JP2019107902A - 液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】圧電素子が配置される上部基板の小型化に加え、ノズルが形成される下部基板の小型化も図る。【解決手段】上部基板４６は、第１圧力室５１ａと第２圧力室５１ｂを有し、上部基板４６には複数の圧電素子６７が形成されている。中間基板４７は、第２方向の幅が上部基板４６よりも大きく、第１圧力室５１ａに連通する第１マニホールド５２ａ及び第１貫通孔５４ａと、第２圧力室５１ｂに連通する第２マニホールド５２ｂ及び第２貫通孔５４ｂを有する。下部基板４８は、中間基板４７よりも第２方向の幅が小さく、第１貫通孔５４ａに連通する第１ノズル３０ａと、第２貫通孔５４ｂに連通する第２ノズル３０ｂを有する。上部基板４６には、圧電素子６７から前記第２方向の一端側に配置された接点７１に向けて延びる、複数の個別配線７３が形成されている。【選択図】図５

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出装置に関する。

特許文献１には、液体吐出装置として、走査方向に移動しながら記録媒体に対してインクを吐出する、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドが開示されている。特許文献１のインクジェットヘッドは、ノズルプレートと、流路形成基板と、複数の圧電素子等を備えている。ノズルプレートには複数のノズルが形成されている。流路形成基板は、シリコン単結晶基板からなり、ノズルプレートに接合されている。流路形成基板には、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、複数の圧力室にインクを供給するマニホールドが形成されている。複数の圧電素子は、流路形成基板の上面に、複数の圧力室にそれぞれ対応して配置されている。

特許文献１では、流路形成基板に、複数の圧力室だけでなく、容積（面積）の大きいマニホールドが形成されているため、流路形成基板のサイズが大きくなる。ここで、流路形成基板は、シリコンウェハーに圧電素子を成膜してから、このウェハーを所定の大きさに切り分けることにより製造される。このように、圧電素子の成膜工程が存在するため、流路形成基板となるウェハー１枚当たりのコストは高い。そのため、１枚のウェハーからの流路形成基板の取り数を多くしてコストダウンを図る目的から、流路形成基板のサイズをできるだけ小さくすることが好ましい。

この点に関し、特許文献２には、複数の圧力室とマニホールドとが異なる基板に形成されたインクジェットヘッドが開示されている。この特許文献２のインクジェットヘッドは、複数の圧力室が形成された圧力室形成基板（上部基板）と、マニホールド及び複数の連通流路が形成された連通基板（中間基板）と、複数のノズルが形成されたノズルプレート（下部基板）と、圧力室形成基板に設けられた複数の圧電素子とを備える。

圧力室形成基板、連通基板、及び、ノズルプレートは、それぞれシリコン基板からなる。ノズルプレートに形成された複数のノズルは、２列に配列されている。圧力室形成基板に形成された複数の圧力室も、ノズルの配列に従って２列に配列されている。連通基板は、圧力室形成基板とノズルプレートとの間に配置され、圧力室の配列方向と直交する方向において、圧力室形成基板よりも、両側に張り出している。連通基板の、両側２つの張り出し部分には、２つの圧力室列に対応した２つのマニホールドが形成され、２つのマニホールドの間に、複数の連通流路が形成されている。ノズルプレートは、連通基板の、複数の連通流路が形成された領域に接合されており、連通基板の複数の連通流路とノズルプレートの複数のノズルとがそれぞれ連通している。

複数の圧電素子は、圧力室形成基板の上面において、圧力室の配列に従って２列に配列されている。各圧電素子には配線が接続され、配線は、２列の圧電素子列の内側に引き出されている。また、圧力室形成基板の２列の圧電素子列の間の領域には、配線部材が接合されている。配線部材は、圧電素子から引き出された配線と電気的に接続されている。

この特許文献２の構成では、複数の圧力室とマニホールドが、異なる基板に形成されている。つまり、圧力室形成基板にマニホールドが形成されていないため、圧電素子が成膜される圧力室形成基板を小型化することができる。

特開２００３−２４６０６５号公報 特開２０１４−５４８３５号公報

上述の特許文献２のインクジェットヘッドでは、特許文献１と比べて、圧力室形成基板（上部基板）を小型化することによるコストダウンが可能となるが、さらなるコストダウンの余地がある。

特許文献２のノズルプレート（下部基板）は、シリコン基板からなり、このシリコン基板にドライエッチングでノズルを形成する。より詳しくは、アスペクト比の高いノズルを形成するために、ボッシュプロセス加工などの深掘エッチング加工を施してノズルを形成する。このような加工を行うため、ノズルプレートとなる１枚のウェハー当たりの製造コストが高くなる。また、ノズルプレートを薄くするための研磨工程が必要であることからも、ウェハー１枚当たりの製造コストが高くなる。そのため、１枚のウェハーから、できるだけ多くのノズルプレートを切り出すことができるようにするために、１枚のノズルプレートのサイズもできるだけ小さくすることが好ましい。

しかし、特許文献２では、圧力室形成基板の２つの圧電素子列の間の領域に、各圧電素子に接続された配線が引き出され、上記領域に配線部材が接合される。この関係上、２つの圧電素子列の距離、即ち、２つの圧力室列の距離を一定以上離す必要があり、それに伴って、ノズルプレートの２つのノズル列の距離も離れる。これにより、ノズルプレートのサイズが大きくなってしまう。

本発明の目的は、圧電素子が配置される上部基板の小型化に加え、ノズルが形成される下部基板の小型化も図ることである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

本発明の液体吐出装置は、
第１方向に配列された複数の第１圧力室と、前記第１方向に配列され、且つ、前記第１方向と直交する第２方向にずれた位置に配置された複数の第２圧力室とを有し、前記複数の第１圧力室に対応する複数の第１圧電素子と前記複数の第２圧力室に対応する複数の第２圧電素子が形成された上部基板と、前記第１圧力室と連通する第１マニホールドと、前記第１圧力室の前記第１マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第１貫通孔と、前記第２圧力室と連通する第２マニホールドと、前記第２圧力室の前記第２マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第２貫通孔と、を有し、前記上部基板よりも前記第２方向における幅が大きい中間基板と、前記第１貫通孔と連通する複数の第１ノズルと、前記第２貫通孔と連通する複数の第２ノズルとを有し、前記中間基板よりも前記第２方向における幅が小さい下部基板と、を有する液体吐出ヘッドを備え、 前記上部基板には、前記複数の第１圧電素子のそれぞれと前記複数の第２圧電素子のそれぞれから前記第２方向の一端側に配置された接点に向けて延びる、複数の個別配線が形成されていることを特徴とするものである。
別の観点において、本発明の液体吐出装置は、第１方向に配列された複数の第１圧力室と、前記第１方向に配列され、且つ、前記第１方向と直交する第２方向にずれた位置に配置された複数の第２圧力室とを有し、前記複数の第１圧力室に対応する複数の第１圧電素子と前記複数の第２圧力室に対応する複数の第２圧電素子が形成された上部基板と、 前記第１圧力室と連通する第１マニホールドと、前記第１圧力室の前記第１マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第１貫通孔と、前記第２圧力室と連通する第２マニホールドと、前記第２圧力室の前記第２マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第２貫通孔と、を有し、前記上部基板よりも前記第２方向における幅が大きい中間基板と、 前記第１貫通孔と連通する複数の第１ノズルと、前記第２貫通孔と連通する複数の第２ノズルとを有し、前記中間基板よりも前記第２方向における幅が小さい下部基板と、を有する液体吐出ヘッドを備え、
前記上部基板には、前記複数の第１圧電素子のそれぞれと前記複数の第２圧電素子のそれぞれから前記第２方向の一端側に配置された接点に向けて延びる、複数の個別配線が形成されており、前記液体吐出ヘッドの前記第１圧力室と前記第２圧力室は、前記第２方向において前記接点とは反対側に片寄って配置されていることを特徴とするものである。
さらに別の観点において、本発明の液体吐出装置は、第１方向に配列された複数の第１圧力室と、前記第１方向に配列され、且つ、前記第１方向と直交する第２方向にずれた位置に配置された複数の第２圧力室とを有し、前記複数の第１圧力室に対応する複数の第１圧電素子と前記複数の第２圧力室に対応する複数の第２圧電素子が形成された第１基板を備え、
前記第１基板は前記第２方向の両端である第１端と第２端を有し、前記複数の第１圧力室のうちの一つの第１圧力室は前記第２方向の両端である第３端と第４端を有し、前記複数の第２圧力室のうちの一つの第２圧力室は前記第２方向の両端である第５端と第６端を有し、前記第１端、前記第２端、前記第３端、前記第４端、前記第５端、および、前記第６端は、前記第２方向において、前記第１端、前記第３端、前記第４端、前記第５端、前記第６端、前記第２端の順に配置され、前記第１端から前記第３端までの距離は、前記第６端から前記第２端までの距離よりも大きいことを特徴とするものである。

本発明では、第２方向に並ぶ第１圧力室及び第２圧力室が形成された基板（上部基板）と、圧力室に連通するマニホールドが形成された基板（中間基板）とが別になっている。つまり、上部基板にマニホールドが形成されない分、この上部基板のサイズを小さくすることができる。また、本発明では、第１圧力室に対応する圧電素子から引き出された個別配線と、第２圧力室に対応する圧電素子から引き出された個別配線とが、共に、複数の圧電素子に対して第２方向の一方側に配置された接点へ向けて引き出されている。つまり、第１圧力室と第２圧力室との間には、接点（配線部材との接続部）が配置されない。そのため、第１圧力室と第２圧力室とを近づけて、第１圧力室に連通するノズルと第２圧力室に連通するノズルの、第２方向における距離を狭めることができる。これにより、下部基板の第２方向における幅も小さくすることができる。

本実施形態に係るプリンタの概略的な上面図である。 インクジェットヘッドの４つの吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジの断面図である。 キャップがキャップ位置にあるときの、キャリッジの断面図である。 インクジェットヘッドの１つの吐出ヘッドの上面図である。 図４のV-V線断面図である。 吐出ヘッド（上部基板）の上面図である。 （ａ）は図６のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図６のＢ−Ｂ線断面図である。 変更形態のキャリッジの断面図である。 別の変更形態のキャリッジの断面図である。 別の変更形態のプリンタの概略的な上面図である。

次に、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るプリンタの概略的な上面図である。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、図１に示す前後左右の各方向をプリンタの「前」「後」「左」「右」と定義する。また、紙面手前側を「上」、紙面向こう側を「下」とそれぞれ定義する。その上で、以下では、前後左右上下の各方向語を適宜使用して説明する。

＜プリンタの概略構成＞
図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、カートリッジホルダ５と、搬送機構６と、メンテナンス装置７と、制御装置８等を備えている。

プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って左右方向（以下、走査方向ともいう）に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１４が連結され、キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３は走査方向に移動する。

図２は、インクジェットヘッド４の４つの吐出ヘッド２０が取り付けられたキャリッジ３の断面図である。インクジェットヘッド４は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。図２に示すように、インクジェットヘッド４は、走査方向に並ぶ４つの吐出ヘッド２０を備えている。インクジェットヘッド４は、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクカートリッジ１７が装着されるカートリッジホルダ５（図１参照）と、図示しないチューブによってそれぞれ接続されている。各吐出ヘッド２０は、その下面に形成された複数のノズル３０を有する。各吐出ヘッド２０のノズル３０は、インクカートリッジ１７から供給されたインクを、プラテン２に載置された記録用紙１００に向けて吐出する。インクジェットヘッド４の吐出ヘッド２０の詳細については、後ほど説明する。

搬送機構６は、前後方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。搬送機構６は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を前方（以下、搬送方向ともいう）に搬送する。

メンテナンス装置７は、インクジェットヘッド４の吐出性能の維持、回復を目的として吸引パージを行うためのものであり、キャリッジ３の走査方向における移動範囲のうちの、プラテン２よりも右側の位置に配置されている。図１、図３に示すように、メンテナンス装置７は、キャップ２１と吸引ポンプ２２を備えている。図３は、キャップ２１がキャップ位置にあるときの、キャリッジ３の断面図である。キャップ２１は、図示しないキャップ駆動モータによって、上下方向に駆動される。これにより、キャップ２１は、インクジェットヘッド４の４つの吐出ヘッド２０のノズル３０を覆うキャップ位置（図３の実線の位置）と、インクジェットヘッド４から離れたアンキャップ位置（図３の二点鎖線の位置）とに移動可能である。吸引ポンプ２２は、チューブ２３によりキャップ２１の排出口２１ａに接続されている。

吸引パージ時のメンテナンス装置７の動作は、以下の通りである。キャリッジ３が、プラテン２の右側の、キャップ２１と対向する位置にあるときに、キャップ駆動モータによってキャップ２１が上方へ駆動される。これにより、キャップ２１がキャップ位置まで上昇して、４つの吐出ヘッド２０のノズル３０を覆う。この状態で、吸引ポンプ２２によってキャップ２１内の空間が減圧されると、各ノズル３０からインクが強制的に排出される。このとき、吐出ヘッド２０内のインク流路に存在する塵、気泡、あるいは、増粘したインクが一緒に排出される。

制御装置８は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び、各種制御回路を含むＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等を備える。 制御装置８は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＡＳＩＣにより、記録用紙１００への印刷や、インクジェットヘッド４のメンテナンス等の各種処理を実行する。

例えば、印刷処理においては、制御装置８は、ＰＣ等の外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド４やキャリッジ駆動モータ１５等を制御して、記録用紙１００に画像等を印刷させる。具体的には、キャリッジ３とともにインクジェットヘッド４を走査方向に移動させながらインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ１８，１９によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。また、メンテナンス処理においては、制御装置８は、キャップ２１を上下に駆動するキャップ駆動モータ、及び、吸引ポンプ２２を制御して、上述した吸引パージを行わせる。

＜インクジェットヘッドの詳細＞
次に、インクジェットヘッド４の詳細構成について説明する。図２に示すように、キャリッジ３の下部には板状のユニットホルダ３３が設けられ、このユニットホルダ３３の上面に、４つの吐出ヘッド２０が走査方向に並べて取り付けられている。また、キャリッジ３には、４つの吐出ヘッド２０の上方において４つの吐出ヘッド２０に跨って配置された回路基板３４が設けられている。また、回路基板３４と４つの吐出ヘッド２０は、配線部材であるＣＯＦ３５（Chip On Film）によって、それぞれ接続されている。回路基板３４は、プリンタ１の制御装置８（図１参照）と電気的に接続されており、制御装置８からの指令を受けて、各吐出ヘッド２０に対して様々な制御信号を出力する。

各吐出ヘッド２０の下面には複数のノズル３０が形成されている。各吐出ヘッド２０の複数のノズル３０は、ユニットホルダ３３に形成された開口から露出している。図４は、インクジェットヘッド４の１つの吐出ヘッド２０の上面図である。図４に示すように、複数のノズル３０は、搬送方向に沿って配列されて、２つのノズル列３１（３１ａ，３１ｂ）を構成している。尚、２つのノズル列３１ａ，３１ｂの間において、ノズル３０の位置が搬送方向にずれており、複数のノズル３０が、いわゆる千鳥状に配置されている。

１つの吐出ヘッド２０の２つのノズル列３１は、それぞれ、異なる色のインクを吐出する。尚、以下の説明において、プリンタ１の構成要素のうち、ブラック（Ｋ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）のインクにそれぞれ対応するものについては、その構成要素を示す符号の後に、どのインクに対応するかが分かるように、適宜、ブラックを示す“ｋ”、イエローを示す“ｙ”、シアンを示す“ｃ”、マゼンタを示す“ｍ”の何れかの記号を付す。例えば、図２に示されるノズル列３１ｋとは、ブラックインクを吐出するノズル列３１を指す。

４つの吐出ヘッド２０の全体で、４色のインクをそれぞれ吐出する４種類のノズル列３１が左右対称に配置されている。具体的には、４つの吐出ヘッド２０のうち、走査方向における内側に配置された吐出ヘッド２０１と吐出ヘッド２０２の各々は、内側に位置するブラックのノズル列３１ｋと、外側に位置するマゼンタのノズル列３１ｍを有する。また、吐出ヘッド２０１の左側に配置された吐出ヘッド２０３と、吐出ヘッド２０２の右側に配置された吐出ヘッド２０４、つまり、外側２つの吐出ヘッド２０３，２０４の各々は、内側に位置するシアンのノズル列３１ｃと、外側に位置するイエローのノズル列３１ｙを有する。

つまり、４つの吐出ヘッド２０を有するインクジェットヘッド４全体で、１色のインクにつき２つのノズル列３１、合計８つのノズル列３１が存在する。そして、これら８つのノズル列３１は、内側から左右両側に向けて、ブラックのノズル列３１ｋ、マゼンタのノズル列３１ｍ、シアンのノズル列３１ｃ、イエローのノズル列３１ｙの順で配置されている。尚、図２において、各色のノズル３０及びノズル列３１について、左側に配置されているものについては、符号“１”を付し、右側に配置されているものについては、符号“２”を付している。例えば、ノズル３０ｃ１とは、左側に配置された、シアンインクを吐出するノズル３０のことである。

即ち、中央側からブラック、マゼンタ、シアン、イエローの順で、４色のノズル列３１が左右対称に配置されている。上記の構成では、キャリッジ３が左方に移動する場合と右方に移動する場合とで、記録用紙１００への４色のインクの着弾順序を同じにすることができる。これにより、双方向印字において、キャリッジ３が左方に移動する際に形成される画像部分と、右方に移動する際に形成される画像部分との間の、色目の違いを小さく抑えることが可能となる。

＜吐出ヘッドの構成＞
次に、吐出ヘッド２０の具体的な構成について説明する。尚、インクジェットヘッド４の４つの吐出ヘッド２０の構造は同じであるため、そのうちの１つについて説明する。図５は、図４のV-V線断面図である。図６は、吐出ヘッド２０（上部基板４６）の上面図である。図７（ａ）は図６のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図６のＢ−Ｂ線断面図である。尚、図６では、図５、図７に示されている保護部材４２が二点鎖線で概略的に示されている。

図４、図５に示すように、吐出ヘッド２０は、ホルダ部材４０と、このホルダ部材４０に保持されたヘッド本体部４３とを有する。ホルダ部材４０は、合成樹脂や金属等で形成されている。ホルダ部材４０の、ヘッド本体部４３を走査方向（左右方向）に挟む２つの部分には、２つのインク供給流路４４がそれぞれ形成されている。

吐出ヘッド２０の上方に配置された回路基板３４には貫通孔３４ａが形成され、この貫通孔３４ａにおいて、吐出ヘッド２０へインクを供給するための筒状の流路部材４１が、回路基板３４を貫通している。ホルダ部材４０のインク供給流路４４は、上記の流路部材４１を介して、カートリッジホルダ５（図１参照）と接続されている。そして、カートリッジホルダ５に装着された２色（ブラックとマゼンタ、あるいは、シアンとイエロー）のインクカートリッジ１７のインクが、インク供給流路４４を介して、ヘッド本体部４３へそれぞれ供給される。また、回路基板３４には、ヘッド本体部４３の圧電アクチュエータ４９に接続されるＣＯＦ３５を通すための貫通孔３４ｂも形成されている。

ヘッド本体部４３は、上部基板４６、中間基板４７、下部基板４８、及び、圧電アクチュエータ４９を有する。上部基板４６、中間基板４７、及び、下部基板４８には、それぞれ、インク流路の一部となる流路孔が形成されている。尚、上部基板４６、中間基板４７、及び、下部基板４８は、それぞれ、シリコン単結晶基板からなる。

図５〜図７に示すように、上部基板４６には、複数の圧力室５１が形成されている。複数の圧力室５１は、搬送方向に配列された複数の第１圧力室５１ａと、複数の第１圧力室５１ａよりも左側にずれた位置において、搬送方向に配列された複数の第２圧力室５１ｂを含む。各圧力室５１は、走査方向に長い矩形の平面形状を有する。

上部基板４６は、複数の圧力室５１（第１圧力室５１ａ、第２圧力室５１ｂ）を覆う振動膜５７を有する。振動膜５７は、シリコンの上部基板４６の一部を酸化、又は、窒化することによって形成された、二酸化シリコン（ＳｉＯ₂）、あるいは、窒化シリコン（ＳｉＮｘ）からなる膜である。上部基板４６の左端部の上面には、後述する圧電アクチュエータ４９の接点７１ａ，７１ｂ，７２が配置された、電気接続部７０が設けられている。この電気接続部７０にはＣＯＦ３５が接合される。

中間基板４７は、上部基板４６の下面に接合されている。中間基板４７の上面には、２つのインク供給流路４４とそれぞれ連通する２つのインク供給穴５０（５０ａ，５０ｂ）が形成されている。また、中間基板４７には、２つのインク供給穴５０とそれぞれ連通する、左右２つのマニホールド５２（５２ａ，５２ｂ）が形成されている。右側の第１マニホールド５２ａは、複数の第１圧力室５１ａの走査方向における外側端部（右端部）と重なり、且つ、搬送方向（図５の紙面垂直方向）に延びている。左側の第２マニホールド５２ｂは、複数の第２圧力室５１ｂの走査方向における外側端部（左端部）と重なり、且つ、搬送方向に延びている。尚、中間基板４７のマニホールド５２ａ，５２ｂは、圧力室５１ａ，５１ｂよりも左右に張り出すように配置されている。そのため、中間基板４７の走査方向における幅は、上部基板４６の走査方向における幅よりも大きくなっている。そして、中間基板４７の上面の、上部基板４６よりも走査方向における外側の領域に、第１マニホールド５２ａに連通する第１インク供給穴５０ａと、第２マニホールド５２ｂに連通する第２インク供給穴５０ｂとが形成されている。

各マニホールド５２の下側は、合成樹脂製のフィルム５６によって覆われている。フィルム５６の下側には、吐出ヘッド２０を保持するユニットホルダ３３が配置されている。中間基板４７には、複数の第１圧力室５１ａの外側端部（右端部）と第１マニホールド５２ａとを連通させる複数の第１連通孔５３ａと、複数の第２圧力室５１ｂの外側端部（左端部）と第２マニホールド５２ｂとを連通させる複数の第２連通孔５３ｂが形成されている。さらに、中間基板４７には、複数の第１圧力室５１ａの内側端部（左端部）に連通する複数の第１貫通孔５４ａと、複数の第２圧力室５１ｂの内側端部（右端部）に連通する複数の第２貫通孔５４ｂが形成されている。

下部基板４８は、中間基板４７の下面に接合されている。この下部基板４８には、中間基板４７の複数の第１貫通孔５４ａにそれぞれ連通する複数の第１ノズル３０ａと、複数の第２貫通孔５４ｂにそれぞれ連通する複数の第２ノズル３０ｂとが形成されている。図４に示すように、複数の第１ノズル３０ａによって第１ノズル列３１ａが構成され、複数の第２ノズル３０ｂによって、第１ノズル列３１ａと走査方向に並ぶ、第２ノズル列３１ｂが構成されている。尚、図５に示すように、下部基板４８は、中間基板４７の下面全域に接合されているのではなく、中間基板４７の２つのマニホールド５２の間の、複数の連通孔５４が形成されている一部領域にのみ接合されている。つまり、下部基板４８は、２つのマニホールド５２とは重なっていない。また、下部基板４８は、基板４６〜４８の積層方向である上下方向において、上部基板４６の、複数の接点７１，７２が配置された電気接続部７０とは重なっていない。これにより、下部基板４８の走査方向における幅は、上部基板４６の幅、及び、中間基板４７の幅よりも小さくなっている。

尚、下部基板４８に形成された２つのノズル列３１ａ，３１ｂは、走査方向において、吐出ヘッド２０の中心線Ｃに対して電気接続部７０とは反対側に片寄って配置されている。このように、走査方向においてノズル列３１が片寄って配置されている理由については後で詳述する。また、図２に示すように、４つの吐出ヘッド２０のうち、内側２つの吐出ヘッド２０１，２０２では、２つのノズル列３１が内側に片寄って配置されている。一方、外側２つの吐出ヘッド２０３，２０４では、２つのノズル列３１が外側に片寄って配置されている。

圧電アクチュエータ４９は、複数の圧力室５１内のインクに、それぞれノズル３０から吐出させるための吐出エネルギーを付与するものである。図５〜図７に示すように、圧電アクチュエータ４９は、上部基板４６の振動膜５７の上面に配置されている。圧電アクチュエータ４９は、複数の圧力室５１に対応した複数の圧電素子６７を有する。

まず、圧電素子６７の構成について説明する。上部基板４６の振動膜５７の上面には、複数の圧力室５１にそれぞれ対向して、複数の個別電極６０が配置されている。即ち、複数の第１圧力室５１ａにそれぞれ対応して、複数の第１個別電極６０ａが搬送方向に配列され、複数の第２圧力室５１ｂにそれぞれ対応して、複数の第２個別電極６０ｂが搬送方向に配列されている。各個別電極６０は、白金（Ｐｔ）で形成されている。各個別電極６０は、圧力室５１よりも小さい矩形の平面形状を有する。

図６、図７に示すように、振動膜５７の上面には、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料からなる圧電膜６１が形成されている。圧電膜６１は、例えば、ゾルゲル法によって形成される。圧電膜６１は、右側の複数の第１個別電極６０ａと左側の複数の第２個別電極６０ｂの両方を、共通に覆っている。図６、図７（ｂ）に示すように、圧電膜６１の右側部分の、搬送方向に隣接する２つの第１個別電極６０ａの間の部分には、走査方向に沿って延びるスリット６４が形成されている。また、図６、図７（ａ）に示すように、圧電膜６１の左側部分の、搬送方向に隣接する２つの第２個別電極６０ｂの間の部分にも、走査方向に沿って延びるスリット６４が形成されている。別の言い方をすれば、各個別電極６０の、搬送方向における両側に、圧電膜６１の２つのスリット６４がそれぞれ配置されている。搬送方向に隣接する２つの個別電極６０の間において、圧電膜６１にスリット６４が形成されていることにより、圧電膜６１の、各圧力室５１と対向する部分を大きく変形させやすくなる。

第１個別電極６０ａの左端部は、第１圧力室５１ａの左端よりもさらに左方へ延び、圧電膜６１のスリット６４の右端部と重なる位置に配置されている。このスリット６４において、第１個別電極６０ａの左端部が圧電膜６１から露出して、第１露出部６５を構成している。第２個別電極６０ｂの左端部は、第２圧力室５１ｂの左端よりもさらに左方へ延びて、圧電膜６１の左側の縁から露出し、第２露出部６６を構成している。

上記の圧電膜６１を覆うように、共通電極６２が配置されている。この共通電極６２は、例えば、イリジウム（Ｉｒ）で形成されている。また、共通電極６２は、複数の個別電極６０（第１個別電極６０ａ、第２個別電極６０ｂ）と、圧電膜６１を挟んで対向している。共通電極６２の左側部分には、搬送方向に隣接する２つの第２個別電極６０ｂと対向する部分の間に、左側から切り欠かれた切欠部６８が形成されている。これにより、共通電極６２の左側部分は、共通電極６２の中央部から左方に向けて延びる櫛歯形状に形成されている。言い換えれば、搬送方向に隣接する２つの第２個別電極６０ｂの間には、共通電極６２が配置されていない。

そして、１つの圧力室５１に対して、これに対向する共通電極３２、圧電膜６１及び個別電極６０の各部分によって、１つの圧電素子６７が構成されている。また、複数の圧力室５１にそれぞれ対応する複数の圧電素子６７が、圧力室５１の配列に応じて、２列に配列されている。尚、各圧電素子６７において、個別電極６０と共通電極６２と挟まれた、圧電膜６１の部分（以下、活性部６１ａとも呼ぶ）は、厚み方向において上向き、即ち、下側の個別電極６０から上側の共通電極６２に向かう方向に分極されている。

共通電極６２の上には、この共通電極６２と接触して配置された補助導体６３が設けられている。この補助導体６３は、共通電極６２の異なる部分の間に別の電流経路を構築することで、共通電極６２内の電位ばらつきを抑える。補助導体６３は、金（Ａｕ）やアルミニウム（Ａｌ）などの電気抵抗率の小さい金属材料で形成されている。また、補助導体６３の厚みは、共通電極６２の厚みよりも大きい。補助導体６３は、第１導電部６３ａと、第１導電部６３ａに導通する複数の第２導電部６３ｂと、第１導電部６３ａに導通する２つの第３導電部６３ｃとを有する。

第１導電部６３ａは、共通電極６２の、複数の第１個別電極６０ａよりも右側の部分の上に配置されている。第１導電部６３ａは、複数の第１個別電極６０ａにわたって搬送方向に延びている。各第２導電部６３ｂは、搬送方向に隣接する２つの第１個別電極６０ａの間において、共通電極６２の上に配置され、且つ、走査方向に延びている。２つの第３導電部６３ｃは、第１導電部６３ａの前端部と後端部にそれぞれ接続されている。これら２つの第３導電部６３ｃは、共通電極６２の、複数の個別電極６０よりも前側部分と後側部分に配置され、第１導電部６３ａから左方にそれぞれ延びている。

先にも触れたように、上部基板４６の左端部の上面には電気接続部７０が設けられている。即ち、電気接続部７０は、上部基板４６の上面の、中間基板４７のマニホールド５２ｂと重なる領域に配置されている。電気接続部７０は、複数の第１駆動接点７１ａと、複数の第２駆動接点７１ｂと、２つのグランド接点７２を有する。

複数の圧電素子６７の個別電極６０には、複数の個別配線７３がそれぞれ接続されている。各個別配線７３は、個別電極６０から左方に引き出されて、上部基板４６の左端部に設けられた電気接続部７０の駆動接点７１まで延びている。図７に示すように、個別配線７３の一部は圧電膜６１の上に配置されている。複数の個別配線７３は、補助導体６３と同じ材料（例えば、金やアルミニウム）で形成されている。

図６、図７（ａ）に示すように、右側の第１個別電極６０ａの第１露出部６５は、２つの第２個別電極６０ｂの間のスリット６４において圧電膜６１から露出している。第１個別電極６０ａに対応する第１個別配線７３ａの右端部は、第１露出部６５から圧電膜６１の上面まで連続的に形成されている。また、第１個別配線７３ａは、第１露出部６５から、スリット６４において２つの第２個別電極６０ｂの間を通過して、上部基板４６の振動膜５７の上面に沿って左方に延びている。さらに、第１個別配線７３ａは、圧電膜６１の左端部を乗り越えて、電気接続部７０の第１駆動接点７１ａに接続されている。尚、共通電極６２は、２つの第２個別電極６０ｂの間の領域において、第１個別配線７３ａを避けるように切欠形状に形成されているため、圧電膜６１のスリット６４において、第１個別配線７３ａと共通電極６２とが短絡することがない。

図６、図７（ｂ）に示すように、左側の第２個別電極６０ｂの第２露出部６６は、圧電膜６１の左側の縁から露出している。第２個別電極６０ｂに対応する第２個別配線７３ｂの右端部は、第２露出部６６から圧電膜６１の上面まで連続的に形成されている。第２個別配線７３ｂは、第２露出部６６から上部基板４６の振動膜５７の上面に沿って左方に延び、電気接続部７０の第２駆動接点７１ｂに接続されている。

尚、上述した補助導体６３の２つの第３導電部６３ｃは、第１導電部６３ａからそれぞれ左方へ延びて、電気接続部７０のグランド接点７２に接続されている。

以上のように、本実施形態では、上部基板４６において、第１圧力室５１ａに対応する圧電素子６７と、第２圧力室５１ｂに対応する圧電素子６７に対して、走査方向における一方側（左側）に、個別配線７３と接続される駆動接点７１を有する電気接続部７０が配置されている。そのため、第１圧力室５１ａと第２圧力室５１ｂは、吐出ヘッド２０の中心線Ｃに対して、駆動接点７１とは反対側（右側）に片寄って配置される。また、第１圧力室５１ａに対応するノズル列３１ａと、第２圧力室５１ｂに対応するノズル列３１ｂも、駆動接点７１とは反対側に片寄って配置されている。

図５〜図７に示すように、上記の圧電アクチュエータ４９は、上部基板４６の上面に配置された保護部材４２によって覆われている。保護部材４２は、凹状のカバー部４２ａと、カバー部４２ａよりも左側部分に形成された開口部４２ｂとを有する。図５に示すように、保護部材４２の開口部４２ｂは、その上に位置するホルダ部材４０の開口部４０ａと上下に連通している。保護部材４２が上部基板４６の上面に配置されたときに、カバー部４２ａが圧電アクチュエータ４９の圧電膜６１を覆う。一方、上部基板４６の電気接続部７０は、保護部材４２の開口部４２ｂから露出する。

上部基板４６の電気接続部７０には、ＣＯＦ３５が接続されている。図５に示すように、ＣＯＦ３５は、保護部材４２の開口部４２ｂ及びホルダ部材４０の開口部４０ａ内において、Ｓ字状に蛇行しながら上方の回路基板３４へ向けて延びている。回路基板３４には、ホルダ部材４０の開口部４０ａの上方に位置し、ＣＯＦ３５を通過させる貫通孔３４ｂが形成されている。また、回路基板３４の、貫通孔３４ｂよりも右側部分の上面には、接続端子７５が設けられている。電気接続部７０の接点から上方へ延びるＣＯＦ３５は、接点よりも右側に位置する、回路基板３４の貫通孔３４ｂを通過して、接続端子７５に接続されている。

尚、回路基板３４の、ＣＯＦ３５との接続端子７５の周囲には、ＣＯＦ３５へ信号を供給するための様々な回路素子７７や、これらの回路素子７７と接続端子７５とを接続する多くの配線７８などが配置される。ここで、本実施形態では、回路基板３４の接続端子７５が、上部基板４６の駆動接点７１よりも、走査方向において圧電素子６７側（右側）に配置されている。そのため、接続端子７５に接続される回路素子７７や配線７８等を、回路基板３４の圧電素子６７と重なる領域に配置することができるため、回路基板３４のサイズを小型化することができる。また、回路基板３４の、上部基板４６の駆動接点７１よりも、圧電素子６７と反対側（左側）には、流路部材４１が貫通する貫通孔３４ａが形成されている。そのため、回路基板３４の、駆動接点７１よりも左側の領域には、接続端子７５や、接続端子７５と接続される回路素子７７等を設置する領域があまりない。この観点からも、接続端子７５は、駆動接点７１よりも圧電素子６７側に配置されることが好ましい。

図５に示すように、ＣＯＦ３５の上下方向における途中部には、ドライバＩＣ７６が設けられている。ドライバＩＣ７６は、ＣＯＦ３５上の配線を介して、回路基板３４と電気的に接続されている。また、ドライバＩＣ７６は、ＣＯＦ３５上の配線を介して、電気接続部７０の駆動接点７１とも電気的に接続されている。そして、ドライバＩＣ７６は、回路基板３４から送られる制御信号に基づいて、個別電極６０に対して駆動信号を出力し、個別電極６０の電位をグランド電位と所定の駆動電位との間で切り換える。尚、電気接続部７０のグランド接点７２は、ＣＯＦ３５のグランド（図示省略）と電気的に接続され、共通電極６２はグランド電位に保持される。

ドライバＩＣ７６から駆動信号が供給されたときの、圧電素子６７の動作について説明する。駆動信号が供給されていない状態では、個別電極６０の電位はグランド電位となっており、共通電極６２と同電位である。この状態から、ある個別電極６０に駆動信号が供給されて、個別電極６０に駆動電位が印加されると、その個別電極６０と共通電極６２との電位差により、圧電素子６７の活性部６１ａに、その厚み方向に平行な電界が作用する。ここで、活性部６１ａの分極方向と電界の方向とが一致するために、活性部６１ａはその分極方向である厚み方向に伸びて面方向に収縮する。この活性部６１ａの収縮変形に伴って、振動膜５７が圧力室５１側に凸となるように撓む。これにより、圧力室５１の容積が減少して圧力室５１内に圧力波が発生することで、圧力室５１に連通するノズル３０からインクの液滴が吐出される。

以上説明した本実施形態では、各吐出ヘッド２０の、第１圧力室５１及び第２圧力室５１が形成された基板（上部基板４６）と、これらの圧力室５１に連通するマニホールド５２が形成された基板（中間基板４７）とが別になっている。従って、マニホールド５２が形成されない分、上部基板４６の走査方向における幅を小さくすることができる。また、第１圧力室５１に対応する圧電素子６７から引き出された個別配線７３と、第２圧力室５１に対応する圧電素子６７から引き出された個別配線７３とが、共に、圧電素子６７に対して走査方向の一方側（左側）に配置された、電気接続部７０の駆動接点７１へ向けて引き出されている。つまり、第１圧力室５１と第２圧力室５１との間には、ＣＯＦ３５と接続される駆動接点７１が配置されない。そのため、第１圧力室５１と第２圧力室５１とを近づけて、２つのノズル列３１の走査方向における距離を狭めることができる。さらに、下部基板４８を、上部基板４６の電気接続部７０とは重ならないようにすることができる。これにより、下部基板４８の走査方向における幅を小さくすることができる。

また、本実施形態では、図２に示すように、各吐出ヘッド２０の上部基板４６において、第１圧力室５１と第２圧力室５１に対して、走査方向一方側（左側）に、複数の接点７１を有する電気接続部７０が配置されている。この構成により、第１圧力室５１に対応する第１ノズル列３１ａと、第２圧力室５１に対応する第２ノズル列３１ｂが、走査方向において電気接続部７０とは反対側（右側）に片寄って配置されている。

また、インクジェットヘッド４の、外側に位置する２つの吐出ヘッド２０３，２０４においては、２つのノズル列３１が、外側に片寄って配置されている。これにより、外側の２つの吐出ヘッド２０の間で、ノズル列３１の距離を離すことができる。

また、本実施形態では、図２に示すように、インクジェットヘッド４の４つの吐出ヘッド２０のうち、内側に配置された２つの吐出ヘッド２０１，２０２においては、２つのノズル列３１が内側に片寄って配置され、外側に配置された２つの吐出ヘッド２０３，２０４においては、２つのノズル列３１が外側に片寄って配置されている。これにより、ブラックとマゼンタのインクを吐出する、内側の吐出ヘッド２０１（２０２）のノズル列３１と、シアンとイエローのインクを吐出する、外側の吐出ヘッド２０３（２０４）のノズル列３１の、距離を離すことができる。

内側の吐出ヘッド２０のノズル列３１と、外側の吐出ヘッド２０のノズル列３１の距離が離れていると、各ノズル３０において、２種類のインクが混ざった状態で付着するという問題が生じにくい。例えば、図３のように、キャップ２１で４つの吐出ヘッド２０のノズル列３１を覆って吸引パージを行ったときに、外側の吐出ヘッド２０のノズル３０に、内側のノズル３０から排出されたブラックやマゼンタのインクが付着しにくい。また、記録用紙１００への画像等の記録時に、内側のノズル３０から吐出されたブラックやマゼンタのインクがミスト化して、外側の吐出ヘッド２０のノズル３０に付着する、ということも起こりにくくなる。

また、イエローインクを吐出するノズル３０ｙに、ブラックインクが混入したときに、印字品質に及ぼす影響が非常に大きい。そこで、ブラックインクとイエローインクの一方を内側の吐出ヘッド２０１（２０２）から吐出させ、他方を外側の吐出ヘッド２０３（２０４）から吐出させるのがよい。本実施形態では、内側の吐出ヘッド２０１（２０２）がブラックインクを吐出し、外側の吐出ヘッド２０３（２０４）がイエローインクを吐出する構成となっている。

以上説明した実施形態において、インクジェットプリンタ１が、本発明の「液体吐出装置」に相当する。インクジェットヘッド４の１つの吐出ヘッド２０が、本発明の「液体吐出ヘッド」に相当する。前後方向（搬送方向）が、本発明の「第１方向」に相当し、左右方向（走査方向）が、本発明の「第２方向」に相当する。インクジェットヘッドの４つの吐出ヘッド２０のうち、内側に位置する２つの吐出ヘッド２０が、本発明の「内側液体吐出ヘッド」に相当し、外側の２つの吐出ヘッド２０が、本発明の「外側液体吐出ヘッド」に相当する。内側の吐出ヘッド２０から吐出されるブラックとマゼンタのインクが、本発明の「第１液体」に相当し、外側の吐出ヘッド２０から吐出されるシアンとイエローのインクが、本発明の「第２液体」に相当する。

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

１］図８に示すように、インクジェットヘッド４の４つの吐出ヘッド２０のうち、外側に位置する２つの吐出ヘッド２０のノズル列３１が、走査方向における内側に片寄って配置されてもよい。即ち、左端に位置する吐出ヘッド２０３では、２つのノズル列３１が右側に片寄っており、右端に位置する吐出ヘッド２０４では、２つのノズル列３１が左側に片寄っている。これにより、外側に位置する２つの吐出ヘッド２０３，２０４の間で、ノズル列３１の距離Ｄを近づけることができる。この構成では、インクジェットヘッド４の、左端に位置するノズル列３１と右端に位置するノズル列３１との間の、走査方向の距離Ｄが小さくなるため、次のような効果が得られる。

（１）インクジェットヘッド４が走査方向に往復移動しながら記録用紙１００に対して印刷を行う際に、左端に位置するノズル列３１と右端に位置するノズル列３１との間の距離Ｄが小さいほど、１回のパスにおける移動距離を短くすることができる。これにより、１回のパスに要する時間が短くなり、１枚の記録用紙１００への印刷に要する時間も短くなる。

（２）インクジェットヘッド４の各吐出ヘッド２０は、ノズル３０の配列方向（ノズル列３１の延在方向）が搬送方向と完全に平行となるように取り付けられるのが理想であるが、実際には、ノズル３０の配列方向が搬送方向に対して僅かに傾いた状態で取り付けられてしまうことも多い。その場合に、上記の傾きに起因して、２つのノズル列３１の間で、ノズル３０から吐出されたインクの液滴の着弾位置が搬送方向にずれる。ここで、上記２つのノズル列３１の間での着弾位置ズレは、２つのノズル列３１の走査方向における距離に依存する。即ち、本実施形態においては、左端に位置するノズル列３１と右端に位置するノズル列３１との間の、走査方向の距離Ｄが小さくすることで、２つのノズル列３１の間での、インクの着弾位置ズレを小さくすることができる。

２］前記実施形態では、４色のインクをそれぞれ吐出するノズル列３１が、左右対称に配置されていたが、このような配置には限られない。例えば、図９に示すように、内側に位置する吐出ヘッド２０１と吐出ヘッド２０２の両方において、左側にマゼンタインクのノズル列３１ｍが配置され、右側にブラックインクのノズル列３１ｋが配置されてもよい。つまり、２つの吐出ヘッド２０１，２０２において、マゼンタのノズル列３１ｍ１，３１ｍ２とブラックのノズル列３１ｋ１，３１ｋ２が、走査方向に交互に並ぶ構成であってもよい。外側に位置する吐出ヘッド２０３と吐出ヘッド２０４も同様であり、例えば、図９に示すように、左側にイエローのノズル列３１ｙが配置され、右側にシアンのノズル列３１ｃが配置される構成であってもよい。

３］インクジェットヘッド４の吐出ヘッド２０の数は４つに限られず、吐出ヘッド２０の数が２つや３つでもよいし、あるいは、吐出ヘッド２０の数が５つ以上であってもよい。例えば、ブラック、マゼンタ、シアン、イエローの他に、ライトマゼンタ、ライトシアン等の別の色のインクを吐出する場合には、４つの吐出ヘッド２０１〜２０４の走査方向両側に、ライトマゼンタ、ライトシアンの２色のインクを吐出する２つの吐出ヘッド２０がそれぞれ配置されてもよい。また、内側の吐出ヘッド２０１と吐出ヘッド２０２との間に、別のインク（例えば、白色インクなど）を吐出する吐出ヘッド２０が配置されてもよい。

４］前記実施形態では、各吐出ヘッド２０の２つのノズル列３１が、異なる種類のインクを吐出するものであったが、１つの吐出ヘッド２０の２つのノズル列３１が同じ種類のインクを吐出するように構成されてもよい。さらには、複数の吐出ヘッド２０が、同じ種類のインクを吐出するように構成されてもよい。

５］前記実施形態のインクジェットヘッド４は、走査方向に移動しながら記録用紙へインクを吐出する、いわゆる、シリアルタイプのインクジェットヘッドであったが、所定位置に固定的に設置されて使用されるラインタイプのインクジェットヘッドについても、本発明を適用することが可能である。

図１０のインクジェットプリンタ８１は、ラインタイプのインクジェットヘッド８４と、２つの搬送ローラ８７，８８を含む搬送機構８６とを備えている。インクジェットヘッド８４は、ヘッドホルダ８３に取り付けられた４つの吐出ヘッド９０を有する。吐出ヘッド９０は、左右方向（用紙幅方向）に配列された複数のノズル９２を有し、これら複数のノズル９２は、前後方向（搬送方向）に並ぶ２つのノズル列９１を構成している。

このインクジェットヘッド８４では、４つの吐出ヘッド９０が組み合わされることにより、１つの吐出ヘッド９０のノズル列９１よりも用紙幅方向に長いノズル列が形成されている。尚、４つの吐出ヘッド９０を単純に用紙幅方向につなぐだけだと、これらの吐出ヘッド９０の間において、用紙幅方向にノズル９２が配置されない部分が発生する。そのため、４つの吐出ヘッド９０は、前後に２つずつ分けて配置されており、前側２つの吐出ヘッド９０ａと後側２つの吐出ヘッド９０ｂは、左右にずれて配置されている。このインクジェットヘッド８４の４つの吐出ヘッド９０は、搬送機構８６の２つの搬送ローラ８７，８８によって前方に搬送される記録用紙１００に対して、ノズル９２からインクを吐出させる。

さらに、各吐出ヘッド９０の２つのノズル列９１は、前後方向における内側に片寄って配置されている。即ち、前側に位置する２つの吐出ヘッド９０ａでは、ノズル列９１が後側に片寄って配置され、後側に位置する２つの吐出ヘッド９０ｂでは、ノズル列９１が前側に片寄って配置されている。そのため、前後方向に並ぶ吐出ヘッド９０の間で、ノズル列９１の距離を小さくすることができる。これにより、インクジェットヘッド８４が、ノズル配列方向が左右方向に対して若干傾いて取り付けられた場合でも、前後の吐出ヘッド９０の間でノズル列９１の距離が小さくなっていることで、これらのノズル列９１間でのインクの着弾位置ズレが小さく抑えられる。尚、この図１０の形態において、記録用紙１００が、本発明の「被吐出媒体」に相当する。用紙幅方向（左右方向）が、本発明の「第１方向」に相当し、前後方向（搬送方向）が、本発明の「第２方向」に相当する。

以上説明した実施形態及びその変更形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッドに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置においても本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を吐出して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。

１ インクジェットプリンタ
４ インクジェットヘッド
２０ 吐出ヘッド
３０ ノズル
３１ｃ ノズル列
３１ ノズル列
３４ 回路基板
４６ 上部基板
４７ 中間基板
４８ 下部基板
５１ 圧力室
５２ マニホールド
６７ 圧電素子
７３ 個別配線
７５ 接続端子
８１ インクジェットプリンタ
８４ インクジェットヘッド
８６ 搬送機構
９０ 吐出ヘッド
９１ ノズル列
９２ ノズル
１００ 記録用紙

Claims (22)

1. 第１方向に配列された複数の第１圧力室と、前記第１方向に配列され、且つ、前記第１方向と直交する第２方向にずれた位置に配置された複数の第２圧力室とを有し、前記複数の第１圧力室に対応する複数の第１圧電素子と前記複数の第２圧力室に対応する複数の第２圧電素子が形成された上部基板と、
   前記第１圧力室と連通する第１マニホールドと、前記第１圧力室の前記第１マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第１貫通孔と、前記第２圧力室と連通する第２マニホールドと、前記第２圧力室の前記第２マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第２貫通孔と、を有し、前記上部基板よりも前記第２方向における幅が大きい中間基板と、
   前記第１貫通孔と連通する複数の第１ノズルと、前記第２貫通孔と連通する複数の第２ノズルとを有し、前記中間基板よりも前記第２方向における幅が小さい下部基板と、を有する液体吐出ヘッドを備え、
   前記上部基板には、前記複数の第１圧電素子のそれぞれと前記複数の第２圧電素子のそれぞれから前記第２方向の一端側に配置された接点に向けて延びる、複数の個別配線が形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記上部基板は、シリコン基板であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記第１圧電素子及び前記第２圧電素子は、前記上部基板に、ゾルゲル法により形成された圧電膜を有することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
4. 前記中間基板は、シリコン基板であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液体吐出装置。
5. 前記下部基板は、シリコン基板であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液体吐出装置。
6. 前記中間基板の上面の、前記上部基板よりも前記第２方向における外側の領域に、前記第１マニホールドに連通する第１液体供給口と、前記第２マニホールドに連通する第２液体供給口が形成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液体吐出装置。
7. 前記下部基板は、前記中間基板の、前記第２方向において前記第１マニホールドと前記第２マニホールドの間の部分と、３つの基板の積層方向において重なるように配置され、前記第１マニホールド及び前記第２マニホールドとは重なっていないことを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液体吐出装置。
8. 前記下部基板は、前記上部基板よりも前記第２方向における幅が小さく、且つ、３つの基板の積層方向において、前記上部基板の前記接点とは重ならないことを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液体吐出装置。
9. 第１方向に配列された複数の第１圧力室と、前記第１方向に配列され、且つ、前記第１方向と直交する第２方向にずれた位置に配置された複数の第２圧力室とを有し、前記複数の第１圧力室に対応する複数の第１圧電素子と前記複数の第２圧力室に対応する複数の第２圧電素子が形成された上部基板と、
   前記第１圧力室と連通する第１マニホールドと、前記第１圧力室の前記第１マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第１貫通孔と、前記第２圧力室と連通する第２マニホールドと、前記第２圧力室の前記第２マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第２貫通孔と、を有し、前記上部基板よりも前記第２方向における幅が大きい中間基板と、
   前記第１貫通孔と連通する複数の第１ノズルと、前記第２貫通孔と連通する複数の第２ノズルとを有し、前記中間基板よりも前記第２方向における幅が小さい下部基板と、を有する液体吐出ヘッドを備え、
   前記上部基板には、前記複数の第１圧電素子のそれぞれと前記複数の第２圧電素子のそれぞれから前記第２方向の一端側に配置された接点に向けて延びる、複数の個別配線が形成されており、
   前記液体吐出ヘッドの前記第１圧力室と前記第２圧力室は、前記第２方向において前記接点とは反対側に片寄って配置されていることを特徴とする液体吐出装置。
10. 前記液体吐出ヘッドの前記複数の第１ノズルからなる第１ノズル列と前記複数の第２ノズルからなる第２ノズル列は、前記第２方向において前記接点とは反対側に片寄って配置されていることを特徴とする請求項９に記載の液体吐出装置。
11. 前記第２方向に並んで配置された複数の前記液体吐出ヘッドを備え、
    前記複数の液体吐出ヘッドのうち、前記第２方向における外側に位置する２つの液体吐出ヘッドのノズル列は、前記第２方向における内側に片寄って配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出装置。
12. 前記第２方向に並んで配置された複数の前記液体吐出ヘッドを備え、
    前記複数の液体吐出ヘッドのうち、前記第２方向における外側に位置する２つの液体吐出ヘッドのノズル列は、前記第２方向における外側に片寄って配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出装置。
13. 前記第２方向に並んで配置された４つの前記液体吐出ヘッドを備え、
    前記４つの液体吐出ヘッドのうち、前記第２方向における内側に配置された２つの内側液体吐出ヘッドにおいては、前記２つのノズル列が前記第２方向における内側に片寄って配置され、
    前記４つの液体吐出ヘッドのうち、前記第２方向における外側に配置された２つの外側液体吐出ヘッドにおいては、前記２つのノズル列が前記第２方向における外側に片寄って配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出装置。
14. 前記内側液体吐出ヘッドは、第１液体を吐出するように構成され、
    前記外側液体吐出ヘッドは、前記第１液体とは異なる第２液体を吐出するように構成されていることを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出装置。
15. 前記液体吐出ヘッドである第１液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッドであって、前記第１液体吐出ヘッドと前記第２方向に並び、且つ、前記第１液体吐出ヘッドに対して前記第１方向に位置がずれて配置された第２液体吐出ヘッドと、
    前記第１液体吐出ヘッドと前記第２液体吐出ヘッドに対して、前記第２方向に被吐出媒体を搬送する搬送部を備え、
    前記第１液体吐出ヘッドと前記第２液体吐出ヘッドの前記２つのノズル列は、前記第２方向における内側に片寄って配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出装置。
16. 前記上部基板に対して前記中間基板と反対側に配置された回路基板と、
    前記上部基板の前記接点に接続され、前記接点から前記中間基板と反対側に延びて前記回路基板に接続される配線部材と、を備え、
    前記回路基板の、前記配線部材との接続端子は、前記第２方向において、前記接点よりも前記圧電素子側に配置されていることを特徴とする請求項１〜１５の何れかに記載の液体吐出装置。
17. 前記上部基板の上面の、３つの基板の積層方向において前記中間基板の前記第２マニホールドと重なる領域に、前記接点が配置されていることを特徴とする請求項１６に記載の液体吐出装置。
18. 前記接点が、前記上部基板の上面上において前記複数の第１圧電素子及び前記複数の第２圧電素子で覆われていない領域にあることを特徴とする請求項１〜１７の何れかに記載の液体吐出装置。
19. 第１方向に配列された複数の第１圧力室と、前記第１方向に配列され、且つ、前記第１方向と直交する第２方向にずれた位置に配置された複数の第２圧力室とを有し、前記複数の第１圧力室に対応する複数の第１圧電素子と前記複数の第２圧力室に対応する複数の第２圧電素子が形成された第１基板を備え、
    前記第１基板は前記第２方向の両端である第１端と第２端を有し、
    前記複数の第１圧力室のうちの一つの第１圧力室は前記第２方向の両端である第３端と第４端を有し、
    前記複数の第２圧力室のうちの一つの第２圧力室は前記第２方向の両端である第５端と第６端を有し、
    前記第１端、前記第２端、前記第３端、前記第４端、前記第５端、および、前記第６端は、前記第２方向において、前記第１端、前記第３端、前記第４端、前記第５端、前記第６端、前記第２端の順に配置され、
    前記第１端から前記第３端までの距離は、前記第６端から前記第２端までの距離よりも大きいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
20. 前記複数の第１圧力室と連通する複数の第１ノズルと、前記複数の第２圧力室と連通する複数の第２ノズルとを有する第２基板をさらに有し、
    前記第２基板は前記第２方向の両端である第７端と第８端とを有し、
    前記第７端から前記第８端までの距離は、前記第１端から前記第２端までの距離よりも小さいことを特徴とする請求項１９に記載の液体吐出ヘッド。
21. 前記第１基板には、前記複数の第１圧電素子のそれぞれと前記複数の第２圧電素子のそれぞれから前記第２方向の前記第１端と前記第２端の間に配置された接点に向けて延びる、複数の個別配線が形成されていることを特徴とする請求項２０に記載の液体吐出ヘッド。
22. 前記第７端は、前記第２方向において前記第１端と前記第８端との間に配置され、
    前記接点は、前記第２方向において前記第１端と前記第７端との間に配置されていることを特徴とする請求項２１に記載の液体吐出ヘッド。

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