JP2017065954A - 炭化珪素単結晶インゴットの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)種結晶を用いた昇華再結晶法により口径d(mm)が150mm以上の炭化珪素単結晶インゴットを製造する方法であって、口径が(d−10)mm以上、かつ厚さが2.0mm以上の炭化珪素単結晶からなる種結晶を用いることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットの製造方法、
(2)(1)に記載の製造方法において、種結晶に用いる炭化珪素単結晶の口径が150mm以上であることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットの製造方法、
(3)(1)又は(2)に記載の製造方法において、得られる炭化珪素単結晶インゴットの先端における結晶成長端面が凸面形状を有しており、インゴット高さの位置にあたる結晶成長端面の中心点Oと、インゴットの外周端から中心方向5mm内側の位置にあたる結晶成長端面上の外周点Eとの高さの差(O−E)が0.8mm以上2.0mm以下であることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットの製造方法、
である。
本発明においては、種結晶を用いた昇華再結晶法により口径d(mm)が150mm以上の炭化珪素単結晶インゴットを製造するにあたり、口径が(d−10)mm以上、かつ厚さが2.0mm以上の炭化珪素単結晶からなる種結晶を用いるようにする。
図2に、昇華再結晶法を利用する単結晶成長装置の概略図を示す。主として黒鉛からなる坩堝3を用い、この坩堝内にアチソン法等により作製したSiC結晶原料粉末2を充填し、その対向位置にSiC単結晶からなる本発明の種結晶1を配置する。原料については特にSiC単結晶に限られる必要はなく、例えば、シリコン粉末と黒鉛粉末の混合粉のようなものであって、結晶成長が開始する温度までにSiCが合成可能な原料であってもよい。アルゴン等の不活性ガス雰囲気中で、概ね133Pa〜13.3kPaの範囲の圧力に調整し、2000〜2400℃に加熱される。この際、原料粉末2と種結晶1との間に、原料粉末の温度が高くなるように温度勾配を設定することにより、原料粉末の昇華分解及び種結晶上への再結晶化を誘起し、種結晶上への単結晶成長が誘起される。成長するSiC単結晶の電気抵抗率を制御するため、n型SiC単結晶成長の場合、成長中の雰囲気ガスへ窒素ガス等を適量添加してもよい。
(実施例1)
図2に示す単結晶成長装置を用いて、以下のようなSiC単結晶成長を実施した。なお、図2は、種結晶を用いた昇華再結晶法によってSiC単結晶を成長させる装置の一例であり、本発明の構成要件を限定するものではない。
種結晶として、口径175mmの{0001}基板からなる4H−SiC種結晶であって、厚さを表3に示したように1.4〜3.5mmの範囲で変えたものを用いて、また、内径175mmの坩堝成長空間を有する坩堝を用いて、それ以外は実施例1における試験インゴットの場合と同様にして、成長時間10時間としてそれぞれSiC単結晶インゴットを製造した。得られた各SiC単結晶インゴットについて、実施例1と同様に目視と実体顕微鏡による観察から、結晶性を評価した。結果を表3に示す。なお、得られたSiC単結晶インゴットの口径は概ね175.3〜175.7mmであった。
2 SiC結晶粉末原料
3 坩堝
4 二重石英管(水冷)
5 断熱材
6 真空排気装置
7 ワークコイル
8 測温用窓
9 二色温度計(放射温度計)
10 測温用上部断熱材穴
Claims (3)
- 種結晶を用いた昇華再結晶法により口径d(mm)が150mm以上の炭化珪素単結晶インゴットを製造する方法であって、口径が(d−10)mm以上、かつ厚さが2.0mm以上の炭化珪素単結晶からなる種結晶を用いることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
- 請求項1に記載の製造方法において、種結晶に用いる炭化珪素単結晶の口径が150mm以上であることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
- 請求項1又は2に記載の製造方法において、得られる炭化珪素単結晶インゴットの先端における結晶成長端面が凸面形状を有しており、インゴット高さの位置にあたる結晶成長端面の中心点Oと、インゴットの外周端から中心方向5mm内側の位置にあたる結晶成長端面上の外周点Eとの高さの差(O−E)が0.8mm以上2.0mm以下であることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットの製造方法。
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