JP2017046116A - 光電変換装置、および、光電変換システム - Google Patents

光電変換装置、および、光電変換システム Download PDF

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Abstract

【課題】光電変換装置における信号の読み出しの自由度を向上させる。
【解決手段】光電変換素子PDと、光電変換素子PDからの第1信号を受けるゲートを有する第1トランジスタMpxと、第2トランジスタM2と、第1トランジスタMpxと共に第1差動対を、また、第2トランジスタM2と共に第2差動対を選択的に構成する第3トランジスタM3とを備える。第1トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく第2信号を、第2トランジスタM2のゲートに出力する。
【選択図】図2

Description

本発明は光電変換装置、および、光電変換システムに関する。
特許文献1の図2に開示された光電変換装置では、画素の増幅トランジスタ(図2の114)と、列ごとに配された差動トランジスタ(図2の201)とが差動アンプを構成している。画素の増幅トランジスタには、光電変換素子で発生した電荷に基づく信号が入力される。差動トランジスタには、ランプ波形の参照電圧が入力される。そして、画素の増幅トランジスタのゲートの電圧と差動トランジスタのゲートの電圧との比較する動作により、光電変換素子で発生した電荷に基づく信号がデジタル信号に変換される。
特開2005−311487号公報
従来技術の光電変換装置は、画素からの信号の読み出し動作に制約があるという課題がある。具体的に特許文献1の図2に開示の光電変換装置においては、所定の画素の信号に対するアナログデジタル変換(以下、AD変換)を行うためには、当該所定の画素の増幅トランジスタと差動トランジスタとが構成する差動対を用いなければならない。
このような読み出し動作の制約があると、例えば、高速に信号を読み出すことが困難になる可能性がある。画素のリセット、リセット信号のAD変換、電荷の転送、および、転送された電荷に基づく光信号のAD変換を順番に行う必要がある。そのため、信号の読み出しに時間がかかる。
あるいは、上述の読み出し動作の制約は、画質低下の原因となる可能性がある。特許文献1に記載の従来技術によれば、複数の画素からの複数の信号に対して、異なるトランジスタによって構成される差動アンプがAD変換を行う。複数の画素の間で増幅トランジスタの特性がばらついている場合、特性のばらつきがノイズとして画素からの信号にノイズを生じさせる可能性がある。
以上の課題に鑑み、本発明は、光電変換装置における信号の読み出し動作の自由度を向上させることを目的とする。
本発明の1つの側面に係る実施例の撮像装置は、光電変換素子と、前記光電変換素子からの第1信号を受けるゲートを有する第1トランジスタと、第2トランジスタと、前記第1トランジスタと共に第1差動対を、また、前記第2トランジスタと共に第2差動対を選択的に構成する第3トランジスタと、を備え、前記第1トランジスタのゲートの電圧に基づく第2信号を、前記第2トランジスタのゲートに出力する、ことを特徴とする。
本発明の別の側面に係る実施例の撮像装置は、光電変換素子と、前記光電変換素子からの信号を受けるゲートを有する第1トランジスタと、第2トランジスタと、前記第1トランジスタと共に第1差動対を、また、前記第2トランジスタと共に第2差動対を選択的に構成し、参照信号を受けるゲートを有する第3トランジスタと、前記第2トランジスタのゲートと前記第3トランジスタのドレインとを接続するスイッチとを備える、ことを特徴とする。
本発明のさらに別の側面に係る実施例の撮像装置は、光電変換素子と、前記光電変換素子からの第1信号を受けるゲートを有する第1トランジスタと、前記第1トランジスタのゲートの電圧をリセットするリセットトランジスタと、第2トランジスタと、アナログデジタル変換に用いられる参照信号を受けるゲートを有する第3トランジスタと、を備え、前記第1トランジスタおよび前記第3トランジスタの構成する第1差動対を含む比較器が、前記第1信号と前記参照信号とを比較し、前記第2トランジスタおよび前記第3トランジスタの構成する第2差動対を含む比較器が、前記第1トランジスタのゲートの電圧がリセットされたときの前記第1トランジスタのゲートの電圧に基づく第2信号と前記参照信号との比較を行う、ことを特徴とする。
本発明によれば、光電変換装置における信号の読出し動作の自由度を向上させることができる。
光電変換装置の全体構成を模式的に示すブロック図。 光電変換装置の回路構成を示す図。 光電変換装置の駆動信号のタイミングチャートを模式的に示す図。 光電変換装置の全体構成を示すブロック図。 光電変換装置の回路構成を示す図。 光電変換装置の駆動信号のタイミングチャートを模式的に示す図。 光電変換装置の回路構成を示す図。 光電変換装置の駆動信号のタイミングチャートを模式的に示す図。 光電変換システムの構成を示す図。
図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。図1は、本実施形態の光電変換装置の全体構成を模式的に示すブロック図である。複数の画素100が、画素アレイ102を構成する。画素アレイ102は、複数の画素行と複数の画素列とを含む。垂直走査回路101は、複数の画素100からの信号を読み出すために、複数の画素100を制御する。複数の画素100からの信号は、例えば、画素行ごとに読み出される。本明細書における信号の読み出しの例としては、少なくとも、当該信号をデジタル信号に変換するためのアナログデジタル変換(以下、AD変換)、および、AD変換のための信号の比較が挙げられる。
比較回路104は、画素100の信号と参照信号とを比較する。参照信号供給部103によって発生された参照信号が、比較回路104へ入力される。比較回路104による比較の結果に基づく制御信号が、カウンタ106へ出力される。当該比較の結果に基づく制御信号が、カウンタ106のカウント期間を制御する。カウンタ106は制御信号を受けたタイミングに対応したカウント値をメモリ107へ出力する。メモリ107へ出力されたカウント値が、画素100の信号に対するAD変換の結果として得られるデジタル信号である。メモリ107に保持されたデジタル信号は水平走査回路108により、順次、光電変換装置から出力される。比較回路104、カウンタ106、および、メモリ107をまとめて列回路アレイ110と呼ぶ。
図2は、光電変換装置の画素100、および、比較回路104の構成を示している。説明を簡略にするため、図2は1つの画素100のみを示している。
画素100は、少なくとも、光電変換素子PDと画素トランジスタMpxとを含む。画素トランジスタMpxのゲートはフローティングディフュージョンノード(以下、FDノード)に接続されている。画素トランジスタMpxのゲートには、光電変換素子PDからの信号が入力される。例えば、光電変換素子PDで生じた電荷が、FDノードに転送される。つまり、画素トランジスタMpxのゲートに、光電変換素子PDで生じた電荷に基づく信号が入力される。なお、画素トランジスタMpxのゲートがFDノードに接続されているので、本明細書においては、画素トランジスタMpxのゲートをFDノードと呼ぶことがある。
比較回路104は、差動トランジスタM3を含む。差動トランジスタM3のゲートには、AD変換に用いられる参照信号VRMPが入力される。参照信号VRMPは、例えば、時間と共にその電圧が変化するランプ電圧信号である。
画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3は、テール電流源IS1に接続される。換言すると、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3は差動対を構成する。画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3は、同じ導電型である。
本実施形態の光電変換装置は、トランジスタM2を備える。図2に示された実施形態においては、トランジスタM2は比較回路104に含まれる。トランジスタM2および差動トランジスタM3は、テール電流源IS1に接続される。換言すると、トランジスタM2および差動トランジスタM3は差動対を構成する。トランジスタM2は、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3と同じ導電型である。本実施形態では、トランジスタM2はNチャネル型のMOSトランジスタである。
差動トランジスタM3は、画素トランジスタMpxおよびトランジスタM2の一方と選択的に差動対を構成する。例えば、画素100の選択トランジスタMsx、および、トランジスタM2とテール電流源IS1との間の電気経路に配されたトランジスタM4を制御することにより、活性化する差動対が選択されうる。選択トランジスタMsxがオンし、トランジスタM4がオフすることで、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化する。このとき、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対は非活性化する。また、選択トランジスタMsxがオフし、トランジスタM4がオンすることで、トランジスタM2および差動トランジスタM3が構成する差動対が活性化する。このとき、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3が構成する差動対は非活性化する。
本実施形態の光電変換装置は、画素トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく信号を、トランジスタM2のゲートに出力する。画素トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく信号は、画素トランジスタMpxのゲートの電圧をバッファした電圧信号、および、画素トランジスタMpxのゲートの電圧を所定のゲインで増幅した電圧信号を少なくとも含む。
いくつかの実施形態においては、トランジスタM2のゲートと差動トランジスタM3のドレインとを接続するスイッチsw1を介して、当該信号がトランジスタM2のゲートに出力される。まず、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対がボルテージフォロア回路として動作する。このボルテージフォロア回路の入力ノードは、画素トランジスタMpxのゲートである。このような動作により、画素トランジスタMpxのゲートの電圧が差動トランジスタM3のドレインに出力される。トランジスタM2のゲートと差動トランジスタM3のドレインとを接続するスイッチsw1をオンすることにより、画素トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく信号が、トランジスタM2のゲートに出力される。
他の実施形態においては、画素トランジスタMpx、トランジスタM2および差動トランジスタM3が構成する複数の差動対を順に動作させる、つまり、順に活性化させることで、当該信号がトランジスタM2のゲートに出力される。まず、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対が第1のボルテージフォロア回路として動作する。第1のボルテージフォロア回路の入力ノードは、画素トランジスタMpxのゲートである。このような動作により、画素トランジスタMpxのゲートの電圧が差動トランジスタM3のゲートに出力される。続いて、差動トランジスタM3およびトランジスタM2の構成する差動対が第2のボルテージフォロア回路として動作する。第2のボルテージフォロア回路の入力ノードは、差動トランジスタM3のゲートである。第2のボルテージフォロアによって、差動トランジスタM3のゲートに保持された当該信号が、差動トランジスタM3のゲートに出力される。
続いて、実施形態の効果について説明する。上述の通り、画素100からの信号が、トランジスタM2のゲートに出力される。このような構成によれば、画素100からの信号の読み出しの自由度が向上する。例えば、画素100からの信号に対するAD変換を、画素100に含まれるトランジスタ以外のトランジスタの構成する差動対を用いて行うことができる。
信号の読み出しの自由度の向上により、例えば、信号の読み出しを短時間で行うことができる。いくつかの実施形態においては、画素トランジスタMpxのゲートの電圧がリセットされたときの当該ゲートの電圧に基づく信号(以下、ノイズ信号)と、光電変換素子PDで生じた電荷に基づく信号(以下、光信号)とが、画素100から読み出される。まず、ノイズ信号がトランジスタM2のゲートに出力される。これにより、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対を含む比較器が、ノイズ信号と参照信号との比較、すなわち、ノイズ信号に対するAD変換を行うことができる。一方で、ノイズ信号に対するAD変換を行っている間に、画素100において、光電変換素子PDの電荷を画素トランジスタMpxのゲートに転送することができる。つまり、ノイズ信号に対するAD変換と光電変換素子PDで生じた電荷の転送とを並行して行うことができる。結果として、信号の読み出しにかかる時間を短縮することができる。
あるいは、いくつかの実施形態においては、光電変換素子PDが直接的に画素トランジスタMpxのゲートに接続される。このような実施形態において、ノイズ信号をトランジスタM2のゲートに出力することにより、ノイズ信号に対するAD変換を行っている間に光電変換素子PDにおいて電荷を蓄積することができる。そのため、光信号からノイズ成分を除去することができ、結果として、光電変換装置から出力される信号のノイズを低減することができる。
あるいは、複数の画素100を備える撮像装置においては、上述の信号の読み出しの自由度の向上により画質を向上させることができる。複数の画素100からの複数の信号に対して、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対を含む比較器が共通してAD変換を行うことができる。これにより、画質を向上させることができる。
なお、図2では省略されているが、1つの画素列に含まれる複数の画素100に対して、図2に示された1つの比較回路104が配される。具体的には、複数の画素100の選択トランジスタMsxのソースが、互いに接続され、かつ、テール電流源IS1に直接的にまたはスイッチを介して接続される。また、複数の画素100の画素トランジスタMpxのドレインが互いに接続される。そして、1つの差動トランジスタM3が、1つの画素列に含まれる複数の画素100のそれぞれの画素トランジスタMpxと差動対を構成する。光電変換装置は、上述の画素列と比較回路104との組を複数備えうる。
以上に説明した実施形態では、差動トランジスタM3は、画素100の画素トランジスタMpx、および、トランジスタM2のそれぞれと差動対を構成する。トランジスタM2はいずれの画素にも属さない。そのため、光電変換によって生じた電荷がトランジスタM2のゲートに転送されることはない。
別の実施形態では、差動トランジスタM3が、複数の画素100に含まれる画素トランジスタMpxのみと差動対を構成する。この場合、上述の説明において、画素トランジスタMpxは第1の画素100に含まれる画素トランジスタMpx1に、また、トランジスタM2は第2の画素100に含まれる画素トランジスタMpx2に、適宜読み替えられる。このような別の実施形態は、例えば、図7に例示される。
以下、本発明に係るいくつかの実施例を説明する。特に断りがない限り、本実施形態についての説明は、全ての実施例について同様である。また、いずれかの実施例の一部の構成を、他の実施例の一部と置換、あるいは、他の実施例に付加してもよい。
実施例1の光電変換装置を説明する。図1は、本実施例の光電変換装置の全体構成を模式的に示すブロック図である。光電変換装置の全体構成はすでに説明されているので、ここでの図1についての説明は省略する。
図2は、光電変換装置の画素100、および、比較回路104の構成を示している。説明を簡略にするため、図2は1つの画素100のみを示している。
画素100は、光電変換素子PD、リセットトランジスタMrx、転送トランジスタMtx、画素トランジスタMpx、および、選択トランジスタMsxを含む。画素100には、Nチャネル型のMOSトランジスタが用いられている。リセットトランジスタMrxのゲートには駆動信号φR、転送トランジスタMtxのゲートには駆動信号φT、選択トランジスタMsxのゲートには駆動信号φSELがそれぞれ入力される。
画素トランジスタMpxのゲートはFDノードに接続されている。画素トランジスタMpxのゲートは、光電変換素子PDからの信号を受ける。本実施例では、光電変換素子PDで生じた電荷が、転送トランジスタMtxによって、FDノードに転送される。つまり、画素トランジスタMpxのゲートに、光電変換素子PDで生じた電荷に基づく信号が入力される。リセットトランジスタMrxは、画素トランジスタMpxのゲートの電圧をリセットする。
画素トランジスタMpxのドレイン、および、リセットトランジスタMrxのドレインは、電源電圧VDDの供給される電源ノードに接続される。画素トランジスタMpxのソースは、選択トランジスタMsxを介して、テール電流源IS1に接続される。なお、図2には示されていないが、1つの画素列に含まれる複数の画素100の画素トランジスタMpxのドレインは互いに接続される。また、1つの画素列に含まれる複数の画素100の選択トランジスタMsxのソースは互いに接続される。
比較回路104は、負荷トランジスタM1、トランジスタM2、差動トランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM5、および、テール電流源IS1を含む。負荷トランジスタM1はPチャネル型のMOSトランジスタである。トランジスタM2、差動トランジスタM3、トランジスタM4、および、トランジスタM5は、それぞれ、Nチャネル型のMOSトランジスタである。テール電流源IS1は、例えば、ゲートに所定のバイアス電圧を印加したNMOSトランジスタが用いられうる。
差動トランジスタM3のドレインと電源ノードとの間の電気経路に、負荷トランジスタM1が配される。トランジスタM2とテール電流源IS1との間の電気経路に、トランジスタM4が配される。差動トランジスタM3とテール電流源IS1との間の電気経路に、トランジスタM5が配される。負荷トランジスタM1にはバイアス電圧Vbsが供給される。トランジスタM4のゲートには、駆動信号φENが入力される。トランジスタM5のゲートは、電源ノードに接続される。そのため、トランジスタM5は常にオンしている。
比較回路104は、スイッチsw1およびクランプ容量Cclmpを含む。スイッチsw1は、差動トランジスタM3のゲートとドレインとを接続する。スイッチsw1は、駆動信号φCLMPによって制御される。クランプ容量Cclmpの一方の端子は、差動トランジスタM3のゲートに接続される。クランプ容量Cclmpの他方の端子には、参照信号VRMPが入力される。スイッチsw1がオフすることで、差動トランジスタM3のゲートは電気的にフローティングになる。これにより、差動トランジスタM3のゲートの電圧をクランプ容量Cclmpにクランプすることができる。
比較回路104は、スイッチsw2および保持容量Csmplを含む。スイッチsw2は、トランジスタM2のゲートと、差動トランジスタM3のドレインとを接続する。スイッチsw2は、駆動信号φSMPLによって制御される。保持容量Csmplの一方の端子は、トランジスタM2のゲートに接続される。保持容量Csmplの他方の端子は接地ノードに接続される。接地ノードには、グラウンド電圧が供給されている。スイッチsw2がオフすると、トランジスタM2のゲートを電気的にフローティングになる。これにより、トランジスタM2のゲートに信号を保持することができる。換言すると、スイッチsw2および保持容量Csmplは、サンプルホールド回路を構成する。
本実施例の光電変換装置の動作モードについて説明する。光電変換装置の動作モードは、選択トランジスタMsx、トランジスタM4、スイッチsw1、および、スイッチsw2によって制御される。
差動トランジスタM3は、画素トランジスタMpxおよびトランジスタM2のそれぞれと選択的に差動対を構成する。したがって、光電変換装置は、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化している状態と、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化している状態とを含む。選択トランジスタMsxがオンし、トランジスタM4がオフすることで、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化される。このとき、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対は非活性化される。選択トランジスタMsxがオフし、トランジスタM4がオンすることで、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化される。このとき、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対は非活性化される。
まず、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化された状態について説明する。この状態においてスイッチsw1がオンすることにより、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対はボルテージフォロア回路として動作する。このボルテージフォロア回路の入力ノードは、画素トランジスタMpxのゲートである。そのため、画素トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく信号が、ボルテージフォロア回路の出力ノード、つまり、差動トランジスタM3のドレインに出力される。このとき、スイッチsw2がオンすることにより、画素トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく信号がトランジスタM2のゲートに出力される。一方、この状態においてスイッチsw1がオフすることにより、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対は比較器として動作する。この比較器は、画素トランジスタMpxのゲートの信号と差動トランジスタM3のゲートにクランプ容量Cclmpを介して入力される参照信号VRMPとを比較する。なお、ボルテージフォロア回路としての動作および比較器としての動作のいずれにおいても、リセットトランジスタMrxはオフしている。
次に、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化された状態について説明する。この状態においてスイッチsw1およびスイッチsw2の両方がオフすることにより、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対は比較器として動作する。この比較器は、トランジスタM2のゲートの信号と差動トランジスタM3のゲートにクランプ容量Cclmpを介して入力される参照信号VRMPとを比較する。
続いて、本実施例の光電変換装置の駆動方法について説明する。図3は、光電変換装置の駆動信号のタイミングチャートを模式的に示す図である。図3は、1回の水平走査期間(1H期間)の駆動信号、すなわち、1つの画素行の信号を読み出すための駆動信号を示している。駆動信号がハイレベルのとき、当該駆動信号の供給されるトランジスタまたはスイッチはオンする。駆動信号がローレベルのとき、当該駆動信号の供給されるトランジスタまたはスイッチはオフする。ハイレベルおよびローレベルの具体的な電圧は、トランジスタの導電型などに応じて定まる。また、図3は、AD変換に用いられる参照信号VRMPの波形を模式的に示している。
時刻t0から時刻t1までの期間P_RESには、画素100のリセット、クランプ容量Cclmpへのノイズ信号のクランプ、および、トランジスタM2のゲートへのノイズ信号の出力を行う。
時刻t0で駆動信号φRがハイレベルに遷移する。これにより、画素100の画素トランジスタMpxのゲートの電圧が所定のレベルにリセットされる。
同時に、駆動信号φSELおよびφCLMPがハイレベルに遷移する。選択トランジスタMsxおよびスイッチsw1がオンし、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対がボルテージフォロア回路として動作する。これにより、差動トランジスタM3のドレインに、画素トランジスタMpxのゲートの電圧がリセットされたときの当該ゲートの電圧に基づく信号、つまり、ノイズ信号が出力される。また、このときの差動トランジスタM3のゲートの電圧が、クランプ容量Cclmpにクランプされる。
時刻t0には、さらに、駆動信号φSMPLがハイレベルに遷移する。これによりスイッチsw2がオンするので、ノイズ信号はトランジスタM2のゲートに出力され、かつ、保持容量Csmplにサンプリングされる。
以後、時刻t1までに、駆動信号φR、駆動信号φCLMP、駆動信号φSMPL、および、駆動信号φSELが順次、ローレベルに遷移する。スイッチsw2がオフするため、ノイズ信号がトランジスタM2のゲートに保持される。なお、図3が示すように、駆動信号φRがローレベルに遷移し、その後に、駆動信号φCLMP及び駆動信号φSMPLがほぼ同時にローレベルに遷移し、さらにその後に駆動信号φSELがローレベルに遷移する順であることが望ましい。スイッチsw1より先にリセットトランジスタMrxがオフにすることで、リセットトランジスタMrxによって生じる熱ノイズ(kT/Cノイズ)をクランプレベルに反映させることができるからである。
時刻t2から時刻t3までの期間N_ADでは、ノイズ信号に対するAD変換、および、光電変換素子PDから画素トランジスタMpxのゲートへの電荷の転送を行う。
時刻t2に駆動信号φENがハイレベルに遷移する。これにより、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対が比較器として動作する。トランジスタM2のゲートには、サンプリング容量Csmplに保持されたノイズ信号が入力されている。比較器は、このノイズ信号と参照信号VRMPとの大小関係を比較する。参照信号VRMPのランプダウンの開始から大小関係が反転するまでの時間を計測することにより、ノイズ信号に対するAD変換を行う。
また、時刻t2に駆動信号φTがハイレベルに遷移する。転送トランジスタMtxがオンし、光電変換素子PDに蓄積された電荷がFDノードへ転送される。これにより、光電変換素子PDで生じた電荷に基づく信号つまり光信号が得られる。この期間N_ADにおいて、駆動信号φSELがローレベルである。つまり、画素トランジスタMpxの構成する差動対は非活性化されている。そのため、画素トランジスタMpxのゲートに光信号を入力することは、トランジスタM2および差動トランジスタM3によって行われている比較動作に影響を及ぼさない。したがって、ノイズ信号のAD変換と、画素100における電荷の転送とを同時に行うことができるのである。
その後、時刻t3までに、駆動信号φTおよび駆動信号φENが順次ローレベルに遷移する。
時刻t4から時刻t5までの期間S_ADでは、光信号に対するAD変換を行う。時刻t4に駆動信号φSELがハイレベルに遷移する。このとき、駆動信号φCLMPはローレベルであり、スイッチsw1はオフしている。そのため、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対が比較器として動作する。画素トランジスタMpxのゲートには、光信号が入力されている。比較器は、この光信号と参照信号VRMPとの大小関係を比較する。参照信号VRMPのランプダウンの開始から大小関係が反転するまでの時間を計測することにより、光信号に対するAD変換を行う。
なお、光信号に対するAD変換によって得られたデジタル信号から、ノイズ信号に対するAD変換の結果によって得られたデジタル信号を減算するデジタルCDS(Correlated Double Sampling)処理を行ってもよい。
以上に述べた通り、本実施例によれば、画素100の画素トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく信号が、トランジスタM2のゲートに出力される。このような構成によれば、画素100からの信号の読み出しの自由度が向上する。具体的に、画素100からのノイズ信号に対するAD変換を、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対を用いて行うことができる。結果として、画素100からの信号の読み出しを短時間で行うことができる。
実施例2の光電変換装置を説明する。本実施例は、画素トランジスタMpx、トランジスタM2および差動トランジスタM3が構成する複数の差動対を順に動作させることで、画素トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく信号をトランジスタM2のゲートに出力する点で、実施例1と異なる。また、本実施例は、比較回路104による比較の結果に基づく制御信号が、出力回路105を介して、カウンタ106へ出力される点で、実施例1と異なる。以下、実施例1と異なる点について主として説明する。実施例1と同じ点については説明を省略する。
図4は、本実施形態の光電変換装置の全体構成を模式的に示すブロック図である。図1と同様の部分には、図1と同じ符号が付されている。本実施例の光電変換装置は出力回路105を備える。本実施例においては、比較回路104による比較の結果に基づく制御信号が、出力回路105を介して、カウンタ106へ出力される。また、出力回路105は、画素100の信号に基づく信号を、フィードバック信号として、比較回路104へ出力する。その他の構成は図1と同様であるため、説明を省略する。
図5は、光電変換装置の画素100、比較回路104、および、出力回路105の構成を示している。説明を簡略にするため、図5は1つの画素100のみを示している。図2と同じ機能を有する部分には、図2と同じ符号が付されている。
本実施例の光電変換装置の画素100の構成は、実施例1と同じである。そのため、画素100についての説明は省略する。
比較回路104は、トランジスタM2、差動トランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM5、負荷トランジスタM6、および、テール電流源IS1を含む。本実施例の比較回路104は、負荷トランジスタM6を含む点で、実施例1と異なる。負荷トランジスタM6はPチャネル型のMOSトランジスタである。負荷トランジスタM6は、トランジスタM2と電源ノードとの間の電気経路に配されている。負荷トランジスタM6のゲートにはバイアス電圧Vbsが供給される。トランジスタM2、差動トランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM5、および、テール電流源IS1の構成および機能は、実施例1と同様である。
比較回路104は、スイッチsw1、および、クランプ容量Cclmpを含む。スイッチsw1、および、クランプ容量Cclmpの構成および機能は、実施例1と同様である。
比較回路104は、スイッチsw2および保持容量Csmplを含む。保持容量Csmplの構成および機能は、実施例1と同様である。本実施例の比較回路104においては、スイッチsw2の接続が実施例1と異なる。スイッチsw2は、トランジスタM2のゲートとドレインとを接続する。スイッチsw2がオフすると、トランジスタM2のゲートを電気的にフローティングになる。これにより、トランジスタM2のゲートに信号を保持することができる。換言すると、スイッチsw2および保持容量Csmplは、サンプルホールド回路を構成する。
本実施例の光電変換装置の動作モードについて説明する。光電変換装置の動作モードは、選択トランジスタMsx、トランジスタM4、スイッチsw1、および、スイッチsw2によって制御される。
差動トランジスタM3は、画素トランジスタMpxおよびトランジスタM2のそれぞれと選択的に差動対を構成する。したがって、光電変換装置は、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化している状態と、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化している状態とを含む。選択トランジスタMsxがオンし、トランジスタM4がオフすることで、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化される。このとき、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対は非活性化される。選択トランジスタMsxがオフし、トランジスタM4がオンすることで、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化される。このとき、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対は非活性化される。
まず、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化された状態について説明する。この状態においてスイッチsw1がオンすることにより、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対は第1のボルテージフォロア回路として動作する。第1のボルテージフォロア回路の入力ノードは、画素トランジスタMpxのゲートである。そのため、画素トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく信号が、第1のボルテージフォロア回路の出力ノード、つまり、差動トランジスタM3のゲートおよびドレインに出力される。一方、この状態においてスイッチsw1がオフすることにより、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対は比較器として動作する。この比較器は、画素トランジスタMpxのゲートの信号と差動トランジスタM3のゲートにクランプ容量Cclmpを介して入力される参照信号VRMPとを比較する。なお、第1のボルテージフォロア回路としての動作および比較器としての動作のいずれにおいても、リセットトランジスタMrxはオフしている。
次に、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化された状態について説明する。この状態においてスイッチsw1およびスイッチsw2の一方がオフし、かつ、他方がオンすることにより、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対は第2のボルテージフォロア回路として動作する。スイッチsw1がオンする場合、第2のボルテージフォロア回路の入力ノードはトランジスタM2のゲートである。スイッチsw2がオンする場合、第2のボルテージフォロア回路の入力ノードは差動トランジスタM3のゲートである。また、この状態においてスイッチsw1およびスイッチsw2の両方がオフすることにより、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対は比較器として動作する。この比較器は、トランジスタM2のゲートの信号と差動トランジスタM3のゲートにクランプ容量Cclmpを介して入力される参照信号VRMPとを比較する。
本実施例の比較回路104は、スイッチsw4を含む。スイッチsw4は、テール電流源IS1と共通配線501とを接続する。図5では示されていないが、共通配線501には、複数の画素100が接続されている。スイッチsw4は、駆動信号φVLONによって制御される。トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化しているときに、スイッチsw4がオフする。つまり、スイッチsw4は、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対と共通配線501との接続を遮断する遮断部である。これにより、テール電流源IS1に接続されたノードの容量を小さくすることができる。結果として、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対を含む回路が、高速で動作することができる。
本実施例においては、出力回路105が、差動トランジスタM3のドレインに接続されている。出力回路105の出力ノード502には、インバータINVが接続される。出力回路105の出力ノード502は、画素トランジスタMpxのソースおよびドレイン、ならびに、差動トランジスタM3のソースおよびドレインとは別のノードである。
出力回路105は、画素トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく電圧を差動トランジスタM3のゲートに出力する第1動作を行う。また、出力回路105は、差動トランジスタM3からの電流を受けて、画素トランジスタMpxのゲートの電圧と差動トランジスタM3のゲートの電圧との比較の結果に基づく信号を出力ノード502に出力する第2動作を行う。例えば、画素トランジスタMpx、および、差動トランジスタM3の構成する差動対がボルテージフォロア回路として動作する時に、出力回路105は第1動作を行う。画素トランジスタMpx、および、差動トランジスタM3の構成する差動対が比較器として動作する時に、出力回路105は第2動作を行う。
第1動作において、出力回路105は、差動トランジスタM3に電流を供給する電流源として動作してもよい。このとき、出力回路105は画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対の負荷となる。したがって、スイッチsw1により差動トランジスタM3のゲートとドレインとがショートされたとき、出力回路105は画素トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく電圧を差動トランジスタM3のゲートに出力する。
第2動作において、出力回路105は、差動トランジスタM3の電流を検出する電流検出回路として動作してもよい。電流検出回路は、差動トランジスタM3の電流の変化を、別の信号として、出力ノード502に出力する。この機能により、出力回路105は、画素トランジスタMpxのゲートの信号と差動トランジスタM3のゲートの信号との比較の結果に基づく信号を出力ノード502に出力する。
例えば、差動トランジスタM3のゲートの電圧のほうが画素トランジスタMpxのゲートの電圧より高い場合に、出力回路105は出力ノード502に第1の電圧を出力する。一方、差動トランジスタM3のゲートの電圧のほうが画素トランジスタMpxのゲートの電圧より低い場合に、出力回路105は出力ノード502に第1の電圧とは異なる第2の電圧を出力する。
上述の説明では、テール電流源IS1が接続された配線の寄生抵抗を無視している。配線の寄生抵抗は、画素トランジスタMpxと差動トランジスタM3による差動対が構成する回路のオフセットとなりうる。
出力回路105は、上述の第2動作における差動トランジスタM3のドレインの電圧の変化量を、出力ノード502の電圧の変化量よりも小さくする制御部を含む。制御部は、特に、画素トランジスタMpxのゲートの電圧の大きさと差動トランジスタM3のゲートの電圧の大きさとの関係が逆転するときの差動トランジスタM3のドレインの電圧の変化量を、出力ノード502の電圧の変化量よりも小さくする。このときの出力ノード502の電圧の変化量とは、上述の第1の電圧と第2の電圧との差である。
制御部は、カレントミラー回路を含む。カレントミラー回路は、トランジスタM7、および、トランジスタM8を含む。トランジスタM7、および、トランジスタM8は、それぞれ、Pチャネル型のMOSトランジスタである。トランジスタM7のドレインは、差動トランジスタM3のドレインに電気的に接続される。トランジスタM7のゲートとトランジスタM8のゲートとが互いに接続され、かつ、トランジスタM7のドレインに接続される。
トランジスタM7、および、トランジスタM8の構成するカレントミラー回路は、出力回路105が第1動作を行うときに、トランジスタM8の電流をトランジスタM7へミラーする。また、出力回路105が第2動作を行うときに、カレントミラー回路は、トランジスタM7の電流をトランジスタM8へミラーする。換言すると、第1動作において、カレントミラー回路は、トランジスタM7から差動トランジスタM3へ電流を供給する電流源負荷として動作している。そして、第2動作において、カレントミラー回路は、差動トランジスタM3からトランジスタM7に入力される電流を、トランジスタM8へミラーする電流検出回路として動作する。
また、出力回路105は、トランジスタM8のゲートとドレインとを接続する接続スイッチsw3を含む。接続スイッチsw3は、駆動信号φMODによって制御される。接続スイッチsw3は、上述の第1動作および第2動作を切り替える。具体的に、接続スイッチsw3がオンすることによって、カレントミラー回路は、トランジスタM8の電流をトランジスタM7へミラーすることができる。接続スイッチsw3をオフすることによって、カレントミラー回路は、トランジスタM7の電流をトランジスタM8にミラーすることができる。
さらに、出力回路105は、容量C1を含む。容量C1は、トランジスタM7のドレインに電気的に接続された第1端子、および、トランジスタM7のゲートに電気的に接続された第2端子を有する。容量C1により、トランジスタM7のドレインとゲートとが交流的に結合し、トランジスタM7の電流をトランジスタM8にミラーすることができる。また、出力回路105は、出力ノード502に接続された参照電流源IS2を備える。参照電流源IS2は、トランジスタM8へ参照電流を出力する。
続いて、本実施例の出力回路105による効果について説明する。特許文献1の図2に開示の光電変換装置においては、差動トランジスタのドレインが差動アンプの出力ノードである。そのため、比較の動作において、画素の増幅トランジスタのゲートの電圧と差動トランジスタのゲートの電圧との関係が反転した時、差動トランジスタのドレインの電圧が大きく変化する。具体的に、差動トランジスタのドレインの電圧の変化量は、接地電圧と電源電圧(図2のAVD)との差にほぼ等しい。差動トランジスタのドレインの電圧の変化は、差動トランジスタのゲートとドレインとの間の寄生容量を介して、差動トランジスタのゲート、つまり、参照信号を供給するノードに伝達される可能性がある。
参照信号を供給するノードの電圧の変動は、光電変換装置から出力される信号の精度を低下させうる。例えば、差動アンプの出力が反転した後に、参照信号が逆方向に変化することで、当該差動アンプの出力が再度反転する可能性がある。また、複数の差動アンプに共通の参照信号が供給されている場合、ある差動アンプの出力の反転による参照信号の変化が、他の差動アンプの出力を反転させる可能性がある。その結果、アナログデジタル変換の精度が低下する可能性がある。つまり、光電変換装置から出力されるデジタル信号の精度が低下する可能性がある。
これに対して本実施例では、出力回路105が差動トランジスタM3のドレインの電圧の変動を低減する制御部を含む。このような構成によれば、差動トランジスタM3のドレインの電圧の変動による参照信号の変動を低減することができる。結果として、光電変換装置から出力される信号の精度を向上させることができる。
続いて、本実施例の光電変換装置の駆動方法について説明する。図6は、光電変換装置の駆動信号のタイミングチャートを模式的に示す図である。図6は、1回の水平走査期間(1H期間)の駆動信号、すなわち、1つの画素行の信号を読み出すための駆動信号を示している。駆動信号がハイレベルのとき、当該駆動信号の供給されるトランジスタまたはスイッチはオンする。駆動信号がローレベルのとき、当該駆動信号の供給されるトランジスタまたはスイッチはオフする。ハイレベルおよびローレベルの具体的な電圧は、トランジスタの導電型などに応じて定まる。また、図6は、AD変換に用いられる参照信号VRMPの波形を模式的に示している。
時刻t0から時刻t1までの期間P_RESには、画素100のリセット、クランプ容量Cclmpへのノイズ信号のクランプを行う。
時刻t0で駆動信号φRがハイレベルに遷移する。これにより、画素100の画素トランジスタMpxのゲートの電圧が所定のレベルにリセットされる。
同時に、駆動信号φSEL、駆動信号φCLMP、駆動信号φVLON、および、駆動信号φMODがハイレベルに遷移する。接続スイッチsw3がオンするため、トランジスタM8および参照電流源IS2がトランジスタM7のゲートにバイアス電圧を供給する。つまり、トランジスタM8の電流が、トランジスタM7にミラーされる。そのため、出力回路105は第1動作を行い、出力回路105のトランジスタM7が負荷として動作する。また、選択トランジスタMsxおよびスイッチsw1がオンし、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対が第1のボルテージフォロア回路として動作する。これにより、差動トランジスタM3のゲートおよびドレインに、画素トランジスタMpxのゲートの電圧がリセットされたときの当該ゲートの電圧に基づく信号、つまり、ノイズ信号が出力される。また、このときの差動トランジスタM3のゲートの電圧が、クランプ容量Cclmpにクランプされる。本実施例においては、このときのトランジスタM7の動作点が容量C1にクランプされる。
以後、時刻t1までに、駆動信号φR、駆動信号φCLMP、駆動信号φMOD、駆動信号φVLON、および、駆動信号φSELが順次、ローレベルに遷移する。これらの駆動信号がこの順でローレベルに遷移することにより、リセットトランジスタMrxによって生じる熱ノイズ(kT/Cノイズ)をクランプレベルに反映させることができる。
時刻t1から時刻t2までの期間N_SHには、トランジスタM2のゲートへのノイズ信号の出力を行う。
時刻t1に駆動信号φSMPL、および、駆動信号φENがハイレベルへ遷移する。これにより、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対が第2のボルテージフォロア回路として動作する。スイッチsw2がオンであることから、差動トランジスタM3のゲートのノイズ信号が、トランジスタM2のゲートおよびドレインに出力される。トランジスタM2のゲートに出力されたノイズ信号は、保持容量Csmplにサンプリングされる。その後、時刻t2において駆動信号φSMPLがローレベルに遷移する。これによりスイッチsw2がオフし、ノイズ信号がトランジスタM2のゲートに保持される。
時刻t2から時刻t3までの期間N_ADでは、ノイズ信号に対するAD変換、および、光電変換素子PDから画素トランジスタMpxのゲートへの電荷の転送を行う。
期間N_ADにおいては駆動信号φENがハイレベルである。また、駆動信号φSMPLおよび駆動信号φCLMPがローレベルである。そのため、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対が比較器として動作する。トランジスタM2のゲートには、サンプリング容量Csmplに保持されたノイズ信号が入力されている。比較器は、このノイズ信号と参照信号VRMPとの大小関係を比較する。参照信号VRMPのランプダウンの開始から大小関係が反転するまでの時間を計測することにより、ノイズ信号に対するAD変換を行う。
このとき接続スイッチsw3がオフであるため、出力回路105は第2動作を行う。具体的には、トランジスタM7の電流が、トランジスタM8へミラーされる。トランジスタM8にミラーされた電流と参照電流源IS2の電流とにより、出力回路105の出力ノード502の電圧が定まる。
また、時刻t2に駆動信号φTがハイレベルに遷移する。転送トランジスタMtxがオンし、光電変換素子PDに蓄積された電荷がFDノードへ転送される。これにより、光電変換素子PDで生じた電荷に基づく信号つまり光信号が得られる。この期間N_ADにおいて、駆動信号φSELがローレベルである。つまり、画素トランジスタMpxの構成する差動対は非活性化されている。そのため、画素トランジスタMpxのゲートに光信号を入力することは、トランジスタM2および差動トランジスタM3によって行われている比較動作に影響を及ぼさない。したがって、ノイズ信号のAD変換と、画素100における電荷の転送とを同時に行うことができるのである。
その後、時刻t3に、駆動信号φTおよび駆動信号φENがローレベルに遷移する。
期間N_SH、および、期間N_ADにおいて、駆動信号φVLONはローレベルである。したがって、複数の画素100に接続された共通配線501は、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対から遮断されている。このような構成によれば、トランジスタM2のゲートへのノイズ信号の出力を高速に行うことができる。あるいは、ノイズ信号に対するAD変換を正確に行うことができる。
時刻t4から時刻t5までの期間S_ADでは、光信号に対するAD変換を行う。時刻t4に駆動信号φSEL、および、駆動信号φVLONがハイレベルに遷移する。このとき、駆動信号φCLMPはローレベルであり、スイッチsw1はオフしている。そのため、画素トランジスタMpxおよび差動トランジスタM3の構成する差動対が比較器として動作する。画素トランジスタMpxのゲートには、光信号が入力されている。比較器は、この光信号と参照信号VRMPとの大小関係を比較する。参照信号VRMPのランプダウンの開始から大小関係が反転するまでの時間を計測することにより、光信号に対するAD変換を行う。このとき、出力回路105は第2動作を行っている。
なお、光信号に対するAD変換によって得られたデジタル信号から、ノイズ信号に対するAD変換の結果によって得られたデジタル信号を減算するデジタルCDS(Correlated Double Sampling)処理を行ってもよい。
以上に述べた通り、本実施例によれば、画素100の画素トランジスタMpxのゲートの電圧に基づく信号が、トランジスタM2のゲートに出力される。このような構成によれば、画素100からの信号の読み出しの自由度が向上する。具体的に、画素100からのノイズ信号に対するAD変換を、トランジスタM2および差動トランジスタM3の構成する差動対を用いて行うことができる。結果として、画素100からの信号の読み出しを短時間で行うことができる。
また、本実施例の光電変換装置は出力回路105を含む。このような構成によれば、光電変換装置が出力する信号の精度を向上させることができる。
なお、スイッチsw4は省略してもよい。スイッチsw4が省略された実施例においては、共通配線501が直接的にテール電流源IS1に接続される。また、実施例1の光電変換装置がスイッチsw4を含んでいてもよい。
出力回路105は省略してもよい。出力回路105が省略された実施例においては、図5の出力回路105が図2の負荷トランジスタM1に置換される。また、実施例1の光電変換装置が、負荷トランジスタM1に代えて出力回路105を含んでいてもよい。
実施例3の光電変換装置を説明する。本実施例においては、画素100に含まれる画素トランジスタMpx、選択トランジスタMsx、および、リセットトランジスタMrxが、それぞれ、実施例2のトランジスタM2、トランジスタM4、および、スイッチsw2と同様の機能を担っている。以下では、実施例1および実施例2との相違を説明し、実施例1または実施例2と同様の部分は説明を省略する。
本実施例の光電変換装置の全体構成は、実施例1または実施例2と同じである。すなわち、図1あるいは図4が本実施形態の光電変換装置の全体構成を模式的に示すブロック図である。
図7は、光電変換装置の画素100、比較回路104、および、出力回路105の構成を示している。説明を簡略にするため、図7は2つの画素100のみを示している。図2または図5と同じ機能を有する部分には、図2または図5と同じ符号が付されている。
本実施例の光電変換装置の画素100の構成は、実施例1と同じである。そのため、画素100についての説明は省略する。ただし、複数の画素100を区別するため、第1の画素100に含まれる要素、または、それらの要素に供給される駆動信号を表す符号は、最後に数字の1を含む。同様に、第2の画素100に含まれる要素、または、それらの要素に供給される駆動信号を表す符号は、最後に数字の2を含む。
比較回路104は、差動トランジスタM3、トランジスタM5、負荷トランジスタM6、および、テール電流源IS1を含む。負荷トランジスタM6はPチャネル型のMOSトランジスタである。負荷トランジスタM6は、配線701と電源ノードとの間の電気経路に配されている。負荷トランジスタM6のゲートにはバイアス電圧Vbsが供給される。差動トランジスタM3、トランジスタM5、および、テール電流源IS1の構成および機能は、実施例1または実施例2と同様である。
比較回路104は、スイッチsw1、および、クランプ容量Cclmpを含む。スイッチsw1、および、クランプ容量Cclmpの構成および機能は、実施例1または実施例2と同様である。
本実施例の比較回路104は、スイッチsw5を含む。スイッチsw5は、配線701と電源ノードとを接続する。別の観点で言えば、スイッチsw5は、負荷トランジスタM6のソースおよびドレインを接続する。そのため、負荷トランジスタM6およびスイッチsw5が、配線701と電源ノードとの間に並列の電気経路を形成しうる。スイッチsw5は駆動信号φLDにより制御される。スイッチsw5がオンすると、電源ノードと配線701とが短絡される。したがって、電源電圧VDDが画素100のリセットトランジスタMrxのドレイン、および、画素トランジスタMpxのドレインに供給される。また、スイッチsw5がオンすると、負荷トランジスタのソースとドレインとが短絡される。スイッチsw5がオフすると、電源ノードと配線701との間の電気経路に、負荷トランジスタM6が挿入される。これにより、負荷トランジスタM6が、画素100の画素トランジスタMpxの構成する差動対の負荷として動作する。
本実施例の光電変換装置の動作モードについて説明する。光電変換装置の動作モードは、選択トランジスタMsx、リセットトランジスタMrx、および、スイッチsw1によって制御される。なお、スイッチsw5は動作モードに応じて適宜オンとオフに制御される。
差動トランジスタM3は、第1の画素100の画素トランジスタMpx1および第2の画素100の画素トランジスタMpx2のそれぞれと選択的に差動対を構成する。したがって、光電変換装置は、画素トランジスタMpx1および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化している状態と、画素トランジスタMpx2および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化している状態とを含む。選択トランジスタMsx1がオンし、選択トランジスタMsx2がオフすることで、画素トランジスタMpx1および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化される。このとき、画素トランジスタMpx2および差動トランジスタM3の構成する差動対は非活性化される。選択トランジスタMsx1がオフし、選択トランジスタMsx2がオンすることで、画素トランジスタMpx2および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化される。このとき、画素トランジスタMpx1および差動トランジスタM3の構成する差動対は非活性化される。
まず、画素トランジスタMpx1および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化された状態について説明する。この状態においてスイッチsw1がオンすることにより、画素トランジスタMpx1および差動トランジスタM3の構成する差動対は第1のボルテージフォロア回路として動作する。第1のボルテージフォロア回路の入力ノードは、画素トランジスタMpx1のゲートである。そのため、画素トランジスタMpx1のゲートの電圧に基づく信号が、第1のボルテージフォロア回路の出力ノード、つまり、差動トランジスタM3のゲートおよびドレインに出力される。このとき、スイッチsw5はオンしていることが好ましい。一方、この状態においてスイッチsw1がオフすることにより、画素トランジスタMpx1および差動トランジスタM3の構成する差動対は比較器として動作する。この比較器は、画素トランジスタMpx1のゲートの信号と差動トランジスタM3のゲートにクランプ容量Cclmpを介して入力される参照信号VRMPとを比較する。このとき、スイッチsw5はオンしていることが好ましい。なお、第1のボルテージフォロア回路としての動作および比較器としての動作のいずれにおいても、リセットトランジスタMrx1はオフしている。
次に、画素トランジスタMpx2および差動トランジスタM3の構成する差動対が活性化された状態について説明する。この状態においてリセットトランジスタMrx2およびスイッチsw1の一方がオフし、かつ、他方がオンすることにより、画素トランジスタMpx2および差動トランジスタM3の構成する差動対は第2のボルテージフォロア回路として動作する。スイッチsw1がオンする場合、第2のボルテージフォロア回路の入力ノードは画素トランジスタMpx2のゲートである。このとき、スイッチsw5はオンしていることが好ましい。リセットトランジスタMrx2がオンする場合、第2のボルテージフォロア回路の入力ノードは差動トランジスタM3のゲートである。このとき、スイッチsw5はオフしていることが好ましい。また、この状態においてリセットトランジスタMrx2およびスイッチsw1の両方がオフすることにより、画素トランジスタMpx2および差動トランジスタM3の構成する差動対は比較器として動作する。この比較器は、画素トランジスタMpx2のゲートの信号と差動トランジスタM3のゲートにクランプ容量Cclmpを介して入力される参照信号VRMPとを比較する。このとき、スイッチsw5はオンしていることが好ましい。
出力回路105の構成は実施例2と同じである。本実施例においては、例えば、画素トランジスタMpx1、および、差動トランジスタM3の構成する差動対がボルテージフォロア回路として動作する時に、出力回路105は第1動作を行う。画素トランジスタMpx2、および、差動トランジスタM3の構成する差動対がボルテージフォロア回路として動作する時に、出力回路105は第1動作を行う。画素トランジスタMpx1、および、差動トランジスタM3の構成する差動対が比較器として動作する時に、出力回路105は第2動作を行う。また、画素トランジスタMpx2、および、差動トランジスタM3の構成する差動対が比較器として動作する時に、出力回路105は第2動作を行う。
続いて、本実施例の光電変換装置の駆動方法について説明する。図8は、光電変換装置の駆動信号のタイミングチャートを模式的に示す図である。図9は、1回の水平走査期間(1H期間)の駆動信号、すなわち、1つの画素行の信号を読み出すための駆動信号を示している。駆動信号がハイレベルのとき、当該駆動信号の供給されるトランジスタまたはスイッチはオンする。駆動信号がローレベルのとき、当該駆動信号の供給されるトランジスタまたはスイッチはオフする。ハイレベルおよびローレベルの具体的な電圧は、トランジスタの導電型などに応じて定まる。また、図8は、AD変換に用いられる参照信号VRMPの波形を模式的に示している。
時刻t0から時刻t1までの期間P_RESには、画素100のリセット、クランプ容量Cclmpへのノイズ信号のクランプを行う。
時刻t0で駆動信号φR1、および、駆動信号φLDがハイレベルに遷移する。これにより、第1の画素100の画素トランジスタMpx1のゲートの電圧が所定のレベルにリセットされる。スイッチsw5がオンしているため、リセットトランジスタMrx1のドレインには電源電圧VDDが供給されている。そのため、第1の画素100の画素トランジスタMpx1のゲートは電源電圧VDDに応じたレベルにリセットされる。
同時に、駆動信号φSEL1、駆動信号φCLMP、および、駆動信号φMODがハイレベルに遷移する。接続スイッチsw3がオンするため、トランジスタM8および参照電流源IS2がトランジスタM7のゲートにバイアス電圧を供給する。つまり、トランジスタM8の電流が、トランジスタM7にミラーされる。そのため、出力回路105は第1動作を行い、出力回路105のトランジスタM7が負荷として動作する。また、選択トランジスタMsx1およびスイッチsw1がオンし、画素トランジスタMpx1および差動トランジスタM3の構成する差動対が第1のボルテージフォロア回路として動作する。これにより、差動トランジスタM3のゲートおよびドレインに、画素トランジスタMpx1のゲートの電圧がリセットされたときの当該ゲートの電圧に基づく信号、つまり、ノイズ信号が出力される。また、このときの差動トランジスタM3のゲートの電圧が、クランプ容量Cclmpにクランプされる。本実施例においては、このときのトランジスタM7の動作点が容量C1にクランプされる。
以後、時刻t1までに、駆動信号φR1、駆動信号φCLMP、駆動信号φMOD、駆動信号φLD、および、駆動信号φSEL1が順次、ローレベルに遷移する。これらの駆動信号がこの順でローレベルに遷移することにより、リセットトランジスタMrxによって生じる熱ノイズ(kT/Cノイズ)をクランプレベルに反映させることができる。
時刻t1から時刻t2までの期間N_SHには、第2の画素100の画素トランジスタMpx2のゲートへのノイズ信号の出力を行う。このノイズ信号は、第1の画素100から出力されるノイズ信号である。
時刻t1に、駆動信号φLDがローレベルに遷移する。スイッチsw5がオフするため、負荷トランジスタM6が、第2の画素100の画素トランジスタMpx2のドレインへ電流を供給する負荷として動作する。時刻t1には、さらに、駆動信号φR2、および、駆動信号φSEL2がハイレベルへ遷移する。これにより、画素トランジスタMpx2および差動トランジスタM3の構成する差動対が第2のボルテージフォロア回路として動作する。リセットトランジスタMrx2がオンであることから、差動トランジスタM3のゲートのノイズ信号が、画素トランジスタMpx2のゲートおよびドレインに出力される。画素トランジスタMpx2のゲートに出力されたノイズ信号は、FDノードの持つ寄生容量Cfdにサンプリングされる。その後、時刻t2において駆動信号φR2がローレベルに遷移する。これによりリセットトランジスタMrx2がオフし、第1の画素100からのノイズ信号が第2の画素100の画素トランジスタMpx2のゲートに保持される。
なお、時刻t2において、駆動信号φLDがハイレベルに遷移する。これにより配線701に電源電圧VDDが供給される。以後の動作においては、駆動信号φLDはハイレベルに維持される。
時刻t2から時刻t3までの期間N_ADでは、第1の画素100からのノイズ信号に対するAD変換、および、第1の画素100における光電変換素子PD1から画素トランジスタMpx1のゲートへの電荷の転送を行う。第1の画素100からのノイズ信号に対するAD変換には、第2の画素100の画素トランジスタMpx2と差動トランジスタM3の構成する差動対が用いられる。
期間N_ADにおいては駆動信号φSEL2がハイレベルである。また、駆動信号φR2および駆動信号φCLMPがローレベルである。そのため、第2の画素100の画素トランジスタMpx2および差動トランジスタM3の構成する差動対が比較器として動作する。第2の画素の画素トランジスタMpx2のゲートには、第1の画素100からのノイズ信号が入力されている。したがって、比較器は、第1の画素100からのノイズ信号と参照信号VRMPとの大小関係を比較する。参照信号VRMPのランプダウンの開始から大小関係が反転するまでの時間を計測することにより、ノイズ信号に対するAD変換を行う。
このとき接続スイッチsw3がオフであるため、出力回路105は第2動作を行う。具体的には、トランジスタM7の電流が、トランジスタM8へミラーされる。トランジスタM8にミラーされた電流と参照電流源IS2の電流との関係により、出力回路105の出力ノード502の電圧が定まる。
また、時刻t2に駆動信号φT1がハイレベルに遷移する。第1の画素100の転送トランジスタMtxがオンし、第1の画素100の光電変換素子PD1に蓄積された電荷がFDノードへ転送される。これにより、光電変換素子PD1で生じた電荷に基づく信号つまり光信号が得られる。この期間N_ADにおいて、駆動信号φSEL1がローレベルである。つまり、第1の画素100の画素トランジスタMpx1の構成する差動対は非活性化されている。そのため、第1の画素100の画素トランジスタMpx1のゲートに光信号を入力することは、第2の画素100の画素トランジスタMpx2および差動トランジスタM3によって行われている比較動作に影響を及ぼさない。したがって、ノイズ信号のAD変換と、第1の画素100における電荷の転送とを同時に行うことができる。
その後、時刻t3に、駆動信号φT1および駆動信号φSEL2がローレベルに遷移する。
時刻t4から時刻t5までの期間S_ADでは、第1の画素100の光信号に対するAD変換を行う。第1の画素100の光信号に対するAD変換には、第1の画素100の画素トランジスタMpx1と差動トランジスタM3の構成する差動対が用いられる。
時刻t4に駆動信号φSEL1がハイレベルに遷移する。このとき、駆動信号φCLMPはローレベルであり、スイッチsw1はオフしている。そのため、第1の画素100の画素トランジスタMpx1および差動トランジスタM3の構成する差動対が比較器として動作する。画素トランジスタMpx1のゲートには、光信号が入力されている。比較器は、この光信号と参照信号VRMPとの大小関係を比較する。参照信号VRMPのランプダウンの開始から大小関係が反転するまでの時間を計測することにより、光信号に対するAD変換を行う。このとき、出力回路105は第2動作を行っている。
なお、光信号に対するAD変換によって得られたデジタル信号から、ノイズ信号に対するAD変換の結果によって得られたデジタル信号を減算するデジタルCDS(Correlated Double Sampling)処理を行ってもよい。
以上に述べた通り、本実施例によれば、第1の画素100の画素トランジスタMpx1のゲートの電圧に基づく信号が、第2の画素100の画素トランジスタMpx2のゲートに出力される。このような構成によれば、画素100からの信号の読み出しの自由度が向上する。具体的に、第1の画素100からのノイズ信号に対するAD変換を、第2の画素100の画素トランジスタMpx2および差動トランジスタM3の構成する差動対を用いて行うことができる。結果として、第1の画素100からの信号の読み出しを短時間で行うことができる。
本実施例では、画素100に含まれる画素トランジスタMpx、選択トランジスタMsx、および、リセットトランジスタMrxが、それぞれ、実施例2のトランジスタM2、トランジスタM4、および、スイッチsw2と同様の機能を担っている。そのため、光電変換装置のトランジスタの数を削減することができる。
また、本実施例の光電変換装置は出力回路105を含む。このような構成によれば、光電変換装置が出力する信号の精度を向上させることができる。出力回路105は省略してもよい。出力回路105が省略された実施例においては、図7の出力回路105が図2の負荷トランジスタM1に置換される。
図9には、本発明の1つの実施形態の光電変換システムの構成が示されている。光電変換システム800は、例えば、光学部810、撮像素子1、映像信号処理部830、記録・通信部840、タイミング制御部850、システム制御部860、及び再生・表示部870を含む。撮像装置820は、撮像素子1及び映像信号処理部830を有する。撮像素子1には、上記の実施例1乃至実施例3のいずれかの光電変換装置が用いられる。
レンズ等の光学系である光学部810は、被写体からの光を撮像素子1の、複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ102に結像させ、被写体の像を形成する。撮像素子1は、タイミング制御部850からの信号に基づくタイミングで、画素アレイ102に結像された光に応じた信号を出力する。撮像素子1から出力された信号は、映像信号処理部である映像信号処理部830に入力され、映像信号処理部830が、プログラム等によって定められた方法に従って信号処理を行う。映像信号処理部830での処理によって得られた信号は画像データとして記録・通信部840に送られる。記録・通信部840は、画像を形成するための信号を再生・表示部870に送り、再生・表示部870に動画や静止画像を再生・表示させる。記録・通信部840は、また、映像信号処理部830からの信号を受けて、システム制御部860と通信を行うほか、不図示の記録媒体に、画像を形成するための信号を記録する動作も行う。
システム制御部860は、撮像システムの動作を統括的に制御するものであり、光学部810、タイミング制御部850、記録・通信部840、及び再生・表示部870の駆動を制御する。また、システム制御部860は、例えば記録媒体である不図示の記憶装置を備え、ここに撮像システムの動作を制御するのに必要なプログラム等が記録される。また、システム制御部860は、例えばユーザの操作に応じて駆動モードを切り替える信号を撮像システム内に供給する。具体的な例としては、読み出す行やリセットする行の変更、電子ズームに伴う画角の変更や、電子防振に伴う画角のずらし等である。タイミング制御部850は、システム制御部860による制御に基づいて撮像素子1及び映像信号処理部830の駆動タイミングを制御する。
PD 光電変換素子
Mpx 画素トランジスタ
M2 トランジスタ
M3 差動トランジスタ
sw1 スイッチ
sw2 スイッチ
104 比較回路

Claims (24)

  1. 光電変換素子と、
    前記光電変換素子からの第1信号を受けるゲートを有する第1トランジスタと、
    第2トランジスタと、
    前記第1トランジスタと共に第1差動対を、また、前記第2トランジスタと共に第2差動対を選択的に構成する第3トランジスタと、を備え、
    前記第1トランジスタのゲートの電圧に基づく第2信号を、前記第2トランジスタのゲートに出力する、
    ことを特徴とする光電変換装置。
  2. 前記第3トランジスタのゲートにアナログデジタル変換に用いられる参照信号が入力され、
    前記第1トランジスタおよび前記第3トランジスタの構成する前記第1差動対を含む比較器が、前記第1信号と前記参照信号との比較を行い、
    前記第2トランジスタおよび前記第3トランジスタの構成する前記第2差動対を含む比較器が、前記第2信号と前記参照信号との比較を行う、
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  3. 前記第1トランジスタのゲートの電圧をリセットするリセットトランジスタを備え、
    前記第2信号は、前記リセットトランジスタが前記第1トランジスタのゲートの電圧をリセットしたときの前記第1トランジスタのゲートの電圧に基づく信号である、
    ことを特徴とする請求項2に記載の光電変換装置。
  4. 前記光電変換素子で生じた電荷を前記第1トランジスタのゲートに転送する転送トランジスタを備え、
    前記第1信号は、前記転送トランジスタが前記光電変換素子で生じた電荷を前記第1トランジスタのゲートに転送することによって得られる信号である、
    ことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の光電変換装置。
  5. 前記第2信号と前記参照信号との比較が行われている間に、前記転送トランジスタが前記光電変換素子で生じた電荷を前記第1トランジスタのゲートに転送する、
    ことを特徴とする請求項4に記載の光電変換装置。
  6. 前記第3トランジスタのゲートとドレインとを接続する第1スイッチと、
    前記第2トランジスタのゲートと前記第3トランジスタのドレインとを接続する第2スイッチと、を備え、
    前記第1スイッチおよび前記第2スイッチがオンしているときに、前記第1差動対を含むボルテージフォロア回路が前記第2スイッチを介して前記第2トランジスタのゲートに前記第2信号を出力する、
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の光電変換装置。
  7. 前記第3トランジスタのゲートに接続されたクランプ容量を備え、
    前記ボルテージフォロア回路は、前記第1トランジスタのゲートの電圧に基づく電圧を前記クランプ容量にクランプする、
    ことを特徴とする請求項6に記載の光電変換装置。
  8. 前記第3トランジスタのゲートとドレインとを接続する第1スイッチと、
    前記第2トランジスタのゲートとドレインとを接続する第2スイッチと、を備え、
    前記第1スイッチがオンしているときに、前記第1差動対を含む第1ボルテージフォロア回路が、前記第1トランジスタのゲートの電圧に基づく第3信号を前記第3トランジスタのゲートに出力し、
    前記第1スイッチがオフし、かつ、前記第2スイッチがオンしているときに、前記第2差動対を含む第2ボルテージフォロア回路が、前記第3トランジスタのゲートに保持された第3信号に基づいて、前記第2信号を前記第2トランジスタのゲートに出力する、
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の光電変換装置。
  9. 前記第3トランジスタのゲートに接続されたクランプ容量を備え、
    前記第1ボルテージフォロア回路は、前記第1トランジスタのゲートの電圧に基づく電圧を前記クランプ容量にクランプする、
    ことを特徴とする請求項8に記載の光電変換装置。
  10. 前記第2トランジスタのゲートを電気的にフローティングにすることにより、前記第2トランジスタのゲートに前記第2信号を保持するサンプルホールド回路を備える、
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の光電変換装置。
  11. 前記第1差動対が活性化し、かつ、前記第2差動対が非活性化している状態と、前記第1差動対が非活性化し、かつ、前記第2差動対が活性化している状態と、を切り替える制御部を備える、
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の光電変換装置。
  12. 前記第1差動対、および、前記第2差動対に電流を供給する電流源を備え、
    前記制御部は、それぞれ、前記第1トランジスタ、および、前記第2トランジスタの対応する1つと前記電流源との間に配された複数のトランジスタを含む、
    ことを特徴とする請求項11に記載の光電変換装置。
  13. それぞれが前記光電変換素子および前記第1トランジスタを含む複数の画素と、
    前記複数の画素が接続された共通配線と、
    前記第2差動対が活性化しているときに、前記第2差動対と前記共通配線との接続を遮断する遮断部と、を備える、
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項12のいずれか一項に記載の光電変換装置。
  14. 前記第1トランジスタのドレイン、および、前記第2トランジスタのドレインに接続された負荷トランジスタと、
    前記負荷トランジスタのソースとドレインとを接続するスイッチと、を備える、
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか一項に記載の光電変換装置。
  15. 第2光電変換素子を備え、
    前記第2トランジスタのゲートが、前記第2光電変換素子で生じた電荷に基づく信号を受ける、
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項14のいずれか一項に記載の光電変換装置。
  16. 前記第2トランジスタのゲートに光電変換によって生じた電荷が転送されない、
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項14のいずれか一項に記載の光電変換装置。
  17. 前記第1トランジスタのゲートの電圧に基づく電圧を前記第3トランジスタのゲートに出力する第1動作、および、前記第3のトランジスタからの電流を受けて、前記第1トランジスタのゲートの電圧と前記第3トランジスタのゲートの電圧との比較の結果に基づく信号を出力ノードに出力する第2動作を行う出力回路、を備え、
    前記出力回路は、前記第2動作における前記第3トランジスタのドレインの電圧の変化量を、前記出力ノードの電圧の変化量よりも小さくする、
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項16のいずれか一項に記載の光電変換装置。
  18. 前記出力回路は、前記第3トランジスタのドレインに電気的に接続された第4トランジスタ、および、前記第4トランジスタのゲートに接続されたゲートを有する第5トランジスタが構成するカレントミラー回路を含み、
    前記第1動作において、前記カレントミラー回路は、前記第5トランジスタの電流を前記第4トランジスタへミラーし、
    前記第2動作において、前記カレントミラー回路は、前記第4トランジスタの電流を前記第5トランジスタへミラーする、
    ことを特徴とする請求項17に記載の光電変換装置。
  19. 前記出力回路は、前記第5トランジスタのゲートとドレインとを接続する接続スイッチを含み、
    前記接続スイッチがオンすることによって、前記カレントミラー回路は、前記第5トランジスタの電流を前記第4トランジスタへミラーし、
    前記接続スイッチがオフすることによって、前記カレントミラー回路は、前記第4トランジスタの電流を前記第5トランジスタへミラーする、
    ことを特徴とする請求項18に記載の光電変換装置。
  20. 前記制御部は、前記第4トランジスタのドレインに電気的に接続された第1端子、および、前記第4トランジスタのゲートに電気的に接続された第2端子を有する容量を含む、
    ことを特徴とする請求項19に記載の光電変換装置。
  21. 光電変換素子と、
    前記光電変換素子からの信号を受けるゲートを有する第1トランジスタと、
    第2トランジスタと、
    前記第1トランジスタと共に第1差動対を、また、前記第2トランジスタと共に第2差動対を選択的に構成し、参照信号を受けるゲートを有する第3トランジスタと、
    前記第2トランジスタのゲートと前記第3トランジスタのドレインとを接続するスイッチとを備える、
    ことを特徴とする光電変換装置。
  22. 前記第3トランジスタのゲートとドレインとを接続するスイッチを備える、
    ことを特徴とする請求項21に記載の光電変換装置。
  23. 光電変換素子と、
    前記光電変換素子からの第1信号を受けるゲートを有する第1トランジスタと、
    前記第1トランジスタのゲートの電圧をリセットするリセットトランジスタと、
    第2トランジスタと、
    アナログデジタル変換に用いられる参照信号を受けるゲートを有する第3トランジスタと、を備え、
    前記第1トランジスタおよび前記第3トランジスタの構成する第1差動対を含む比較器が、前記第1信号と前記参照信号とを比較し、
    前記第2トランジスタおよび前記第3トランジスタの構成する第2差動対を含む比較器が、前記第1トランジスタのゲートの電圧がリセットされたときの前記第1トランジスタのゲートの電圧に基づく第2信号と前記参照信号との比較を行う、
    ことを特徴とする光電変換装置。
  24. 請求項1乃至請求項23のいずれか一項に記載の光電変換装置と、
    前記光電変換装置からの信号を処理する信号処理装置と、を備えた光電変換システム。
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