JP2017067592A - 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記搬送部は、前記載置部材の前記電子部品が載置される載置面を覆うカバー部と、
前記載置部材と係合可能な係合部と、を有することを特徴とする。
前記各係合部は、前記載置面と平行な方向において、互いに異なる方向に移動可能であるのが好ましい。
前記作動流体が供給されていない状態では、前記各係合部は、接近した状態となるのが好ましい。
前記係合部は、前記載置部材の前記短辺と係合するのが好ましい。
これにより、電子部品が帯電するのを防止または抑制することができる。
これにより、係合状態での安定性をより高めることができる。
これにより、複数個所で載置部材を付勢することができる。よって、係合状態での安定性をさらに高めることができる。
前記電子部品を検査する検査部と、を備え、
前記搬送部は、前記載置部材の前記電子部品が載置される載置面を覆うカバー部と、
前記載置部材と係合可能な係合部と、を有することを特徴とする。
図1は、本発明の電子部品検査装置の実施形態を正面側から見た概略斜視図である。図2は、図1に示す電子部品検査装置の通常の動作状態を示す概略平面図である。図3〜図8は、図1に示す電子部品検査装置のリテスト動作状態を順に示す概略平面図である。図9は、図1に示すトレイ搬送機構(搬送部)を示す斜視図である。図10は、図9に示すトレイ搬送機構(搬送部)を示す断面図である。図11は、図9に示すトレイ搬送機構(搬送部)を示す断面図である。図12は、図9に示すトレイ搬送機構(搬送部)を示す断面図である。図13は、図9に示す連結部の正面図であって、トレイ搬送機構(搬送部)が上昇している状態を示す図である。図14は、図9に示す連結部の側面図であって、トレイ搬送機構(搬送部)が上昇している状態を示す図である。図15は、図9に示す連結部の正面図であって、トレイ搬送機構(搬送部)が下降している状態を示す図である。図16は、図9に示す連結部の側面図であって、トレイ搬送機構(搬送部)が下降している状態を示す図である。図17は、上流側位置決め部および下流側位置決め部の作用を説明するための図であって、搬送部が第2の位置の上方に位置している状態を示す図である。図18は、上流側位置決め部および下流側位置決め部の作用を説明するための図であって、搬送部が下降した状態を示す図である。図19は、上流側位置決め部および下流側位置決め部の作用を説明するための図であって、搬送部が第1の位置の上方に位置している状態を示す図である。図20は、上流側位置決め部および下流側位置決め部の作用を説明するための図であって、搬送部が下降した状態を示す図である。
温度調整部12は、複数のICデバイス90を一括して冷却、加熱することができる部材であり、「ソークプレート」と呼ばれることがある。このソークプレートにより、検査部16で検査される前のICデバイス90を予め冷却したり加熱したりして、当該検査に適した温度に調整することができる。図2に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入された(搬送されてきた)トレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12まで搬送される。
図9〜図16に示すように、トレイ搬送機構15は、搬送機構本体3と、搬送機構本体3を図示しない駆動源に連結する連結部4とを有している。なお、駆動源としては、特に限定されず、例えば、ボールネジとリニアガイドとを有し、搬送機構本体3をX方向およびY方向に移動させる機構を用いることができる。
図10は、トレイ搬送機構15が第2の位置P2の上方に位置している状態を示す図である。前述したように、第2の位置P2に配置されているトレイ200には、再検査用のICデバイス90が載置されている。この状態では、図10中二点鎖線で示すように、各アーム81は、接近状態となっている。
なお、壁部103、104およびその間の領域によって第1配置部が構成されている。
なお、壁部105、106およびその間の領域によって第2配置部が構成されている。
図21は、本発明の電子部品検査装置(第2実施形態)のトレイ搬送機構(搬送部)を示す斜視図である。
本実施形態は、カバー部材の構成が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
図22は、本発明の電子部品検査装置(第3実施形態)のトレイ搬送機構(搬送部)を示す断面図である。
本実施形態は、カバー部材の構成が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
<第4実施形態>
図23は、本発明の電子部品検査装置(第4実施形態)の上流側位置決め部および下流側位置決め部を示す図である。
本実施形態は、壁部の構成が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
Claims (17)
- 電子部品を載置した載置部材を搬送可能な搬送部を備え、
前記搬送部は、前記載置部材の前記電子部品が載置される載置面を覆うカバー部と、
前記載置部材と係合可能な係合部と、を有することを特徴とする電子部品搬送装置。 - 前記係合部は、複数設けられ、
前記各係合部は、前記載置面と平行な方向において、互いに異なる方向に移動可能である請求項1に記載の電子部品搬送装置。 - 前記係合部は、前記載置面と平行な方向に窪んだ凹部を有する爪状をなしている請求項1または2に記載の電子部品搬送装置。
- 前記各係合部のうち、互いに接近および離間可能に構成された前記係合部は、接近した場合、前記載置部材と係合する請求項2または3に記載の電子部品搬送装置。
- 前記各係合部は、作動流体が供給されることにより作動するシリンダーによって作動するものであり、
前記作動流体が供給されていない状態では、前記各係合部は、接近した状態となる請求項4に記載の電子部品搬送装置。 - 前記載置部材は、前記載置面と直交する方向から平面視した場合に、長辺と短辺とを有する長方形をなし、
前記係合部は、前記載置部材の前記短辺と係合する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。 - 前記カバー部は、前記電子部品と当接する部分に孔を有している請求項1ないし6のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 前記カバー部は、前記電子部品と当接する部分に突出部を有している請求項1ないし6のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 前記カバー部は、少なくとも前記電子部品と当接する部分が、導電性を有する材料である請求項1ないし8のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 前記導電性を有する材料は、導電性樹脂である請求項9に記載の電子部品搬送装置。
- 前記カバー部は、前記載置面と当接可能である請求項1ないし10のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 前記搬送部は、前記カバー部を前記載置面に向って付勢する付勢部を有する請求項1ないし11のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 前記付勢部は、複数設けられている請求項12に記載の電子部品搬送装置。
- 前記各付勢部は、前記載置面の平面視において、前記各付勢部の配置位置を線分で結んで形成される形状が矩形となるよう配置されている請求項13に記載の電子部品搬送装置。
- 前記カバー部は、前記載置面に向って移動可能に構成され、可動範囲が、2mm以上、4mm以下である請求項1ないし14のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 前記搬送部は、前記載置面と交わる方向から加わる衝撃を緩和する緩衝部を有する請求項1ないし15のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 電子部品を載置した載置部材を搬送可能な搬送部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備え、
前記搬送部は、前記載置部材の前記電子部品が載置される載置面を覆うカバー部と、
前記載置部材と係合可能な係合部と、を有することを特徴とする電子部品検査装置。
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