JP2017059743A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】オン抵抗の上昇が抑制される半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、第1窒化物半導体層21と、第1窒化物半導体層21の上に設けられた第2窒化物半導体層22と、第2窒化物半導体層22の上に設けられた、第1電極51Aと、第2電極52Aと、第1電極51Aと第2電極52Aとの間に設けられた第3電極53Aと、第1電極51Aと第2電極52Aとの間に設けられた絶縁層40と、第2電極52Aと第3電極53Aとの間において絶縁層40内に設けられ、第2電極52Aと第3電極53Aとを電気的に接続する導電体61であって、複数の導電領域61a〜61dを有する。複数の導電領域61a〜61dは、第1電極51Aから第2電極52Aに向かう第1方向において並び、複数の導電領域61a〜61dは、互いに電気的に接続されている。
【選択図】図1
【解決手段】半導体装置は、第1窒化物半導体層21と、第1窒化物半導体層21の上に設けられた第2窒化物半導体層22と、第2窒化物半導体層22の上に設けられた、第1電極51Aと、第2電極52Aと、第1電極51Aと第2電極52Aとの間に設けられた第3電極53Aと、第1電極51Aと第2電極52Aとの間に設けられた絶縁層40と、第2電極52Aと第3電極53Aとの間において絶縁層40内に設けられ、第2電極52Aと第3電極53Aとを電気的に接続する導電体61であって、複数の導電領域61a〜61dを有する。複数の導電領域61a〜61dは、第1電極51Aから第2電極52Aに向かう第1方向において並び、複数の導電領域61a〜61dは、互いに電気的に接続されている。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体装置に関する。
高耐圧で低損失のパワーデバイスとしてHEMT(High Electron Mobility Transistor)等の半導体装置が注目されている。HEMTにおいて、ソース電極とドレイン電極との間に高電圧を印加すると、例えば、ソース電極側のドレイン電極端における電界集中によって二次元電子(2DEG)が半導体層とゲート絶縁膜との界面またはゲート絶縁膜中に捕獲される場合がある。この捕獲された電子が生じる電界によって、チャネル領域の2DEGが空乏化され、ソース電極とドレイン電極との間におけるオン抵抗が上昇する場合がある。
本発明が解決しようとする課題は、オン抵抗の上昇が抑制される半導体装置を提供することである。
実施形態の半導体装置は、第1窒化物半導体層と、前記第1窒化物半導体層の上に設けられ、前記第1窒化物半導体層のバンドギャップ幅以上のバンドギャップ幅を有する第2窒化物半導体層と、前記第2窒化物半導体層の上に設けられた第1電極と、前記第2窒化物半導体層の上に設けられた第2電極と、前記第2窒化物半導体層の上に設けられ、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた第3電極と、前記第2窒化物半導体層の上に設けられ、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた絶縁層と、前記第2電極と前記第3電極との間において前記絶縁層内に設けられ、前記第2電極と前記第3電極とを電気的に接続するか、または、前記第1電極と前記第2電極との間において前記絶縁層内に設けられ、前記第1電極と前記第2電極とを電気的に接続する導電体であって、複数の導電領域を有し、前記複数の導電領域は、前記第1電極から前記第2電極に向かう第1方向において並び、前記複数の導電領域は、互いに電気的に接続されている導電体と、備える。
以下、図面を参照しつつ、実施形態について説明する。以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。各図には、XYZ座標系が導入される場合がある。
(第1実施形態)
図1(a)は、第1実施形態に係る半導体装置を表す模式的断面図である。図1(b)は、第1実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。図1(a)は、図1(b)におけるA1−A2線に沿った断面が表されている。
図1(a)は、第1実施形態に係る半導体装置を表す模式的断面図である。図1(b)は、第1実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。図1(a)は、図1(b)におけるA1−A2線に沿った断面が表されている。
第1実施形態に係る半導体装置1は、基板10と、第1窒化物半導体層(以下、例えば、第1半導体層21)と、第2窒化物半導体層(以下、例えば、第2半導体層22)と、ゲート絶縁膜30と、第1電極51Aと、第2電極52Aと、第3電極53Aと、絶縁層40と、導電体61と、を備える。半導体装置1は、例えば、ノーマリオン型のHEMTである。
基板10は、例えば、シリコン(Si)を含む。基板10は、シリコン基板に限らず、サファイア基板、ダイアモンド基板、シリコン炭化物基板、カーボン基板、窒化物半導体基板、ボロン窒化物基板、またはゲルマニウム基板等であってもよい。
第1半導体層21は、基板10の上に設けられている。第1半導体層21は、HEMTにおけるキャリア走行層である。第1半導体層21は、AlXGa1−XN(0≦X≦1)を含む。
例えば、第1半導体層21は、ノンドープの窒化アルミニウムガリウム(AlXGa1−XN(0≦X≦1))を含む。第1半導体層21は、GaxIn1−xNyAs1−y(0≦x≦1、0≦y≦1)、AlxInyGa1−x−yN(0≦x≦1、0≦y≦1)、およびBxIn1−xN(0≦x≦1)のいずれかを含んでもよい。また、基板10と第1半導体層21との間には、バッファ層を設けてもよい。
第2半導体層22は、第1半導体層21の上に設けられている。第2半導体層22は、HEMTにおける障壁層である。第2半導体層22は、AlYGa1−YN(0≦Y≦1、X<Y)を含む。第2半導体層22は、第1半導体層21のバンドギャップ幅以上のバンドギャップ幅を有する。
例えば、第2半導体層22は、ノンドープもしくはn形の窒化アルミニウムガリウム(AlYGa1−YN(0≦Y≦1、X<Y))を含む。第2半導体層22は、GaxIn1−xNyAs1−y(0≦x≦1、0≦y≦1)、AlxInyGa1−x−yN(0≦x≦1、0≦y≦1)、およびBxIn1−xN(0≦x≦1)のいずれかを含んでもよい。第1半導体層21内において、第1半導体層21と第2半導体層22の界面付近には二次元電子(2DEG)が発生している。
ゲート絶縁膜30は、第2半導体層22の上に設けられている。ゲート絶縁膜30は、シリコン窒化物(Si3N4)、シリコン酸化物(SiO2)、アルミニウム酸化物(Al2O3)のいずれかを含む。
第1電極51Aは、第2半導体層22の上に設けられている。第1電極51Aは、HEMTにおけるソース電極である。第1電極51Aは、第2半導体層22とオーミック接触をしている。
第2電極52Aは、第2半導体層22の上に設けられている。第2電極52Aは、HEMTにおけるドレイン電極である。第2電極52Aは、第2半導体層22とオーミック接触をしている。
第3電極53Aは、ゲート絶縁膜30を介して第2半導体層22の上に設けられている。第3電極53Aは、HEMTにおけるゲート電極53Agと、ゲートフィールドプレート電極53Afと、を有する。第3電極53Aは、第1電極51Aと第2電極52Aとの間に設けられている。ゲートフィールドプレート電極53Afと第2電極52Aとの間の距離は、ゲート電極53Agと第2電極52Aとの間の距離よりも短い。
第1電極51A、第2電極52A、および第3電極53AのX−Y平面おける外形は、例えば、円状である(図1(b))。
第1電極51A、第2電極52A、または第3電極53Aは、Pt、Ni、Pd、Au、W、Cr、Nb、Ta、Mg、Ti、Al、Cu、ポリシリコンの少なくともいずれかを含む。
絶縁層40は、第2半導体層22の上に設けられている。絶縁層40は、HEMTにおける保護層である。絶縁層40は、第1電極51Aと第2電極52Aとの間に設けられている。例えば、絶縁層40は、第1電極51Aと第3電極53Aとの間、および第3電極53Aと第2電極52Aとの間に設けられている。
絶縁層40は、第2半導体層22の側に設けられた絶縁層40aと、絶縁層40aの上に設けられた絶縁層40bと、を有する。ゲートフィールドプレート電極53Afは、絶縁層40aの上に設けられている。換言すれば、絶縁層40aの一部は、Z方向において、ゲートフィールドプレート電極53Afとゲート絶縁膜30との間に設けられている。絶縁層40aと絶縁層40bとが同じ材料を含むとき、絶縁層40aと絶縁層40bとの間の境界は、ほぼなくなる。例えば、絶縁層40は、シリコン窒化物を含む。
導電体61は、第2電極52Aと第3電極53Aとの間に設けられている。導電体61は、第2電極52Aと第3電極53Aとの間に位置する。導電体61は、第2電極52Aと第3電極53Aとを電気的に接続する。導電体61は、ポリシリコンまたはITO(Indium Tin Oxide)などの導電性酸化膜を含む。
導電体61は、複数の導電領域61a、61b、61c、61dを有する。複数の導電領域61a〜61dは、第1電極51Aから第2電極52Aに向かう第1方向(例えば、図中に示す矢印B)において並んでいる。つまり、矢印Bの方向においては、複数の導電領域61a〜61dのそれぞれは、互いに接触していない。但し、複数の導電領域61a〜61dは、互いに電気的に接続されている(図1(b))。
例えば、複数の導電領域61a〜61dのそれぞれは、直列に接続されている。導電体61の長さは、第2電極52Aと第3電極53Aとの間の距離よりも長い。例えば、直列に接続された複数の導電領域61a〜61dの長さ、つまり、複数の導電領域61a〜61dのそれぞれの長さの合計は、第2電極52Aと第3電極53Aとの間の距離よりも長い。
例えば、第1電極51Aは、第3電極53Aに囲まれている。第3電極53Aは、第2電極52Aに囲まれている。第3電極53Aは、複数の導電領域61a〜61dに囲まれている。導電領域61aは、導電領域61bに囲まれている。導電領域61bは、導電領域61cに囲まれている。導電領域61cは、導電領域61dに囲まれている。つまり、直列に接続された複数の導電領域61a〜61dは、第2半導体層22の上において、螺旋状に配置されている。
実施形態においては、複数の導電領域の数、複数の導電領域のそれぞれの幅、複数の導電領域の間隔は、図示した例に限らない。
本実施形態に係る半導体装置1の作用について説明する。以下に説明する作用は、半導体装置1の作用の一例である。
図2(a)は、第1実施形態に係る半導体装置の作用を表すグラフ図である。図2(b)は、第1参考例に係る半導体装置の作用を表す模式的断面図である。図2(c)は、第1実施形態に係る半導体装置の作用を表す模式的断面図である。
図2(a)において、横軸に示すX1は、第1電極51A(ソース)の第2電極52A(ドレイン)側の端の位置である。X2は、第3電極53A(ゲート)の第1電極51A(ソース)側の端の位置である。X3は、第3電極53A(ゲート)の第2電極52A(ドレイン)側の端の位置である。X4は、第2電極52A(ドレイン)の第3電極53A(ゲート)側の端の位置である。Y1〜Y4は、導電領域61a〜61dの第2電極52A(ドレイン)側の端の位置である。縦軸は、電位(V)である。
また、図2(c)において、第1電極51Aの端から第2電極52Aの端まで延びるP−Q線は、導電体61(導電領域61a〜61d)の下端に位置している。図2(b)においても、P−Q線が図2(c)と同じ位置に描かれている。
HEMTにおいて、ソース電極とドレイン電極との間に高電圧を印加すると、例えば、ドレイン電極端における電界集中により、2DEGが障壁層とゲート絶縁膜との界面に存在する界面準位、またはゲート絶縁膜、並びに保護膜に存在する欠陥に捕獲される。この捕獲された電子が生じる電界によって、チャネル領域の2DEGが空乏化され、ソース電極とドレイン電極との間におけるオン抵抗が上昇する場合がある。この現象を電流コラプスと呼ぶ。保護膜の静電ポテンシャルが上がると、電流コラプスがさらに起き易くなる。
例えば、図2(b)に示す半導体装置101においては、第3電極53Aと第2電極52Aとの間に導電体61(導電領域61a〜61d)が設けられていない。半導体装置101においては、導電体61の部分が絶縁層40になっている。半導体装置101は、ノーマリオン型のHEMTである。
ここで、第1電極51Aの電位Vsに対して、第2電極52Aに高い電圧Vdを印加し、オフ状態の半導体装置1、101を想定する。この状態を、実施形態では、ストレス状態と呼ぶ。例えば、Vsは、0Vで、Vdは、約500Vである。第3電極53Aには、第1電極51Aの電位Vsよりも低い電位Vgが印加されている。例えば、Vgは、−10V〜−20Vである。これは、半導体装置1、101がノーマリオン型のHEMTで、第3電極53Aに負の電位を印加することで、半導体装置1、101がオフ状態になるからである。
半導体装置1、101がストレス状態になった直後からは、チャネル領域において、第1電極51Aの側から第2電極52Aの側に向かって空乏層が延びる。これにより、チャネル領域においては、第2電極52Aの側よりも、第1電極51Aの側の方が抵抗が高くなる。
図2(b)、(c)では、第3電極53Aと第2電極52Aとの間のチャネル領域において、任意の3箇所を選び、それぞれの抵抗を、抵抗R1、R2、R3としている。ストレス状態の直後からは、第1電極51Aの側から第2電極52Aの側に向かって空乏層が延びる。このため、第1電極51Aの側ほど、キャリア(電子)が少なくなっている。これにより、抵抗R1、R2、R3においては、R1>R2>R3の関係がある。
また、ストレス状態では、第3電極53Aに対して、高い電位が第2電極52Aに印加されている。また、抵抗R1、R2、R3は、R1>R2>R3の関係を持っている。これにより、チャネル領域における、第2電極52Aから第3電極53Aに向かう電圧降下は、第3電極53Aの側ほど急峻になる。
ここで、半導体装置101においては、第3電極53Aと第2電極52Aとの間に導電体61がない。半導体装置101においては、第3電極53Aと第2電極52Aとの間の絶縁層40の電位が浮遊状態にある。これにより、半導体装置101の絶縁層40の電位分布は、チャネル領域の電位分布が反映され易くなる。
例えば、半導体装置101におけるP−Q線に沿った位置での電位分布は、図2(a)において、曲線101として描かれている。曲線101においては、チャネル領域の電位分布が反映されて、第3電極53Aと第2電極52Aとの間において、上に凸になり、第3電極53Aの側ほど急峻になる曲線を示す。
これに対し、半導体装置1は、第3電極53A(ゲート)と第2電極52A(ドレイン)との間に、導電体61(導電領域61a〜61d)を有する。これにより、絶縁層40の電位分布は、チャネル領域の電位分布よりも導電体61中の導電領域61a、61b、61c、61dの電位が反映され易くなる。導電領域61a、61b、61c、61dのそれぞれの電位は、導電体61が第3電極53Aと第2電極52Aとに接続されている。このため、導電領域61a〜61dのそれぞれの電位は、第3電極53Aの電位と第2電極52Aの電位との間に収まり、導電領域61a、導電領域61b、導電領域61c、導電領域61dの順に電位が高くなっている。
これにより、例えば、半導体装置1におけるP−Q線に沿った位置での電位分布は、図2(a)において、曲線1として描かれている。曲線1は、第3電極53Aと第2電極52Aとの間において、曲線101よりも相対的に下がった曲線を描いている。
2DEGにとっては、半導体装置1よりも相対的に電位が高い半導体装置101の絶縁層40中に入り易くなっている。つまり、半導体装置101においては、半導体装置1に比べて、2DEGが第2半導体層22とゲート絶縁膜30との界面に存在する界面準位またはゲート絶縁膜30中に存在する欠陥に捕獲され易くなっている。このトラップされた電子が生じる電界によって、チャネル領域の2DEGが空乏化され、第1電極51Aと第2電極52Aとの間におけるオン抵抗が上昇する。また、絶縁層40内に正極の固定電荷が存在すると、電流コラプスが起き易くなる。
これに対して、半導体装置1では、P−Q線に沿った位置での電位が半導体装置101に比べて下がっている。これにより、半導体装置1では、半導体装置101に比べて電流コラプスが起き難くなっている。その結果、半導体装置1では、半導体装置101に比べて、第1電極51Aと第2電極52Aとの間におけるオン抵抗上昇が抑えられる。また、半導体装置1では、絶縁層40内に正極の固定電荷が存在したとしても、絶縁層40の電位は、導電領域61a〜61dの電位が反映される。半導体装置1では、半導体装置101に比べて電流コラプスが確実に抑えられる。
また、半導体装置1では、第3電極53Aから第2電極52Aに向かう方向に複数の導電領域61a〜61dを設けている。複数の導電領域61a〜61dのそれぞれの間隔、幅、高さを調整することによって、第3電極53Aから第2電極52Aに向かう方向における絶縁層40の電位分布を所望の分布となるように、適宜調整することができる。
例えば、絶縁層40内の電位分布において、第2電極52Aの側ほど、第2電極52Aの影響を反映させたいときは、第2電極52Aの側の導電領域の幅を広くしたり、第2電極52Aの側の導電領域の高さを高くしたりすればよい。また、絶縁層40内の電位分布において、第3電極53Aの側ほど、第3電極53Aの影響を反映させたいときは、第3電極53Aの側の導電領域の幅を広くしたり、第3電極53Aの側の導電領域の高さを高くしたりすればよい。
また、導電体61が図1(b)に示す螺旋状のパターンをしているときは、第2電極52Aの側ほど、導電領域の長さが長くなって、その抵抗が高くなる。このような場合、第2電極52Aの側ほど、導電領域の幅を広くしたり、導電領域の高さを高くしたりすることにより、複数の導電領域61a〜61dのそれぞれの抵抗が略同じになる。
図3は、第1実施形態に係る半導体装置の別の作用を表すグラフ図である。
図3の横軸は、第1電極51Aと第2電極52Aとの間に印加した電圧(ドレイン電圧Vd)であり、縦軸は、第1電極51Aと第2電極52Aとの間に流れる電流(ドレイン電流Id)である。
例えば、図3に示すイニシャル状態(initial)は、半導体装置にストレスが印加されていないときの電流電圧曲線である。符号1は、半導体装置1の電流電圧曲線で、実線がストレス印加直後の電流電圧曲線、破線がストレス印加してから1秒後の電流電圧曲線である。符号101は、半導体装置101の電流電圧曲線で、実線がストレス印加直後の電流電圧曲線、破線がストレス印加してから1秒後の電流電圧曲線である。
図3に表すように、ストレスが印加された半導体装置1、101では、イニシャルと同じ電圧を印加しても、ともにイニシャルに比べ電流値が低下する。つまり、半導体装置1、101では、ストレス印加により電流コラプスが起きて、オン抵抗がイニシャルに比べて上昇すると推測できる。
しかし、半導体装置1の電流値は、半導体装置101に比べて相対的に高い。つまり、半導体装置1のように、第3電極53Aと第2電極52Aとの間に導電体61(導電領域61a〜61d)を設け、絶縁層40の電気的ポテンシャルの上昇を抑えることにより、電流コラプスが抑制されて、オン抵抗の上昇が抑えられることが分かる。
なお、半導体装置1、101でともに、破線で示す電流が実線で示す電流よりも高くなるのは、ストレス印加後、1秒後の経過で、電流コラプスが緩和されるためである。
次に、第1参考例とは別の参考例を、図4(a)、(b)に示す。
図4(a)は、第2参考例に係る半導体装置を表す模式的断面図である。図4(b)は、第3参考例に係る半導体装置を表す模式的断面図である。
図4(a)は、第2参考例に係る半導体装置を表す模式的断面図である。図4(b)は、第3参考例に係る半導体装置を表す模式的断面図である。
図4(a)に表す半導体装置102では、第3電極53Aと第2電極52Aとの間において、絶縁層40に正電荷が帯電されている。このような構造であれば、2DEGが絶縁層40に捕獲された後、捕獲された2DEGの電荷が正電荷によって相殺できる、と考えられる。
しかし、半導体装置102では、絶縁層40に正電荷が恒久的に帯電されているため、ストレス印加時に、2DEGが絶縁層40に捕獲され易い構造になっている。これにより、オン抵抗が上昇する。
一方、図4(b)に表す半導体装置103では、第3電極53Aと第2電極52Aとの間において、絶縁層40に負電荷が帯電されている。このような構造であれば、2DEGの絶縁層40への注入が抑えられる、と考えられる。
しかし、半導体装置102では、絶縁層40に負電荷が恒久的に帯電されているため、ストレス印加時に、負電荷に帯電した絶縁層40直下の2DEGがチャネル領域から遠ざかり、オン抵抗が上昇してしまう。
このように、第2参考例および第3参考例は、オン抵抗低減という観点からはいずれも好ましくない構造になっている。
(第2実施形態)
図5は、第2実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。
図5は、第2実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。
半導体装置2においては、第1電極51B、第2電極52B、および第3電極53B(ゲート電極53Bg、ゲートフィールドプレート電極53Bf)のX−Y平面における外形は、例えば、矩形状になっている。第3電極53Bと第2電極52Bとの間には、導電体62が配置されている。導電体62は、複数の導電領域62a、62b、62c、62dを有する。
半導体装置1では、円状の導電領域61a〜61dが第3電極53Aと第2電極52Aとの間に螺旋状に配置されている。これに対し、半導体装置2では、矩形状の導電領域62a〜62dが第3電極53Bと第2電極52Bとの間に螺旋状に配置されている。半導体装置2においては、A1−A2線に沿った断面構造が半導体装置1に略同じになる。第2実施形態においても、第1実施形態と同じ効果が得られる。
(第3実施形態)
図6は、第3実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。
図6は、第3実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。
半導体装置3においては、第1電極51C、第2電極52C、および第3電極53C(ゲート電極53Cg、ゲートフィールドプレート電極53Cf)のX−Y平面における外形は、例えば、矩形状になっている。第3電極53Cと第2電極52Cとの間には、導電体63が配置されている。導電体63は、複数の導電領域63a、63b、63c、63d、63eを有する。
半導体装置3においては、第1電極51C、第2電極52C、第3電極53C、および複数の導電領域63a〜63eのそれぞれは、第1電極51Cから第2電極52Cに向かう第1方向に対して交差する第2方向(例えば、X方向)に延在している。複数の導電領域63a〜63eのそれぞれは、連結領域63fによって互いに接続されている。連結領域63fは、Y方向に延在する。つまり、複数の導電領域63a〜63eの中、隣り合う導電領域は、連結領域63fによって接続されている。複数の導電領域63a〜63eのそれぞれは、直列に接続されている。直列に接続された導電領域63a〜63eの長さは、第2電極52Cと第3電極53Cとの間の距離よりも長い。
半導体装置3においては、A1−A2線に沿った断面構造が半導体装置1に略同じになる。第3実施形態においても、第1実施形態と同じ効果が得られる。
(第4実施形態)
図7(a)は、第4実施形態に係る半導体装置を表す模式的断面図である。図7(b)は、第4実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。図7(a)は、図7(b)におけるA1−A2線に沿った断面が表されている。
図7(a)は、第4実施形態に係る半導体装置を表す模式的断面図である。図7(b)は、第4実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。図7(a)は、図7(b)におけるA1−A2線に沿った断面が表されている。
半導体装置4においては、第1電極51D、第2電極52D、および第3電極53DのX−Y平面における外形は、例えば、円状になっている。例えば、第1電極51Dは、第3電極53Dに囲まれている。第3電極53Dは、第2電極52Dに囲まれている。
半導体装置4においては、導電体64が第1電極51Dと第2電極52Dとの間に設けられている。導電体64は、絶縁層40内に設けられている。導電体64は、第1電極51Dと第2電極52Dとを電気的に接続する。
導電体64は、複数の導電領域64a、64b、64c、64d、64e、64fを有する。複数の導電領域64a〜64fは、例えば、矢印Bの方向において並んでいる。複数の導電領域64a〜64fは、互いに電気的に接続されている。例えば、複数の導電領域64a〜64fは、直列に接続されている。直列に接続された複数の導電領域64a〜64fの長さは、第1電極51Dと第2電極52Dとの間の距離よりも長い。
複数の導電領域64a〜64fの中、導電領域64bは、絶縁層40を介して第3電極53Dの上に設けられている。第1電極51Dは、複数の導電領域64a〜64fに囲まれている。導電領域64aは、導電領域64bに囲まれている。導電領域64bは、導電領域64cに囲まれている。導電領域64cは、導電領域64dに囲まれている。導電領域64dは、導電領域64eに囲まれている。導電領域64eは、導電領域64fに囲まれている。つまり、直列に接続された複数の導電領域64a〜64fは、第2半導体層22の上において、螺旋状に配置されている。
半導体装置4においては、第1電極51Dと第2電極52Dとの間に導電体64(導電領域64a〜64f)が設けられている。導電体64(導電領域64a〜64f)は、第1電極51Dと第2電極52Dとに電気的に接続されている。半導体装置4においては、ストレスが印加されていないとき、第1電極51Dおよび第2電極52Dは、同じ電位(例えば、0V)なので、第1電極51Dと第2電極52Dとの間に電流は流れない。
このような構造でも、ストレス印加時には、絶縁層40の電気的ポテンシャルに導電体64(導電領域64a〜64f)の電位が反映される。これにより、絶縁層40の電気的ポテンシャルの上昇が抑えられる。この結果、第4実施形態においても、電流コラプスが抑制され、オン抵抗の上昇が抑えられる。
また、導電体64のパターン形状については、図7(b)に示す構造に限らない。例えば、半導体装置2のように、導電領域64a〜64fのそれぞれは、矩形状でもよい。
(第5実施形態)
図8は、第5実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。
図8は、第5実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。
半導体装置5においては、第1電極51E、第2電極52E、および第3電極53EのX−Y平面における外形は、例えば、矩形状になっている。第3電極53Eと第2電極52Eとの間には、導電体65が配置されている。導電体65は、複数の導電領域65a、65b、65c、65d、65e、65fを有する。
半導体装置5においては、第1電極51E、第2電極52E、第3電極53E、および複数の導電領域65a〜65fのそれぞれは、第1電極51Eから第2電極52Eに向かう第1方向に対して交差する第2方向(例えば、X方向)に延在している。複数の導電領域65a〜65fのそれぞれは、連結領域65gによって互いに接続されている。連結領域65gは、Y方向に延在する。つまり、複数の導電領域65a〜65fの中、隣り合う導電領域は、連結領域65gによって接続されている。複数の導電領域65a〜65fのそれぞれは、直列に接続されている。直列に接続された導電領域65a〜65fの長さは、第1電極51Eと第2電極52Eとの間の距離よりも長い。
半導体装置5においては、A1−A2線に沿った断面構造が半導体装置4に略同じになる。第5実施形態においても、第4実施形態と同じ効果が得られる。
(第6実施形態)
図9(a)は、第6実施形態に係る半導体装置を表す模式的断面図である。図9(b)は、第6実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。図9(a)は、図9(b)におけるA1−A2線に沿った断面が表されている。
図9(a)は、第6実施形態に係る半導体装置を表す模式的断面図である。図9(b)は、第6実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。図9(a)は、図9(b)におけるA1−A2線に沿った断面が表されている。
半導体装置6においては、第1電極51F、第2電極52F、および第3電極53FのX−Y平面における外形は、例えば、円状になっている。例えば、第1電極51Fは、第3電極53Fに囲まれている。第3電極53Fは、第2電極52Fに囲まれている。
半導体装置6は、第4電極54Fをさらに備える。第4電極54Fは、ソースフィールドプレート電極である。第4電極54F、第2半導体層22および第3電極53Fの上に設けられている。第4電極54Fは、第1電極51Fに接続されている。第4電極54FのX−Y平面における外形は、例えば、円状になっている。第4電極54Fは、第2電極52Fに囲まれている。
絶縁層40は、第2半導体層22の側に設けられた絶縁層40aと、絶縁層40aの上に設けられた絶縁層40bと、絶縁層40bの上に設けられた絶縁層40cと、を有する。第4電極54Fは、絶縁層40bの上に設けられている。絶縁層40bと絶縁層40cとが同じ材料を含むとき、絶縁層40bと絶縁層40cとの間の境界は、ほぼなくなる。
半導体装置6においては、導電体66が第4電極54Fと第2電極52Fとの間に設けられている。第1電極51Fは、第4電極54Fを介して導電体66に電気的に接続されている。導電体66は、絶縁層40内に設けられている。導電体66は、第4電極54Fと第2電極52Fとを電気的に接続する。
導電体66は、複数の導電領域66a、66b、66c、66dを有する。複数の導電領域66a〜66dは、例えば、矢印Bの方向において並んでいる。複数の導電領域66a〜66dは、互いに電気的に接続されている。例えば、複数の導電領域66a〜66dは、直列に接続されている。直列に接続された複数の導電領域66a〜66dの長さは、第4電極54Fと第2電極52Fとの間の距離よりも長い。
第4電極54Fは、複数の導電領域66a〜66dに囲まれている。導電領域66aは、導電領域66bに囲まれている。導電領域66bは、導電領域66cに囲まれている。導電領域66cは、導電領域66dに囲まれている。つまり、直列に接続された複数の導電領域66a〜66dは、第2半導体層22の上において、螺旋状に配置されている。
半導体装置6においては、第4電極54Fと第2電極52Fとの間に導電体66(導電領域66a〜66d)が設けられている。導電体66(導電領域66a〜66d)は、第4電極54Fと第2電極52Fとに電気的に接続されている。
このような構造でも、ストレス印加時には、絶縁層40の電気的ポテンシャルに導電体66(導電領域66a〜66d)の電位が反映される。これにより、絶縁層40の電気的ポテンシャルの上昇が抑えられる。その結果、半導体装置6においても、電流コラプスが抑制され、オン抵抗の上昇が抑えられる。また、半導体装置6においては、第4電極54Fによっても絶縁層40の電気的ポテンシャルの上昇が抑えられる。
また、導電体66のパターン形状については、図9(b)に示す構造に限らない。例えば、半導体装置2のように、導電領域66a〜66dのそれぞれは、矩形状でもよい。
(第7実施形態)
図10は、第7実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。
図10は、第7実施形態に係る半導体装置を表す模式的上面図である。
半導体装置7においては、第1電極51G、第2電極52G、第3電極53G、および第4電極54GのX−Y平面における外形は、例えば、矩形状になっている。第4電極54Gと第2電極52Gとの間には、導電体67が配置されている。導電体67は、複数の導電領域67a、67b、67c、67dを有する。
半導体装置7においては、第1電極51G、第2電極52G、第3電極53G、第4電極54G、および複数の導電領域67a〜67dのそれぞれは、第1電極51Gから第2電極52Gに向かう第1方向に対して交差する第2方向(例えば、X方向)に延在している。複数の導電領域67a〜67dのそれぞれは、連結領域67eによって互いに接続されている。連結領域67eは、Y方向に延在する。つまり、複数の導電領域67a〜67dの中、隣り合う導電領域は、連結領域67eによって接続されている。複数の導電領域67a〜67dのそれぞれは、直列に接続されている。直列に接続された導電領域67a〜67dの長さは、第1電極51Gと第2電極52Gとの間の距離よりも長い。
半導体装置7においては、A1−A2線に沿った断面構造が半導体装置6に略同じになる。第7実施形態においても、第6実施形態と同じ効果が得られる。
(第8実施形態)
実施形態に係る半導体装置の製造過程を、半導体装置6の製造過程を例に説明する。
実施形態に係る半導体装置の製造過程を、半導体装置6の製造過程を例に説明する。
図11(a)〜図13(b)は、実施形態に係る半導体装置の製造過程の製造過程を表す模式的断面図である。
例えば、図11(a)に表すように、基板10の上に、第1半導体層21が形成される。第1半導体層21の上に第2半導体層22が形成される。第2半導体層22の上に、ゲート絶縁膜30が形成される。第2半導体層22の上には、第1電極51Fと第2電極52Fとが形成される。第2半導体層22の上には、ゲート絶縁膜30を介して第3電極53Fが形成される。さらに、ゲート絶縁膜30の上には、絶縁層40aが形成され、絶縁層40aおよび第3電極53Fの上には、絶縁層40bが形成される。
次に、図11(b)に表すように、第1電極51F、第2電極52、および絶縁層40bの上に、導電層66Lが形成される。導電層66Lは、例えば、スパッタリング、CVD(Chemical Vapor Deposition)、鍍金等のいずれかの方法で形成される。次に、フォトリソグラフィおよびRIE(Reactive Ion Etching)により、導電層66Lがパターニングされる。この状態が図12(a)に表されている。
導電体66(導電領域66a〜66d)を上面視したときにパターンは、螺旋状になっている(図9(b))。導電層66Lのパターニングにより、複数の導電領域66a〜66dのそれぞれの間隔または幅を適宜調整することができる。
次に、図12(b)に表すように、第1電極51F、第2電極52F、導電体66、および絶縁層40bの上に、絶縁層40cが形成される。
次に、図13(a)に表すように、第1電極51Fの上、第2電極52Fの上の絶縁層40cがフォトリソグラフィおよびRIEによって除去される。さらに、第1電極51Fから第3電極53Fにかけての絶縁層40bの上の絶縁層40cも、フォトリソグラフィおよびRIEによって除去される。
次に、図13(b)に表すように、第1電極51Fの厚さが増加するように、第1電極51Fが形成される。また、第2電極52Fの厚さが増加するように、第2電極52Fが形成される。また、第1電極51Fに接続された第4電極54Fが絶縁層40bの上に形成される。導電体66は、上面視したとき、第4電極54Fおよび第2電極52Fに電気的に接続されている(図9(b))。このような製造過程で、半導体装置6が形成される。
上述した実施形態において、第1電極51A、51B、51C、51D、51E、51F、51Gのそれぞれに含まれる材料は、同じである。第2電極52A、52B、52C、52D、52E、52F、52Gのそれぞれに含まれる材料は、同じである。第3電極53A、53B、53C、53D、53E、53F、53Gのそれぞれに含まれる材料は、同じである。第4電極54F、54Gのそれぞれに含まれる材料は、同じである。導電体61、62、63、64、65、66、67、連結領域63f、65g、67e、および導電層66Lのそれぞれに含まれる材料は、同じである。
上記の実施形態では、「AはBの上に設けられている」と表現された場合の「の上に」とは、AがBに接触して、AがBの上に設けられている場合の他に、AがBに接触せず、AがBの上方に設けられている場合との意味で用いられる場合がある。また、「AはBの上に設けられている」は、AとBとを反転させてAがBの下に位置した場合や、AとBとが横に並んだ場合にも適用される場合がある。これは、実施形態に係る半導体装置を回転しても、回転前後において半導体装置の構造は変わらないからである。
以上、具体例を参照しつつ実施形態について説明した。しかし、実施形態はこれらの具体例に限定されるものではない。すなわち、これら具体例に、当業者が適宜設計変更を加えたものも、実施形態の特徴を備えている限り、実施形態の範囲に包含される。前述した各具体例が備える各要素およびその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、前述した各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて複合させることができ、これらを組み合わせたものも実施形態の特徴を含む限り実施形態の範囲に包含される。その他、実施形態の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例および修正例に想到し得るものであり、それら変更例および修正例についても実施形態の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1、2、3、4、5、6、7、101、102、103 半導体装置、 10 基板、 21 第1半導体層、 22 第2半導体層、 30 ゲート絶縁膜、 40、40a、40b、40c 絶縁層、 51A、51B、51C、51D、51E、51F、51G 第1電極、 52A、52B、52C、52D、52E、52F、52G 第2電極、 53A、53B、53C、53D、53E、53F、53G 第3電極、 53Af、53Bf、53Cf ゲートフィールドプレート電極、 53Ag、53Bg、53Cg ゲート電極、 54F、54G 第4電極、 61、62、63、64、65、66、67 導電体、 61a、61b、61c、61d、62a、62b、62c、62d、63a、63b、63c、63d、63e、64a、64b、64c、64d、64e、64f、65a、65b、65c、65d、65e、65f、66a、66b、66c、66d、67a、67b、67c、67d 導電領域、 63f、65g、67e 連結領域、 66L 導電層
Claims (11)
- 第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層の上に設けられ、前記第1窒化物半導体層のバンドギャップ幅以上のバンドギャップ幅を有する第2窒化物半導体層と、
前記第2窒化物半導体層の上に設けられた第1電極と、
前記第2窒化物半導体層の上に設けられた第2電極と、
前記第2窒化物半導体層の上に設けられ、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた第3電極と、
前記第2窒化物半導体層の上に設けられ、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた絶縁層と、
前記第2電極と前記第3電極との間において前記絶縁層内に設けられ、前記第2電極と前記第3電極とを電気的に接続するか、または、前記第1電極と前記第2電極との間において前記絶縁層内に設けられ、前記第1電極と前記第2電極とを電気的に接続する導電体であって、複数の導電領域を有し、前記複数の導電領域は、前記第1電極から前記第2電極に向かう第1方向において並び、前記複数の導電領域は、互いに電気的に接続されている導電体と、
を備えた半導体装置。 - 前記導電体は、前記第2電極と前記第3電極との間に設けられ、
前記複数の導電領域のそれぞれは、直列に接続され、
前記第1電極は、前記第3電極に囲まれ、
前記第3電極は、前記第2電極に囲まれ、
前記第3電極は、前記複数の導電領域に囲まれている請求項1記載の半導体装置。 - 前記導電体は、前記第2電極と前記第3電極との間に設けられ、
前記複数の導電領域のそれぞれは、直列に接続され、
前記第1電極、前記第2電極、前記第3電極、および前記複数の導電領域のそれぞれは、前記第1方向に対して交差する第2方向に延在している請求項1記載の半導体装置。 - 前記導電体は、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、
前記複数の導電領域のそれぞれは、直列に接続され、
前記第1電極は、前記第3電極に囲まれ、
前記第3電極は、前記第2電極に囲まれ、
前記第3電極は、前記複数の導電領域に囲まれている請求項1記載の半導体装置。 - 前記導電体は、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、
前記複数の導電領域のそれぞれは、直列に接続され、
前記第1電極、前記第2電極、前記第3電極、および前記複数の導電領域のそれぞれは、前記第1方向に対して交差する第2方向に延在している請求項1記載の半導体装置。 - 第4電極をさらに備え、
前記第4電極は、前記第2窒化物半導体層および前記第3電極の上に設けられ、
前記第4電極は、前記第1電極に接続され、
前記第1電極は、前記第4電極を介して前記導電体に電気的に接続されている請求項1記載の半導体装置。 - 前記導電体は、前記第4電極と前記第2電極との間に設けられ、
前記複数の導電領域のそれぞれは、直列に接続され、
前記第1電極は、前記第3電極に囲まれ、
前記第3電極および第4電極は、前記第2電極に囲まれ、
前記第4電極は、前記複数の導電領域に囲まれている請求項6記載の半導体装置。 - 前記導電体は、前記第4電極と前記第2電極との間に設けられ、
前記複数の導電領域のそれぞれは、直列に接続され、
前記第1電極、前記第2電極、前記第3電極、前記第4電極、および前記複数の導電領域のそれぞれは、前記第1方向に対して交差する第2方向に延在している請求項6記載の半導体装置。 - 前記複数の導電領域は、前記第2窒化物半導体層の上に螺旋状に配置されている請求項2、4、7のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記導電体は、ポリシリコンまたは酸化膜を含む請求項1〜9のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1窒化物半導体層は、AlXGa1−XN(0≦X≦1)を含み、
前記第2窒化物半導体層は、AlYGa1−YN(0≦Y≦1、X<Y)を含む請求項1〜10のいずれか1つに記載の半導体装置。
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