JP2017069361A - シート供給装置および供給方法 - Google Patents

Abstract

【課題】特殊な検知手段を採用することなく、原反の間欠動作を確実に行うことができるシート供給装置を提供すること。【解決手段】シート供給装置は、接着シートＡＳが剥離シートＲＬに所定の間隔で仮着された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段２０と、剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段３０と、剥離シートＲＬに接着シートＡＳと同じ間隔で検知部ＤＨを形成する検知部形成手段５０と、検知部ＤＨを検知する検知手段６０と、検知手段６０の検知結果を基に、繰出手段２０で原反ＲＳを間欠動作させる制御手段９０とを備え、剥離シートＲＬには、接着シートＡＳと同じ間隔で非環状の検知用切込が設けられ、検知部形成手段５０は、剥離手段３０で剥離シートＲＬを折り返す位置とは別の位置で剥離シートＲＬを折り返すことで、検知用切込を含む剥離シートＲＬ部分によって検知部ＤＨを形成する。【選択図】図１

Description

本発明は、シート供給装置および供給方法に関する。

従来、接着シートを検知して原反の繰出動作と繰出停止とを繰り返す間欠動作によって接着シートを１枚ずつ供給するシート供給装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００５−１１６９２８号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート供給装置では、原反に形成された接着シートと不要シートとの極僅かな境界部を検知可能な特殊な検知手段を採用したり、接着シートが透明でも当該接着シートの端部を検知可能な特殊な検知手段を採用したりしなければならないという不都合がある。

本発明の目的は、特殊な検知手段を採用することなく接着シートを間欠的に供給可能なシート供給装置および供給方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明のシート供給装置は、繰出動作と繰出停止とを繰り返す間欠動作によって接着シートを供給するシート供給装置であって、所定形状の接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に所定の間隔を隔てて仮着された原反を前記繰出動作によって繰りし可能な繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された前記剥離シートを折り返すことで当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記剥離シートに前記接着シートにおける所定の間隔と同じ間隔で検知部を形成する検知部形成手段と、前記検知部を検知する検知手段と、前記検知手段の検知結果を基に、前記繰出手段で前記原反を前記所定の間隔毎に間欠動作させる制御手段とを備え、前記剥離シートには、前記接着シートの所定の間隔と同じ間隔で環状または非環状の検知用切込が設けられ、前記検知部形成手段は、前記剥離手段で前記剥離シートを折り返す位置とは別の位置で前記剥離シートを折り返すことで、前記検知用切込を含む剥離シート部分によって前記検知部を形成する、という構成を採用している。

この際、本発明のシート供給装置では、前記検知部形成手段と前記検知手段とを一体的に移動させ、当該検知手段での検知位置を調整する検知位置調整手段を備えている、ことが好ましい。

一方、本発明のシート供給方法は、繰出動作と繰出停止とを繰り返す間欠動作によって接着シートを供給するシート供給方法であって、所定形状の接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に所定の間隔を隔てて仮着された原反を前記繰出動作によって繰り出し可能な繰出工程と、前記繰出工程で繰り出された前記剥離シートを折り返すことで当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、前記剥離シートに前記接着シートにおける所定の間隔と同じ間隔で検知部を形成する検知部形成工程と、前記検知部を検知する検知工程と、前記検知工程の検知結果を基に、前記繰出工程で前記原反を前記所定の間隔毎に間欠動作させる制御工程とを備え、前記剥離シートには、前記接着シートの所定の間隔と同じ間隔で環状または非環状の検知用切込が設けられ、前記検知部形成工程は、前記剥離工程で前記剥離シートを折り返す位置とは別の位置で前記剥離シートを折り返すことで、前記検知用切込を含む剥離シート部分によって前記検知部を形成する、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、検知用切込を含む剥離シート部分によって検知部を形成するので、極僅かな境界部や透明な接着シートの端部を検知する必要がなくなり、特殊な検知手段を採用することなく接着シートを間欠的に供給することができる。

この際、検知位置調整手段が検知手段での検知位置を調整すれば、原反によって接着シートが仮着された所定の間隔が異なっていても、それに対応させて間欠動作を行って当該接着シートを間欠的に供給することができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。 （Ａ）は図１のＡ矢視図、（Ｂ）は図１のＢ矢視図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、シート貼付装置１０は、所定形状の接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬの一方の面に所定の間隔を隔てて仮着された原反ＲＳを繰出動作によって繰り出し可能な繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出された剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３０と、剥離された所定形状の接着シートＡＳを被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４０と、剥離シートＲＬに接着シートＡＳにおける所定の間隔と同じ間隔で検知部としての貫通孔ＤＨを形成する検知部形成手段としての検知部形成ローラ５０と、貫通孔ＤＨを検知する光学センサや撮像手段等の検知手段６０と、検知部形成ローラ５０と検知手段６０とを一体的に移動させ、当該検知手段６０での検知位置を調整する検知位置調整手段７０と、ウエハＷＦを支持し、当該ウエハＷＦと押圧ローラ４０とを相対移動させる支持手段８０と、検知手段６０の検知結果を基に、繰出手段２０で原反ＲＳを所定の間隔毎に間欠動作させるパーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段９０とを備えている。なお、本実施形態の繰出手段２０と、剥離板３０と、検知部形成ローラ５０と、検知手段６０と、検知位置調整手段７０と、制御手段９０とで、繰出動作と繰出停止とを繰り返す間欠動作によって接着シートＡＳを供給する本願発明のシート供給装置が構成される。また、剥離シートＲＬには、接着シートＡＳの所定の間隔と同じ間隔で非環状の検知用切込ＣＵが設けられている。

繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３によって駆動され、ピンチローラ２５とで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２４と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備えている。

検知部形成ローラ５０は、剥離板３０で剥離シートＲＬを折り返す位置とは別の位置で剥離シートＲＬを折り返すことで、検知用切込ＣＵを含む剥離シートＲＬ部分によって貫通孔ＤＨを形成する。

検知位置調整手段７０は、駆動機器としてのリニアモータ７１のスライダ７１Ａに支持され、ガイドローラ２２、検知部形成ローラ５０および検知手段６０を保持する保持フレーム７２を備えている。

支持手段８０は、駆動機器としてのリニアモータ８１のスライダ８１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面８２Ａを有するテーブル８２を備えている。

以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、図１に示すように、各部材が初期位置に配置された状態のシート貼付装置１０に対し、作業者が原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、検知位置調整手段７０がリニアモータ７１を駆動し、接着シートＡＳの貼付準備位置に合わせて検知部形成ローラ５０での原反ＲＳの折り返し位置および検知手段６０での貫通孔ＤＨの検知位置が所定位置となるように保持フレーム７２を移動させる。
次いで、制御手段９０の制御により繰出手段２０が回動モータ２３を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。その後、原反ＲＳの検知用切込ＣＵを含む部分が検知部形成ローラ５０によって折り返されると、検知用切込ＣＵの内側が折り返されずに突出部ＤＴとして突出するとともに、原反ＲＳに貫通孔ＤＨが形成される。そして、検知手段６０が貫通孔ＤＨの外縁を検知すると、制御手段９０の制御により繰出手段２０が回動モータ２３の駆動を停止し待機状態となり、接着シートＡＳが剥離板３０で所定長さ剥離シートＲＬから剥離された状態で貼付準備位置に配置される。なお、貼付準備位置で接着シートＡＳが剥離板３０で剥離される所定長さを変更する場合や、原反（他の原反）によって接着シートが仮着された所定の間隔が異なっていている場合には、検知位置調整手段７０がリニアモータ７１を駆動し、保持フレーム７２を移動させればよい。

その後、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、テーブル８２の支持面８２Ａ上にウエハＷＦを載置すると、支持手段８０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持した後、リニアモータ８１を駆動し、テーブル８２を左方向に移動させる。次いで、ウエハＷＦが所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、制御手段９０の制御により繰出手段２０が回動モータ２３を駆動し、テーブル８２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。そして、接着シートＡＳは、剥離板３０で剥離シートＲＬから剥離されつつ、押圧ローラ４０によって押圧されてウエハＷＦに貼付される。接着シートＡＳ全体がウエハＷＦに貼付された後も、繰出手段２０が回動モータ２３を駆動し続け、検知手段６０が次の貫通孔ＤＨを検知すると、制御手段９０の制御により繰出手段２０が回動モータ２３の駆動を停止し、再び待機状態となる。

ウエハＷＦへの接着シートＡＳの貼付が完了すると、支持手段８０がリニアモータ８１および図示しない減圧手段の駆動を停止した後、図示しない搬送手段がウエハＷＦを次工程に搬送する。そして、支持手段８０がリニアモータ８１を駆動し、テーブル８２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、検知用切込ＣＵを含む剥離シートＲＬ部分によって貫通孔ＤＨを形成するので、極僅かな境界部や透明な接着シートＡＳの端部を検知する必要がなくなり、特殊な検知手段を採用することなく接着シートをＡＳ間欠的に供給することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、原反として、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状の切込が形成されることで、当該切込の内側が接着シートＡＳとされたものが採用されてもよい。
原反として、帯状の接着シート基材が帯状の剥離シートＲＬに仮着されたものが採用された場合、切断刃、レーザカッタ、熱カッタ、エアカッタ、圧縮水カッタ等の切断手段により、接着シート基材に閉ループ状の切込を形成してもよい。
原反として、剥離シートＲＬに検知用切込が形成されていないものが採用された場合、当該原反に上記と同様の切断手段によって検知用切込を形成していてもよい。
検知用切込は、剥離シートＲＬのみ貫通する切込でもよいし、剥離シートＲＬおよび帯状の接着シート基材を貫通する切込でもよく、それら切込から形成される検知部は、剥離シートＲＬのみから形成されるのもでもよいし、剥離シートＲＬおよび帯状の接着シート基材から形成されるのもでもよい。

検知用切込として、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、剥離シートＲＬの外縁から繰出方向の反対方向に斜めに延びる直線状の検知用切込ＣＵ１を採用してもよいし、剥離シートＲＬの外縁から繰出方向に直交する方向に沿って内側に延びた後、繰出方向後側に向かうＬ字状の図示しない検知用切込を採用してもよい。検知用切込ＣＵ１を採用した場合には、図２（Ｂ）中二点鎖線で示すように、三角形の突出部ＤＴ１が突出することで形成された検知部としての貫通孔ＤＨ１を検知手段６０が検知し、Ｌ字状の検知用切込を採用した場合には、四角形の突出部が突出することで形成された検知部としての貫通孔を検知手段６０が検知すればよい。
検知用切込の形状は、Ｖ字状、コ字状等、どんな形状であってもよい。
検知用切込は、環状の切込であってもよく、この場合、検知部は、当該検知用切込を含む剥離シート部分が剥離手段で剥離シートＲＬを折り返す位置とは別の位置で検知部形成手段によって折り返され、検知用切込の内側部分が剥離されることで表出する貫通孔でもよいし、原反から剥離された検知用切込の内側部分でもよい。なお、検知用切込の内側部分は、検知部形成手段によって折り返される前に図示しない除去手段で除去してもよし、原反の状態で除去されていてもよい。なお、このような環状の切込の場合も、その形状は、三角形や四角形等の多角形、円形、楕円形等、どのような形状であってもよい。

検知部の形成を補助する検知部形成補助手段を設けてもよく、検知部形成ローラ５０の振動、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段による吸着等で突出部ＤＴの剥離を補助する構成を採用することができる。

剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
押圧手段は、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等を押圧部材として採用してもよいし、エア噴き付けにより接着シートＡＳを被着体に押圧する構成としてもよい。

検知部形成手段は、角棒やブレード材等で構成してもよい。

検知部は、検知用切込ＣＵ、ＣＵ１の内側によって構成された突出部ＤＴ、ＤＴ１を検知部とし、当該突出部ＤＴ、ＤＴ１を検知するようにしてもよい。
検知手段は、剥離板３０の剥離縁よりも繰出方向下流側で検知部を検知してもよく、この場合、原反ＲＳの検知用切込ＣＵを含む部分が検知部形成手段としてのピンチローラ２５または回収ローラ２６で折り返されることにより形成される貫通孔や突出部を検知してもよいし、ピンチローラ２５と検知部形成ローラ５０との間の位置で貫通孔を検知してもよい。
検知手段６０は、貼付準備位置にある接着シートＡＳに対し、原反繰出方向の上流側または下流側に位置する最寄りの検知部を検知してもよいし、最寄りでない検知部を検知してもよい。
検知手段６０は、リミットスイッチ等の接触型のセンサでもよい。

検知位置調整手段７０は、保持フレーム７２でガイドローラ２２に代えてまたはガイドローラ２２とともに、支持ローラ２１を保持してもよい。
検知位置調整手段は、別々の保持フレームで検知部形成手段と検知手段とを保持して移動させてもよく、この場合、検知部形成手段と検知手段とを一体的に移動させなくてもよい。
本願発明のシート供給装置において、検知位置調整手段は、なくてもよい。

支持手段８０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被着体を支持する構成でもよい。
支持手段８０は、テーブル８２の位置を固定しておき、繰出手段２０や押圧ローラ４０等の他の部材を移動させてもよいし、テーブル８２および他の部材の両方を移動させてもよい。
他の装置でウエハＷＦを移動させる場合、シート貼付装置１０において支持手段８０はなくてもよい。

また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、所定形状の接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に所定の間隔を隔てて仮着された原反を繰出動作によって繰り出し可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動手段や駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

２０ 繰出手段
３０ 剥離板（剥離手段）
５０ 検知部形成ローラ（検知位置調整手段）
６０ 検知手段
７０ 検知位置調整手段
ＡＳ 接着シート
ＣＵ、ＣＵ１ 検知用切込
ＤＨ、ＤＨ１ 貫通孔（検知部）
ＤＴ、ＤＴ１ 突出部（検知部）
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反

Claims (3)

1. 繰出動作と繰出停止とを繰り返す間欠動作によって接着シートを供給するシート供給装置であって、
   所定形状の接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に所定の間隔を隔てて仮着された原反を前記繰出動作によって繰り出し可能な繰出手段と、
   前記繰出手段で繰り出された前記剥離シートを折り返すことで当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
   前記剥離シートに前記接着シートにおける所定の間隔と同じ間隔で検知部を形成する検知部形成手段と、
   前記検知部を検知する検知手段と、
   前記検知手段の検知結果を基に、前記繰出手段で前記原反を前記所定の間隔毎に間欠動作させる制御手段とを備え、
   前記剥離シートには、前記接着シートの所定の間隔と同じ間隔で環状または非環状の検知用切込が設けられ、
   前記検知部形成手段は、前記剥離手段で前記剥離シートを折り返す位置とは別の位置で前記剥離シートを折り返すことで、前記検知用切込を含む剥離シート部分によって前記検知部を形成することを特徴とするシート供給装置。
2. 前記検知部形成手段と前記検知手段とを一体的に移動させ、当該検知手段での検知位置を調整する検知位置調整手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート供給装置。
3. 繰出動作と繰出停止とを繰り返す間欠動作によって接着シートを供給するシート供給方法であって、
   所定形状の接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に所定の間隔を隔てて仮着された原反を前記繰出動作によって繰り出し可能な繰出工程と、
   前記繰出工程で繰り出された前記剥離シートを折り返すことで当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、
   前記剥離シートに前記接着シートにおける所定の間隔と同じ間隔で検知部を形成する検知部形成工程と、
   前記検知部を検知する検知工程と、
   前記検知工程の検知結果を基に、前記繰出工程で前記原反を前記所定の間隔毎に間欠動作させる制御工程とを備え、
   前記剥離シートには、前記接着シートの所定の間隔と同じ間隔で環状または非環状の検知用切込が設けられ、
   前記検知部形成工程は、前記剥離工程で前記剥離シートを折り返す位置とは別の位置で前記剥離シートを折り返すことで、前記検知用切込を含む剥離シート部分によって前記検知部を形成することを特徴とするシート供給方法。

Images