ＋ｉｂとするとき、
１．１≦ｎ_ｍ≦１．３
なる条件を満足し、
λ＝４３０のとき、
（ａ−１．１３）^２＋（ｂ−０．２４）^２≦０．４５^２
λ＝９００のとき、
（ａ−１．３３）^２＋（ｂ＋０．０５）^２≦０．２５^２
λ＝１８００のとき、
（ａ−１．１４）^２＋（ｂ＋０．２５）^２≦０．２９^２
なる条件を満足することを特徴とする。

なお、上記光学素子を有する光学系および該光学系を有する光学機器も、本発明の他の一側面を構成する。

Claims

基板の表面に形成され、複数の層を含む多層膜としての反射防止膜であって、
前記複数の層のうち最も前記基板から離れた最上層の波長λ（ｎｍ）に対する屈折率をｎ_ｍとし、前記複数の層のうち前記最上層を除く１層以上の下地層の光学アドミタンスを、
Ｙ＝ａ＋ｉｂ
とするとき、
１．１≦ｎ_ｍ≦１．３
なる条件を満足し、
λ＝４３０のとき、
（ａ−１．１３）^２＋（ｂ−０．２４）^２≦０．４５^２
λ＝９００のとき、
（ａ−１．３３）^２＋（ｂ＋０．０５）^２≦０．２５^２
λ＝１８００のとき、
（ａ−１．１４）^２＋（ｂ＋０．２５）^２≦０．２９^２
なる条件を満足することを特徴とする反射防止膜。
λ＝４３０のとき、
（ａ−１．１０）^２＋（ｂ−０．２２）^２≦０．２６^２
λ＝９００のとき、
（ａ−１．３３）^２＋（ｂ＋０．０５）^２≦０．２０^２
λ＝１８００のとき、
（ａ−１．１８）^２＋（ｂ＋０．２６）^２≦０．２５^２
なる条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の反射防止膜。
４３０≦λ≦１８００において、
（ａ−１．０９）^２＋（ｂ−０．２０）^２≦０．３５^２または、
（ａ−１．２８）^２＋ｂ^２≦０．３５^２
または
（ａ−１．２７）^２＋（ｂ＋０．２８）^２≦０．３５^２
なる条件を満足することを特徴とする請求項１または２に記載の反射防止膜。
前記最上層の膜厚をｄ_ｍ（ｎｍ）とするとき、
１２５≦ｎ_ｍ×ｄ_ｍ≦２５０
なる条件を満足することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の反射防止膜。
波長λ（ｎｍ）が４３０≦λ≦１８００である光線の該反射防止膜に対する入射角度が０度以上１５度以下のときの該反射防止膜の反射率が１．５％以下であり、かつ前記光線の入射角度が３０度以上４５度以下のときの前記反射率が４．５％以下であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の反射防止膜。
９以上の前記層を有することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の反射防止膜。
前記下地層を構成する材料のうち、最も高屈折率の材料の屈折率をｎ_Ｈとし、最も低屈折率の材料の屈折率をｎ_Ｌとするとき、ｎ_Ｈとｎ_Ｌは、
０．４≦ｎ_Ｈ−ｎ_Ｌ≦０．９
なる条件を満足することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の反射防止膜。
前記最上層は空隙を含むことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の反射防止膜。
前記最上層の材料が、酸化シリコンまたはフッ化マグネシウムであることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の反射防止膜。
前記下地層を構成する材料が、チタン、タンタル、ジルコニア、クロム、ニオブ、セリウム、ハフニウム、アルミニウム、シリコンおよびイットリウムの酸化物の単体またはこれらの混合物のうちいずれかであることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の反射防止膜。
前記基板と、
前記基板の表面に形成された請求項１から１０のいずれか一項に記載の反射防止膜とを有することを特徴とする光学素子。
複数の光学素子を有し、該複数の光学素子のうち少なくとも一つは請求項１１に記載の光学素子であることを特徴とする光学系。
請求項１２に記載の光学系と、該光学系を保持する保持部材とを有することを特徴する光学機器。