JP2017065187A - 液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ヘッドユニットは、複数の第1圧力室26aと、複数の第1圧力室26aに対して走査方向一方側に配置された複数の第2圧力室26bと、複数の第1圧力室26aにそれぞれ対応する複数の第1圧電素子31aと、複数の圧力室26bにそれぞれ対応する複数の第2圧電素子31bを有する。第1圧電素子31aから引き出された配線42aは、搬送方向に隣接する第2圧電素子31bの間を通過して、駆動接点部46へ向けて延びている。第2圧電素子31bの第2活性部36bの搬送方向の幅は、第1活性部36aよりも短く、走査方向の長さは、第1活性部36aよりも長い。
【選択図】図3
Description
各第1配線は、前記第1方向に隣接する2つの前記第2圧電素子の間を通過して、前記接点部に向けて延びており、各第2圧電素子の前記第2圧電部のうちの、前記第2電極対に挟まれる第2活性部の前記第1方向の長さは、各第1圧電素子の前記第1圧電部の、前記第1電極対に挟まれる第1活性部よりも短く、前記第2活性部の前記第2方向の長さは、前記第1活性部よりも長いことを特徴とするものである。
図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、プラテン2と、キャリッジ3と、インクジェットヘッド4と、カートリッジホルダ5と、搬送機構6と、制御装置7等を備えている。
次に、インクジェットヘッド4のヘッドユニット16の詳細構成について説明する。2つのヘッドユニット16は同一の構造を有するため、以下では、ブラックインクとイエローインクを吐出するヘッドユニット16で代表して説明する。図2は、インクジェットヘッド4のヘッドユニット16の上面図である。図3は、図2のA部拡大図である。図4は、図3のIV-IV線断面図、図5は、図3のV-V線断面図である。
ノズルプレート20は、例えば、シリコン製のプレートであって、複数のノズル24が形成されている。プレート20の下面が、インクを吐出するインク吐出面である。より詳細には、図2に示すように、複数のノズル24は、搬送方向(本発明の第1方向)に沿って配列され、搬送方向と直交する走査方向(本発明の第2方向)に並ぶ4つのノズル列28を構成している。4つのノズル列28のうち、左側2つのノズル列28(28k1,28k2)はブラックインクを吐出し、右側2つのノズル列28(28y1,28y2)はイエローインクを吐出する。尚、以下の説明においては、ブラックインクに関連する構成については、符号の後に“k”の文字を付し、イエローインクに関連する構成については、符号の後に“y”の文字を付す。
流路基板21は、シリコン単結晶の基板である。流路基板21には、複数の貫通孔が形成されている。1つの貫通孔は、図4に示すように、下の開口がノズルプレート20で覆われ、上の開口が振動膜30(後述)で覆われて、1つの圧力室26を構成している。複数の圧力室26は、上述のノズル列28に沿って搬送方向に並び、インク1色毎に2つの圧力室列29を構成している。この2つの圧力室列29についてみると、複数の圧力室26が、搬送方向に等間隔で千鳥状に並ぶ。1つのヘッドユニット16では、合計4つの圧力室列29k1、29k2、29y1、29y2が構成されている。
圧電アクチュエータ22は、振動膜30とこの上に形成された圧電素子31から構成されている。圧電素子31は、圧力室26毎に形成され、振動膜30を挟んで圧力室26と対向している。1つの圧電素子31は、1つの圧力室26内のインクに、ノズル24から吐出するための吐出エネルギーを付与する。尚、圧電アクチュエータ22の製造は、主に半導体プロセス(CVD法、スパッタ法等による成膜やフォトリソ法によるパターニング)が用いられ、振動板30の上に、電極膜、圧電膜、保護膜などが順次形作られる。
図2〜図4に示すように、リザーバ形成部材23は、圧電アクチュエータ22が形成された流路基板21の上面に、熱硬化性接着剤で接着される。
ところで、上述したように、複数の圧電素子31(個別電極34)のそれぞれから、配線42が右方へ引き出されている。図2、図3に示すように、左側の3つの圧電素子列37k1,37k2,37y1から引き出された配線42は、それよりも右側の圧電素子列37の圧電素子31の間を通過して、流路基板21の右端部の駆動接点部46まで延びている。
16 ヘッドユニット
24 ノズル
26 圧力室
30 振動膜
31 圧電素子
32 共通電極
33 圧電体
34 個別電極
36 活性部
42 配線
43 配線保護膜
46 駆動接点部
Claims (9)
- 複数の第1ノズルとそれぞれ連通し、第1方向に配列された複数の第1圧力室と、
複数の第2ノズルとそれぞれ連通し、前記第1方向に配列され、且つ、前記複数の第1圧力室に対して前記第1方向と直交する第2方向における一方側に配置された、複数の第2圧力室と、
前記複数の第1圧力室、及び、前記複数の第2圧力室を覆うように配置された振動膜と、
前記振動膜上に前記複数の第1圧力室にそれぞれ対応して配列され、且つ、それぞれが、前記第1圧力室と重なる第1圧電部と、前記第1圧電部を前記第1方向及び前記第2方向と直交する第3方向に挟む2つの電極からなる第1電極対とを有する、複数の第1圧電素子と、
前記振動膜上に前記複数の第2圧力室にそれぞれ対応して配列され、且つ、それぞれが、前記第2圧力室と重なる第2圧電部と、前記第2圧電部を前記第3方向に挟む2つの電極からなる第2電極対とを有する、複数の第2圧電素子と、
前記複数の第1圧電素子にそれぞれ接続され、前記第2方向の前記一方側に延びる、複数の第1配線と、
前記複数の第2圧電素子にそれぞれ接続され、前記第2方向の前記一方側に延びる、複数の第2配線と、
前記複数の第2圧電素子に対して、前記第2方向の前記一方側に配置され、前記複数の第1配線と前記複数の第2配線が接続される複数の接点部と、を備え、
各第1配線は、前記第1方向に隣接する2つの前記第2圧電素子の間を通過して、前記接点部に向けて延びており、
各第2圧電素子の前記第2圧電部のうちの、前記第2電極対に挟まれる第2活性部の前記第1方向の長さは、各第1圧電素子の前記第1圧電部の、前記第1電極対に挟まれる第1活性部よりも短く、
前記第2活性部の前記第2方向の長さは、前記第1活性部よりも長いことを特徴とする液体吐出装置。 - 前記複数の第1圧力室は、前記第2方向に並ぶ2列以上の複数列に配列されていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 隣接する2つの前記第2圧電素子の間において、複数の前記第1配線の、前記第1方向における配置間隔が、4.0〜10.0μmであることを特徴とする請求項2に記載の液体吐出装置。
- 前記第1圧力室と前記第2圧力室は、共に、前記第2方向の長さが前記第1方向の長さよりも長い形状を有し、
前記第3方向から見たときに、前記第2活性部の面積が、前記第1活性部よりも大きいことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の液体吐出装置。 - 前記第2圧力室の前記第1方向の長さは、前記第1圧力室よりも短く、
前記第2圧力室の前記第2方向の長さは、前記第1圧力室よりも長いことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の液体吐出装置。 - 前記第1配線は、前記第1方向に隣接する2つの前記第2圧電素子の間において、前記第2圧力室とは重ならない領域にのみ配置されていることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出装置。
- 前記第1配線を覆う配線保護膜を有し、
前記第1方向に隣接する2つの前記第2圧電素子の間において、前記配線保護膜は、前記第2圧力室とは重ならない領域にのみ配置されていることを特徴とする請求項6に記載の液体吐出装置。 - 前記複数の第1圧力室には、第1液体が供給され、前記複数の第2圧力室には、前記第1液体とは異なる第2液体が供給されることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の液体吐出装置。
- 前記複数の第2圧力室は、前記第2方向に並ぶ2列以上の複数列に配列され、
前記複数の第2圧力室は、全て同じ形状を有することを特徴とする請求項8に記載の液体吐出装置。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5514282A (en) * | 1978-07-18 | 1980-01-31 | Seiko Epson Corp | Ink jet recording device |
JPH10193599A (ja) * | 1997-01-14 | 1998-07-28 | Minolta Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2002046269A (ja) * | 2001-08-09 | 2002-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2006088676A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JP2007095824A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Fuji Xerox Co Ltd | 圧電素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、圧電素子の製造方法 |
JP2007216672A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-30 | Brother Ind Ltd | 液滴吐出装置 |
JP4221929B2 (ja) * | 2000-03-31 | 2009-02-12 | 富士フイルム株式会社 | マルチノズルインクジエットヘッド |
WO2014003768A1 (en) * | 2012-06-28 | 2014-01-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead architectures |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0760958A (ja) | 1993-06-30 | 1995-03-07 | Rohm Co Ltd | ライン型インクジェットヘッド |
JP3267937B2 (ja) | 1998-09-04 | 2002-03-25 | 松下電器産業株式会社 | インクジェットヘッド |
JP2002001946A (ja) | 2000-06-22 | 2002-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
US7533972B2 (en) | 2004-02-06 | 2009-05-19 | Fujifilm Corporation | Inkjet head and manufacturing method thereof |
JP2007237599A (ja) | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
US8376526B2 (en) | 2006-03-09 | 2013-02-19 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet head |
JP5564858B2 (ja) * | 2009-08-31 | 2014-08-06 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
-
2015
- 2015-10-01 JP JP2015195550A patent/JP6558191B2/ja active Active
-
2016
- 2016-09-29 US US15/279,966 patent/US9764552B2/en active Active
-
2017
- 2017-08-11 US US15/674,678 patent/US10124587B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5514282A (en) * | 1978-07-18 | 1980-01-31 | Seiko Epson Corp | Ink jet recording device |
JPH10193599A (ja) * | 1997-01-14 | 1998-07-28 | Minolta Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP4221929B2 (ja) * | 2000-03-31 | 2009-02-12 | 富士フイルム株式会社 | マルチノズルインクジエットヘッド |
JP2002046269A (ja) * | 2001-08-09 | 2002-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2006088676A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JP2007095824A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Fuji Xerox Co Ltd | 圧電素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、圧電素子の製造方法 |
JP2007216672A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-30 | Brother Ind Ltd | 液滴吐出装置 |
WO2014003768A1 (en) * | 2012-06-28 | 2014-01-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead architectures |
Also Published As
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