JP2017027641A - 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】非磁性基板上に、垂直磁性層及び保護層を順次積層する垂直磁気記録媒体の製造方法において、減圧した成膜室内に炭素を含む原料の気体を導入し、前記気体を通電により加熱されたフィラメント状のカソード電極と、前記カソード電極の周囲に設けられたアノード電極との間で放電によりイオン化し、前記イオン化した気体を加速して前記非磁性基板に形成されている前記垂直磁性層の表面に照射することによって、前記垂直磁性層の表面にグラフェン及び/又はグラフェンの積層体と、アモルファスカーボンを含む保護層を形成する工程を含むことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法により上記課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
特許文献3には、グラフェンの低温形成方法が開示されている。
(2)前記グラフェンの積層体は、グラフェンが2層以上10層以下の範囲内で積層されていることを特徴とする(1)に記載の垂直磁気記録媒体。
(3)前記垂直磁性層の最上層は、多結晶粒を含み、前記多結晶粒は、CoCr基合金、CoPt基合金、CoCrPt基合金又はCoPtCr基合金を含み、前記保護層は、前記垂直磁性層の最上層と接し、グラフェン及び/又はグラフェンの積層体と、アモルファスカーボンを含み、前記グラフェン及び/又はグラフェンの積層体は、前記多結晶粒の個々の(0002)結晶面と平行になっていることを特徴とする(1)又は(2)に記載の垂直磁気記録媒体。
(4)前記垂直磁性層の最上層は、多結晶粒を含み、前記多結晶粒は、L10構造を有するFePt基合金又はCoPt基合金を含み、前記保護層は、前記垂直磁性層の最上層に接触し、グラフェン及び/又はグラフェンの積層体と、アモルファスカーボンを含み、前記グラフェン及び/又はグラフェンの積層体は、前記多結晶粒の個々の(001)結晶面と平行になっていることを特徴とする(1)又は(2)に記載の垂直磁気記録媒体。
(5)前記グラフェン及び/又はグラフェンの積層体は、窒素を含むことを特徴とする(1)乃至(4)のいずれか一項に記載の垂直磁気記録媒体。
(6)(1)乃至(5)のいずれか一項に記載の垂直磁気記録媒体と、該垂直磁気記録媒体に情報を記録し、該垂直磁気記録媒体に記録されている情報を再生する磁気ヘッドと、を有することを特徴とする磁気記録再生装置。
垂直磁気記録媒体31(図1参照)を以下のようにして製造した。
実施例7では、L10構造を有し(001)結晶面配向したFePt磁性層と、グラフェンを含む保護層を用いた垂直磁気記録媒体を製造した。
21 軟磁性層
22 中間層
23 垂直磁性層
24 保護層
25 潤滑層
30 磁気記録再生装置
31 垂直磁気記録媒体
32 媒体駆動部
33 磁気ヘッド
34 ヘッド駆動部
35 記録再生信号処理系
Claims (6)
- 非磁性基板上に、垂直磁性層及び保護層を有する垂直磁気記録媒体において、
前記保護層はグラフェン及び/又はグラフェンの積層体と、アモルファスカーボンを含み、
前記保護層のラマンスペクトルは、2700cm−1付近のグラフェン及び/又はグラフェンの積層体の六員環構造に係る2Dバンドのピーク高さ(2D)と、1585cm−1付近のグラフェン及び/又はグラフェンの積層体のsp2結合の伸縮振動に係るGバンドのピーク高さ(G)との比率(2D/G)が、0.4〜5の範囲内であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 前記グラフェンの積層体は、グラフェンが2層以上10層以下の範囲内で積層されていることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記垂直磁性層の最上層は、多結晶粒を含み、
前記多結晶粒は、CoCr基合金、CoPt基合金、CoCrPt基合金又はCoPtCr基合金を含み、
前記保護層は、前記垂直磁性層の最上層と接し、グラフェン及び/又はグラフェンの積層体と、アモルファスカーボンを含み、
前記グラフェン及び/又はグラフェンの積層体は、前記多結晶粒の個々の(0002)結晶面と平行になっていることを特徴とする請求項1または2に記載の垂直磁気記録媒体。 - 前記垂直磁性層の最上層は、多結晶粒を含み、
前記多結晶粒は、L10構造を有するFePt基合金又はCoPt基合金を含み、
前記保護層は、前記垂直磁性層の最上層に接触し、グラフェン及び/又はグラフェンの積層体と、アモルファスカーボンを含み、
前記グラフェン及び/又はグラフェンの積層体は、前記多結晶粒の個々の(001)結晶面と平行になっていることを特徴とする請求項1または2に記載の垂直磁気記録媒体。 - 前記グラフェン及び/又はグラフェンの積層体は、窒素を含むことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の垂直磁気記録媒体。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の垂直磁気記録媒体と、
該垂直磁気記録媒体に情報を記録し、該垂直磁気記録媒体に記録されている情報を再生する磁気ヘッドと、
を有することを特徴とする磁気記録再生装置。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010225238A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Showa Denko Kk | 炭素膜の形成方法、磁気記録媒体の製造方法及び炭素膜の形成装置 |
JP2010244666A (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-28 | Hoya Corp | 磁気記録媒体および磁気記録媒体の製造方法 |
JP2013101742A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-23 | Hgst Netherlands B V | タマネギ状の炭素保護層を有するFePt−Cベースの磁気記録媒体 |
WO2013129514A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 旭化成株式会社 | 積層複合体 |
JP2013182640A (ja) * | 2012-03-01 | 2013-09-12 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法並びにそれを用いた磁気記憶装置 |
JP2014056633A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-27 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
2015
- 2015-07-21 JP JP2015143984A patent/JP6485867B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010225238A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Showa Denko Kk | 炭素膜の形成方法、磁気記録媒体の製造方法及び炭素膜の形成装置 |
JP2010244666A (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-28 | Hoya Corp | 磁気記録媒体および磁気記録媒体の製造方法 |
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