JP2017050466A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのインプリント装置は、基板上にインプリント材を吐出する吐出部を備え、前記基板上のインプリント材にモールドを用いてパターンを形成するインプリント処理を行う処理部を含む第１空間を規定するチャンバと、前記吐出部に供給するインプリント材を貯留するタンクを含む第２空間を規定する容器と、を有し、前記タンクは、前記第２空間に対して開口した第１開口を含み、前記容器は、前記第１空間に供給される気体よりも清浄な気体を前記第２空間に供給するための供給口を含むことを特徴とする。

Claims (10)

1. 基板上にインプリント材を吐出する吐出部を備え、前記基板上のインプリント材にモールドを用いてパターンを形成するインプリント処理を行う処理部を含む第１空間を規定するチャンバと、
   前記吐出部に供給するインプリント材を貯留するタンクを含む第２空間を規定する容器と、を有し、
   前記タンクは、前記第２空間に対して開口した第１開口を含み、
   前記容器は、前記第１空間に供給される気体よりも清浄な気体を前記第２空間に供給するための供給口を含むことを特徴とするインプリント装置。
2. 前記容器は、前記第２空間の気体を前記第１空間及び前記第２空間以外の空間に排出するための排出口を含むことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
3. 前記タンクに設けられ、前記第１開口を覆うとともに前記第２空間から分離した第３空間を規定するカバー部材と、
   前記供給口に接続するための一端を含み、前記清浄な気体を導入するための導入管と、を更に有し、
   前記カバー部材は、前記導入管の他端に接続するための接続口と、前記第２空間に対して開口した第２開口と、を含み、
   前記清浄な気体が前記導入管を介して前記第３空間に供給され、前記第３空間に供給された前記清浄な気体が前記第２開口を介して前記第２空間に排出されることを特徴とする請求項１又は２に記載のインプリント装置。
4. 前記第３空間の圧力が前記タンクの内部の圧力よりも高くなるように、前記接続口及び前記第２開口のそれぞれの口径が設定されていることを特徴とする請求項３に記載のインプリント装置。
5. 前記吐出部と前記タンクとを接続する供給管と、
   前記吐出部と前記タンクとの間で前記供給管を介して前記インプリント材を循環させる循環部と、
   を更に有することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
6. 前記供給管の内部の圧力を大気圧に対して負圧に維持する圧力制御部を更に有することを特徴とする請求項５に記載のインプリント装置。
7. 前記吐出部と前記タンクとの間で循環する前記インプリント材の温度を調整する調整部を更に有することを特徴とする請求項５又は６に記載のインプリント装置。
8. 前記容器は、前記第２空間に外部の気体を取り込む取込口を含むことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
9. 請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
   前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
   を含むことを特徴とする物品の製造方法。
10. 基板上にインプリント材を吐出する吐出部を備え、前記基板上のインプリント材にモールドを用いてパターンを形成するインプリント処理を行う処理部を含む第１空間を規定するチャンバを備えたインプリント装置に用いられ、前記吐出部にインプリント材を供給する供給装置であって、
    前記吐出部に供給するインプリント材を貯留するタンクと、
    前記タンクを含む第２空間を規定する容器と、を有し、
    前記タンクは、前記第２空間に対して開口した第１開口を含み、
    前記容器は、前記第１空間に供給される気体よりも清浄な気体を前記第２空間に供給するための供給口を含み、
    前記供給装置は、
    前記タンクに設けられ、前記第１開口を覆うとともに前記第２空間から分離した第３空間を規定するカバー部材と、
    前記供給口に接続するための一端を含み、前記清浄な気体を導入するための導入管と、を更に有し、
    前記カバー部材は、前記導入管の他端に接続するための接続口と、前記第２空間に対して開口した第２開口と、を含み、
    前記清浄な気体が前記導入管を介して前記第３空間に供給され、前記第３空間に供給された前記清浄な気体が前記第２開口を介して前記第２空間に排出されることを特徴とする供給装置。